JPH09174837A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09174837A JPH09174837A JP33498695A JP33498695A JPH09174837A JP H09174837 A JPH09174837 A JP H09174837A JP 33498695 A JP33498695 A JP 33498695A JP 33498695 A JP33498695 A JP 33498695A JP H09174837 A JPH09174837 A JP H09174837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- plate
- fixed
- pressure chamber
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品点数を増加することなく、又は、製造を
困難にすることなく、クロストーク等の諸問題を解決す
る。 【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドは、
複数の圧電素子１０と、圧電素子１０を一方向Ａに配設
した固定板１２と、インクＩを収容する圧力室５４と、
圧電素子１０で発生する振動を圧力室５４へ伝達する振
動板１４と、複数のノズル孔５８を有するとともに圧力
室５４へ伝達された振動に応じてノズル孔５８からイン
ク滴Ｉｄを吐出するノズル板６０とを備えている。圧電
素子１０は、電圧によって変形しない不活性部１０１，
１０２と、不活性部１０１，１０２の間に設けられると
ともに電圧によって変形する活性部１０３とを有してい
る。不活性部１０３は、圧電素子１０で発生する振動の
影響を受けない部分に固定されている。
困難にすることなく、クロストーク等の諸問題を解決す
る。 【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドは、
複数の圧電素子１０と、圧電素子１０を一方向Ａに配設
した固定板１２と、インクＩを収容する圧力室５４と、
圧電素子１０で発生する振動を圧力室５４へ伝達する振
動板１４と、複数のノズル孔５８を有するとともに圧力
室５４へ伝達された振動に応じてノズル孔５８からイン
ク滴Ｉｄを吐出するノズル板６０とを備えている。圧電
素子１０は、電圧によって変形しない不活性部１０１，
１０２と、不活性部１０１，１０２の間に設けられると
ともに電圧によって変形する活性部１０３とを有してい
る。不活性部１０３は、圧電素子１０で発生する振動の
影響を受けない部分に固定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット式
プリンタにおける記録ヘッドに関し、詳しくは、圧電素
子によってインクを吐出させるインクジェット記録ヘッ
ド及びその製造方法に関する。
プリンタにおける記録ヘッドに関し、詳しくは、圧電素
子によってインクを吐出させるインクジェット記録ヘッ
ド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ノンインパクト記録方式は、記録
時における騒音が極めて小さく、また、高速記録が可能
であるという点において関心を集めている。その中で
も、記録ヘッドから液体状のインク滴を飛ばすことによ
って記録紙に付着させ、文字、図形等の記録を行うイン
クジェット式記録方式は、高速記録を行えるとともに、
普通紙に特別の定着処理をしないで記録が行える極めて
有効な記録方式である。そのため、現在、このインクジ
ェット記録方式を用いた種々のインクジェット式プリン
タが提案され、商品化されている。
時における騒音が極めて小さく、また、高速記録が可能
であるという点において関心を集めている。その中で
も、記録ヘッドから液体状のインク滴を飛ばすことによ
って記録紙に付着させ、文字、図形等の記録を行うイン
クジェット式記録方式は、高速記録を行えるとともに、
普通紙に特別の定着処理をしないで記録が行える極めて
有効な記録方式である。そのため、現在、このインクジ
ェット記録方式を用いた種々のインクジェット式プリン
タが提案され、商品化されている。
【０００３】このインクジェット記録方式は、連続噴射
型、インパルス型（オンデマンド型）及び静電吸引型の
三つに大別することができる。その中でも、インパルス
型は、必要な時だけ圧電素子等の吐出エネルギー発生素
子を駆動してインク滴を吐出させるので無駄なインク消
費が少なく、しかも構造が非常に簡単であるので、その
普及が期待されている。
型、インパルス型（オンデマンド型）及び静電吸引型の
三つに大別することができる。その中でも、インパルス
型は、必要な時だけ圧電素子等の吐出エネルギー発生素
子を駆動してインク滴を吐出させるので無駄なインク消
費が少なく、しかも構造が非常に簡単であるので、その
普及が期待されている。
【０００４】図７乃至図９はインパルス型のインクジェ
ット記録ヘッドの第一従来例を示し、図７及び図９は断
面図、図８は図７のVIII−VIII線縦断面図である。図７
は変形前、図９は変形時の状態をそれぞれ示している。
以下、これらの図面に基づき説明する。
ット記録ヘッドの第一従来例を示し、図７及び図９は断
面図、図８は図７のVIII−VIII線縦断面図である。図７
は変形前、図９は変形時の状態をそれぞれ示している。
以下、これらの図面に基づき説明する。
【０００５】本従来例のインクジェット記録ヘッドは、
複数の圧電素子５０と、圧電素子５０を離間して一方向
Ａに配設した固定板５２と、圧電素子５０に対応して設
けられるとともにインクＩを収容する圧力室５４と、圧
電素子５０で発生する振動を圧力室５４へ伝達する振動
板５６と、圧力室５４に対応した複数のノズル孔５８を
有するとともに圧力室５４へ伝達された振動に応じてノ
ズル孔５８のそれぞれからインク滴Ｉｄを吐出するノズ
ル板６０とを備えている。圧力室５４は、振動板５６、
ノズル板６０及び流路形成部材６２によって形成されて
いる。流路形成部材６２は、例えばドライフィルムであ
る。また、図示しないが、一方向Ａの少なくとも両端の
圧電素子５０は、振動板５６との固定のみを目的とした
もので駆動されない。
複数の圧電素子５０と、圧電素子５０を離間して一方向
Ａに配設した固定板５２と、圧電素子５０に対応して設
けられるとともにインクＩを収容する圧力室５４と、圧
電素子５０で発生する振動を圧力室５４へ伝達する振動
板５６と、圧力室５４に対応した複数のノズル孔５８を
有するとともに圧力室５４へ伝達された振動に応じてノ
ズル孔５８のそれぞれからインク滴Ｉｄを吐出するノズ
ル板６０とを備えている。圧力室５４は、振動板５６、
ノズル板６０及び流路形成部材６２によって形成されて
いる。流路形成部材６２は、例えばドライフィルムであ
る。また、図示しないが、一方向Ａの少なくとも両端の
圧電素子５０は、振動板５６との固定のみを目的とした
もので駆動されない。
【０００６】圧電素子５０に電圧が印加されると、圧電
素子５０の先端面が振動板５６の厚さ方向に変位する。
この変位は、振動板５６を介して圧力室５４内の体積を
変化させる。すると、圧力室５４内の圧力が高まること
により、圧力室５４に対応するノズル孔５８からインク
滴Ｉｄが吐出される。
素子５０の先端面が振動板５６の厚さ方向に変位する。
この変位は、振動板５６を介して圧力室５４内の体積を
変化させる。すると、圧力室５４内の圧力が高まること
により、圧力室５４に対応するノズル孔５８からインク
滴Ｉｄが吐出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本来、圧電素子５０の
変位は、その圧電素子５０に対応する圧力室５４にのみ
伝達することが望まれる。しかしながら、従来のインク
ジェット記録ヘッドの構造では、振動板５６の変形を通
じて、ある圧電素子５０の変位が隣接する圧力室５４へ
も伝達してしまうという問題があった。また、圧力室５
４の変形がノズル板６０の変形を引き起こしてしまうと
いう問題もあった。すなわち、振動板５６やノズル板６
０の全体に変形が生じ、インク吐出速度の低下やクロス
トークといった印字品位や駆動効率の低下につながる問
題が発生していた。この問題は、高密度化するほど剛性
が低下するので顕著となり、近年の高密度記録化の大き
な妨げとなっていた。そこで、かかる問題を解決するも
のとして、次の第二従来例及び第三従来例が提案されて
いる（例えば、特公平７−５７５４５号公報等）。
変位は、その圧電素子５０に対応する圧力室５４にのみ
伝達することが望まれる。しかしながら、従来のインク
ジェット記録ヘッドの構造では、振動板５６の変形を通
じて、ある圧電素子５０の変位が隣接する圧力室５４へ
も伝達してしまうという問題があった。また、圧力室５
４の変形がノズル板６０の変形を引き起こしてしまうと
いう問題もあった。すなわち、振動板５６やノズル板６
０の全体に変形が生じ、インク吐出速度の低下やクロス
トークといった印字品位や駆動効率の低下につながる問
題が発生していた。この問題は、高密度化するほど剛性
が低下するので顕著となり、近年の高密度記録化の大き
な妨げとなっていた。そこで、かかる問題を解決するも
のとして、次の第二従来例及び第三従来例が提案されて
いる（例えば、特公平７−５７５４５号公報等）。
【０００８】図１０及び図１１はインクジェット記録ヘ
ッドの第二従来例を示し、図１０は断面図、図１１は図
１０のXI−XI線縦断面図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分は同
一符号を付すことにより重複説明を省略する。
ッドの第二従来例を示し、図１０は断面図、図１１は図
１０のXI−XI線縦断面図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分は同
一符号を付すことにより重複説明を省略する。
【０００９】剛性部材７０は、圧電素子５０を固定する
中央部７２と、一方向Ａと直交する他方向Ｂに配設され
た両端部７４，７６とから構成されている。両端部７
４，７６は、圧電素子５０によって振動しない部分の、
振動板５６に固定されている。剛性部材７０によって振
動板５６を強く固定することにより、振動板５６等の変
形を防いでいる。しかしながら、本従来例の構造では、
部品点数の増加及び大型化を招くという新たな問題が生
じていた。
中央部７２と、一方向Ａと直交する他方向Ｂに配設され
た両端部７４，７６とから構成されている。両端部７
４，７６は、圧電素子５０によって振動しない部分の、
振動板５６に固定されている。剛性部材７０によって振
動板５６を強く固定することにより、振動板５６等の変
形を防いでいる。しかしながら、本従来例の構造では、
部品点数の増加及び大型化を招くという新たな問題が生
じていた。
【００１０】図１２及び図１３はインクジェット記録ヘ
ッドの第三従来例を示し、図１２は断面図、図１３は図
１２のXIII−XIII線縦断面図である。以下、これらの図
面に基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分
は同一符号を付すことにより重複説明を省略する。
ッドの第三従来例を示し、図１２は断面図、図１３は図
１２のXIII−XIII線縦断面図である。以下、これらの図
面に基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分
は同一符号を付すことにより重複説明を省略する。
【００１１】固定板８０は、圧電素子５０と不動圧電素
子８２とを、交互に離間して一方向Ａに配設している。
不動圧電素子８２は、流路形成部材６２上の振動板５６
に固定されている。不動圧電素子８２によって振動板５
６を強く固定することにより、振動板５６等の変形を防
いでいる。しかしながら、本従来例の構造では、圧電素
子５０等を通常の二倍の密度で形成する必要があるの
で、製造の困難化を招くという新たな問題が生じてい
た。
子８２とを、交互に離間して一方向Ａに配設している。
不動圧電素子８２は、流路形成部材６２上の振動板５６
に固定されている。不動圧電素子８２によって振動板５
６を強く固定することにより、振動板５６等の変形を防
いでいる。しかしながら、本従来例の構造では、圧電素
子５０等を通常の二倍の密度で形成する必要があるの
で、製造の困難化を招くという新たな問題が生じてい
た。
【００１２】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、部品点数を増
加することなく、又は、製造を困難にすることなく、ク
ロストーク等の諸問題を解決したインクジェット記録ヘ
ッドを提供することにある。
加することなく、又は、製造を困難にすることなく、ク
ロストーク等の諸問題を解決したインクジェット記録ヘ
ッドを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のインクジ
ェット記録ヘッドは、複数の圧電素子と、これらの圧電
素子を離間して一方向に配設した固定板と、前記圧電素
子に対応して設けられるとともにインクを収容する圧力
室と、前記圧電素子で発生する振動を前記圧力室へ伝達
する振動板と、前記圧力室に対応した複数のノズル孔を
有するとともに当該圧力室へ伝達された振動に応じて当
該ノズル孔のそれぞれからインク滴を吐出するノズル板
とを備えている。前記圧電素子は、前記他方向の両端に
配設されるとともに電圧によって変形しない不活性部
と、これらの不活性部の間に設けられるとともに電圧に
よって変形する活性部とを有している。前記不活性部
は、前記圧電素子で発生する振動の影響を受けない部分
に固定されている。
ェット記録ヘッドは、複数の圧電素子と、これらの圧電
素子を離間して一方向に配設した固定板と、前記圧電素
子に対応して設けられるとともにインクを収容する圧力
室と、前記圧電素子で発生する振動を前記圧力室へ伝達
する振動板と、前記圧力室に対応した複数のノズル孔を
有するとともに当該圧力室へ伝達された振動に応じて当
該ノズル孔のそれぞれからインク滴を吐出するノズル板
とを備えている。前記圧電素子は、前記他方向の両端に
配設されるとともに電圧によって変形しない不活性部
と、これらの不活性部の間に設けられるとともに電圧に
よって変形する活性部とを有している。前記不活性部
は、前記圧電素子で発生する振動の影響を受けない部分
に固定されている。
【００１４】圧電素子に対応して圧力室が設けられ、圧
力室に対応してノズル孔が設けられている。圧電素子に
電圧を印加すると、圧電素子の活性部に変位が生じる。
この変位は、振動板を介して圧電素子に対応した圧力室
に伝達される。すると、その圧力室に対応したノズル孔
からインク滴が吐出される。また、圧電素子の他方向の
両端の不活性部は、圧電素子で発生する振動の影響を受
けない部分に固定されている。したがって、圧電素子の
振動に伴い振動板及びノズル板を変形させようとする力
が発生しても、その力は不活性部を介して固定板で抑え
られる。
力室に対応してノズル孔が設けられている。圧電素子に
電圧を印加すると、圧電素子の活性部に変位が生じる。
この変位は、振動板を介して圧電素子に対応した圧力室
に伝達される。すると、その圧力室に対応したノズル孔
からインク滴が吐出される。また、圧電素子の他方向の
両端の不活性部は、圧電素子で発生する振動の影響を受
けない部分に固定されている。したがって、圧電素子の
振動に伴い振動板及びノズル板を変形させようとする力
が発生しても、その力は不活性部を介して固定板で抑え
られる。
【００１５】請求項２記載のインクジェット記録ヘッド
は、請求項１記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記振動板は、前記他方向の両端に配設
されるとともに前記圧電素子によって振動しない固定部
と、これらの固定部の間に設けられるとともに前記圧電
素子によって振動する振動部とを有している。前記不活
性部は、前記固定部に固定されている。
は、請求項１記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記振動板は、前記他方向の両端に配設
されるとともに前記圧電素子によって振動しない固定部
と、これらの固定部の間に設けられるとともに前記圧電
素子によって振動する振動部とを有している。前記不活
性部は、前記固定部に固定されている。
【００１６】請求項３記載のインクジェット記録ヘッド
は、請求項２記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記圧電素子の不活性部及び活性部の表
面は、面一に形成されている。前記振動板の固定部及び
振動部の表面は、面一に形成されている。前記不活性部
と前記固定部との表面が接合され、前記活性部と前記振
動部との表面が接合されている。
は、請求項２記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記圧電素子の不活性部及び活性部の表
面は、面一に形成されている。前記振動板の固定部及び
振動部の表面は、面一に形成されている。前記不活性部
と前記固定部との表面が接合され、前記活性部と前記振
動部との表面が接合されている。
【００１７】請求項４記載のインクジェット記録ヘッド
は、複数の圧電素子と、これらの圧電素子を離間して一
方向に配設した固定板と、前記圧電素子に対応して設け
られるとともにインクを収容する圧力室と、前記圧電素
子で発生する振動を前記圧力室へ伝達する振動板と、前
記圧力室に対応した複数のノズル孔を有するとともに当
該圧力室へ伝達された振動に応じて当該ノズル孔のそれ
ぞれからインク滴を吐出するノズル板とを備えている。
そして、前記振動板の前記圧電素子間の部分に固定され
るとともに、前記圧電素子で発生する振動の影響を受け
ない部分に固定された、補強板が設けられている。
は、複数の圧電素子と、これらの圧電素子を離間して一
方向に配設した固定板と、前記圧電素子に対応して設け
られるとともにインクを収容する圧力室と、前記圧電素
子で発生する振動を前記圧力室へ伝達する振動板と、前
記圧力室に対応した複数のノズル孔を有するとともに当
該圧力室へ伝達された振動に応じて当該ノズル孔のそれ
ぞれからインク滴を吐出するノズル板とを備えている。
そして、前記振動板の前記圧電素子間の部分に固定され
るとともに、前記圧電素子で発生する振動の影響を受け
ない部分に固定された、補強板が設けられている。
【００１８】圧電素子に対応して圧力室が設けられ、圧
力室に対応してノズル孔が設けられている。圧電素子に
電圧を印加すると、圧電素子の活性部に変位が生じる。
この変位は、振動板を介して圧電素子に対応した圧力室
に伝達される。すると、その圧力室に対応したノズル孔
からインク滴が吐出される。また、補強板は、振動板の
圧電素子間の部分に固定されるとともに、圧電素子で発
生する振動の影響を受けない部分に固定されている。し
たがって、圧電素子の振動に伴い振動板及びノズル板を
変形させようとする力が発生しても、その力は補強板で
抑えられる。
力室に対応してノズル孔が設けられている。圧電素子に
電圧を印加すると、圧電素子の活性部に変位が生じる。
この変位は、振動板を介して圧電素子に対応した圧力室
に伝達される。すると、その圧力室に対応したノズル孔
からインク滴が吐出される。また、補強板は、振動板の
圧電素子間の部分に固定されるとともに、圧電素子で発
生する振動の影響を受けない部分に固定されている。し
たがって、圧電素子の振動に伴い振動板及びノズル板を
変形させようとする力が発生しても、その力は補強板で
抑えられる。
【００１９】請求項５記載のインクジェット記録ヘッド
は、請求項４記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記振動板は、前記一方向と直交する他
方向の両端に配設されるとともに前記圧電素子によって
振動しない固定部と、これらの固定部の間に設けられる
とともに前記圧電素子によって振動する振動部とを有し
ている。前記補強板は、前記振動板の前記圧電素子間の
部分に固定されるとともに前記固定部に固定されてい
る。
は、請求項４記載のインクジェット記録ヘッドを限定し
たものである。前記振動板は、前記一方向と直交する他
方向の両端に配設されるとともに前記圧電素子によって
振動しない固定部と、これらの固定部の間に設けられる
とともに前記圧電素子によって振動する振動部とを有し
ている。前記補強板は、前記振動板の前記圧電素子間の
部分に固定されるとともに前記固定部に固定されてい
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１及び図２はインクジェット記
録ヘッドの第一実施形態を示し、図１は断面図、図２は
図１のII−II線縦断面図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分は同
一符号を付すことにより重複説明を省略する。
録ヘッドの第一実施形態を示し、図１は断面図、図２は
図１のII−II線縦断面図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。ただし、図７及び図８と同一部分は同
一符号を付すことにより重複説明を省略する。
【００２１】本実施形態のインクジェット記録ヘッド
は、複数の圧電素子１０と、これらの圧電素子１０を離
間して一方向Ａに配設した固定板１２と、圧電素子１０
に対応して設けられるとともにインクＩを収容する圧力
室５４と、圧電素子１０で発生する振動を圧力室５４へ
伝達する振動板１４と、圧力室５４に対応した複数のノ
ズル孔５８を有するとともに圧力室５４へ伝達された振
動に応じてノズル孔５８のそれぞれからインク滴Ｉｄを
吐出するノズル板６０とを備えている。
は、複数の圧電素子１０と、これらの圧電素子１０を離
間して一方向Ａに配設した固定板１２と、圧電素子１０
に対応して設けられるとともにインクＩを収容する圧力
室５４と、圧電素子１０で発生する振動を圧力室５４へ
伝達する振動板１４と、圧力室５４に対応した複数のノ
ズル孔５８を有するとともに圧力室５４へ伝達された振
動に応じてノズル孔５８のそれぞれからインク滴Ｉｄを
吐出するノズル板６０とを備えている。
【００２２】圧電素子１０は、一方向Ａと直交する他方
向Ｂの両端に配設されるとともに電圧によって変形しな
い不活性部１０１，１０２と、不活性部１０１，１０２
の間に設けられるとともに電圧によって変形する活性部
１０３とを有している。活性部１０３の表面１０３ａ
は、不活性部１０１，１０２の表面１０１ａ，１０２ａ
から突き出るように凸状に加工されている。
向Ｂの両端に配設されるとともに電圧によって変形しな
い不活性部１０１，１０２と、不活性部１０１，１０２
の間に設けられるとともに電圧によって変形する活性部
１０３とを有している。活性部１０３の表面１０３ａ
は、不活性部１０１，１０２の表面１０１ａ，１０２ａ
から突き出るように凸状に加工されている。
【００２３】また、圧電素子１０は、例えばセラミック
等の圧電材料を共通電極１０４と個別電極１０５とで何
層にも挟持した構造となっており、個別電極１０５によ
って選択的に電圧を印加できるようになっている。共通
電極１０４と個別電極１０５の重なる部分が活性部１０
３であり、重ならない部分が不活性部１０１，１０２で
ある。
等の圧電材料を共通電極１０４と個別電極１０５とで何
層にも挟持した構造となっており、個別電極１０５によ
って選択的に電圧を印加できるようになっている。共通
電極１０４と個別電極１０５の重なる部分が活性部１０
３であり、重ならない部分が不活性部１０１，１０２で
ある。
【００２４】振動板１４は、他方向Ｂの両端に配設され
るとともに圧電素子１０によって振動しない固定部１４
１，１４２と、固定部１４１，１４２の間に設けられる
とともに圧電素子１０によって振動する振動部１４３と
を有している。振動部１４３の表面１４３ａは、固定部
１４１，１４２の表面１４１ａ，１４２ａから窪むよう
に凹状に加工されている。したがって、固定部１４１，
１４２の厚さは、振動部１４３の厚さに関係なく、十分
に確保できる。表面１０１ａ，１０２ａはそれぞれ表面
１４１ａ，１４２ａに接合されることにより、不活性部
１０１，１０２がそれぞれ固定部１４１，１４２に固定
されている。固定部１４１，１４２の厚さは十分に確保
できるので、不活性部１０１，１０２は固定部１４１，
１４２に強く固定される。
るとともに圧電素子１０によって振動しない固定部１４
１，１４２と、固定部１４１，１４２の間に設けられる
とともに圧電素子１０によって振動する振動部１４３と
を有している。振動部１４３の表面１４３ａは、固定部
１４１，１４２の表面１４１ａ，１４２ａから窪むよう
に凹状に加工されている。したがって、固定部１４１，
１４２の厚さは、振動部１４３の厚さに関係なく、十分
に確保できる。表面１０１ａ，１０２ａはそれぞれ表面
１４１ａ，１４２ａに接合されることにより、不活性部
１０１，１０２がそれぞれ固定部１４１，１４２に固定
されている。固定部１４１，１４２の厚さは十分に確保
できるので、不活性部１０１，１０２は固定部１４１，
１４２に強く固定される。
【００２５】圧電素子１０に対応して圧力室５４が設け
られ、圧力室５４に対応してノズル孔５８が設けられて
いる。圧電素子１０に電圧を印加すると、圧電素子１０
の活性部１０３に変位が生じる。この変位は、振動板１
４を介して圧電素子１０に対応した圧力室５４に伝達さ
れる。すると、その圧力室５４に対応したノズル孔５８
からインク滴Ｉｄが吐出される。また、圧電素子１０の
他方向Ｂの両端の不活性部１０１，１０２は、圧電素子
１０で発生する振動の影響を受けない、固定部１４１，
１４２に固定されている。したがって、圧電素子１０の
振動に伴い振動板１４及びノズル板６０を変形させよう
とする力が発生しても、その力は不活性部１０１，１０
２を介して固定板１２で抑えられる。したがって、部品
点数を増加することなく、クロストーク等の諸問題を解
決できる。
られ、圧力室５４に対応してノズル孔５８が設けられて
いる。圧電素子１０に電圧を印加すると、圧電素子１０
の活性部１０３に変位が生じる。この変位は、振動板１
４を介して圧電素子１０に対応した圧力室５４に伝達さ
れる。すると、その圧力室５４に対応したノズル孔５８
からインク滴Ｉｄが吐出される。また、圧電素子１０の
他方向Ｂの両端の不活性部１０１，１０２は、圧電素子
１０で発生する振動の影響を受けない、固定部１４１，
１４２に固定されている。したがって、圧電素子１０の
振動に伴い振動板１４及びノズル板６０を変形させよう
とする力が発生しても、その力は不活性部１０１，１０
２を介して固定板１２で抑えられる。したがって、部品
点数を増加することなく、クロストーク等の諸問題を解
決できる。
【００２６】図３及び図４はインクジェット記録ヘッド
の第二実施形態を示し、図３は断面図、図４は図３のIV
−IV線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説
明する。ただし、図１及び図２と同一部分は同一符号を
付すことにより重複説明を省略する。
の第二実施形態を示し、図３は断面図、図４は図３のIV
−IV線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説
明する。ただし、図１及び図２と同一部分は同一符号を
付すことにより重複説明を省略する。
【００２７】圧電素子２０は、他方向Ｂの両端に配設さ
れるとともに電圧によって変形しない不活性部２０１，
２０２と、不活性部２０１，２０２の間に設けられると
ともに電圧によって変形する活性部２０３とを有してい
る。不活性部２０１，２０２の表面２０１ａ，２０２ａ
及び活性部２０３の表面２０３ａは、面一に形成されて
いる。共通電極２０４と個別電極２０５の重なる部分が
活性部２０３であり、重ならない部分が不活性部２０
１，２０２である。
れるとともに電圧によって変形しない不活性部２０１，
２０２と、不活性部２０１，２０２の間に設けられると
ともに電圧によって変形する活性部２０３とを有してい
る。不活性部２０１，２０２の表面２０１ａ，２０２ａ
及び活性部２０３の表面２０３ａは、面一に形成されて
いる。共通電極２０４と個別電極２０５の重なる部分が
活性部２０３であり、重ならない部分が不活性部２０
１，２０２である。
【００２８】振動板２２は、他方向Ｂの両端に配設され
るとともに圧電素子２０によって振動しない固定部２２
１，２２２と、固定部２２１，２２２の間に設けられる
とともに圧電素子２０によって振動する振動部２２３と
を有している。固定部２２１，２２２の表面２２１ａ，
２２２ａ及び振動部２２３の表面２２３ａは、面一に形
成されている。
るとともに圧電素子２０によって振動しない固定部２２
１，２２２と、固定部２２１，２２２の間に設けられる
とともに圧電素子２０によって振動する振動部２２３と
を有している。固定部２２１，２２２の表面２２１ａ，
２２２ａ及び振動部２２３の表面２２３ａは、面一に形
成されている。
【００２９】表面２０１ａ，２０２ａ，２０３ａは、表
面２２１ａ，２２２ａ，２２３ａに接合されている。こ
れにより、不活性部２０１，２０２は、それぞれ固定部
２２１，２２２に固定されている。本実施形態では、振
動板２２及び圧電素子２０の厚み方向の精度を気にする
ことなく、振動板２２と圧電素子２０とを接合できるた
め、加工及び組立てがより容易になる。
面２２１ａ，２２２ａ，２２３ａに接合されている。こ
れにより、不活性部２０１，２０２は、それぞれ固定部
２２１，２２２に固定されている。本実施形態では、振
動板２２及び圧電素子２０の厚み方向の精度を気にする
ことなく、振動板２２と圧電素子２０とを接合できるた
め、加工及び組立てがより容易になる。
【００３０】図５及び図６はインクジェット記録ヘッド
の第三実施形態を示し、図５は断面図、図６は図５のVI
−VI線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説
明する。ただし、図３及び図４と同一部分は同一符号を
付すことにより重複説明を省略する。
の第三実施形態を示し、図５は断面図、図６は図５のVI
−VI線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説
明する。ただし、図３及び図４と同一部分は同一符号を
付すことにより重複説明を省略する。
【００３１】本実施形態では、補強板３０が設けられて
いる。補強板３０は、例えば全体として梯子状を呈して
おり、一方向Ａに伸びる二本の外枠部材３０１、３０２
と、他方向Ｂに伸びる多数本の内枠部材３０３とを有し
ている。外枠部材３０１、３０２は、それぞれ固定部２
２１，２２２に固定されている。内枠部材３０３は、振
動板２２の圧電素子２０間の部分２２４に固定されてい
る。このように、補強板３０は、圧電素子２０の周りを
囲むように振動板２２に固定されている。
いる。補強板３０は、例えば全体として梯子状を呈して
おり、一方向Ａに伸びる二本の外枠部材３０１、３０２
と、他方向Ｂに伸びる多数本の内枠部材３０３とを有し
ている。外枠部材３０１、３０２は、それぞれ固定部２
２１，２２２に固定されている。内枠部材３０３は、振
動板２２の圧電素子２０間の部分２２４に固定されてい
る。このように、補強板３０は、圧電素子２０の周りを
囲むように振動板２２に固定されている。
【００３２】圧電素子２０の駆動時には、不活性部２０
１，２０２及び固定部２２１，２２を支点とし、活性部
２０３及び振動部２２３を力点としたモーメントが発生
する。このモーメントにより、圧力室５４の流路形成部
材６２を介してノズル板６０の変形等が生ずるので、隣
接するノズル孔５８へ影響が及ぶ。補強板３０は、この
ようなモーメントのかかる部分を補強したものであり、
圧電素子２０の駆動による圧力室５４の変形等を抑えて
いる。また、圧電素子２０は通常の密度であり、補強板
３０の内枠部材３０３の密度も圧電素子２０と同じであ
る。したがって、圧電素子２０及び補強板３０の製造は
容易である。
１，２０２及び固定部２２１，２２を支点とし、活性部
２０３及び振動部２２３を力点としたモーメントが発生
する。このモーメントにより、圧力室５４の流路形成部
材６２を介してノズル板６０の変形等が生ずるので、隣
接するノズル孔５８へ影響が及ぶ。補強板３０は、この
ようなモーメントのかかる部分を補強したものであり、
圧電素子２０の駆動による圧力室５４の変形等を抑えて
いる。また、圧電素子２０は通常の密度であり、補強板
３０の内枠部材３０３の密度も圧電素子２０と同じであ
る。したがって、圧電素子２０及び補強板３０の製造は
容易である。
【００３３】
【発明の効果】請求項１乃至３記載のインクジェット記
録ヘッドによれば、圧電素子の両端の不活性部を、圧電
素子で発生する振動の影響を受けない部分に固定するこ
とにより、圧電素子の振動に伴い振動板及びノズル板を
変形させようとする力が発生しても、その力を不活性部
を介して固定板で抑えることができる。したがって、部
品点数を増加することなく、クロストーク等の諸問題を
解決できる。
録ヘッドによれば、圧電素子の両端の不活性部を、圧電
素子で発生する振動の影響を受けない部分に固定するこ
とにより、圧電素子の振動に伴い振動板及びノズル板を
変形させようとする力が発生しても、その力を不活性部
を介して固定板で抑えることができる。したがって、部
品点数を増加することなく、クロストーク等の諸問題を
解決できる。
【００３４】請求項３記載のインクジェット記録ヘッド
によれば、圧電素子の不活性部及び活性部の表面を面一
にし、振動板の固定部及び振動部の表面を面一にし、こ
れらの表面を接合することにより、圧電素子及び振動板
の厚み方向の精度を粗くできるので、製造を容易化でき
る。
によれば、圧電素子の不活性部及び活性部の表面を面一
にし、振動板の固定部及び振動部の表面を面一にし、こ
れらの表面を接合することにより、圧電素子及び振動板
の厚み方向の精度を粗くできるので、製造を容易化でき
る。
【００３５】請求項４及び５記載のインクジェット記録
ヘッドによれば、振動板の圧電素子間の部分に固定され
るとともに圧電素子で発生する振動の影響を受けない部
分に固定された補強板を設けたことにより、圧電素子の
振動に伴い振動板及びノズル板を変形させようとする力
が発生しても、その力を補強板で抑えることができる。
しかも、圧電素子は通常の密度であり、補強板の構造も
圧電素子と同じ密度であるので、製造は容易である。し
たがって、製造を困難にすることなく、クロストーク等
の諸問題を解決できる。
ヘッドによれば、振動板の圧電素子間の部分に固定され
るとともに圧電素子で発生する振動の影響を受けない部
分に固定された補強板を設けたことにより、圧電素子の
振動に伴い振動板及びノズル板を変形させようとする力
が発生しても、その力を補強板で抑えることができる。
しかも、圧電素子は通常の密度であり、補強板の構造も
圧電素子と同じ密度であるので、製造は容易である。し
たがって、製造を困難にすることなく、クロストーク等
の諸問題を解決できる。
【図１】本発明の第一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１のII−II線縦断面図である。
【図３】本発明の第二実施形態を示す断面図である。
【図４】図３のIV−IV線縦断面図である。
【図５】本発明の第三実施形態を示す断面図である。
【図６】図５のVI−VI線縦断面図である。
【図７】第一従来例を示す断面図である。
【図８】図７のVIII−VIII線縦断面図である。
【図９】第一従来例を示す断面図である。
【図１０】第二従来例を示す断面図である。
【図１１】図１０のXI−XI線縦断面図である。
【図１２】第三従来例を示す断面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線縦断面図である。
１０，２０ 圧電素子 １０１，１０２，２０１，２０２ 不活性部 １０３，２０３ 活性部 １２ 固定板 １４，２２ 振動板 １４１，１４２，２２１，２２２ 固定部 １４３，２２３ 振動部 ３０ 補強板 ５４ 圧力室 ５８ ノズル孔 ６０ ノズル板 Ａ 一方向 Ｂ 他方向 Ｉ インク Ｉｄ インク滴
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の圧電素子と、これらの圧電素子を
離間して一方向に配設した固定板と、前記圧電素子に対
応して設けられるとともにインクを収容する圧力室と、
前記圧電素子で発生する振動を前記圧力室へ伝達する振
動板と、前記圧力室に対応した複数のノズル孔を有する
とともに当該圧力室へ伝達された振動に応じて当該ノズ
ル孔のそれぞれからインク滴を吐出するノズル板とを備
えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記圧電素子は、前記一方向と直交する他方向の両端に
配設されるとともに電圧によって変形しない不活性部
と、これらの不活性部の間に設けられるとともに電圧に
よって変形する活性部とを有し、 前記不活性部は、前記圧電素子で発生する振動の影響を
受けない部分に固定されていることを特徴とするインク
ジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記振動板は、前記他方向の両端に配設
されるとともに前記圧電素子によって振動しない固定部
と、これらの固定部の間に設けられるとともに前記圧電
素子によって振動する振動部とを有し、 前記不活性部は、前記固定部に固定されていることを特
徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記圧電素子の不活性部及び活性部の表
面は面一に形成され、前記振動板の固定部及び振動部の
表面は面一に形成され、前記不活性部と前記固定部との
表面が接合され、前記活性部と前記振動部との表面が接
合された請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 複数の圧電素子と、これらの圧電素子を
離間して一方向に配設した固定板と、前記圧電素子に対
応して設けられるとともにインクを収容する圧力室と、
前記圧電素子で発生する振動を前記圧力室へ伝達する振
動板と、前記圧力室に対応した複数のノズル孔を有する
とともに当該圧力室へ伝達された振動に応じて当該ノズ
ル孔のそれぞれからインク滴を吐出するノズル板とを備
えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記振動板の前記圧電素子間の部分に固定されるととも
に前記圧電素子で発生する振動の影響を受けない部分に
固定された補強板が設けられたことを特徴とするインク
ジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記振動板は、前記一方向と直交する他
方向の両端に配設されるとともに前記圧電素子によって
振動しない固定部と、これらの固定部の間に設けられる
とともに前記圧電素子によって振動する振動部とを有
し、 前記補強板は、前記振動板の前記圧電素子間の部分に固
定されるとともに前記固定部に固定された請求項４記載
のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33498695A JP2870462B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33498695A JP2870462B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174837A true JPH09174837A (ja) | 1997-07-08 |
| JP2870462B2 JP2870462B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=18283451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33498695A Expired - Fee Related JP2870462B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2870462B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1070589A2 (en) | 1999-07-19 | 2001-01-24 | Nec Corporation | Ink-jet recording head, method for fabricating same and method for ejecting ink droplets |
| WO2004106729A1 (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-09 | Ngk Insulators, Ltd. | 液体噴射装置 |
| US7114798B2 (en) | 2002-10-03 | 2006-10-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting apparatus |
| US7288874B2 (en) | 2002-10-03 | 2007-10-30 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator unit, manufacturing method thereof, piezoelectric structural body, and liquid ejecting apparatus using the same |
| JP2010069639A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Ricoh Co Ltd | 液滴噴射ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置 |
-
1995
- 1995-12-22 JP JP33498695A patent/JP2870462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1070589A2 (en) | 1999-07-19 | 2001-01-24 | Nec Corporation | Ink-jet recording head, method for fabricating same and method for ejecting ink droplets |
| US7114798B2 (en) | 2002-10-03 | 2006-10-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting apparatus |
| US7288874B2 (en) | 2002-10-03 | 2007-10-30 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator unit, manufacturing method thereof, piezoelectric structural body, and liquid ejecting apparatus using the same |
| US7382083B2 (en) | 2002-10-03 | 2008-06-03 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuater unit, manufacturing method thereof, piezoelectric structural body, and liquid ejecting apparatus using the same |
| US7699443B2 (en) | 2002-10-03 | 2010-04-20 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator unit, manufacturing method thereof, piezoelectric structural body, and liquid ejecting apparatus using the same |
| WO2004106729A1 (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-09 | Ngk Insulators, Ltd. | 液体噴射装置 |
| JP2010069639A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Ricoh Co Ltd | 液滴噴射ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2870462B2 (ja) | 1999-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3484841B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH08336966A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP3231523B2 (ja) | オンデマンド型インクジェットヘッド | |
| JP2870462B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP2001347660A (ja) | 圧電振動子ユニット、及び、これを用いたインクジェット式記録ヘッド | |
| JP3486913B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH04148934A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3412156B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP2003326704A (ja) | 液滴噴射装置 | |
| JPH09174836A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3669013B2 (ja) | インクジェット装置 | |
| JP3412440B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3189575B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2000108348A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びこれを用いた画像形成装置 | |
| JP3116624B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH09156096A (ja) | インクジェットプリンタ | |
| JPH01235648A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3454841B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2785726B2 (ja) | インクジェットヘッド用圧電素子組立体 | |
| JP3381790B2 (ja) | 積層型インクジェット記録ヘッドの圧力発生ユニット | |
| JPH11277743A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2988265B2 (ja) | インクジェット式プリンタヘッド及びその駆動方法 | |
| JP3108958B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH07156387A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2004322505A (ja) | インクジェット記録ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981201 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080108 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100108 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110108 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120108 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120108 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140108 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |