JP3170943B2

JP3170943B2 - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JP3170943B2
Application number: JP8654593A
Authority: JP
Inventors: 聡細野
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1993-04-13
Filing date: 1993-04-13
Publication date: 2001-05-28
Anticipated expiration: 2016-05-28
Also published as: JPH06297703A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気信号によって圧力
発生素子が変形し、この変形によって圧力室の容積を変
化させてノズルからインク滴を飛翔させ、記録紙等の記
録媒体上にインク像を形成するプリンタ等の、インクジ
ェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット方式による記録装置は、
低騒音であり、装置コスト、ランニングコストが比較的
安価であるので、コンピュータ等の文字や画像の記録装
置として広く使用されている。しかしながら、インクジ
ェット方式による記録装置は、比較的印字速度が遅いも
のが多く、高速印字を要求される場合は高価で大型な電
子写真方式の記録装置に頼らざるを得ない。

【０００３】インクジェット記録装置の印字速度を電子
写真方式の記録装置と同等以上に速くする為には、イン
ク吐出の繰り返し応答周期を向上させること、ノズル数
を増やすことが考えられるが、後者は、ノズル数の増加
に伴うコストアップが必須であり、且つノズル高密度化
に伴う多くの課題（隣接ノズル間における相互干渉の現
象等）の解決が必要である。よって、本質的に印字速度
を向上させるためには前者の実現が最も重要な課題であ
る。

【０００４】図７は、第１の従来の技術を説明する特公
平３−３１１４１号公報に記載の、圧電板と弾性板から
成る圧力板の撓みを用いたインクジェットヘッドの構成
概略図である。

【０００５】圧電板１１と弾性板１２を貼り合わせてな
る圧力板１３は、圧電板１１の厚さ方向に電圧が印加さ
れると、圧電板１１が長手方向に収縮し、凹状に撓み変
形を発生する。このインクジェット記録装置は、圧力板
の撓み変形によって、圧力室４内部の圧力を高め、ノズ
ル１からインクを吐出することを特徴とするドロップオ
ンデマンド型インクジェットヘッドである。こうした構
成によるインクジェットヘッドの特徴は、主に以下の４
点である。

【０００６】（１）圧力板の変位が大きいので、インク
吐出量を多くできる。

【０００７】（２）圧力板の剛性が低いので、発生力が
小さく、高粘度インクに不向きである。

【０００８】（３）圧力板の固有振動数が遅いので、応
答周期を速くできない。

【０００９】（４）構造が簡単であり、低コスト化が可
能。

【００１０】図８は、第２の従来の技術を説明する特開
平１−１１５６３８号公報に記載の、ノズルに対向して
積層圧電素子を配設し、この縦振動を用いたインクジェ
ットヘッドの構成概略図である。

【００１１】このインクジェットヘッドは、圧力発生素
子１０として、圧電材料と導電材料を交互に積層して成
る積層圧電素子を有し、積層圧電子の振動面を圧力壁３
とベース部材８によって挾持し、積層圧電素子に電圧を
印加することによって発生する変位（縦振動）を用い
て、圧力室４の容積を縮小し、ノズル１からインクを吐
出することを特徴とするドロップオンデマンド型インク
ジェットヘッドである。

【００１２】こうした構成によるインクジェットヘッド
の特徴は、主に以下４点である。

【００１３】（１）圧力発生素子の変位が小さいので、
インク吐出量を多くすることが困難。

【００１４】（２）発生力が大きいので、高粘度インク
に対応できる。

【００１５】（３）圧力発生素子の固有振動周期が速い
ので、応答周期を速くでる。

【００１６】（４）圧力発生素子のコストが高い。

【００１７】理想的には、インクジェットヘッドの印字
速度を速くするために、応答周期が速く、インク物性に
作用されない程の発生力を有し、十分なインク吐出量を
確保でき、且つ低コストであることが望ましい。つまり
は、第１の従来の技術と、第２の従来の技術の長所を合
わせ持ったインクジェットヘッドを構成することによっ
て、電子写真方式による記録装置に対して同等以上の性
能を有するインクジェット方式による記録装置を実現す
ることができる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明が解決
しようとする課題は、応答周期が速く、大きな発生力を
有し、十分なインク吐出量を確保でき、且つ低コストで
ある優れたインクジェットヘッドを実現することであ
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明においては、インクを吐出するノズル
と、これに連通する圧力室と、この圧力室にインクを供
給する供給路と、圧力室の一部に設けられた圧力室の容
積を変化させる圧力壁と、圧力壁に機械的に接合され、
電圧が印加されることによって形状を変える圧力発生素
子と、圧力発生素子を支持するベース部材とを備え、圧
力室の容積を変位させてノズルからインクを吐出するイ
ンクジェットヘッドに於て、圧力壁と、圧力発生素子と
の間に、所定の間隔を形成する様に２ヶ所以上で接合し
た機械的接合部を有し、該機械的接合部の間隔が圧力発
生素子に電圧が印加されることによって収縮、または拡
張することを特徴とする。

【００２０】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、圧力発生素子との機械的接合部に対向する圧力壁の
厚さをｔc、この機械的接合部の間隔に対向する圧力壁
の厚さをｔbとするとき、ｔb≦ｔcであることを特徴と
する。

【００２１】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、圧力壁と圧力発生素子の機械的接合部の間隔に、圧
力壁より弾性率が低い部材が挾持されることを特徴とす
る。

【００２２】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、圧力壁と圧力発生素子の機械的接合部の間隔をｗ、
前記圧力発生素子に電圧が印加されることによって収
縮、及び拡張する変位をΔｗとするとき、ｗ≧２×Δｗ
であることを特徴とする。

【００２３】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、圧力発生素子と、ベース部材との間に、所定の間隔
を形成する様に２ヶ所以上で接合した機械的接合部を有
し、該機械的接合部の間隔が圧力発生素子に電圧が印加
されることによって収縮、または拡張することを特徴と
する。

【００２４】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、電圧が印加されることによって収縮、拡張する圧力
発生素子が圧電材料と導電材料を交互に積層して成る積
層圧電素子であることを特徴とする。

【００２５】また、係るインクジェットヘッドにおい
て、積層圧電素子の歪を生じない不活性部に、圧力壁と
の機械的接合がなされることを特徴とする。

【００２６】

【作用】電圧が印加されることによって、変形する圧力
発生素子の微小な変位を、圧力発生素子とある間隔を有
し、２箇所以上で支持した、（梁状（アーチ状）に構成
した）圧力壁によって、拡大し、小型（低コスト）の圧
力発生素子で十分な変位量を確保する。また、圧力壁の
梁部の厚さを比較的厚くすることができるので、発生力
と応答周期も十分な特性を確保することができる。

【００２７】

【実施例】以下に本発明の実施例の詳細を図面を参照し
て説明する。

【００２８】図１は、本発明の実施例によるインクジェ
ットヘッドの構造説明図である。

【００２９】ノズル形成基板２には、複数のノズル１が
形成されている。ノズル１の開口面積とノズル形成基板
２の厚さは、インク吐出速度やインク吐出量に大きな影
響を及ぼすため、ステンレスを用いた精密プレス法、ニ
ッケルの電鋳法、または、シリコンウェハのエッチング
加工等により高精度加工を実現している。このノズル形
成基板２と貼り合わされるスペーサ９は、各ノズルに対
応したスリットを形成して成る部材である。このスペー
サ９には、圧力壁３と流路部材６が接合される。スペー
サ９との接合に際しては、アーチ状断面部５を有する圧
力壁３を、あらかじめ、供給路７を形成した流路部材６
に接合した後に行なっている。このように、ノズル形成
基板２とスペーサ９と圧力壁３によって、各ノズルに対
応した圧力室を構成している。この圧力室には、供給路
７からインクが供給され、圧力壁３が変形することによ
って、容積を収縮、及び拡大、あるいは、拡大、及び収
縮し、インクに圧力変化を伝達し、ノズルからインクを
吐出させる機能を有している。

【００３０】圧力壁３のアーチ状断面部５と機械的に接
合される圧力発生素子１０は、セグメント電極１４とコ
モン電極１５を備えたベース部材８に接合された後、ダ
イシング加工によって所定の大きさに分断したものであ
る。こうして構成した複数の圧力発生素子１０を備えた
ベース部材８は、流路部材６の溝で固定される。駆動回
路１６からの電気信号は、ベース部材８に形成されたセ
グメント電極１４とコモン電極１５によって、それぞれ
の圧力発生素子１０に選択的に印加することができる。

【００３１】本実施例によるインクジェットヘッドは、
供給路７の容量が比較的大きいので、圧力室へのインク
供給効率が高く、高応答周期、高粘度インクに対応して
いる。

【００３２】高応答周期は、印字速度を向上させ、高粘
度インクに対応することは、印字品質の向上に寄与して
いる。

【００３３】本発明のインクジェットヘッドの特徴は、
選択的に圧力発生素子を変形させ、この変形を圧力壁に
て拡大し、圧力室に伝達することである。

【００３４】図２は、本発明の第１の実施例によるイン
クジェットヘッドにおける主要部の動作説明図である。

【００３５】積層圧電素子からなる圧力発生素子１０
は、セグメント電極１４とコモン電極１５によって電圧
が印加されると、矢印Ａの方向に拡張し、矢印Ｂの方向
に収縮する。こうした変位は、圧力発生素子１０に機械
的に接合されている圧力壁３のアーチ状断面部５によっ
て矢印Ｃのように拡大され圧力室４に大きな容積変化を
与えることができる。図８に示した第２の従来の技術例
のように矢印Ａの変位だけで、圧力室４の容積変化を行
なっていたインクジェットヘッドに比べ、駆動電圧の低
下、または、圧力発生素子１０の小型化が可能であり、
同様な性能のインクジェットヘッドの飛躍的な低コスト
化が可能である。よって、従来、48〜64のノズルを有し
ていたインクジェットヘッドのノズル数も、コストアッ
プをせずに増やすことが可能である。つまりは、飛躍的
に印字速度を向上させることができるので、電子写真方
式による記録装置と同等以上の性能を有したインクジェ
ット方式による記録装置を、安価な価格で実現すること
ができる。

【００３６】図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明のイン
クジェットヘッドにおける圧力壁と圧力発生素子の機械
的接合と、この圧力壁の断面形状についての説明図であ
る。

【００３７】図３（ａ）に示す圧力壁３は、均一な厚さ
を有した弾性板である。圧力発生素子２０とは機械的接
合部２０で接合されている。圧力発生素子１０に電圧が
印加されることによって矢印ｂに示す変位が発生する
と、圧力壁３の断面には矢印ｂ’に示すような変位分布
が発生し、矢印ｃに示すような変位を発生させる。しか
しながら、こうした構成にしたとき機械的接合部２０
は、流動性を有した接着剤にて構成されるので、この接
合面積を均一に維持し、機械的接合部２０の間隔ｗのバ
ラツキを抑制し、矢印ｃに示す変位を安定的に管理する
ことが困難である。

【００３８】図３（ｂ）に示す圧力壁３は、機械的接合
部２０の面積と、この間隔ｗを安定的に管理する為、ブ
リッジ状断面を有している。動作原理は図３（ａ）で説
明したものと同様であるが、圧力発生素子１０との機械
的接合部２０に対向する圧力壁３の厚さｔcよりも、機
械的接合部２０の間隔に対向する圧力壁の厚さｔbの方
が薄く構成されている。こうした構成によって圧力壁３
の剛性が低下し、矢印ｃに示す変位をより大きくするこ
とができるが、ｔbが薄くなった分だけ圧力壁３の発生
力は小さくなってしまう。

【００３９】図３（ｃ）に示す圧力壁３は、機械的接合
部２０の面積と、この間隔ｗを安定的に管理し、さら
に、圧力壁３の撓み方向の剛性を強化して発生力を高め
るアーチ状断面を有している。さらには、圧力壁３と圧
力発生素子１０の機械的接合部２０の間隔に圧力壁より
弾性率が低い低弾性部材３０を挾持している。具体的に
は圧力壁３にステンレス（弾性率は、2.1e11(N/m∧2)）
を用い、低弾性部材３０には、機械的接合部２０に用い
る接着剤（弾性率は、約1.0e9(N/m∧2)）か、より弾性
率が低いシリコン樹脂（弾性率は、約1.0e6(N/m∧2)）
を用いることによって、矢印ｃの変位が振動する現象を
効果的に減衰し、高印字品質を確保することに寄与す
る。

【００４０】以下に、具体的なディメンジョンを仮定
し、圧力壁３の拡大機能を説明する。

【００４１】図２に示す矢印Ａ方向の変位量δaは、次
式のように示される。

【００４２】

【数１】

【００４３】また、図２に示す矢印Ｂ方向の変位量δb
は、次式のように示される。

【００４４】

【数２】

【００４５】ｄ33、及びｄ31は、圧電定数であり、本実
施例による圧力発生素子の場合、ｄ33＝400e-12(m/V)、
ｄ31＝200e-12(m/V)である。また、ｈは、圧力発生素子
の高さであり、1.0(mm)とする。そして、圧電材料層厚
さｔを、0.02(mm)、印加電圧Ｖを30(V)とすれば、矢印
Ａ方向の変位δaは、0.6(μm)、矢印Ｂ方向の変位δb
は、0.3(μm)になる。

【００４６】これに対して、図２の矢印Ｃに示す圧力壁
３の変位δは、簡易的に次式の様に求められる。

【００４７】

【数３】

【００４８】ここで、Ｗは、圧力壁３のアーチ状断面部
５の間隔、ΔＷは、矢印Ｂに示す変位、Δｈは、矢印Ａ
に示す変位、αは、圧力発生素子の発生力とアーチ状断
面部５が撓むことによる反力の比率である。

【００４９】図４は、圧力壁と圧力発生素子の機械的接
合部の間隔ｗと圧力発生素子の変位Δｗの比率であるｗ
／Δｗと、圧力壁３の変位δと圧力発生素子の変位Δｗ
の比率であるδ／Δｗの関係を示す特性曲線である。

【００５０】図４の特性曲線が示すように、圧力壁と圧
力発生素子の機械的接合部の間隔ｗが、圧力発生素子に
電圧が印加されることによって収縮、及び拡張する変位
Δｗの２倍以上でなければ、圧力壁による変位拡大機構
が意味をなさないことがわかる。よって、本発明では、
ｗ≧２×Δｗであることを特徴とする。

【００５１】具体的には、圧力壁と圧力発生素子の機械
的接合部の間隔（図２に示す圧力壁３のアーチ状断面部
５の間隔）Ｗを１(mm)にするとき、矢印Ｂに示す変位Δ
Ｗは、0.3(μm)になるので、ｗ／Δｗは3000以上であ
る。αを0.9であるとすれば、図２の矢印Ｃに示す圧力
壁３の変位δは、約11(μm)になる。よって、矢印Ｂに
示す変位は、本発明による圧力壁３のアーチ状断面部５
によって、36倍程度拡大することができる。

【００５２】図８に示した第２の従来の技術のように、
矢印Ａの変位だけで圧力室４の容積変化を行なうインク
ジェットヘッドと同等な性能を、１／１８の電界強度で
達成することができるので、5(V)の駆動電圧、60(μm)
の圧電材料層の厚さを実現することができ、従来の駆動
電圧源（30V）を削除することができる。このように、
本発明のさらなる効果として、インクジェットヘッドを
駆動する回路コストの削減と、圧力発生素子の信頼性の
向上を実現することができる。

【００５３】また、図２に示すように、圧力壁３のアー
チ状断面部５の圧力発生素子１０との接合面が、変位を
発生しない不活性部であることによって、この接合面に
架かる応力を緩和することもできる。

【００５４】図５は、本発明の第２の実施例によるイン
クジェットヘッドにおける主要部の動作説明図である。

【００５５】本発明の第１の実施例に対し、さらに、圧
力発生素子１０のベース部材８側にもアーチ状断面構造
を有するセグメント電極１４を構成することを特徴とし
ている。積層圧電素子からなる圧力発生素子１０には、
本発明の第２の実施例によるアーチ状断面構造を有した
セグメント電極１４と、本発明の第１の実施例によるア
ーチ状断面構造を有した圧力壁３がコモン電極の機能を
備えることによって、電圧が印加され、矢印Ｄの方向に
拡張し、変位を発生する。この変位は、図２に示した矢
印Ｃの変位の約２倍を得ることができるので、さらに飛
躍的な駆動電圧の低下、または、圧力発生素子１０の小
型化が可能であり、低コスト化をより促進することが可
能である。

【００５６】図６は、本発明の第３の実施例によるイン
クジェットヘッドにおける主要部の動作説明図である。

【００５７】本実施例は、電圧が印加されることによっ
て、圧力発生素子が拡張する変位（ｄ33効果）を用い
て、圧力壁３が有するアーチ状断面部５を撓ませること
を特徴とするものである。

【００５８】矢印Ａ方向（ｄ33効果）の発生圧力Ｐa
は、次式のように示される。

【００５９】

【数４】

【００６０】矢印Ｂ方向（ｄ31効果）の発生圧力Ｐb
は、次式のように示される。

【００６１】

【数５】

【００６２】ｄ33、及びｄ31は、圧電定数であり、本実
施例による圧力発生素子の場合、ｄ33＝400e-12(m/V)、
ｄ31＝200e-12(m/V)である。また、Ｅは圧力発生素子の
ヤング率であり、約7e10(N/m∧2)である。そして、圧電
材料層の厚さを、0.02(mm)、印加電圧Ｖを30(V)とすれ
ば、矢印Ａ方向（ｄ33効果）の発生圧力Ｐaは、4.2e7(P
a)、矢印Ｂ方向（ｄ31効果）の発生圧力Ｐbは、2.1e7(P
a)になる。

【００６３】よって、本発明の第３の実施例によれば、
本発明の第１、第２の実施例に対して、２倍の力で圧力
壁３に備わるアーチ状断面部５を撓ませることができ、
より効率よく圧力室４の容積変化量を得ることができ
る。

【００６４】インクジェット記録装置の印字速度を高速
化するためには周波数応答性を確保することが重要であ
る。このため、圧力壁３の固有振動数が十分速いことが
必要である（具体的には、100(kHz)程度の固有振動数が
必要である）。

【００６５】アーチ状断面部５を有する圧力壁３の固有
振動数ｆは、次式のように示される。

【００６６】

【数６】

【００６７】ここで、Ｗは、圧力壁３のアーチ状断面部
５の間隔、Ｅは、圧力壁３のヤング率、Ｉは圧力壁３の
断面二次モーメント、ρは、圧力壁３の比重、Ｓは、圧
力壁３の断面積、そして、λは振動係数である。

【００６８】圧力壁３の断面が長方形である場合、固有
振動数ｆは、さらに次式のようにしめされる。

【００６９】

【数７】

【００７０】本発明において、圧力壁３のアーチ状断面
部５の間隔Ｗを１(mm)、圧力壁３のヤング率Ｅを7e10(N
/m∧2)、圧力壁３に備わるアーチ状断面部５の厚さｔb
を0.05(mm)、圧力壁３の比重ρを7.8e3(kg/m∧3)、そし
て、振動係数λは4.73(横振動の１次モードとする）で
あるので、固有振動数ｆは、154(kHz)を確保できる。

【００７１】さらに、本発明の第３の実施例の様に、ｄ
33効果を用いた場合は、圧力壁３に備わるアーチ状断面
部５の厚さｔbを、0.1(mm)にできるので、固有振動数ｆ
は、300(kHz)を確保できる。

【００７２】以上のように、本発明によれば、以下のよ
うな特徴を有したインクジェットヘッドを実現すること
ができる。

【００７３】（１）圧力板の変位が大きいので、インク
吐出量を多くできる。

【００７４】（２）圧力板の剛性を高くので、発生力が
大きく、高粘度インクに対応できる。

【００７５】（３）圧力板の固有振動数が速いので、応
答周期を速くできる。

【００７６】（４）圧力発生素子（積層圧電素子）の低
コスト化が可能。

【００７７】また、さらなる効果として以下の２点を実
現することもできる。

【００７８】（１）駆動電圧源はコストから削除するこ
とがでる（回路電源と共通化）。

【００７９】（２）圧力発生素子（積層圧電素子）の信
頼性向上（低電界強度化）。

【００８０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、応答周期
が速く、大きな発生力を有し、十分なインク吐出量を確
保でき、且つ低コストである、優れたインクジェットヘ
ッドを実現し、電子写真方式による記録装置に対して同
等以上の性能を有するインクジェット方式による記録装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるインクジェットヘッドの
構造説明図。

【図２】本発明の第１の実施例によるインクジェットヘ
ッドにおける主要部の動作説明図。

【図３】本発明のインクジェットヘッドにおける、圧力
壁と圧力発生素子の機械的接合と、この圧力壁の断面形
状についての説明図。

【図４】本発明のインクジェットヘッドにおける、圧力
壁と圧力発生素子の機械的接合部の間隔ｗと圧力発生素
子の変位Δｗの比率であるｗ／Δｗと、圧力壁３の変位
δと圧力発生素子の変位Δｗの比率であるδ／Δｗの関
係を示す特性曲線図。

【図５】本発明の第２の実施例によるインクジェットヘ
ッドにおける主要部の動作説明図。

【図６】本発明の第３の実施例によるインクジェットヘ
ッドにおける主要部の動作説明図。

【図７】従来の技術を説明する特公平３−３１１４１号
公報に記載の、圧電板と弾性板から成る圧力板の撓みを
用いたインクジェットヘッドの構成概略図。

【図８】従来の技術を説明する特開平１−１１５６３８
号公報に記載の、ノズルに対抗して積層圧電素子を配設
し、この縦振動を用いたインクジェットヘッドの構成概
略図。

【符号の説明】

１ノズル２ノズル形成基板３圧力壁４圧力室５アーチ状断面部８ベース部材１０圧力発生素子２０機械的接合部

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出するノズルと、これに連通
する圧力室と、この圧力室にインクを供給する供給路
と、前記圧力室の一部に設けられた圧力室の容積を変化
させる圧力壁と、前記圧力壁に機械的に接合され、電圧
が印加されることによって形状を変える圧力発生素子
と、前記圧力発生素子を支持するベース部材とを備え、
前記圧力室の容積を変位させて前記ノズルからインクを
吐出するインクジェットヘッドに於て、前記圧力壁と、前記圧力発生素子との間に、所定の間隔
を形成する様に２ヶ所以上で接合した機械的接合部を有
し、該機械的接合部の間隔が前記圧力発生素子に電圧が
印加されることによって収縮、または拡張することを特
徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記圧力発生素子との機械的接合部に対
向する前記圧力壁の厚さをｔc、この機械的接合部の間
隔に対向する前記圧力壁の厚さをｔbとするとき、ｔb≦
ｔcであることを特徴とする請求項１記載のインクジェ
ットヘッド。
【請求項３】前記圧力壁と前記圧力発生素子の機械的
接合部の間隔に、前記圧力壁より弾性率が低い部材が挾
持されることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
インクジェットヘッド。
【請求項４】前記圧力壁と前記圧力発生素子の機械的
接合部の間隔をｗ、前記圧力発生素子に電圧が印加され
ることによって収縮、及び拡張する変位をΔｗとすると
き、ｗ≧２×Δｗであることを特徴とする請求項１、２
又は３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記圧力発生素子と、前記ベース部材と
の間に、所定の間隔を形成する様に２ヶ所以上で接合し
た機械的接合部を有し、該機械的接合部の間隔が前記圧
力発生素子に電圧が印加されることによって収縮、また
は拡張することを特徴とする請求項１、２、３又は４記
載のインクジェットヘッド。
【請求項６】電圧が印加されることによって収縮、拡
張する前記圧力発生素子が圧電材料と導電材料を交互に
積層して成る積層圧電素子であることを特徴とする請求
項１、２、３、４又は５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】前記積層圧電素子の歪を生じない不活性
部に、前記圧力壁との機械的接合がなされることを特徴
とする請求項６記載のインクジェットヘッド。