JP3152088B2 - コイル部品の製造方法 - Google Patents
コイル部品の製造方法Info
- Publication number
- JP3152088B2 JP3152088B2 JP29249994A JP29249994A JP3152088B2 JP 3152088 B2 JP3152088 B2 JP 3152088B2 JP 29249994 A JP29249994 A JP 29249994A JP 29249994 A JP29249994 A JP 29249994A JP 3152088 B2 JP3152088 B2 JP 3152088B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- magnetic
- conductor
- forming
- mother
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 17
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F17/043—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with two, usually identical or nearly identical parts enclosing completely the coil (pot cores)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/046—Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Description
法、特にトランスやインダクタ等として使用されるコイ
ル部品の製造方法に関する。
10に示す巻線型コイル部品41が知られている。この
コイル部品41はコア42とこのコア42の胴部に巻回
された線材43とで構成されている。線材43はその終
端部がコア42の矩形状ベース部の端面に設けられた外
部端子44にからげられている。
ト積層技術を利用して製造したコイル部品51も知られ
ている。このコイル部品51はコイル導体521,5
22,523,524を表面に設けた磁性体グリーンシー
トを積層して一体的に焼成した後、外部電極56,57
を形成することによって製造されている。コイル導体5
2 1〜524は磁性体グリーンシートに設けたビアホール
等を介して電気的に直列に接続されたりしてコイル52
を形成している。
られている。このコイル部品61はコイル導体を表面に
設けた絶縁体グリーンシートを積層してなるコイル部6
2と、このコイル部62を挟着する2つの磁性体コア6
3,64とで構成されている。絶縁体グリーンシートに
は磁性体を含まない材料が用いられる。
品のうち、図10に示したコイル部品41は、コア42
を個々に成形し、コア42毎に線材43を巻回す必要が
あった。また、線材43と外部端子44は別素材で構成
されるため半田付け等の電気的接続工程を必要とし、こ
の工程もコイル部品毎に行わなければならなかった。こ
の結果、コイル部品41は生産性が低く、高コストであ
った。また、ハンドリングの問題でコア42や線材43
の寸法を小型化することにも限界があった。
コイル導体521〜524が印刷もしくはフォトリソグラ
フィで形成されるため大部分の工程が基板状態で製造さ
れ、生産性が高く、ハンドリングの問題も解決されてい
る。コイル導体521〜524は薄くかつ細く形成するこ
とができるため小型化にも適している。しかしながら、
焼成工程における磁性体グリーンシートの収縮によっ
て、電気特性のばらつきが発生するという問題があっ
た。そして、磁性体グリーンシート毎に閉磁路が形成さ
れるため、コイル52の電磁気特性が悪いという問題が
あった。特に、この問題は、コイル部品51がトランス
の場合、コイル相互間の電磁気的結合を低くさせ、性能
アップを阻害する大きな原因となっていた。
は、絶縁体グリーンシートに磁性体を含まないため電磁
気特性が良好であるが、別に有効な磁路を形成しなけれ
ばならないという問題があった。すなわち、磁性体から
なるコア63,64を別に準備する必要があった。この
結果、コイル部品61は生産性が低かった。なお、磁粉
を混合した樹脂を印刷等の方法で塗布して磁路として使
用する方法が知られているが、この樹脂材料の透磁率は
磁性体そのものの透磁率と比較して約100分の1〜1
万分の1と小さく、磁路形成効果は極めて少ない。
を備え、コイルの電磁気特性が優れた小型のコイル部品
の製造方法を提供することにある。
め、本発明に係るコイル部品の製造方法は、第1の磁性
体マザー基板上にフォトリソグラフィの手段を用いてコ
イル導体と絶縁体を積層して渦巻き状のコイルからなる
コイル部を形成する工程と、第2の磁性体マザー基板の
表面に前記コイル部の形状に対応した凹部を形成する工
程と、前記第1の磁性体マザー基板のコイル部を設けた
面と前記第2の磁性体マザー基板の凹部を設けた面を、
前記コイル部が前記凹部に挿入されるように、かつ、凹
部に接着剤が充填された状態で接合し、第1及び第2の
磁性体マザー基板を熱圧着する工程と、熱圧着された第
1及び第2の磁性体マザー基板を所定サイズのチップに
カットする工程と、カットされたチップの表面に前記渦
巻き状のコイルの端部と接続された外部電極を形成する
工程とを備えている。
磁性体基板は直接接合されるため、第1及び第2の磁性
体基板にて完全な閉磁路が形成される。一方、コイル導
体と共にコイル部を構成する絶縁体は磁性体を含まな
い。従って、渦巻き状コイルの電磁気特性が良くなる。
そして、凹凸のない第1の磁性体基板上に渦巻き状のコ
イルがフォトリソグラフィの手段にて精度良く形成され
ると共に、磁路形成のために第2の磁性体基板に凹部が
機械加工等の手段にて精度良く形成される。従って、高
精度の小型のコイル部品が生産される。
実施例について添付図面を参照して説明する。なお、以
下の実施例ではトランスを例にして説明するが、必ずし
もこれに限定するものではなく、チョークコイルやイン
ダクタ等であってもよい。
板1と、第2の磁性体マザー基板3を準備する。磁性体
マザー基板1,3は、フェライト等の磁性体からなる。
第1の磁性体マザー基板1には、上面にコイル導体と絶
縁体を積層して構成した格子状のコイル部2が設けられ
ている。ここに、コイル部2の形成方法を図5〜図7を
参照して説明する。
コイル用引き出し導体21を印刷又はフォトリソグラフ
ィの手段にて設ける。フォトリソグラフィの手段を用い
れば、極めて精度良くパターンを形成することができる
ので好ましい。次に、引出し導体21の端部21aを残
してマザー基板1の上面に格子状の絶縁体膜38を印刷
又はフォトリソグラフィの手段にて設ける。さらに、こ
の絶縁体膜38上に渦巻状の1次側コイル導体22とこ
の1次側コイル導体22から延在している引出し導体2
3を設ける。絶縁体膜38から露出している引出し導体
21の端部21aは1次側コイル導体22の端部に電気
的に接続され、引出し導体21,23と1次側コイル導
体22とからなる1次側コイル20が形成される。
被覆するように格子状の絶縁体膜38を設けた後、この
絶縁体膜38上に渦巻状の2次側コイル導体32とこの
2次側コイル導体32から延在している引出し導体33
を設ける。次に、2次側コイル導体32の端部32aを
残して格子状の絶縁体膜38を設ける。さらに、この絶
縁体膜38上に2次側コイル用引出し導体31を設け
る。絶縁体膜38から露出している2次側コイル導体3
2の端部32aは引出し導体31の端部に電気的に接続
され、引出し導体31,33と2次側コイル導体32と
からなる2次側コイル30が形成される。
はAg,Pd,Cu,Niあるいはこれらの合金等が採
用され、絶縁体膜38の材料としてはポリイミド等の樹
脂やアルミナ等のセラミックス等が採用される。第2の
磁性体マザー基板3には、図2に示すように、回転砥石
による切削加工やプレス成形、サンドブラスト、超音波
加工、フォトリソグラフィ等の手段により、コイル部2
の形状に符合した格子状配列の溝部4が設けられてい
る。この溝部4の深さはコイル部2の厚み寸法より若干
深く設計される。例えば、コイル部2をフォトリソグラ
フィの手段にて形成した場合は、溝部4の深さは0.1
mm以下である。
板1と第2の磁性体マザー基板3は、コイル部2を設け
た面と溝部4を設けた面のいずれか一方又は両方に接着
剤6を塗布した後、コイル部2が溝部4に挿入されるよ
うに合わされる。磁性体マザー基板1,3は、それぞれ
の接合面の平坦性が極めて良好であるため、コイル部2
と溝部4が接合面全面にわたって係止し、容易に磁性体
マザー基板1と3の位置決めが行なわれる。このとき、
使用される接着剤6は例えば熱可塑性を持つ特殊なポリ
イミド樹脂である。
トプレス機にセットされ、十分な圧接が行なわれる。す
なわち、磁性体マザー基板1と3の接合面界面から余分
な接着剤6を追い出して完全な磁路を形成すると共に、
溝部4とコイル部2が形成する隙間に接着剤6が充填さ
れて磁性体マザー基板1と3を完全に接着する。溝部4
は余分な接着剤6の逃げ場所としても機能し、磁性体マ
ザー基板1と3の隙間を最小にすることができる。
石によって一点鎖線Cに沿って所定のサイズにカットす
る。図4に示すように、マザー基板から切り出されたト
ランス10の左右側面に、それぞれ外部電極11,1
2、13,14を導電性ペーストの塗布やめっき等の手
段により設ける。図5〜図7に示すように外部電極11
は引出し導体23に電気的に接続され、外部電極12は
引出し導体33に電気的に接続され、外部電極13は引
出し導体31に電気的に接続され、外部電極14は引出
し導体21に電気的に接続されている。図8はトランス
10の電気等価回路図である。
ない第1の磁性体マザー基板1上に印刷もしくはフォト
リソグラフィ等の手段にてコイル部2を形成するので、
コイル部2を精度良く形成することができ、トランス1
の小型化を図ることができる。なぜなら、磁性体マザー
基板1の上面が凹凸であれば、導体21〜23,31〜
33に滲みが生じて導体幅が細くできず、これが部品の
小型化を阻害するからである。また、磁路形成のための
切削加工は第2の磁性体マザー基板3にのみ行なわれ、
特に焼成後研磨加工された基板への切削加工は、焼成前
に金型加工されたものと比較して精度良く行うことがで
きる。そして、第1の磁性体基板1と第2の磁性体基板
3は直接接合するので、これらの磁性体基板1,3にて
完全な閉磁路が形成される。一方、コイル部2を構成す
る絶縁体膜38は磁性体を含まないのでトランス10の
電磁気的結合を高くすることができる。この結果、磁性
体の閉磁路を備え、1次側コイル20と2次側コイル3
0の電磁気的結合が優れた小型のトランス10を得るこ
とができる。
は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲
内で種々に変形することができる。コイル導体は渦巻き
状のもの以外に、円弧状のもの等仕様に合わせて種々選
択される。また、図9に示すように、コイル部2の中心
部に磁性体を設けない構造であってもよいし、マザー基
板のカット位置を変えることにより、トランスを複数個
備えた多連型部品としてもよい。
係るコイル部品の製造方法にあっては、第1の磁性体マ
ザー基板上に渦巻き状のコイルからなるコイル部を形成
し、第2の磁性体マザー基板の表面に前記コイル部の形
状に対応した凹部を形成し、前記第1及び第2の磁性体
マザー基板を接合し、熱圧着するようにしたため、第1
及び第2の磁性体基板によって完全な閉磁路を形成し、
渦巻き状コイルのインピーダンス等の電磁気特性の向上
したコイル部品を量産することができる。そして、凹凸
のない第1の磁性体基板上に渦巻き状のコイルをフォト
リソグラフィの手段にて形成するので、コイル部を精度
良く形成することができる。
て斜視図。
ら見た斜視図。
図。
Claims (1)
- 【請求項1】 第1の磁性体マザー基板上にフォトリソ
グラフィの手段を用いてコイル導体と絶縁体を積層して
渦巻き状のコイルからなるコイル部を形成する工程と、 第2の磁性体マザー基板の表面に前記コイル部の形状に
対応した凹部を形成する工程と、 前記第1の磁性体マザー基板のコイル部を設けた面と前
記第2の磁性体マザー基板の凹部を設けた面を、前記コ
イル部が前記凹部に挿入されるように、かつ、凹部に接
着剤が充填された状態で接合し、第1及び第2の磁性体
マザー基板を熱圧着する工程と、 熱圧着された第1及び第2の磁性体マザー基板を所定サ
イズのチップにカットする工程と、 カットされたチップの表面に前記渦巻き状のコイルの端
部と接続された外部電極を形成する工程と、 を備えたことを特徴とするコイル部品の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29249994A JP3152088B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | コイル部品の製造方法 |
US08/561,586 US5900797A (en) | 1994-11-28 | 1995-11-21 | Coil assembly |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29249994A JP3152088B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | コイル部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08153623A JPH08153623A (ja) | 1996-06-11 |
JP3152088B2 true JP3152088B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=17782618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29249994A Expired - Lifetime JP3152088B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | コイル部品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5900797A (ja) |
JP (1) | JP3152088B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6194248B1 (en) * | 1997-09-02 | 2001-02-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip electronic part |
FR2790328B1 (fr) * | 1999-02-26 | 2001-04-20 | Memscap | Composant inductif, transformateur integre, notamment destines a etre incorpores dans un circuit radiofrequence,et circuit integre associe avec un tel composant inductif ou transformateur integre |
JP2000269050A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Taiyo Yuden Co Ltd | コモンモードチョークコイル |
US6285272B1 (en) | 1999-10-28 | 2001-09-04 | Coilcraft, Incorporated | Low profile inductive component |
US6380834B1 (en) * | 2000-03-01 | 2002-04-30 | Space Systems/Loral, Inc. | Planar magnetic assembly |
US6768409B2 (en) * | 2001-08-29 | 2004-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic device, method for manufacturing the same, and power supply module equipped with the same |
CN100403462C (zh) * | 2001-10-24 | 2008-07-16 | 松下电器产业株式会社 | 薄型变压器及其制造方法 |
TWI280739B (en) * | 2005-06-30 | 2007-05-01 | Delta Electronics Inc | Electronic device |
CN1901367B (zh) * | 2005-07-19 | 2012-10-03 | 台达电子工业股份有限公司 | 电子元件 |
JP2008042087A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Tdk Corp | 貼り合わせ基板の加工方法及びコイル部品の製造方法 |
JP5685815B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2015-03-18 | Tdk株式会社 | トランスおよびスイッチング電源装置 |
DE102011112826B4 (de) | 2011-05-23 | 2020-06-18 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor und Verfahren zur Herstellung des Sensors |
KR101408617B1 (ko) * | 2012-11-20 | 2014-06-17 | 삼성전기주식회사 | 적층형 코일 부품 |
CN106488654A (zh) * | 2015-08-27 | 2017-03-08 | 全亿大科技(佛山)有限公司 | 线圈载板的制造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3898595A (en) * | 1970-11-02 | 1975-08-05 | Cunningham Corp | Magnetic printed circuit |
US4547961A (en) * | 1980-11-14 | 1985-10-22 | Analog Devices, Incorporated | Method of manufacture of miniaturized transformer |
US4959631A (en) * | 1987-09-29 | 1990-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Planar inductor |
US5349743A (en) * | 1991-05-02 | 1994-09-27 | At&T Bell Laboratories | Method of making a multilayer monolithic magnet component |
JP3197022B2 (ja) * | 1991-05-13 | 2001-08-13 | ティーディーケイ株式会社 | ノイズサプレッサ用積層セラミック部品 |
JP2941484B2 (ja) * | 1991-05-31 | 1999-08-25 | 株式会社東芝 | 平面トランス |
JP2953140B2 (ja) * | 1991-09-20 | 1999-09-27 | 株式会社村田製作所 | トランス |
JPH05152134A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インダクタンス部品用グリーンシートおよびそれを用いたインダクタンス部品 |
JP2601666Y2 (ja) * | 1992-05-08 | 1999-11-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型コイル |
US5583424A (en) * | 1993-03-15 | 1996-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic element for power supply and dc-to-dc converter |
US5631822A (en) * | 1995-08-24 | 1997-05-20 | Interpoint Corporation | Integrated planar magnetics and connector |
US5572180A (en) * | 1995-11-16 | 1996-11-05 | Motorola, Inc. | Surface mountable inductor |
-
1994
- 1994-11-28 JP JP29249994A patent/JP3152088B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-11-21 US US08/561,586 patent/US5900797A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08153623A (ja) | 1996-06-11 |
US5900797A (en) | 1999-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3601619B2 (ja) | コモンモードチョークコイル | |
JP3152088B2 (ja) | コイル部品の製造方法 | |
US4547961A (en) | Method of manufacture of miniaturized transformer | |
JP4010920B2 (ja) | インダクティブ素子の製造方法 | |
JP2003133135A (ja) | コイル部品 | |
JPH11260644A (ja) | 電子部品 | |
JP2000269050A (ja) | コモンモードチョークコイル | |
CN111477434B (zh) | 层叠线圈部件 | |
JP2020119978A (ja) | 積層コイル部品 | |
JP2004040001A (ja) | コイル部品及び回路装置 | |
JPH06224043A (ja) | 積層チップトランスとその製造方法 | |
US20200395167A1 (en) | Coil component | |
JP2007012825A (ja) | チップ部品及びその製造方法 | |
JP2946261B2 (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
JP3225637B2 (ja) | チップ型チョークコイル | |
JPH0757935A (ja) | 積層チップインダクタ | |
JP2991091B2 (ja) | 薄膜トランスおよびその製造方法 | |
KR100243360B1 (ko) | 적층세라믹트랜스포머의제조방법 | |
JP3476887B2 (ja) | コイル部品および電極の形成方法 | |
JP2002313629A (ja) | チップ型インダクタ | |
JP2001167929A (ja) | 積層チップ部品及びその製造方法 | |
JP2004047817A (ja) | 積層フェライト基板,薄型コイル部品及びそれを使用した回路装置 | |
JP2022150913A (ja) | 積層コイル部品の製造方法及び積層コイル部品 | |
JPS6346566B2 (ja) | ||
JPH0410657Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090126 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100126 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140126 Year of fee payment: 13 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |