JP3202189B2 - 免震テーブル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、免震テーブルに係
り、特に、日常生じる微細な振動から震災のような大き
な振動にまで対応し得る免震テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の免震テーブルとしては、床面上に
直接配置する基台と、この基台上に一定方向について移
動自在に装備された保護対象物を載置する載置台とを備
え、基台と載置台との間に、当該載置台の移動方向に抗
するコイルバネと粘性ダンパを装備したものが知られて
いる。

【０００３】かかる免震テーブルは、一定方向の振動に
対してバネ作用と粘性減衰の効果を利用して基台側から
載置台側への振動の伝達を抑制する効果を有している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例ににあっては、バネ作用を得るためのコイルバネと
粘性減衰効果を得るための粘性ダンパとを個別に装備し
ているため、装置全体の部品点数が増え，装置が複雑化
するため、生産性が悪く、メンテナンス等の面で保守性
も低下するという不都合が生じていた。

【０００５】又、基台と載置台との間に、コイルバネと
粘性ダンパの双方を設ける構造のため、装置全体が特に
高さ方向について大型化していた。

【０００６】即ち、従来のように、コイルバネをその中
心軸方向に変形させるタイプのものでは、保護対象が軽
い場合には、コイルバネに座屈を起こさせずに長いスト
ロークに渡って柔らかいバネ作用を得るために、コイル
の直径を非常に大きくしなければならないという不都合
があった。

【０００７】

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、生産性が良く、装置の小型化を実現し得る免
震テーブルを提供することを、その目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、平坦面上に配置される基
台と、この基台上にＸ−Ｙ方向への往復移送を自在とす
る二軸移動機構を介して装備された水平な載置面を有す
る載置台と、基台と載置台との間に装備され載置台のＸ
−Ｙ面内での往復振動についてこれをそれぞれを制振す
る制振機構とを備えている。

【０００９】二軸移動機構は、基台上に固定された二本
のＸ軸ガイドレールと、載置台の下面に固定された二本
のＹ軸ガイドレールと、この各ガイドレールの交差部分
に装備され前述した各ガイドレールに沿って個別に滑動
する滑動体を有すると共に当該交差する各レールに個別
に係合する四個の連結体とによって構成されている。 又
制振機構は、圧縮により弾性変形する防振器を有すると
共に、この制振機構を、前述した各軸方向に沿った往復
振動の往路の方向と復路の方向とに個別に対応して計四
つ装備する。

【００１０】更に、各制振機構の一端部に個別に対向し
て当該制振機構の圧縮時の反力を基台に伝える基台側対
向部材を設けると共に、この基台側対向部材に対応して
装備され，各制振機構の他端部に個別に対向して当該制
振機構の圧縮時の反力を載置 台に伝える載置台側対向部
材を設ける。そして、前述各制振機構の一端部と他端部
のいずれか一方のみを、対向するいずれかの基台側対向
部材又は載置台側対向部材を介して、基台と載置台のい
ずれかに固定装備する、という構成を採っている。

【００１１】このため、この請求項１記載の発明では、
各制振機構は、それぞれ対応する基台の対向部材と載置
台の対向部材との間に配設された状態となっていること
から基台側に振動を生じ、載置台が基台に対して相対的
に振動を生じると、各制振機構の防振器は各対向部材に
挟まれて圧縮が行われる。このとき、制振機構は、載置
台の四方に展開されるため、当該載置台がどの方向に振
動しても、いずれかの制振機構が圧縮されて、前述した
免振効果が生じる。

【００１２】又、この請求項１記載の発明では、各制振
機構が、固定装備された対向部材を介して前述した基台
又は載置台と共に制振動作を行う。 即ち、基台側で振動
が生じた場合に、その振動が水平面のいずれの方向であ
っても、二軸の各々の方向成分に分解され、各成分ごと
に個別に制振が行われる。そして、各軸に沿った成分の
振動により、対応する防振器が圧縮される。 かかる振動
の際に両側の対向部材が接近した場合には、それらに挟
まれて制振機構はそのまま圧縮されるが、両側の対向部
材が離間した場合には、制振機構は他方の対向部材に連
結されているわけではないので、そのまま自然長に戻っ
てそれ以上伸張されることはない。

【００１３】請求項２記載の発明では、前述した請求項
１記載の免震テーブルにおいて、各制振機構が備えてい
る防振器を、無数の細ワイヤを寄り合わせてなるワイヤ
ロープと、このワイヤロープを螺旋状に巻回した状態で
保持する保持具とにより構成すると共に、この防振器を
その螺旋形状の中心軸に垂直に交差する方向に圧縮する
ことにより制振機能をなし得るようにした、という構成
を採っている。

【００１４】このため、この請求項２記載の発明でも、
前述した請求項１記載の発明と同等 に機能する。この場
合、防振器は、中心軸に垂直な方向から圧縮され、螺旋
を描くワイヤロープ部分は、その断面形状が円形から楕
円形となるが如く弾性変形が生じ、これと同時にワイヤ
ロープを構成する無数の細ワイヤの間で摺動摩擦が生
じ、バネ作用と摩擦による熱エネルギーへの変換によっ
て各成分ごとの振動の載置台への伝達は有効に抑制され
る。

【００１５】請求項３記載の発明では、前述した請求項
１記載の免震テーブルにおいて、各制振機構が、防振器
を複数備えると共に，各防振器をその螺旋形状の中心軸
をいずれも平行にして当該中心軸と垂直な方向に一列に
配列して形成され、配列方向に沿って各防振器を同時に
圧縮することにより制振機能をなし得るようにする、と
いう構成を採っている。これは、防振器を引っ張り作用
で使用するとバネ作用が硬くなり、変位を大きく取れな
いという不都合を改善したことによる。

【００１６】上記の構成でも、前述した請求項１記載の
発明と同様の動作が行われ、各軸に沿った成分の振動に
より、対応する制振機構の列を成す防振器が同時に圧縮
され、上記の場合と同様にしてバネ作用と摩擦による熱
エネルギーへの変換によって各成分ごとの振動の載置台
への伝達は抑制される。

【００１７】請求項４記載の発明では、前述した請求項
３記載の免震テーブルにおいて、前述した制振機構の複
数の防振器を同時に保持すると共に圧縮方向に案内する
ガイドを備え、基台と載置台の少なくともいずれか一方
がガイドを支持するという構成を採っている。

【００１８】このため、この請求項４記載の発明でも前
述した請求項３記載の発明と同様の動作が行われ、各防
振器はガイドに沿って圧縮−戻り変形を行う。

【００１９】本発明は、上述した各構成によって前述し
た目的を達成しようとするものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図４に基づいて説明する。この図１乃至図４に示す
実施形態では、例えば、震災等の外部からの大きな振動
の発生時において、保護対象物への振動の伝達を極力低
減し、当該保護対象物の振動による破損，転倒を防止す
ることを目的とする免震テーブル１０を示すものであ
る。

【００２１】この免震テーブル１０は、図１の如く、平
坦面上に配置する基台１と、この基台１上に装備され，
保護対象物を載置する水平な載置面を有する載置台２
と、基台１に対する載置台２の，互いに直交する水平な
二軸方向Ｘ，Ｙに沿った往復振動を自在とする二軸移動
機構３と、載置台２の二軸方向の往復振動についてそれ
ぞれ制振する四器の制振機構４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ
（以下、全ての制振機構を総称する場合には「制振機構
４」とする）とを備える免震テーブル１０を示してい
る。以下、各部について詳説する。

【００２２】まず、基台１は、正方形状の金属の平板で
あり、所定の場所（免震テーブル１０を屋外で使用する
場合には路面，地面等、又、屋内で使用する場合には床
面）の平坦面上に配置される。正方形の各辺を成す基台
１の各端部は、それぞれＸ方向とＹ方向とに平行に設定
されている。このとき、基台１は、床面等にボルト，ネ
ジ，杭等により固定することが望ましい。

【００２３】基台１の上面には、二軸移動機構３を介し
て載置台２が装備されている。この載置台２は、基台１
と同一形状，同一寸法の金属平板であり、その上面は平
滑に形成され，保護対象物を載置するための載置面２１
となっている。この載置面２１は、基台１の底面と平行
に設定され、基台１が水平面上に配置される限り、載置
面２１も水平状態を維持する。又、正方形の各辺を成す
載置台２の各端部も、それぞれＸ方向とＹ方向とに平行
に設定されている。

【００２４】基台１と載置台２との間に介在する二軸移
動機構３は、図２に示すように、基台１上面に固定装備
されたＸ軸方向に平行な二本のＸ軸ガイドレール３１
ａ，３１ｂと、載置台２の下面に固定装備されたＹ軸方
向に平行な二本のＹ軸ガイドレール３２ａ，３２ｂと、
Ｘ軸ガイドレール３１ａとＹ軸ガイドレール３２ａとに
沿って個別に往復移動自在の二つの滑動体（コロや球体
を介して円滑に移動する）をその下部と上部とに備えた
連結体３３ａと、Ｘ軸ガイドレール３１ａとＹ軸ガイド
レール３２ｂとに沿って個別に往復移動自在の二つの滑
動体をその下部と上部とに備えた連結体３３ｂと、Ｘ軸
ガイドレール３１ｂとＹ軸ガイドレール３２ａとに沿っ
て個別に往復移動自在の二つの滑動体をその下部と上部
とに備えた連結体３３ｃと、Ｘ軸ガイドレール３１ｂと
Ｙ軸ガイドレール３２ｂとに沿って個別に往復移動自在
の二つの滑動体をその下部と上部とに備えた連結体３３
ｄとから構成される。

【００２５】各連結体３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ
は、その滑動体を介してガイドレール３１ａ，３１ｂ，
３２ｃ，３２ｄと係合するため、各Ｘ軸ガイドレール３
１ａ，３１ｂと各Ｙ軸ガイドレール３２ａ，３２ｂとが
それぞれ交差する点に常に位置している。即ち、図２
（Ａ）に示すように、四角形の各頂点に位置しており、
基台１に対して載置台２が移動しても、その位置関係は
変わらない（参照図２（Ｂ））。

【００２６】又、連結体３３ａと連結体３３ｃとは、長
板状の載置台側対向部材５５が架設状態で連結してお
り、連結体３３ｂと連結体３３ｄとは、長板状の載置台
側対向部材５６が架設状態で連結しており、連結体３３
ａと連結体３３ｂとは、長板状の基台側対向部材５７が
架設状態で連結しており、連結体３３ｃと連結体３３ｄ
とは、長板状の基台側対向部材５８が架設状態で連結し
ている。このように、各連結体３３ａ，３３ｂ，３３
ｃ，３３ｄは、各載置台側対向部材５５，５６及び各基
台側対向部材５７，５８とにより連結されて一体化して
いるが、上述したように、各連結体の位置関係は変化し
ないため、基台１に対する載置台２の移動に影響を及ぼ
すことはない。

【００２７】そして、これら連結体３３ａ，３３ｂ，３
３ｃ，３３ｄにより、載置台２は、基台１に対してＸ軸
方向とＹ軸方向のいずれにも或いはこれらの方向に同時
に移動させることができる。これにより、基台１上の各
Ｘ軸ガイドレール３１ａ，３１ｂに沿ってまず各連結体
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄが移動して、さらに、
各連結体に対して各Ｙ軸ガイドレール３２ａ，３２ｂを
介して載置台２が移動することにより、載置台２は基台
１に対してＸ軸方向とＹ軸方向の相互に平行な平面（水
平面）に沿っていずれの方向に移動させることが可能で
ある。

【００２８】次に、制振機構４について、図３及び図４
に基づいて説明する。各制振機構４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄは、いずれも同じ構造であり、八つのワイヤロープ防
振器（エニダイン社製）４０を所定方向に並べて連結し
てなる構成を採っている（図２において記載された各制
振機構４は、その圧縮方向を示すために略号化して記載
されているが、実際の制振機構４は、図１に示す構造と
なっている）。制振機構４ａ，４ｂは、Ｘ軸方向の往復
振動における往路方向の振動と復路方向の振動とにそれ
ぞれ制振を行い、制振機構４ｃ，４ｄは、Ｙ軸方向の往
復振動における往路方向の振動と復路方向の振動とにそ
れぞれ制振を行う。

【００２９】ワイヤロープ防振器４０を図３に示す。こ
のワイヤロープ防振器４０は、金属製（例えば鋼鉄，ス
テンレス等）の無数の細ワイヤを寄り合わせてなるワイ
ヤロープ４１とこのワイヤロープ４１を螺旋状に巻回し
た状態で保持する二つの保持具４２，４３とから構成さ
れ、全体的には略円筒状に形成される。詳しくは、その
中間部で二つに折り曲げられた一本のワイヤロープ４１
が同一中心軸で逆巻の螺旋を描いて互いに他方の端部に
向かって巻かれている。

【００３０】各保持具４２，４３は、いずれも、四角棒
状部材であり、その長手方向に沿って均一の間隔でワイ
ヤロープ４１を挿通する貫通穴４２ａ，４３ａが設けら
れている。ワイヤロープ４１は、螺旋を形成するため
に、半周ごとに保持具４２と保持具４３の各貫通穴４２
ａ，４３ａに交互に通されると共に、保持具４２から保
持具４３に挿通する際に、一つ隣の貫通穴４３ａに挿通
される。かかる構造により、各保持具４２，４３は、ワ
イヤロープ防振器４０の中心軸と平行に，当該中心軸を
挟んで対称となる位置に配設される。又、各保持具４
２，４３は、その両端部に、ワイヤロープ防振器４０の
中心軸に垂直な方向に沿って穿設された係合穴４２ｂ，
４３ｂを有しており、各係合穴４２ｂ，４３ｂには後述
するガイド４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄの内対応す
るものが挿通される。

【００３１】ここで、免震テーブル１０は、前述した載
置台側対向部材５５，５６及び基台側対向部材５７，５
８の他に基台側対向部材５１，５２及び載置台側対向部
材５３，５４を有している。図２（Ａ）に示すように、
基台側対向部材５１は、基台１の上面において、Ｘ軸方
向の一端部に固定装備されており、当該基台側対向部材
５１と前述した載置台側対向部材５５との間に制振機構
４ａが配設される。これにより、制振機構４ａの一端部
がこの基台側対向部材５１と対向し、他端部が載置台側
対向部材５５と対向するため、載置台２の移動によりこ
れら対向部材５１，５５の間で制振機構４ａが圧縮され
ると、その反力は、基台側対向部材５１を介して基台１
側に伝達され、且つ、載置台側対向部材５５を介して載
置台２側に伝達される。そして、制振機構４ａの一端部
は基台側対向部材５１に固定連結されるが、制振機構４
ａの他端部は載置台側対向部材５５と固定連結されな
い。

【００３２】又、基台側対向部材５２は、基台１の上面
において、Ｘ軸方向の他端部に固定装備されており、当
該基台側対向部材５２と前述した載置台側対向部材５６
との間に制振機構４ｂが配設される。これにより、制振
機構４ｂの一端部がこの基台側対向部材５２と対向し、
他端部が載置台側対向部材５６に対向するため、載置台
２の移動によりこれら対向部材５２，５６の間で制振機
構４ｂが圧縮されると、その反力は、基台側対向部材５
２を介して基台１側に伝達され、且つ、載置台側対向部
材５６を介して載置台２側に伝達される。そして、制振
機構４ｂの一端部は基台側対向部材５２に固定連結され
るが、制振機構４ｂの他端部は載置台側対向部材５６と
固定連結されない。

【００３３】更に、載置台側対向部材５３は、載置台２
の下面において、Ｙ軸方向の一端部に固定装備されてお
り、当該載置台側対向部材５３と前述した基台側対向部
材５７との間に制振機構４ｃが配設される。これによ
り、制振機構４ｃの一端部がこの載置台側対向部材５３
と対向し、他端部が基台側対向部材５７と対向するた
め、載置台２の移動によりこれら対向部材５３，５７の
間で制振機構４ｃが圧縮されると、その反力は、載置台
側対向部材５３を介して載置台２側に伝達され、且つ、
基台側対向部材５７を介して基台１側に伝達される。そ
して、制振機構４ｃの一端部は載置台側対向部材５３に
固定連結されるが、制振機構４ｃの他端部は基台側対向
部材５７と固定連結されない。

【００３４】又、載置台側対向部材５４は、載置台２の
下面において、Ｙ軸方向の他端部に固定装備されてお
り、当該載置台側対向部材５４と前述した基台側対向部
材５８との間に制振機構４ｄが配設される。これによ
り、制振機構４ｄの一端部がこの載置台側対向部材５４
と対向し、他端部が基台側対向部材５８と対向するた
め、載置台２の移動によりこれら対向部材５４，５８の
間で制振機構４ｄが圧縮されると、その反力は、載置台
側対向部材５４を介して載置台２側に伝達され、且つ、
基台側対向部材５８を介して基台１側に伝達される。そ
して、制振機構４ｄの一端部は載置台側対向部材５４に
固定連結されるが、制振機構４ｄの他端部は基台側対向
部材５８と固定連結されない。

【００３５】前述したガイド４５ａ，４５ｂは、Ｘ軸方
向に沿って基台側対向部材５１から基台側対向部材５２
に架設された状態でこれらに各端部が固定装備されてい
る。前述した各載置台側対向部材５５，５６には、これ
らガイド４５ａ，４５ｂが嵌挿される貫通穴が設けられ
ている。

【００３６】前述したガイド４５ｃ，４５ｄは、Ｙ軸方
向に沿って載置台側対向部材５３から載置台側対向部材
５４に架設された状態でこれらに各端部が固定装備され
ている。前述した各基台側対向部材５７，５８には、こ
れらガイド４５ｃ，４５ｄが嵌挿される貫通穴が設けら
れている。

【００３７】そして、これら各ガイド４５ａ，４５ｂの
前述した二軸移動機構３を挟んで一方の端部には、制振
機構４ａを構成する各ワイヤロープ防振器４０がその保
持具４２，４３の各端部に設けられた係合穴４２ｂ，４
３ｂを介して装備され、又他方の端部には、制振機構４
ｂを構成する各ワイヤロープ防振器４０が同様に装備さ
れている。

【００３８】又、各ガイド４５ｃ，４５ｄの前述した二
軸移動機構３を挟んで一方の端部には、制振機構４ｃを
構成する各ワイヤロープ防振器４０が、又他方の端部に
は、制振機構４ｄを構成する各ワイヤロープ防振器４０
が、同様にして装備されている。

【００３９】これにより、各制振機構４は、八体のワイ
ヤロープ防振器４０の螺旋形状の中心軸をいずれも平行
にして当該中心軸と垂直な方向に一列に配列して形成さ
れる（図４（Ａ））。このとき、各ワイヤロープ防振器
４０は、各ガイド４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄに対
していずれも摺動自在であり、また、各ガイド４５ａ，
４５ｂ，４５ｃ，４５ｄが各ワイヤロープ防振器４０の
中心軸に対して垂直方向に係合して保持するため、載置
台２が移動すると、移動方向先の各ワイヤロープ防振器
４０は、その中心軸に対して垂直な方向（保持具４２と
保持具４３とが互いに接近する方向）に圧縮される（図
４（Ｂ））。尚、図４中のワイヤロープ防振器４０のワ
イヤロープ４１は略図で示しており、実際は図３に示す
構造である。

【００４０】上述したワイヤロープ防振器４０は、従来
の使用方法では、各保持具４２，４３がそれぞれ別個の
物体に固定され、各物体間でそれぞれ防振器４０の中心
軸方向に沿って互いに反対方向に向かう外力を生じる振
動の抑制に使用されていたが、本実施形態では、柔らか
いバネ作用と大きなストロークを得るためにワイヤロー
プ防振器４０のワイヤロープ４１を中心軸と垂直な方向
に圧縮して弾性変形させ、これによるバネ作用とワイヤ
ロープ４１を形成する細ワイヤ間の摩擦力とにより制振
効果を得る点に特徴を有している。

【００４１】以下、上記構成からなる免震テーブル１０
の動作について説明する。基台１を固定した地面又は床
面等に振動が生じた場合、載置台側２は慣性の作用によ
り基台１と相対的に変位を生じる。このとき、この変位
の方向が、例えば、図２（Ｂ）に示すように、Ｘ方向に
対してもＹ方向に対しても傾斜している場合、載置台側
対向部材５５は、Ｘ方向における往路方向に移動し、載
置台側対向部材５３は、Ｙ方向における往路方向に移動
することになる。

【００４２】これにより、制振機構４ａは基台側対向部
材５１と載置台側対向部材５５とに挟まれ、制振機構４
ａの各ワイヤロープ防振器４０はその中心軸と垂直方向
に圧縮される。これにより、Ｘ方向については、各ワイ
ヤロープ防振器４０のワイヤロープ４１の弾性によるバ
ネ作用を生じ、また、各ワイヤロープ４１を形成する細
ワイヤ間の摺動摩擦力による熱エネルギーの転換が行わ
れ、制振効果が生じることになる。即ち、載置台２のＸ
方向における絶対的な振動は抑制される。

【００４３】又、同時に、制振機構４ｃは載置台側対向
部材５３と基台側対向部材５７とに挟まれ、制振機構４
ｃの各ワイヤロープ防振器４０はその中心軸と垂直方向
に圧縮される。これにより、Ｙ方向については、各ワイ
ヤロープ防振器４０がＸ方向の場合と同様に作用して、
載置台２のＹ方向における絶対的な振動は抑制される。

【００４４】このとき、各制振機構４ｂ，４ｄは、いず
れも一方の端部のみを基台側対向部材５２，載置台側対
向部材５４に固定し、他方の端部は自由端となっている
ため、上記方向に載置台２が移動すると、各対向部材５
６，５８から離間する。このように、各制振機構４を一
端部のみしか固定しないのは、ワイヤロープ防振器４０
がその構造上、中心軸と垂直な方向に圧縮する限りは弾
性力を生じるが、同方向に沿って互いに反対方向の張力
が働いた場合にはほとんど伸張せず、その弾性力を生じ
ることがないからである。また、制振機構４の両端部を
各対向部材に連結した場合、当該制振機構４と同方向に
沿って配設された他方の制振機構４の圧縮を妨げること
になるからである。

【００４５】又、振動により載置台２が、基台１に対し
て相対的に図２（Ｂ）に示す方向と逆方向に移動した場
合には、制振機構４ｂ，４ｄが圧縮されることにより、
同様にして載置台２のＸ，Ｙ方向における絶対的な振動
は抑制される。

【００４６】上記実施形態は以上のよう、各制振機構４
がワイヤロープ４１を螺旋状に巻回してなるワイヤロー
プ防振器４０を有し、かかるワイヤロープ防振器４０の
中心軸と垂直な方向に圧縮する構成のため、当該ワイヤ
ロープ防振器４０が、バネ作用とワイヤロープ４１内の
摺動摩擦による熱エネルギー変換を行い、載置台２の制
振を行うことが可能である。即ち、かかるワイヤロープ
防振器４０より、従来のようにコイルバネのような弾性
体と粘性ダンパの双方を必要とせず、装置全体の部品点
数が低減し、装置構成を簡略化することができ、これに
より、生産性の向上，メンテナンス等の保守性の向上を
図ることが可能となる。

【００４７】又、かかるワイヤロープ防振器４０のみに
よりコイルバネのような弾性体と粘性ダンパの双方の機
能を発揮するため、制振機構４が小型化し、免震テーブ
ル１０をより小型化することが可能である。

【００４８】更に、本実施形態では、載置台２が二軸移
動機構３によりＸ，Ｙ軸方向に平行な平面内での移動が
可能であると共に、各軸方向における往復振動の往路方
向と復路方向に対応して制振機構４を設けたため、これ
らの方向からなる平面内の全ての方向について、当該各
制振機構４が作用し、より効果的に載置台２の振動を抑
制することが可能である。

【００４９】又、制振機構４が複数のワイヤロープ防振
器４０をその中心軸と垂直な方向に沿って一列に配列し
て備える構成のため、振幅の大きな振動に対して対応し
て制振することが可能となると共に、かかる場合の免震
テーブル１０の高さ方向における大型化を防止すること
が可能である。

【００５０】更に、各ガイド４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，
４５ｄにより、一列に配設された複数のワイヤロープ防
振器４０を常に所定の圧縮方向に向けることができ、こ
れにより各制振機構４の固定されていない端部の弛み等
を防止し、常に効果的な制振効果を生ぜしめることが可
能である。

【００５１】なお、上記免震テーブル１０では、制振機
構４のバネ定数と、載置する保護対象物の重量により、
共振周波数が決定される。免震テーブル１０を震災，或
いはその他の要因による振動の予防に使用する場合は、
かかる振動の予想される周波数と一致しないように、保
護対象物の重量に基づいて共振を避けるよう、適宜なバ
ネ定数のワイヤロープ防振器４０を選定することが必要
である。例えば、震災の周波数は、およそ１［Ｈｚ］で
あるが、かかる場合には、共振周波数を０．５［Ｈｚ］
程度に設定する。

【００５２】又、このような事態を想定して、免震テー
ブル１０を、バネ定数調整のための交換自在のコイルバ
ネやバネ定数を可変自在の空気バネを各制振機構４に併
設する構成としても良い。

【００５３】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、前述したように
圧縮により弾性変形する防振器を有する制振機構を、各
軸方向に沿った往復振動の往路の方向と復路の方向とに
個別に対応して装備されており、このため、これらの方
向からなる平面内の全ての方向について、当該各制振機
構が作用し、より効果的に載置台の振動を抑制すること
が可能となり、しかも、各制振機構の一端部と他端部の
いずれか一方のみを、対向するのいずれかの基台側対向
部材又は載置台側対向部材を介して前述した基台と載置
台のいずれかに固定装備するようにしたことから、各制
振機構の一端部のみを固定する構成のため、当該制振機
構の圧縮量と伸張量の差異による影響を排除し、各制振
機構における防振器の圧縮による制振効果を損なうこと
なくより効果的に載置台の振動抑制を図ることが可能と
なり、これがため、載置台の制振を有効に行うことが可
能となっている。 又、圧縮性の防振器を前述したように
装備したので、本発明では、従来のようなコイルバネの
ような弾性体と粘性ダンパの双方を必要とせず、装置全
体の部品点数が低減し、装置構成を簡略化することがで
き、これにより、生産性の向上，更にはメンテナンス等
の保守性の向上を図ることが可能となる。また、かかる
圧縮性の防振器のみによりコイルバネのような弾性体と
粘性ダンパの双方の機能を発揮するため、制振機構が小
型化し、従来と比較して免震テーブルをより小型化する
ことが可能となっている。

【００５４】請求項２記載の発明では、上記請求項１記
載の発明と同等の作用効果を有するほか、更に、制振機
構がワイヤロープを螺旋状に巻回してなる防振器を有
し、かかる防振器の中心軸と垂直な方向に圧縮する構成
のため、当該防振器が、バネ作用とワイヤロープ内の摺
動摩擦による熱エネルギー変換を行い、載置台の制振を
有効に行うことが可能である。

【００５５】請求項３記載の発明では、上述した請求項
１記載の発明と同等の作用効果を有するほか、更に、制
振機構が複数の防振器をその中心軸と垂直な方向に沿っ
て一列に配列して備える構成のため、振幅の大きな振動
に対してもこれに対応して制振することが可能となり、
又、かかる場合の装置の高さ方向における大型化を防止
することが可能である。

【００５６】請求項４記載の発明では、上述した請求項
３記載の発明と同等の作用効果を有するほか、更に、ガ
イドにより、一列に配設された複数の防振器を常に所定
の圧縮方向に向けることができ、これにより制振機構の
一端部の弛み等を防止し、常に効果的な制振効果を生ぜ
しめることが可能である。

【００５７】本発明は、以上のように構成され機能する
ので、これによると、前述した目的を有効に達成し得る
従来にない優れた免震テーブルを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。

【図２】図１に開示した免震テーブルの一部点線化した
動作説明図であり、図２（Ａ）は振動を生じていない状
態を示し、図２（Ｂ）は斜め方向に振動を生じた場合を
示す。

【図３】図１に開示したワイヤロープ防振器の斜視図で
ある。

【図４】図４（Ａ）は制振機構の自然長状態を示す概略
図であり、図４（Ｂ）は制振機構の圧縮状態を示す概略
図である。

【符号の説明】

１ 基台 ２ 載置台 ３ 二軸移動機構 ４，４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 制振機構１０ 免震テーブル ２１ 載置面 ４０ ワイヤロープ防振器 ４１ ワイヤロープ ４２，４３ 保持具 ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ ガイド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) E04H 9/02 331 G21C 13/02 F16F 15/02 - 15/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平坦面上に配置される基台と、この基台
   上にＸ−Ｙ方向への往復移送を自在とする二軸移動機構
   を介して装備された水平な載置面を有する載置台と、前
   記基台と載置台との間に装備され前記載置台のＸ−Ｙ面
   内での往復振動についてそれぞれを制振する制振機構と
   を備え、前記二軸移動機構が、前記基台上に固定された二本のＸ
   軸ガイドレールと、前記載置台の下面に固定された二本
   のＹ軸ガイドレールと、この各ガイドレールの交差部分
   に装備され前記各ガイドレールに沿って個別に滑動する
   滑動体を有すると共に当該交差する各レールに個別に係
   合する四個の連結体とによって構成されてなる免震テー
   ブルにおいて、 前記 制振機構は、圧縮により弾性変形する防振器を有す
   ると共に、この制振機構を、前記各軸方向に沿った往復
   振動の往路の方向と復路の方向とに個別に対応して計四
   つ装備し、 前記各制振機構の一端部に個別に対向して当該制振機構
   の圧縮時の反力を前記基台に伝える基台側対向部材を設
   けると共に、この基台側対向部材に対応して装備され，
   前記各制振機構の他端部に個別に対向して当該制振機構
   の圧縮時の反力を前記載置台に伝える載置台側対向部材
   を設け、 前記各制振機構の一端部と他端部のいずれか一方のみ
   を、対向するいずれかの前記基台側対向部材又は載置台
   側対向部材を介して、前記基台と載置台のいずれかに固
   定装備した ことを特徴とする免震テーブル。
2. 【請求項２】 前記各制振機構が備えている防振器を、
   無数の細ワイヤを寄り合わせてなるワイヤロープと、こ
   のワイヤロープを螺旋状に巻回した状態で保持する保持
   具とにより構成すると共に、この防振器をその螺旋形状
   の中心軸に垂直に交差する方向に圧縮することにより制
   振機能をなし得るようにしたことを特徴とする請求項１
   記載の免震テーブル。
3. 【請求項３】 前記各制振機構が、前記防振器を複数備
   えると共に各防振器の螺旋形状の中心軸をいずれも平行
   にして該中心軸と垂直な方向に一列に 配列して形成さ
   れ、前記配列方向に沿って前記各防振器を同時に圧縮す
   ることにより制振機能をなし得るようにしたことを特徴
   とする請求項１記載の免震テーブル。
4. 【請求項４】 前記各制振機構の複数の防振器を同時に
   保持すると共に圧縮方向に案内するガイドを備え、 前記基台と載置台の少なくともいずれか一方が対応する
   前記ガイドを保持していることを特徴とした請求項３ 記
   載の免震テーブル。