JP3203064B2 - 多重モード水晶振動子 - Google Patents
多重モード水晶振動子Info
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- JP3203064B2 JP3203064B2 JP25734492A JP25734492A JP3203064B2 JP 3203064 B2 JP3203064 B2 JP 3203064B2 JP 25734492 A JP25734492 A JP 25734492A JP 25734492 A JP25734492 A JP 25734492A JP 3203064 B2 JP3203064 B2 JP 3203064B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＭＣＦ（Monolithic Cry
stal Filter）としての多重モード水晶振動子（多重モ
ード振動子とする）を利用分野とし、特に保証減衰量を
高める多重モード振動子に関する。
stal Filter）としての多重モード水晶振動子（多重モ
ード振動子とする）を利用分野とし、特に保証減衰量を
高める多重モード振動子に関する。
【発明の背景】多重モード振動子は水晶片に形成した例
えば二組の電極対間の音響的結合を利用し、所定のフィ
ルタ特性（伝送特性）を得るものとして通信機器等に有
用されている。このようなものの一つに入出力電極間の
電気的結合による漏れ信号を少なくして保証減衰量を高
めたものがある（参照：実願昭60-118993、特願昭63-27
3981、特願平1-83007号、特願平4-46008号）。
えば二組の電極対間の音響的結合を利用し、所定のフィ
ルタ特性（伝送特性）を得るものとして通信機器等に有
用されている。このようなものの一つに入出力電極間の
電気的結合による漏れ信号を少なくして保証減衰量を高
めたものがある（参照：実願昭60-118993、特願昭63-27
3981、特願平1-83007号、特願平4-46008号）。
【０００３】
【従来技術】第６図乃至第８図はこのような多重モード
振動子を説明する一例図である。なお、第６図は断面
図、第７図（ａｂ）は水晶片の表裏面を示す図、第８図
は基板の平面図である。多重モード振動子は、水晶片１
を密閉容器２に封入して形成される。水晶片１は例えば
厚みすべり振動姿態のＡＴカットとする。一方の主面１
ａには分割された入出力電極３、４を、他方の主面１ｂ
には共通電極５が形成される。入出力電極３、４と共通
電極５からは、両端外周部に引出電極６、７、８（ａ
ｂ）を延出する。密閉容器２は凹状の積層構造の容器本
体９に金属蓋体１０をシーム溶接して形成される。但
し、金属蓋体１０は基準電位に接地される。容器本体９
は、基板１１と絶縁性枠体１２（枠体とする）と溶接リ
ング１３とからなる。基板１１は、両端側に入出力用の
接続電極１４、１５を有し、中央部分に基準電位となる
シールド電極１６を有する。これらの各電極１４、１
５、１６は容器外表面に延出して表面実装用の外部端子
となる。なお、接続用電極１４、１５はシールド電極１
６の厚みより大きく設定される。そして、水晶片１の一
方の主面１ａを基板１１に対向させて保持する。すなわ
ち、入出力電極３、４の形成された両端外周部を接続電
極１４、１５上に導電性接着剤１７をもって固着し、電
気的・機械的に接続する。また、他方の主面１ｂの共通
電極５の引出電極８はワイヤボンディング（未図示）に
よりシールド電極１６の端子部１８に接続する。このよ
うなものでは、水晶片１の一方の主面１ａを、基板１１
のシールド電極１６に対向させて設けたので、入出力電
極３、４間の電気的結合により直接的に伝搬する漏れ信
号を遮蔽し、保証減衰量を高めることができる。但し、
ここでの保証減衰量は第９図に示したように、中心周波
数ｆ0から９１０ＫＨｚ下がった点での減衰量Ａ（ｄ
Ｂ）を指す。
振動子を説明する一例図である。なお、第６図は断面
図、第７図（ａｂ）は水晶片の表裏面を示す図、第８図
は基板の平面図である。多重モード振動子は、水晶片１
を密閉容器２に封入して形成される。水晶片１は例えば
厚みすべり振動姿態のＡＴカットとする。一方の主面１
ａには分割された入出力電極３、４を、他方の主面１ｂ
には共通電極５が形成される。入出力電極３、４と共通
電極５からは、両端外周部に引出電極６、７、８（ａ
ｂ）を延出する。密閉容器２は凹状の積層構造の容器本
体９に金属蓋体１０をシーム溶接して形成される。但
し、金属蓋体１０は基準電位に接地される。容器本体９
は、基板１１と絶縁性枠体１２（枠体とする）と溶接リ
ング１３とからなる。基板１１は、両端側に入出力用の
接続電極１４、１５を有し、中央部分に基準電位となる
シールド電極１６を有する。これらの各電極１４、１
５、１６は容器外表面に延出して表面実装用の外部端子
となる。なお、接続用電極１４、１５はシールド電極１
６の厚みより大きく設定される。そして、水晶片１の一
方の主面１ａを基板１１に対向させて保持する。すなわ
ち、入出力電極３、４の形成された両端外周部を接続電
極１４、１５上に導電性接着剤１７をもって固着し、電
気的・機械的に接続する。また、他方の主面１ｂの共通
電極５の引出電極８はワイヤボンディング（未図示）に
よりシールド電極１６の端子部１８に接続する。このよ
うなものでは、水晶片１の一方の主面１ａを、基板１１
のシールド電極１６に対向させて設けたので、入出力電
極３、４間の電気的結合により直接的に伝搬する漏れ信
号を遮蔽し、保証減衰量を高めることができる。但し、
ここでの保証減衰量は第９図に示したように、中心周波
数ｆ0から９１０ＫＨｚ下がった点での減衰量Ａ（ｄ
Ｂ）を指す。
【０００４】
【従来技術の問題点】しかしながら、上記構成のもので
は、水晶片１の入出力電極と基板１１のシールド電極１
６との電極間隙Ｇを小さくすると、その期待に反して保
証減衰量が低下する問題があった。このことから、前述
した特願平4-46008号では、保証減衰量を最大とする電
極間隙Ｇの存在することを後述するように開示した。し
かし、このものでは、金属蓋体１０を基準電位に接地す
る効果について充分に開示されていない問題があった。
は、水晶片１の入出力電極と基板１１のシールド電極１
６との電極間隙Ｇを小さくすると、その期待に反して保
証減衰量が低下する問題があった。このことから、前述
した特願平4-46008号では、保証減衰量を最大とする電
極間隙Ｇの存在することを後述するように開示した。し
かし、このものでは、金属蓋体１０を基準電位に接地す
る効果について充分に開示されていない問題があった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、電極間隙と保証減衰量との関
係及び金属蓋体の影響を明確にした上で、保証減衰量を
高める多重モード振動子を提供することを目的とする。
係及び金属蓋体の影響を明確にした上で、保証減衰量を
高める多重モード振動子を提供することを目的とする。
【０００６】
【解決手段】本発明は、電極間隙に最適値（特異点）の
あることを見い出し、電極間隙を保証減衰量のピーク値
及びその近傍に設定するとともに、金属蓋体を基準電位
に接地したことを解決手段とする。更に、具体的には、
電極間隙を１５μｍから４０μｍに設定する。また、基
板のシールド電極と金属蓋体とを、枠体の貫通孔に設け
られた導通電極により接続したことを解決手段とする。
以下、本発明の一実施例を、これらを明らかにする実験
例をもって説明する。
あることを見い出し、電極間隙を保証減衰量のピーク値
及びその近傍に設定するとともに、金属蓋体を基準電位
に接地したことを解決手段とする。更に、具体的には、
電極間隙を１５μｍから４０μｍに設定する。また、基
板のシールド電極と金属蓋体とを、枠体の貫通孔に設け
られた導通電極により接続したことを解決手段とする。
以下、本発明の一実施例を、これらを明らかにする実験
例をもって説明する。
【０００７】
【実施例】第１図は本発明の一実施例を説明する図で、
多重モード水晶振動子の断面図である。なお、前従来例
図と同一部分には同番号を付与し、その説明は簡略す
る。多重モード水晶振動子は、前述同様に、一方の主面
１ａに入出力電極３、４及び引出電極６、７を有し、他
方の主面１ｂに共通電極５及び引出電極８（ａｂ）の形
成された水晶片１を、基板１１、枠体１２、溶接リング
１３を積層した容器本体９と金属蓋体１０からなる密閉
容器２に封入して形成される。そして、水晶片１の一方
の主面１ａを基板１１のシールド電極１６に対向して保
持する（前第図参照）。この実施例では、枠体の複数箇
所に貫通孔を設け、シールド電極１６の端子部１８と溶
接リング１３とを導通電極１９により電気的に接続する
（所謂スルーホール）。すなわち、溶接リング１３とこ
れに接合する金属カバー１０を基準電位（シールド電
極）に接地する。これらは、容器本体９の焼成時に一体
的に形成される。このようなものでは、溶接リング１３
と金属蓋体１０を基準電位に接地したので、保証減衰量
を高めることができる。第２図はこのことを示す図で、
曲線（イ）は本実施例、同（ロ）は未接地の場合であ
る。但し、中心周波数は約２２ＭＨｚとし、電極間隙Ｇ
は一定とした。この図から明かなように、本実施例のも
のでは６８ｄＢ、未接地のものでは３９ｄＢとし、その
差を約２９ｄＢとする。したがって、接地による効果が
非常に大きいことが理解される。なお、実験において
は、金属蓋体１０を除去し、溶接リング１３のみを接地
した場合でも同様な結果を得た。第３図（ａｂｃ）は、
電極間隙（横軸、μｍ）と保証減衰量（縦軸、ｄＢ）と
の関係を説明する図である。なお、第３図（ａ）は多重
モード振動子の中心周波数ｆ0を約２２ＭＨｚ、同図
（ｂ）は４５ＭＨｚ、同図（ｃ）は９０ＭＨｚとした場
合である。但し、電極間隙Ｇは日商精密光学社製のデプ
ス計測機（μDEPTH&HEIGHT MESURING SCOPE MODEL-KY9
0）により測定した。これらの実験結果、いずれの場合
でも、電極間隙Ｇが充分に大きい（２２ＭＨｚで１００
μ程度）時にはほぼ一定値を示し、これから小さくなる
ほど、保証減衰量は高まる。そして、１５から４０μｍ
中の２５μｍ近傍でピーク値を迎え、これ以下になると
急激に減少した。例えば２２ＭＨｚ「第３図（ａ）」の
場合はそのピーク値は８０ｄＢ以上となり、以下、４５
ＭＨｚ「第３図（ｂ）」では約８０ｄＢ、９０ＭＨｚ
「第３図（ｃ）」では７０ｄＢとなる。ちなみに、２２
ＭＨｚのときの電極間隙Ｇが充分に大きい１００μの場
合には５０ｄＢで、ピーク値８０ｄＢとの差は約３０ｄ
Ｂにもなることが理解される。なお、中心周波数が高く
なるほど、ピーク値を得る電極間隙Ｇは微妙に小さくな
る。したがって、電極間隙Ｇを保証減衰量のピーク値及
びその近傍に設定することにより、例えば１５乃至４０
μｍの間に設定することにより保証減衰量を高めること
ができる。この実験結果につき、本発明者がその現象を
考察したところ、次に起因することが推測された。すな
わち、第４図に示したように、電極間隙Ｇがピーク値と
なる例えば２５μｍ以上に離れて接近する場合は、入出
力電極３、４間の電気的結合（浮遊容量Ｃ1）による漏
れ信号Ｐ1が、シールド電極１６に流入（吸引）して基
準電位に流出する。したがって、入出力電極３、４間が
遮蔽されて保証減衰量は増加する。次に、第５図に示し
たように、電極間隙Ｇが２５μｍ以内に接近すると、入
出力電極３、４とシールド電極１６との間に浮遊容量Ｃ
2、Ｃ3を発生する。そして、この浮遊容量Ｃ2、Ｃ3を経
由して入力電極３から出力電極４に漏れ信号Ｐ2が漏洩
する。したがって、保証減衰量は急激に低下すると推測
された。なお、第４図においても、シールド電極１６と
入出力電極３、４との間に浮遊容量Ｃ2、Ｃ3は発生する
と考えられるが、その値が小さくて漏れ信号Ｐ2は微量
であり、それ以上に入出力電極３、４間の漏れ信号Ｐ1
を遮蔽すると推定される。また、入出力電極３、４間の
漏れ信号Ｐ1を特に問題としたが、入出力電極３、４と
共通電極５との間に生ずる漏れ信号（未図示）について
も同様なことが言える。 以上の各実験及び考察等か
ら、金属蓋体を基準電位に接地し、さらに電極間隙Ｇを
保証減衰量のピーク値及びその近傍に設定することによ
り、保証減衰量を最大級に高めることができる。ちなみ
に、２２ＭＨｚの場合を例にとると、金属蓋体１０を基
準電位に接地することにより１９ｄＢ、電極間隙Ｇを保
証減衰量のピーク値に設定することにより３０ｄＢ向上
でき、単に水晶片１を密閉容器２内に封入した場合に比
し、その合計で約６０ｄＢ向上できる。また、この実施
例では、金属蓋体１０を基準電位に接地するに際し、絶
縁性枠体１２のスルーホールにより行ったので、例えば
枠表面を経由してあるいはボンディング等で接続した場
合に比し、電気的な内部接触のおそれがなく好都合とす
る。
多重モード水晶振動子の断面図である。なお、前従来例
図と同一部分には同番号を付与し、その説明は簡略す
る。多重モード水晶振動子は、前述同様に、一方の主面
１ａに入出力電極３、４及び引出電極６、７を有し、他
方の主面１ｂに共通電極５及び引出電極８（ａｂ）の形
成された水晶片１を、基板１１、枠体１２、溶接リング
１３を積層した容器本体９と金属蓋体１０からなる密閉
容器２に封入して形成される。そして、水晶片１の一方
の主面１ａを基板１１のシールド電極１６に対向して保
持する（前第図参照）。この実施例では、枠体の複数箇
所に貫通孔を設け、シールド電極１６の端子部１８と溶
接リング１３とを導通電極１９により電気的に接続する
（所謂スルーホール）。すなわち、溶接リング１３とこ
れに接合する金属カバー１０を基準電位（シールド電
極）に接地する。これらは、容器本体９の焼成時に一体
的に形成される。このようなものでは、溶接リング１３
と金属蓋体１０を基準電位に接地したので、保証減衰量
を高めることができる。第２図はこのことを示す図で、
曲線（イ）は本実施例、同（ロ）は未接地の場合であ
る。但し、中心周波数は約２２ＭＨｚとし、電極間隙Ｇ
は一定とした。この図から明かなように、本実施例のも
のでは６８ｄＢ、未接地のものでは３９ｄＢとし、その
差を約２９ｄＢとする。したがって、接地による効果が
非常に大きいことが理解される。なお、実験において
は、金属蓋体１０を除去し、溶接リング１３のみを接地
した場合でも同様な結果を得た。第３図（ａｂｃ）は、
電極間隙（横軸、μｍ）と保証減衰量（縦軸、ｄＢ）と
の関係を説明する図である。なお、第３図（ａ）は多重
モード振動子の中心周波数ｆ0を約２２ＭＨｚ、同図
（ｂ）は４５ＭＨｚ、同図（ｃ）は９０ＭＨｚとした場
合である。但し、電極間隙Ｇは日商精密光学社製のデプ
ス計測機（μDEPTH&HEIGHT MESURING SCOPE MODEL-KY9
0）により測定した。これらの実験結果、いずれの場合
でも、電極間隙Ｇが充分に大きい（２２ＭＨｚで１００
μ程度）時にはほぼ一定値を示し、これから小さくなる
ほど、保証減衰量は高まる。そして、１５から４０μｍ
中の２５μｍ近傍でピーク値を迎え、これ以下になると
急激に減少した。例えば２２ＭＨｚ「第３図（ａ）」の
場合はそのピーク値は８０ｄＢ以上となり、以下、４５
ＭＨｚ「第３図（ｂ）」では約８０ｄＢ、９０ＭＨｚ
「第３図（ｃ）」では７０ｄＢとなる。ちなみに、２２
ＭＨｚのときの電極間隙Ｇが充分に大きい１００μの場
合には５０ｄＢで、ピーク値８０ｄＢとの差は約３０ｄ
Ｂにもなることが理解される。なお、中心周波数が高く
なるほど、ピーク値を得る電極間隙Ｇは微妙に小さくな
る。したがって、電極間隙Ｇを保証減衰量のピーク値及
びその近傍に設定することにより、例えば１５乃至４０
μｍの間に設定することにより保証減衰量を高めること
ができる。この実験結果につき、本発明者がその現象を
考察したところ、次に起因することが推測された。すな
わち、第４図に示したように、電極間隙Ｇがピーク値と
なる例えば２５μｍ以上に離れて接近する場合は、入出
力電極３、４間の電気的結合（浮遊容量Ｃ1）による漏
れ信号Ｐ1が、シールド電極１６に流入（吸引）して基
準電位に流出する。したがって、入出力電極３、４間が
遮蔽されて保証減衰量は増加する。次に、第５図に示し
たように、電極間隙Ｇが２５μｍ以内に接近すると、入
出力電極３、４とシールド電極１６との間に浮遊容量Ｃ
2、Ｃ3を発生する。そして、この浮遊容量Ｃ2、Ｃ3を経
由して入力電極３から出力電極４に漏れ信号Ｐ2が漏洩
する。したがって、保証減衰量は急激に低下すると推測
された。なお、第４図においても、シールド電極１６と
入出力電極３、４との間に浮遊容量Ｃ2、Ｃ3は発生する
と考えられるが、その値が小さくて漏れ信号Ｐ2は微量
であり、それ以上に入出力電極３、４間の漏れ信号Ｐ1
を遮蔽すると推定される。また、入出力電極３、４間の
漏れ信号Ｐ1を特に問題としたが、入出力電極３、４と
共通電極５との間に生ずる漏れ信号（未図示）について
も同様なことが言える。 以上の各実験及び考察等か
ら、金属蓋体を基準電位に接地し、さらに電極間隙Ｇを
保証減衰量のピーク値及びその近傍に設定することによ
り、保証減衰量を最大級に高めることができる。ちなみ
に、２２ＭＨｚの場合を例にとると、金属蓋体１０を基
準電位に接地することにより１９ｄＢ、電極間隙Ｇを保
証減衰量のピーク値に設定することにより３０ｄＢ向上
でき、単に水晶片１を密閉容器２内に封入した場合に比
し、その合計で約６０ｄＢ向上できる。また、この実施
例では、金属蓋体１０を基準電位に接地するに際し、絶
縁性枠体１２のスルーホールにより行ったので、例えば
枠表面を経由してあるいはボンディング等で接続した場
合に比し、電気的な内部接触のおそれがなく好都合とす
る。
【０００８】上記実施例では、シールド電極１６と金属
蓋体１０とはスルーホールにより行ったが、他の方法で
あってもよいことは勿論である。このように本発明は種
々の変形が可能であり、基本的には、水晶片１の保持構
造等は任意に設計してよく、要は、金属蓋体を基準電位
に接地し、シールド電極１６と入出力電極３，４の電極
間隙Ｇを保証減衰量のピーク値となる程度に近接させた
て構成したものは、本発明の技術的範囲に包含される。
そして、シールド電極１６は金属板等であってもよいこ
とは勿論である。
蓋体１０とはスルーホールにより行ったが、他の方法で
あってもよいことは勿論である。このように本発明は種
々の変形が可能であり、基本的には、水晶片１の保持構
造等は任意に設計してよく、要は、金属蓋体を基準電位
に接地し、シールド電極１６と入出力電極３，４の電極
間隙Ｇを保証減衰量のピーク値となる程度に近接させた
て構成したものは、本発明の技術的範囲に包含される。
そして、シールド電極１６は金属板等であってもよいこ
とは勿論である。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、電極間隙に最適値（特異点）
のあることを見い出し、金属蓋体を基準電位に接地した
上で、電極間隙を保証減衰量のピーク値及びその近傍に
設定したので、保証減衰量を高める多重モード振動子を
提供でき、その実際上のメリットには非常に大きいもの
がある。
のあることを見い出し、金属蓋体を基準電位に接地した
上で、電極間隙を保証減衰量のピーク値及びその近傍に
設定したので、保証減衰量を高める多重モード振動子を
提供でき、その実際上のメリットには非常に大きいもの
がある。
【第１図】本発明の一実施例を説明する多重モード振動
子の断面図である。
子の断面図である。
【第２図】本発明の作用効果を説明する、保証減衰量を
示す帯域特性図である。
示す帯域特性図である。
【第３図】本発明の作用効果を説明する電極間隙Ｇに対
する保証減衰量の特性図で、同図（ａ）は中心周波数を
２２ＭＨｚ、同図（ｂ）は４５ＭＨｚ、同図（ｃ）は９
０ＭＨｚの場合である。
する保証減衰量の特性図で、同図（ａ）は中心周波数を
２２ＭＨｚ、同図（ｂ）は４５ＭＨｚ、同図（ｃ）は９
０ＭＨｚの場合である。
【第４図】本発明の作用効果を説明する模式図で、電極
間隙Ｇが２５μｍ以上離れて接近したときの図である。
間隙Ｇが２５μｍ以上離れて接近したときの図である。
【第５図】本発明の作用効果を説明する模式図で、電極
間隙Ｇが２５μｍ以内に接近したときの図である。
間隙Ｇが２５μｍ以内に接近したときの図である。
【第６図】従来例を説明する多重モード振動子の断面図
である。
である。
【第７図】同図（ａ）は従来例を説明する水晶片の一方
の主面の図で、同図（ｂ）は他方方の主面の図である。
の主面の図で、同図（ｂ）は他方方の主面の図である。
【第８図】従来例を説明する基板の平面図である。
【第９図】多重モード振動子の保証減衰量を示す帯域特
性図である。
性図である。
１ 水晶片、２ 密閉容器、３ 入力電極、４ 出力電
極、５ 共通電極、６、７、８ 引出電極、９ 容器本
体、１０ 金属蓋体、１１ 基板、１２ 枠体、１３
溶接リング、１４、１５ 接続用電極、１６ シールド
電極、１７導電性接着剤、１８端子部、１９ 導通電
極．
極、５ 共通電極、６、７、８ 引出電極、９ 容器本
体、１０ 金属蓋体、１１ 基板、１２ 枠体、１３
溶接リング、１４、１５ 接続用電極、１６ シールド
電極、１７導電性接着剤、１８端子部、１９ 導通電
極．
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−141157（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−65707（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−261211（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−119406（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−98207（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−117934（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60
Claims (2)
- 【請求項１】一方の主面に入出力電極を形成されて前記
入出力電極から外周部に引出電極延出し、他方の主面に
共通電極の形成された水晶片と、前記水晶片の一方の主
面と対向する側にシールド電極の形成され、前記水晶片
の引出電極と導電性接着剤によって接続する接続用電極
を有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の外周に設けら
れた絶縁性枠体と、前記絶縁性枠体上に設けられて前記
シールド電極と同電位に接続する金属蓋体とを具備し、
保証減衰量を高めた表面実装用の多重モード水晶振動子
であって、 前記接続端子の厚みを前記シールド電極よりも大きくし
て前記導電性接着剤との合計厚みを、前記水晶片の一方
の主面とシールド用電極との間隙が保証減衰量のピーク
値の存在する１５μｍから４０μｍ以内としたことを特
徴とする多重モード水晶振動子。 - 【請求項２】一方の主面に入出力電極を形成されて前記
入出力から外周部に引出電極を延出し、他方の主面に共
通電極の形成された水晶片と、前記水晶片の一方の主面
と対向する側にシールド電極の形成され、前記水晶片の
引出電極と導電性接着剤によって接続する接続用電極を
有する絶縁性基板と、前記絶縁性基板の外周に設けられ
た絶縁性枠体と、前記絶縁性枠体上に設けられて前記絶
縁性枠体に設けられた貫通孔の導通電極により、前記シ
ールド電極と同電位に接続される金属蓋体とを具備し、
保証減衰量を高めた表面実装用の多重モード水晶振動子
であって、 前記接続端子の厚みを前記シールド電極よりも大きくし
て前記導電性接着剤との合計厚みを、前記水晶片の一方
の主面とシールド用電極との間隙が保証減衰量のピーク
値の存在する１５μｍから４０μｍ以内としたことを特
徴とする多重モード水晶振動子。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25734492A JP3203064B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 多重モード水晶振動子 |
| KR1019930013862A KR0135404B1 (ko) | 1992-07-31 | 1993-07-21 | 다중모드 수정진동자 |
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