JPH0685599A

JPH0685599A - 多重モード水晶振動子

Info

Publication number: JPH0685599A
Application number: JP25734592A
Authority: JP
Inventors: Kiyohisa Inao; 清久稲尾; Koji Mizuki; 宏治水木; Masanori Kumagai; 正紀熊谷; Takeo Seki; 竹夫関
Original assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date: 1992-08-31
Filing date: 1992-08-31
Publication date: 1994-03-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】表面実装用多重モード水晶振動子の保証減衰
量、周波数温度特性、クリスタルインピーダンス及び耐
衝撃性を改善する。【構成】一方の主面に入出力電極３，４、他方の主面
に共通電極５の形成された水晶片と、これの一方の主面
と対向する側にシールド電極１６の形成された絶縁性基
板１１と、基板の外周に設けられた絶縁性枠体１２と、
この１２上に設けられ、前記シールド電極に電気的に接
続する金属蓋体１０とを具備し、前記入出力電極３，４
から両端外周部に引出電極８を延出して、これに接続用
の電極ランド２１を重畳して設けるとともに、引出電極
８と電極ランド２１とのいずれか一方をＡｌとし、電極
ランド２１を導電性接着剤により絶縁性基板１１上に固
着して水晶片の両端外周部を保持するとともに、前記水
晶片の一方の主面とシールド用電極との電極間隙を保証
減衰量のピーク値及びその近傍に設定した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＭＣＦ（Monolithic Cry
stal Filter）としての多重モード水晶振動子（多重モ
ード振動子とする）を利用分野とし、特に表面実装用と
した多重モード振動子の電気的特性及び耐衝撃性を良好
とする多重モード振動子に関する。

【発明の背景】多重モード振動子は、水晶片に形成した
例えば二組の電極対間の音響的結合を利用し、所定のフ
ィルタ特性（伝送特性）を得るものとして通信機器等に
有用されている。近年では、抵抗、コンデンサ等に代表
されるような表面実装用とした多重モード振動子が要求
されている。例えばこのようなものに、本出願人による
ものがある（参照：実願昭60-118993、特願昭63-27398
1、特願平1-83007号）。

【０００３】

【従来技術】第１７図及び第１８図（ａｂ）は表面実装
用とする場合の多重モード振動子を説明する図である。
なお、第１７図は断面図、第１８図（ａｂ）は水晶片の
表裏面を示す図である。多重モード振動子は、水晶片１
を密閉容器２に封入して形成される。水晶片１は例えば
厚みすべり振動姿態のＡＴカットとする。一方の主面１
ａには分割された入出力電極３、４を、他方の主面１ｂ
には共通電極５が形成される。入出力電極３、４と共通
電極５からは、両端外周部に引出電極６、７、８（ａ
ｂ）を延出する。密閉容器２は凹状の積層構造の容器本
体９に金属蓋体１０をシーム溶接して形成される。容器
本体９は、基板１１と枠体１２と溶接リング１３とから
なる。基板１１は、両端側に入出力用の接続電極１４、
１５を、中央部分にシールド電極１６を有し、容器外表
面に延出して表面実装用の外部端子となる。そして、水
晶片１の一方の主面１ａを基板１１に対向させて保持す
る。すなわち、入出力電極３、４の形成された両端外周
部を接続電極１４、１５上に導電性接着剤１７をもって
固着し、電気的・機械的に接続する。また、他方の主面
１ｂの共通電極５の引出電極８はワイヤ１８のボンディ
ングによりシールド電極１６に接続する。このようなも
のでは、基板１１にシールド電極１６を設けたので、入
出力電極３、４間の電気的結合により直接的に伝搬する
漏れ信号を遮蔽し、保証減衰量を高めることができる。
但し、ここでの保証減衰量は第１９図に示したように、
中心周波数ｆ₀から９１０ＫＨｚ下がった点での減衰量
Ａ（ｄＢ）を指す。

【０００４】

【従来技術の問題点】しかしながら、上記構成の多重モ
ード振動子では、水晶片１の両端外周部を固着する所謂
両端保持とする。このため、接着剤１７の硬化時におけ
る収縮力により、水晶片１の特に長さ方向に歪や応力を
発生する。その結果、特に応力感度特性に起因して周波
数温度特性の劣化を招き、両端保持はその実用化が困難
であった。このことから、一般には、第２０図に示した
ように、水晶片１の一端部のみを保持し、他端側を自由
端として長さ方向の応力発生を防止することが考えられ
る。しかし、一端部保持であっても、一端部の全領域や
両側を接着剤１７により固着した場合には「第２１図
（ａｂ）」、幅方向に応力が発生する。また、一端部の
一部のみを点的に固着した場合は「同図（ｃ）」、接続
強度が不充分となる。そして、一端部保持の何れの場合
でも、自由端とした他端部が上下に揺動し、結果的に
は、その部分での水晶片１の破損やワイヤ１８の離脱及
び断線、さらには一端部の接合強度を弱まらせる問題が
あった。また、上記構成のものでは、水晶片１の入出力
電極と基板１１のシールド電極１６との電極間隙Ｇを極
端に小さくすると、その期待に反して保証減衰量が低下
する問題もあった。

【発明の着目点及び目的】本発明は、基本的には、保証
減衰量を最大にする電極間隙に最適値のあることを見い
出すとともに、両端保持の方が水晶片の安定な保持を確
保して、破損等の耐衝撃性を向上できる点に主眼を置
き、第１に保証減衰量及び周波数温度特性を、第２にク
リスタルインピーダンス（以下ＣＩとする）を、第３に
耐衝撃性をさらに向上する多重モード振動子を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【解決手段】本発明は、水晶片の入出力電極から両端外
周部に引出電極を延出して、該引出電極に接続用の電極
ランドを重畳して設けるとともに、前記引出電極と電極
ランドとのいずれか一方をＡｌとし、前記水晶片の電極
ランドを導電性接着剤により基板上に固着して該水晶片
の両端外周部を保持し、更に前記水晶片の一方の主面と
シールド用電極との電極間隙を保証減衰量のピーク値及
びその近傍に設定して構成したことを基本的な解決手段
とする。以下、上記各目的に応じた実施例により作用と
ともに詳述する。

【０００６】

【実施例】第１図、第２図及び第３図は本発明の実施例
を説明する図で、第１図は多重モード振動子の断面図、
第２図（ａｂ）は水晶片の表裏面の図、第３図は基板の
平面図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号
を付与し、その説明は簡略する。多重モード振動子は、
前述同様に水晶片を密閉容器に封入して形成される。水
晶片１は、一方の主面１ａの入出力電極３、４から延出
した引出電極６、７上に、これとは異なる金属の電極ラ
ンド２０、２１を重畳する。この例では、入出力電極
３、４及び引出電極６、７は水晶表面から順次、Ｃｒ、
Ｃｒ−Ａｇ、Ａｇ、Ｃｒの４層構造（以下ＣｒＡｇ混在
層とする）とする。また、電極ランド２０、２１はＡｌ
の一層構造とし、いずれも蒸着により形成される。な
お、引出電極６、７は、水晶片１の一方の対角線上の角
部に延出し、電極ランド２０、２１は対角部から端部に
沿う幅方向に延出する。他方の主面１ｂの共通電極５か
らの引出電極８（ａｂ）は、他方の対角線上の角部に延
出する。なお、水晶片１の外形は、長さ（ｚ’軸方向）
５ｍｍ、幅（ｘ軸方向）２．５ｍｍ、厚み（ｙ’軸方
向）約８０μｍ（中心周波数約２１ＭＨｚ）である。密
閉容器は、入出力用接続電極１４、１５及びシールド電
極１６を有する基板１１、枠体１２、溶接リング１３を
積層した容器本体９と金属蓋体１０とからなる。そし
て、枠体の複数箇所に貫通孔を設け、シールド電極１６
の端子部１８と溶接リング１３とを導通電極１９により
電気的に接続する（所謂スルーホール）。すなわち、溶
接リング１３とこれに接合する金属カバー１０を基準電
位（シールド電極）に接地する。これらは、容器本体９
の焼成時に一体的に形成される。そして、水晶片１の電
極ランド２０、２１を、基板１１の入出力用接続電極１
４、１５上に、導電性接着剤接着材により固着し、両端
保持とする。但し、シールド電極と入出力用接続電極１
４、１５との間隙を２５μｍ近傍に設定する。なお、導
電性接着剤１７としては、鉛筆硬度で２Ｂ以下の例えば
ウレタン系の導電性接着剤を使用した。また、共通電極
５の引出電極８ａ又はｂが基板１１のシールド電極１６
の端子部２２にワイヤボンディング１８により接続され
る。

【０００７】このような構成であれば、第４図に示した
ように、本来の３次曲線に近接した良好な周波数温度特
性を維持できる。なお、本実施例のものは曲線（イ）、
従来のものは曲線（ロ）である。すなわち、従来のもの
では、接着剤１７の硬化時における収縮が、水晶片１と
引出電極６、７及び入出力電極３、４との界面に摩擦を
生じて、水晶片１の表面に張力（応力）を発生させる。
そして、この張力が厚みすべり振動に多大な影響を及ぼ
し、応力感度特性により本来の周波数温度特性を損なわ
せる。これに対し、本発明では、接着剤１７が収縮して
も、引出電極６、７と電極ランド２０、２１との界面に
すべり現象を生じ、水晶片１の表面に生ずる張力を緩和
する。すなわち、電極ランド２０、２１をＡｌとしたの
で、引出電極６、７との間に酸化膜を生じ、この酸化膜
が両者間の結合を弱めてすべりを助長する。したがっ
て、上記構成の電極構造であれば、特に励振部分での張
力による歪発生がなく、厚みすべり振動へ与える影響が
小さく、本来の周波数温度特性を得ることができる。ま
た、両端保持としたので、一端保持に比較して、基本的
には耐衝撃性を良好にする。

【０００８】また、金属カバー１０を基準電位（シール
ド電極）に接地した上で、入出力電極３、４とシールド
電極との間隙を２５μｍ近傍にしたので、保証減衰量を
約８０ｄＢにできた。第５図は、電極間隙（横軸、μ
ｍ）と保証減衰量（縦軸、ｄＢ）との関係を説明する図
である。なお、電極間隙Ｇは日商精密光学社製のデプス
計測機（μDEPTH&HEIGHT MESURING SCOPE MODEL-KY90）
により測定した。図から明かなように、電極間隙Ｇが充
分に大きい１００μ程度時にはほぼ一定値（５０ｄＢ）
を示し、これから小さくなるほど、保証減衰量は高ま
る。そして、１５から４０μｍ中の２５μｍ近傍でピー
ク値８０ｄＢを迎え、これ以下になると急激に減少す
る。なお、金属蓋体を未接地とした場合には、保証減衰
量は３９ｄＢとなる。すなわち、第６図に示したよう
に、電極間隙Ｇがピーク値となる例えば２５μｍ以上に
離れて接近する場合は、入出力電極３、４間の電気的結
合（浮遊容量Ｃ₁）による漏れ信号Ｐ₁が、シールド電極
１６に流入（吸引）して基準電位に流出する。したがっ
て、入出力電極３、４間が遮蔽されて保証減衰量は増加
する。次に、第７図に示したように、電極間隙Ｇが２５
μｍ以内に接近すると、入出力電極３、４とシールド電
極１６との間に浮遊容量Ｃ₂、Ｃ₃を発生する。そして、
この浮遊容量Ｃ₂、Ｃ₃を経由して入力電極３から出力電
極４に漏れ信号Ｐ₂が漏洩する。したがって、保証減衰
量は急激に低下すると推測される。このようなことか
ら、金属蓋体を基準電位に接地し、さらに電極間隙Ｇを
保証減衰量のピーク値及びその近傍に設定することによ
り、保証減衰量を最大級に高めることができる。ちなみ
に、２２ＭＨｚの場合を例にとると、金属蓋体１０を基
準電位に接地することにより３０ｄＢ、電極間隙Ｇを保
証減衰量のピーク値に設定することにより３０ｄＢ向上
でき、単に水晶片１を密閉容器２内に封入した場合に比
し、その合計で約６０ｄＢ向上できる。

【０００９】なお、上記実施例では、特に周波数温度特
性及び保証減衰量は改善されても、ＣＩは充分に満足す
る結果には至らなかった。すなわち、Ａｌとした電極ラ
ンド２０、２１の表面上に酸化膜が生じ易く、その後に
導電性接着剤により固着するので、導通度を悪化させる
ためである。

【００１０】

【第２実施例】第８図はこの点の解決策を第２実施例と
して説明する図で、同図（ａ）は電極構造図で、同図
（ｂ）は接着剤の塗布位置を示す図である。この実施例
では、電極ランド２０、２１を形成した後、その上に引
出電極６、７を重畳させる。そして、引出電極６、７を
中心として電極ランド２０、２１上にまたがって接着剤
１７を塗布する。このような構造にしたところ、周波数
温度特性もＣＩも良好な特性を得ることができた。すな
わち、前述したように、引出電極６、７と電極ランド２
０、２１との界面における酸化膜の作用ですべり現象を
起こして、励振部分に応力を発生させないことから、周
波数温度特性を良好に維持できる。但し、前述のものよ
りは、引出電極６、７の端部は接着剤１７により固定さ
れるので、すべり現象は阻害されると考えられる。そし
て、接着剤１７はＣｒＡｇ混在層とした引出電極６、７
と直接に接触するので、導通度は損なわれることがな
い、したがってこれによりＣＩ低下を防止する。なお、
Ｃｒは比抵抗も大きく酸化膜を生成しやすいが、Ａｇ層
を混在するので導通不良を起こさない。ちなみに、この
場合でのＣＩは、従来の両端保持における１０５Ωに対
して、５７Ωであった。但し、ＣＩはｆａモード（斜対
称モード）による。

【０００９】上記電極構造では、励振電極３、４及び引
出電極６、７をＣｒＡｇ混在層とし、電極ランド２０、
２１をＡｌとしたが、これとは逆に、第９図に示したよ
うに、励振電極３、４及び引出電極６、７をＡｌとし、
電極ランド２０、２１をＣｒＡｇ混在層としてもよい。
すなわち、この場合でも、周波数温度特性は前述同様の
すべり現象により良好に維持できる。そして、固着の際
には、ＣｒＡｇ混在層とした電極ランド２０、２１に導
電性接着剤が施されるので、導通不良をおこすことな
く、ＣＩを良好にする。但し、電極ランド２０、２１と
引出電極６、７との界面にＡｌが存在するので、Ａｌの
酸化膜による導通度への影響を及ぼす。したがって、第
１０図に示したように引出電極６、７と電極ランド２
０、２１との接触面積を大きくするとよい。また、第１
１図に示したようにＣｒＡｇ混在層とした電極ランド２
０、２１上に、Ａｌとした引出電極６、７を重畳させて
もよいことは勿論である。そして、この電極構造は励振
電極３、４を質量の小さなＡｌとするので、特に周波数
調整の関係から、例えば９０ＭＨｚとする高周波数帯の
多重モード振動子に適する。

【００１０】このようなことから、両端保持とした上
で、耐衝撃性、周波数温度特性、保証減衰量及びＣＩを
良好にできる。しかし、単に、両端保持としたとして
も、すなわち両端部の前述の一端側あるいは中央（第１
２図）を点的に保持したとしても、その強度が不充分で
ある。したがって、両端部の両側を点的に保持する４点
保持が望ましくなる。以下、この点の解決策を第３の実
施例により説明する。

【０００８】

【第３実施例】第１３図は本発明の第３実施例に至った
理由を説明する図で、接着剤１７の塗布方法によって、
水晶片１に生ずる歪量に差異のあることを示すためのも
のである。なお、第１３図（ａｂ）は接着剤１７を水晶
片１の一端部両側の表面に直接施して固着した場合の
図、同図（ｃｄ）は水晶片１の一端部の幅方向に電極２
３を設けて同様に固着した場合の図である。第１４図
（ａ）は、これらの塗布方法による、縦軸を歪量ｄ（μ
ｍ）とした実験結果図である。なお、ここでの歪量は、
測定器ＺＹＧＯシステムを使用して、接着剤１７の硬化
後における水晶片表面の上下差ｄを測定したものである
「同図（ｂ）」。これから明かなように、水晶片１に直
接接着剤１７を施して保持した方が、電極２３上を介在
させて保持するよりも、水晶片１に発生する歪量は約
１．５倍大きくなる。すなわち、水晶片１と接着剤１７
の接合強度が、電極２３を介在させた場合よりも大きい
ので、硬化時における収縮力が直接的に影響を及ぼす。
また、電極２３を介在させた場合には、電極２３と水晶
片１との接合強度が小さいため、両者間ですべり等の現
象を引き起こして収縮力が緩和される結果と考えられ
た。したがって、水晶片１に直接接着剤を施した場合
は、その歪量が大きくて破損しやすく、耐衝撃性を悪化
させる。これに対し、電極２３上に接着剤１７を施した
場合は、歪量が小さく破損を防止して耐衝撃性を良好に
する。なお、接着剤１７の塗布位置が近接すると、収縮
時における歪が両者間に集中して破損しやすく、また離
間するほど歪が緩和されて破損しにくい。このようなこ
とから、基本的には、４点保持する場合、例えば第１５
図（ａｂ）に示したように、各電極ランド２０、２１に
おける両側の表面上に接着剤１７を施してやれば、歪に
よる破損を防止できる。しかし、この場合には、水晶片
１の表面に対する電極ランド２０、２１の付着強度は弱
いため、電極ランド２０、２１が水晶片１の表面から剥
離しやすくて、電気的導通の損なわれる問題を生ずる。
このことから、例えば第１６図（ａｂ）に示したよう
に、接着剤１７は、電極ランド２０、２１の幅方向の一
側では電極ランド２０、２１内に位置し、他側では電極
ランド２０、２１と水晶片１とにまたがった位置にして
固着する。このような固着方法であれば、前述したよう
に電極ランド２０、２１が介在することにより、収縮時
における水晶片１の歪が緩和されて、各電極ランド２
０、２１の一側では、接着剤１７に対して言わば自由端
となる。また、他側では、接着剤１７が水晶片表面に固
着するのでこれによる歪が発生するものの、一側が自由
端であるためにその歪がにげやすく破損を防止する。そ
して、他側において、接着剤１７が直接に電極ランド２
０、２１と水晶片１にまたがって塗布されるので、電極
ランド２０、２１の剥離強度も増して電気的導通をも維
持できる。したがって、前実施例の電極構造に加えて、
このような４点保持であれば、電気的特性を損なうこと
なく、耐衝撃性を向上した両端保持を達成できる。な
お、この例では各対角線上の角部を一側及び他側とする
ので、幅方向のみならず、長さ方向についても同様なこ
とが言える。

【０００９】

【他の事項】上記各実施例では、共通電極５の引出電極
８からの電極導出はワイヤボンディングとしたが、例え
ば引出電極８を入出力電極面側に折り返し、前述した接
着方法を用いて固着して導出してもよいものである。ま
た、水晶片１の外形寸法及び方向は実施例に限らず、本
発明は基本的には長さ方向をｘ軸方向としても、その寸
法を代えても適用できるものである。また、電極間隙Ｇ
は入出力電極３、４の厚みをシールド電極１６よりも大
きくして得たが、導電性接着剤の厚みをもって電極間隙
Ｇを得るようにしてもよい。また、シールド電極１６と
金属蓋体１０とはスルーホールにより行ったが、他の方
法であってもよく、本発明は種々の変形が可能である。
なお、本出願はすでに出願された特願平４−４６００８
号、同４−１０６０４５号、平成４年７月３１日、同８
月７日及び同８月３１日付けの特許願「多重モード水晶
振動子」等を組み合わせたもので、それらも参照して戴
きたい。

【００１０】

【発明の効果】本発明は、水晶片の入出力電極から両端
外周部に引出電極を延出して、該引出電極に接続用の電
極ランドを重畳して設けるとともに、前記引出電極と電
極ランドとのいずれか一方をＡｌとし、前記水晶片の電
極ランドを導電性接着剤により絶縁性基板上に固着して
該水晶片の両端外周部を保持し、更に前記水晶片の一方
の主面とシールド用電極との電極間隙を保証減衰量のピ
ーク値及びその近傍に設定して構成したので、周波数温
度特性、耐衝撃性、ＣＩ及び保証減衰量を良好にでき、
表面実装用として優れた多重モード振動子を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【第１図】本発明の第１実施例を説明する多重モード振
動子の断面図である。

【第２図】本発明の第１実施例を説明する図で、同図
（ａ）は水晶片の一方の主面の電極構造図（平面図）、
同図（ｂ）は他方の主面の図である。

【第３図】本発明の第１実施例を説明する基板の平面図
である。

【第４図】本発明の第１実施例の作用効果を説明する周
波数温度特性図である。

【第５図】本発明の第１実施例の作用効果を説明する電
極間隙Ｇに対する保証減衰量の関係図である。

【第６図】本発明の第１実施例の作用を説明する模式図
で、電極間隙Ｇが２５μｍ以上離れて接近したときの図
である。

【第７図】本発明の第１実施例の作用を説明する模式図
で、電極間隙Ｇが２５μｍ以内に接近したときの図であ
る。

【第８図】本発明の第２実施例を説明する図で、同図
（ａ）は電極構造図で、同図（ｂ）は接着剤の塗布位置
を示す図である。

【第９図】本発明の第２実施例の他の例を説明する電極
構造図である。

【第１０図】本発明の第２実施例の他の例を説明する電
極構造図である。

【第１１図】本発明の第２実施例の他の例を説明する電
極構造図である。

【第１２図】本発明の第２実施例の他の例を説明する電
極構造図である。

【第１３図】本発明の第３実施例を説明する図で、同図
（ａ）は接着剤１７を水晶片１の一端部両側の表面に直
接施した水晶片の平面図、同図（ｂ）は同水晶片を基板
に固着した場合の断面図、同図（ｃ）は水晶片１の一端
部に電極２３設けて一端部両側に導電性接着剤を施した
水晶片の平面図、同図（ｄ）は同水晶片を基板に固着し
た場合の断面図である。

【第１４図】本発明の第３実施例を説明する図で、同図
（ａ）は第１０図の塗布方法による水晶片の歪量ｄ（μ
ｍ）を示す実験結果図、同図（ｂ）は水晶片の歪量ｄを
定義する断面図である。

【第１５図】本発明の第３実施例を示す水晶片の図で、
同図（ａ）（ｂ）ともに水晶片の平面図である。

【第１６図】本発明の第３実施例を示す水晶片の図で、
同図（ａ）（ｂ）ともに水晶片の平面図である。

【第１７図】従来例を説明する多重モード振動子の断面
図である。

【第１８図】従来例を説明する図で、同図（ａｂ）とも
に電極構造を示す水晶片の平面図である。

【第１９図】従来例を説明する多重モード振動子の保証
減衰量を示す帯域特性図である。

【第２０図】他の従来例を説明する多重モード振動子の
断面図である。

【第２１図】従来例を説明する図で、同図（ａ）（ｂ）
（ｃ）ともに水晶片の平面図である。

【符号の説明】

１水晶片、２容器、３入出電極、４出力電極、
５共通電極、６、７、８引出電極、９容器本体、
１０蓋体、１１基板、１２枠体、１３溶接リン
グ、１４、１５接続用入出力電極、１６シールド電
極、１７接着剤、１８ワイヤ、２０、２１電極ラ
ンド、２３電極．

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者関竹夫埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の２日本電波工業株式会社狭山事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方の主面に入出力電極を形成され、他
方の主面に共通電極の形成された水晶片と、前記水晶片
の一方の主面と対向する側にシールド電極の形成された
絶縁性基板と、基板の外周に設けられた絶縁性枠体と、
該絶縁性枠体上に設けられ、前記シールド電極に電気的
に接続する金属蓋体とを具備し、前記入出力電極から両端外周部に引出電極を延出して、
該引出電極に接続用の電極ランドを重畳して設けるとと
もに、前記引出電極と電極ランドとのいずれか一方をＡ
ｌとし、前記電極ランドを導電性接着剤により前記絶縁性基板上
に固着して水晶片の両端外周部を保持するとともに、前
記水晶片の一方の主面とシールド用電極との電極間隙を
保証減衰量のピーク値及びその近傍に設定してなる多重
モード水晶振動子。
【請求項２】請求項１において、前記電極ランドをＡｌ
とし、該電極ランド上に引出電極を重畳させ、該引出電
極上から前記電極ランドにまたがって導電性接着剤接着
剤を施し前記基板上に固着したことを特徴とする多重モ
ード水晶振動子。
【請求項３】請求項１において、前記引出電極をＡｌと
し、該引出電極上に電極ランドを重畳させて該重畳面積
を大きくしたことを特徴とする多重モード水晶振動子。
【請求項４】請求項１において、前記電極ランドを水晶
片の両端部の幅方向に形成して、前記導電性接着剤を各
電極ランドの両側に設けるとともに、各電極ランドの一
側では電極ランド内に位置し、他側では電極ランドと水
晶片の表面にまたがって位置した状態として、該水晶片
を前記基板に固着したことを特徴とする多重モード水晶
振動子。