JP3186451B2 - シリコンインゴット運搬用台車 - Google Patents
シリコンインゴット運搬用台車Info
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- JP3186451B2 JP3186451B2 JP19574794A JP19574794A JP3186451B2 JP 3186451 B2 JP3186451 B2 JP 3186451B2 JP 19574794 A JP19574794 A JP 19574794A JP 19574794 A JP19574794 A JP 19574794A JP 3186451 B2 JP3186451 B2 JP 3186451B2
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Description
製造工程において主に用いる運搬用台車に関する。
特開平5−131932号公報に記載れている。この公
報に記載の運搬用台車は、台車本体上にシリコンインゴ
ットを載置する傾動フレームを設け、この傾動フレーム
をピボットで支持して、水平状態からある傾斜角度まで
傾動できるようにし、さらに傾動フレームの端部に傾動
時にシリコンインゴットの下端を支持する受台を設ける
と共に、傾動フレームの途中にシリコンインゴットの長
さ方向の中間部を保持する保持機構を設け、シリコンイ
ンゴットを垂直状態にする場合は、台車本体自体を傾け
て、前記受台と台車本体に設けた支持部材とで、姿勢保
持するようにしたものである。
では、シリコンインゴットの下端を受台で支持するもの
の、先端側は長手方向の中間部を保持機構で保持するだ
けであるから、シリコンインゴットを水平状態にした際
に、もし反対側に台車が傾いた場合、シリコンインゴッ
トが先端方向に抜け落ちる可能性があった。
ンゴットの抜け落ちをより確実に防止し得る運搬用台車
を提供することを目的とする。
本体と、この台車本体の上部に設けられた軸により垂直
位置と水平位置との間で傾動自在に支持された傾動フレ
ームと、この傾動フレームに設けられ、該傾動フレーム
が水平位置にあるとき、傾動フレームの長手方向に沿っ
てセットされたシリコンインゴットを支持案内する案内
機構と、前記傾動フレームに設けられ、該傾動フレーム
が垂直位置にあるとき、傾動フレームの長手方向に沿っ
てセットされたシリコンインゴットの下端を受ける支持
台とを備えたシリコンインゴット運搬用台車において、
前記傾動フレームに、該傾動フレームの長手方向に間隔
をおいてシリコンインゴットの先端方向への移動を規制
する複数のストッパを取り付け、これら各ストッパを、
ストッパとしての使用時に前記傾動フレームの長手方向
に沿った位置に倒されてシリコンインゴットの先端外方
にて止められ、かつストッパとしての非使用時に前記傾
動フレームの長手方向と交差する方向に立てられてシリ
コンインゴットを通せる開口を形成する枠と、この枠の
両端を、該枠を立てた位置と倒した位置との間で回動自
在に傾動フレームに連結するブラケットとで構成したこ
とを特徴とする。
ンインゴットの運搬用台車において、前記傾動フレーム
の基端側に、前記シリコンインゴットを包囲することに
よりシリコンインゴットを支持する支持枠を設け、該支
持枠にシリコンインゴットに対して冷却風を送るファン
を取り付けたことを特徴とする。
シリコンインゴットの運搬用台車において、前記支持台
に、前記傾動フレームが垂直位置にあるときセットされ
たシリコンインゴットの荷重を計測する計測手段を設け
たことを特徴とする。
か記載のシリコンインゴットの運搬用台車において、前
記案内機構が転動ローラからなることを特徴とする。
か記載のシリコンインゴットの運搬用台車において、前
記傾動フレームを、前記軸を支点にして傾動させる駆動
機構を設けたことを特徴とする。
動フレームに沿ってセットした段階で、シリコンインゴ
ットの長さに対応したストッパを選択し、そのストッパ
の枠を倒して、シリコンインゴットの先端外方にて止め
る。そうすることにより、枠により、シリコンインゴッ
トが先端方向に脱落しないよう規制される。その際、シ
リコンインゴットの長さ方向の途中にあるストッパは、
枠を立てた状態にしておき、枠を立てることによりでき
る開口にシリコンインゴットを通しておく。そうするこ
とにより、途中のストッパによってシリコンインゴット
の横方向への脱落が阻止される。
の支持枠で包囲された部分の周辺がファンによって冷却
される。
リコンインゴットの荷重を測定することができる。
フレームに対してシリコンインゴットを搬出入する際、
転動ローラ上に載せた状態でシリコンインゴットを移動
できるので、小さな力で作業できる。
自動で傾動フレームを駆動できるので、力がいらず、作
業が簡単にできる。
明する。図1は実施例のシリコンインゴットの運搬用台
車の側面図、図2は同正面図、図3は平面図、図4は傾
動フレームを水平状態にした側面図である。
車輪3、後部に車輪ストッパ5、後部上方に手押し用の
取っ手7、後部上面にバランスウエイト9を有する。
対の固定フレーム10が立設され、固定フレーム10の
上端間に、傾動軸12を介して傾動フレーム20が、鉛
直面内で上下方向傾動自在に支持されている。傾動軸1
2には操作アーム14の基端が固定され、操作アーム1
4の先端が駆動シリンダ16のロッド先端に連結されて
いる。そして、台車本体1の上面にブラケット18を介
してピン連結された駆動シリンダ16を操作することに
より、傾動フレーム20を、図1に示す垂直位置と図4
に示す水平位置との間で、矢印(イ)で示すように自動
で傾動できるようになっている。なお、図1において、
100は駆動シリンダ16を制御するコントローラであ
る。
きにシリコンインゴットS1〜S3を支持案内する転動
ローラ(案内機構)22が、長手方向に沿って間隔的に
複数対配置されている。転動ローラ22は、図3に示す
ように、円柱状のシリコンインゴットS1〜S3の外周
面にバランス良く外周面が接するように、その回転軸を
傾けた姿勢で、傾動フレーム20の幅方向に対にして配
置されている。
とき下側になる部分(図1の下側)には、傾動フレーム
20に沿ってセットされるシリコンインゴットS1〜S
3を包囲して支持する円筒かご形の支持枠24が設けら
れている。支持枠24は、傾動フレーム20の長手方向
に2段設けられ、それぞれ傾動フレーム20に固定され
ている。そして、図3に示すように一側面が開放できる
ように半割りされ、半割りされた一方が蓋24aとして
相手側にヒンジ接合されている。また、蓋24a側に
は、シリコンインゴットS1〜S3の外周面に対して冷
却風を送るファン40が装備されている。
とき下端になる方の端部(図1の下端)には、シリコン
インゴットS1〜S3の下端を受ける支持台26が設け
られている。支持台26は傾動フレーム20に設けら
れ、図2に示すように、固定部27と、可動部28と、
可動部28の変位によりシリコンインゴットS1〜S3
の荷重を計測するロードセル(計測手段)29とからな
る。固定部27は傾動フレーム20に固定され、可動部
28は固定部27に対して上下にわずかに動くように支
持され、可動部28で受けたシリコンインゴットS1〜
S3の荷重がロードセル29に作用するようになってい
る。
種類の長さのシリコンインゴットS1〜S3(S1<S
2<S3)に対応して、3個のストッパ31、32、3
3が傾動フレーム20の長さ方向に間隔をおいて装備さ
れている。
に、傾動フレーム20に突設された一対のブラケット3
1a〜33aと、両ブラケット31a〜33aに両端が
回動自在に連結されたコ字状枠31b〜33bとから構
成されている。コ字状枠31b〜33bは、ストッパと
しての使用時に、傾動フレーム20の長手方向に沿った
位置に倒されて、シリコンインゴットS1〜S3の先端
外方にて止められ、また、ストッパとして使用しないと
きには、傾動フレーム20の長手方向と直交する位置に
立てられて、シリコンインゴットS1〜S3を通せる大
きさの開口を形成するようになっている。そして、この
コ字状枠31b〜33bの両端がブラケット31a〜3
3aに連結され、図示しない係合機構により、ストッパ
として使用する位置と、ストッパとして使用しない位置
に、選択的に固定されるようになっている。
いシリコンインゴットS3の先端を止めることができ、
中間のストッパ32は、中間長さのシリコンインゴット
S2を止めることができ、下端のストッパ31は、一番
短い長さのシリコンインゴットS1を止めることができ
る位置に配置されている。
S1〜S3を傾動フレーム20に沿ってセットしたら、
その段階でシリコンインゴットS1〜S3の長さに対応
したストッパ31〜33を選択し、そのストッパ31〜
33のコ字状枠31b〜33bを倒して、シリコンイン
ゴットS1〜S3の先端外方にて止める。そうすること
により、傾動フレーム20を水平状態にした場合にも、
コ字状枠31b〜33bによって、シリコンインゴット
S1〜S3が先端方向に脱落しないよう規制される。
に拘らず、シリコンインゴットの先端側への脱落を確実
に抑えることができる。
トS3をセットした場合、その長さ方向の途中にあるス
トッパ31、32は、コ字状枠31b、32bを立てた
状態にしておき、コ字状枠31b、32bを立てること
によりできる開口にシリコンインゴットS3を通してお
く。そうすることにより、途中のストッパ31、32に
よってシリコンインゴットS3の横方向への脱落が阻止
され、脱落のおそれなくシリコンインゴットS3の搬出
入を行うことができる。
て、シリコンインゴットS1〜S3を搬出入する場合
は、転動ローラ22上に載せた状態でシリコンインゴッ
トS1〜S3を移動することができ、小さな力で作業で
きる。また、駆動シリンダ16を操作することにより、
自動で傾動フレーム20を倒したり、立てたりすること
ができ、力がいらずに作業が簡単にできる。また、実施
例の台車によれば、支持枠24で包囲された部分の周辺
をファン40によって強制冷却できる上、運搬用台車上
にてシリコンインゴットS1〜S3の荷重を測定するこ
とができる等の利点がある。
への移動規制作用があるので、図5および図6に示すよ
うに、上段の支持枠を省略して、ストッパにより支持枠
の代用をさせることも可能である。この図5、図6に示
す例の場合は、ファンも省略され、4段のストッパ51
〜54と、下段の支持枠24のみが設けられている。各
ストッパ51〜54は、上記実施例よりも強度アップさ
れたコ字状枠51b〜54bとブラケット51a〜54
aとからなり、上記実施例と同様に構成され、使用され
る。この実施例の場合、上段の支持枠24が省略できる
ので、構成が簡単である。また、ストッパ51〜54が
下方にまであるので、対応できるシリコンインゴットの
長さの範囲が広がり、より小さい長さのシリコンインゴ
ットにも対応できるようになる。
ゴットの移動を規制するストッパとしてコ字状枠を示し
たが、コ字状枠に代えて、U字状枠等としてもよい。
よれば、ストッパを長手方向に間隔をおいて設けたの
で、シリコンインゴットの長さに応じたストッパによっ
て、シリコンインゴットの先端方向への抜けを確実に防
止することができる。従って、シリコンインゴットの長
尺化に対応できる。また、シリコンインゴの途中のスト
ッパは、シリコンインゴットの横への脱落を防止するの
で、枠からなるストッパを間隔をおいて設けるという簡
単な構成でありながら、シリコンインゴットの脱落防止
を確実に行うことができる。
シリコンインゴットを強制冷却することができる。
てシリコンインゴットの荷重を測定することができるの
で、敢えて荷重測定を他の場所で行わないでも、荷重デ
ータを得ることができる。
内機構に用いたので、シリコンインゴットの搬出入に力
がいらず、作業が簡単にできる。
自動で傾動フレームを駆動できるので、力がいらず、作
業が簡単にできる。
に倒した状態を示す側面図である。
4a ブラケット 31b,32b,33b,51b,52b,53b,5
4b コ字状枠(枠) 40 ファン S1〜S3 シリコンインゴット
Claims (5)
- 【請求項1】 台車本体と、 この台車本体の上部に設けられた軸により垂直位置と水
平位置との間で傾動自在に支持された傾動フレームと、 この傾動フレームに設けられ、該傾動フレームが水平位
置にあるとき、傾動フレームの長手方向に沿ってセット
されたシリコンインゴットを支持案内する案内機構と、 前記傾動フレームに設けられ、該傾動フレームが垂直位
置にあるとき、傾動フレームの長手方向に沿ってセット
されたシリコンインゴットの下端を受ける支持台とを備
えたシリコンインゴット運搬用台車において、 前記傾動フレームに、該傾動フレームの長手方向に間隔
をおいてシリコンインゴットの先端方向への移動を規制
する複数のストッパを取り付け、 これら各ストッパを、 ストッパとしての使用時に前記傾動フレームの長手方向
に沿った位置に倒されてシリコンインゴットの先端外方
にて止められ、かつストッパとしての非使用時に前記傾
動フレームの長手方向と交差する方向に立てられてシリ
コンインゴットを通せる開口を形成する枠と、 この枠の両端を、該枠を立てた位置と倒した位置との間
で回動自在に傾動フレームに連結するブラケットとで構
成したことを特徴とするシリコンインゴットの運搬用台
車。 - 【請求項2】 前記傾動フレームの基端側に、前記シリ
コンインゴットを包囲することによりシリコンインゴッ
トを支持する支持枠を設け、該支持枠にシリコンインゴ
ットに対して冷却風を送るファンを取り付けたことを特
徴とする請求項1記載のシリコンインゴットの運搬用台
車。 - 【請求項3】 前記支持台に、前記傾動フレームが垂直
位置にあるときセットされたシリコンインゴットの荷重
を計測する計測手段を設けたことを特徴とする請求項1
又は2記載のシリコンインゴットの運搬用台車。 - 【請求項4】 前記案内機構が転動ローラからなること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか記載のシリコンイ
ンゴットの運搬用台車。 - 【請求項5】 前記傾動フレームを、前記軸を支点にし
て傾動させる駆動機構を設けたことを特徴とする請求項
1〜4のいずれか記載のシリコンインゴットの運搬用台
車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19574794A JP3186451B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | シリコンインゴット運搬用台車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19574794A JP3186451B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | シリコンインゴット運搬用台車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0859395A JPH0859395A (ja) | 1996-03-05 |
JP3186451B2 true JP3186451B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=16346301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19574794A Expired - Lifetime JP3186451B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | シリコンインゴット運搬用台車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3186451B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102571715B1 (ko) * | 2021-03-25 | 2023-08-28 | 에스케이실트론 주식회사 | 실리콘 단결정 잉곳의 이동 장치 및 실리콘 단결정 잉곳의 연속 성장 방법 |
-
1994
- 1994-08-19 JP JP19574794A patent/JP3186451B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0859395A (ja) | 1996-03-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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