JP3151909B2 - 光記録媒体および光記録媒体用基板 - Google Patents

光記録媒体および光記録媒体用基板

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光により情報の記録、
再生あるいは消去を行う光記録媒体および光記録媒体を
製造するために必要な光記録媒体用基板に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、クロストークを小さくするため金
属案内膜を用いて、トラッキングを行う光記録媒体10
0は、図13に示すようにガラス等の基板101上に、
タンタル等の金属からなる案内膜102、SiO2等の誘電
体から成る誘電体層103、TbFeCo等の光磁気記録材料
から成る記録層104、SiO2等の保護層105が積層さ
れており、案内膜102と記録層104とで生じる回折
を利用し、よく知られているプッシュプル法によりトラ
ッキングが行われる。このような光記録媒体100で
は、図14に示すように案内膜102を渦巻状あるいは
同心円状に一定の長さだけ連続的に除去することによ
り、記録領域110を形成し、案内膜102を所定のパ
ターンで除去することにより、セクタマーク等のプリフ
ォーマット信号を発生するピット112が形成されてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな光記録媒体100において、トラッキングを安定に
行うため、プッシュプル信号が最大強度で得られるよう
にするには、誘電体層103の膜厚をλ/(8n)とする必
要がある。ただし、nは誘電体層103の屈折率であ
る。一方、プリフォーマット信号が最大強度で得られる
ようにするには誘電体層103の膜厚をλ/(4n)とする
必要がある。すなわち、プッシュプル信号およびプリフ
ォーマット信号ともに最大となるような誘電体層103
の膜厚は存在しないため、誘電体層103の膜厚をλ/
(8n)とλ/(4n)の中間、例えばλ/(6n)に選んでいた。こ
のため、従来の光記録媒体ではプッシュプル信号および
プリフォーマット信号がそれぞれ十分な強度で得られな
いという問題があった。
【0004】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、その目的とするところは、案内
層よりも記録層から遠い位置にプリフォーマット信号を
発生する反射材を形成することにより、プッシュプル信
号およびプリフォーマット信号がそれぞれ十分大きな強
度で得られる光記録媒体、および光記録媒体用基板を提
供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の光記録媒体では、基板と、所定パターンで形
成された反射材と、一部が除去された案内層と、記録層
とを備え、反射材は案内層よりも記録層から遠い位置に
形成されている。さらに、反射材によって反射された光
の位相と、記録層によって反射された光の位相の差がπ
およびそれに2πの整数倍を加えた値となり、また、案
内層によって反射される光の位相と、記録層によって反
射される光の位相の差がπ/2およびそれにπの整数倍
を加えた値となるように反射材、案内層、記録層の間に
それぞれ誘電体層が形成されている。
【0006】また、本発明の光記録媒体用基板では、透
明な基板と、所定パターンで形成された反射材と、前記
基板および前記反射材の上に設けられた第1の誘電体層
と、その上に設けられ、一部が除去された案内層と、そ
の上に設けられた第2の誘電体とから形成され、基板
と、第1および第2の誘電体層の屈折率が等しいか、ほ
ぼ等しくなるようにされている。
【0007】
【作用】上記の構成を有する本発明の光記録媒体では、
案内層によって反射される光の位相と、記録層によって
反射される光の位相の差がπ/2およびそれにπの整数
倍を加えた値となっているため、プッシュプル信号強度
が最大となる。また、プリフォーマット信号を発生する
ための反射材は案内層よりも記録層から遠い位置に形成
されており、反射材によって反射された光の位相と、記
録層によって反射された光の位相の差がπおよびそれに
2πの整数倍を加えた値となっているため、プリフォー
マット信号強度も最大となる。
【0008】また、上記の構成を有する本発明の光記録
媒体用基板では、反射材が案内層よりも基板に近い位置
に形成されているため、第2の誘電体の上に記録層等
を形成した場合、プッシュプル信号および、プリフォー
マット信号がそれぞれ十分な強度で得られる。さらに、
基板と、第1および第2の誘電体層の屈折率が等しい
か、ほぼ等しいため、基板、第1および第2の誘電体層
の各境界において、不用な反射は生じないか非常に小さ
くなり、各種光記録媒体を製造する上で、クロストーク
の小さな優れた基板として用いることができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
【0010】本発明を好適に適用した光記録媒体10で
は、図1のように、透明な基板12の上に、セクターマ
ーク等のプリフォーマット信号を発生する反射材14が
形成され、その上に第1の誘電体層16が形成されてい
る。第1の誘電体層16の上には、案内層18および第
2の誘電体層20が形成されており、案内層18はその
一部が所定の幅で同心円状あるいは渦巻状に除去されて
いる。さらにその上に、記録層22および保護層24が
積層されている。反射材14は基板12側から見た平面
図である図2のように案内層18が除去された部分26
の中央に位置するように形成されている。反射材14が
設けられている部分28が、セクターマークやアドレス
等が記録されているインデックス部、反射材14が設け
られていない部分30が、データの記録再生が行われる
データ部となる。このとき、データ部30において、ト
ラックピッチwPと除去されずに残っている案内層18の
幅wGの和が再生に用いられるレーザ光のスポット径より
も等しいか大きい場合は、クロストークが小さくなり狭
トラックピッチ化による高密度化が可能となる。
【0011】ここで、基板12にはガラス等の透明な材
料が用いられる。また、反射材14及び案内層18に
は、アルミニウム、タンタル、金、銀、銅、チタン等の
金属や窒化チタン等の化合物が用いられる。第1および
第2の誘電体層16、20および保護層24にはSiO2、
SiAlON、SiN、AlN等の透明酸化物、窒化物等が用いられ
る。記録層22にはTbFeCo、GdTbFe等の希土類遷移金属
合金等からなる光磁気記録材料が用いられる。
【0012】このような光記録媒体10において、トラ
ッキングは案内層18と記録層22における回折を利用
した、よく知られているプッシュプル法によって行われ
る。このとき、第2の誘電体層20の屈折率をn2、膜厚
をd2としたとき、d2=λ/(8n2) (1)とすることによ
り、基板12側から照射され、案内層18により反射さ
れた光と、記録層22により反射され、第2の誘電体層
20を往復した光との位相差が、π/2となり、プッシ
ュプル信号強度が最大となる。
【0013】また、プリフォーマット信号は、反射材1
4と記録層22によって生じる回折による反射光量の変
化を検出することにより再生される。従って、第1およ
び第2の誘電体層16、20が同一の材料からなる場
合、第1の誘電体層16の膜厚d1を d1=λ/(8n2) (2) とすることにより、反射材14により反射された光と、
記録層22により反射され、第1および第2の誘電体層
16、20を往復した光との位相差がπとなり、プリフ
ォーマット信号強度も最大となる。なお、第1および第
2の誘電体層16、20が異なった材料から成り、その
屈折率が異なる場合も、同様に、基板12側から照射さ
れ、案内層18により反射された光と、記録層22によ
り反射され、第2の誘電体層20を往復した光との位相
差が、π/2あるいはそれにπの整数倍を加えた値とな
り、反射材14により反射された光と、記録層22によ
り反射され、第1および第2の誘電体層16、20を往
復した光との位相差がπあるいは、それに2πの整数倍
を加えた値となるように、第1および第2の誘電体層1
6、20の膜厚を選ぶことによりプリフォーマット信号
およびプッシュプル信号強度を共に最大とすることがで
きる。さらに、このとき、第1および第2の誘電体層1
6、20の屈折率を基板12よりも大きくすることによ
り、カー効果エンハンスメントも同時に生じ、記録層2
2に記録された信号も高C/Nで再生することができる。
【0014】このような光記録媒体10は図3に示した
ような方法で製造される。すなわち、同図(a)のよう
に、基板12の上に真空蒸着法、スパッタ法等のよく知
られた薄膜形成手段で反射材14となる材料、例えばタ
ンタル、アルミニウム等の金属薄膜32を形成する。そ
の上に、スピンコーティングによりフォトレジスト34
を塗布する。そして、第1のマスク36を通して紫外線
で露光する。第1のマスク36には、図4に示すよう
に、プリフォーマット信号を示すパターン37があらか
じめ形成されている。
【0015】また、第1のマスク36の外周部には位置
合わせ用のパターン38a、38b、38c、38dも
形成されている。露光後、現像すると、フォトレジスト
34は紫外線が照射された部分は除去されるため、図3
(b)のように、第1のマスク36に形成されているパ
ターンと同一のパターンがフォトレジスト34で形成さ
れる。そこで、酸、アルカリ等の溶液によるエッチング
や、プラズマエッチング、イオンエッチング等によるド
ライエッチング等により、フォトレジストが除去された
部分の金属薄膜32をエッチングし、エッチング終了
後、溶剤等で残留しているフォトレジスト34を除去す
ることにより同図(c)のように、反射材14が形成さ
れる。
【0016】次に、同図(d)のように、SiAlON等から
成る第1の誘電体層16および案内層18となる材料、
例えばタンタル、アルミニウム等の金属薄膜39をスパ
ッタ法等のよく知られた薄膜形成手段で作製する。さら
にその上に、スピンコーティングによりフォトレジスト
40を塗布する。そして、第2のマスク42を通して紫
外線で露光する。第2のマスク42には、図5に示すよ
うに、例えば渦巻状のトラッキングパターン44があら
かじめ形成されている。また、第2のマスク42の外周
部にも第1のマスク36と同様に、位置合わせ用のパタ
ーン46a、46b、46c、46dが形成されてい
る。
【0017】露光後、現像すると、フォトレジスト40
は紫外線が照射された部分は除去されるため、図3
(e)のように、第2のマスク42に形成されているパ
ターンと同一のパターンがフォトレジスト40で形成さ
れる。そこで、酸、アルカリ等の溶液によるエッチング
や、プラズマエッチング、イオンエッチング等によるド
ライエッチング等により、フォトレジストが除去された
部分の金属薄膜38をエッチングし、エッチング終了
後、溶剤等で残留しているフォトレジスト40を除去す
ることにより同図(f)のように、案内層18が形成さ
れる。
【0018】最後に、同図(g)のように、記録層22
および、保護層24をよく知られている薄膜形成手段で
作製することにより、本発明の光記録媒体10が完成す
る。
【0019】以上、本発明の一実施例を図1から図5に
基づいて詳細に説明したが、本発明は他の様態で実施す
ることができる。
【0020】各層の材料についても特に限定されず、基
板材料としてガラスの代わりに、アクリル樹脂、ポリカ
ーボネイト樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂等を
用いてもよい。
【0021】また、記録層22もTbFeCo以外の希土類遷
移金属合金、PtCoやPdCoの多層膜、希土類鉄ガーネット
等の酸化物磁性体およびこれらを組み合わせた光磁気材
料だけでなく、Te、Bi等の穴開け型や、GeSbTe、TeOx等
の相変化形材料、色素等の有機材料等を用いることがで
きる。
【0022】また、反射材14および案内層18は同一
の材料である必要はなく、またそれぞれの材料について
も金属である必要はなく、特に限定されない。
【0023】また、記録層22、保護層24および反射
材14、案内層18の膜厚については特に限定されな
い。
【0024】例えば図6に示すように記録層50を薄く
し、保護層51の上にAl、Au、Cu等の金属等から成る反
射層52を設けてもよい。即ち、基板12側から入射し
た光は、記録層50を透過した後、反射層52によって
反射され、再び記録層50を透過する。これにより、カ
ー効果だけでなく、ファラデー効果も加わるため、さら
に大きなカー効果エンハンスメントが生じ、再生C/Nが
高くなる。
【0025】また、案内層18、あるいは反射材14が
薄い場合は、記録層22に生じる凹凸も小さくなるた
め、記録層22の段差部分からの劣化の抑制効果が大き
くなる。
【0026】また、誘電体層の材料は特に限定されず、
第1あるいは第2の誘電体層16、20自体が複数の材
料を用いた多層膜で構成されていてもよい。また、第1
および第2の誘電体層16、20の膜厚は(1)式およ
び(2)式に限定されるものではなく、プッシュプル信
号およびプリフォーマット信号がそれぞれ実用的に十分
な強度で得られれば、任意の値でよい。
【0027】また、図7のように、基板61と第1およ
び第2の誘電体層63、65の屈折率を等しくし、反射
材14、案内層18と併せて光記録媒体用基板66とし
てもよい。このとき、基板61と第1および第2の誘電
体層63、65の屈折率が等しいため、各境界において
不用な反射は発生しない。従って、この光記録媒体用基
板は従来の溝付き基板と全く同じように取り扱うことが
でき、例えば、この光記録媒体用基板66の上に、干渉
層68、記録層69、保護層70、反射層71を設ける
ことにより、従来よりもクロストークの小さな光磁気記
録媒体を製造することができる。
【0028】また、光磁気記録媒体だけでなく、この光
記録媒体用基板66を用いて様々な構成を有する相変化
記録媒体等の光記録媒体を製造することができる。な
お、基板61と第1および第2の誘電体層63、65の
屈折率は必ずしも等しい必要はなく、ほぼ等しければ同
様の効果が得られる。また、第1および第2の誘電体層
63、65の屈折率は特に限定されず、記録層69の材
料に応じて基板61より高くしてもよい。これにより、
光記録媒体全体の反射率が低下するため、記録感度を高
めることができる。
【0029】また、図8のように第1および第2の誘電
体層74、75の一方あるいは両方をスピンコーティン
グ等で作製し、その表面を平坦としてもよい。この場
合、記録層22に劣化の原因となる断差が生じず、信頼
性が向上する。また、基板12から、第2の誘電体層7
5までを光記録媒体用基板76として用いてもよい。
【0030】また、図9のように、第2の誘電体層20
の代わりに、有機色素や磁性ガーネット等の透光性の記
録材料80を用い、その上に反射層82を設けてもよ
い。
【0031】また、案内層の除去パターンについても特
に限定されず、図10のようにある一定領域の案内層1
8をすべて除去し、ミラー部90を形成してもよい。こ
のミラー部90においてプッシュプル信号が0となるよ
うに、トラッキングサーボ回路を調整することにより、
トラッキングオフセットを減少させることができる。ま
た、図11のように、案内層18が除去されていない部
分を形成し、これをミラー部91として用いてもよい。
【0032】また、案内層18の除去の幅およびトラッ
クピッチについても特に限定されない。例えば、外周ほ
どトラックピッチおよび、除去幅を狭くしてもよい。こ
れにより、さらに光記録媒体の密度を向上させることが
できる。
【0033】また、第1および第2のマスク36、42
の形状や、プリフォーマットパターン37、トラッキン
グパターン44についても、特に限定されない。また、
位置合わせ用パターンの個数、位置、形状、配置につい
ても特に限定しない。例えば、図12のようにマスク4
2の内周部95に位置合わせ用パターンを形成してもよ
い。光記録媒体の記録エリアは通常ディスクの外周に近
い部分に設けられており、ディスクの内周部は記録エリ
アとして用いられないため、モアレを利用したもの等比
較的大きなパターンも形成することができる。
【0034】また、露光は必ずしもマスクで行う必要は
なく、従来のビデオディスク等の原盤を製造する場合と
同様にAr等のレーザにより、直接フォトレジストを露光
してもよい。
【0035】また、本発明の光記録媒体の形状はディス
ク状である必要はなく、カード状等であってもよく、特
に限定されない。
【0036】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、
求項1の発明の光記録媒体ではプリフォーマット信号を
発生するための反射材は案内層よりも記録層から遠い位
置に形成されているため、トラッキングに必要なプッシ
ュプル信号および、アクセス等に必要なプリフォーマッ
ト信号ともに十分大きな強度で得られる。
【0037】また、請求項2の発明では、請求項1の光
記録媒体において、反射材によって反射された光の位相
と、記録層によって反射された光の位相の差がπおよび
それに2πの整数倍を加えた値となることから、請求項
1の発明の効果に加えて、アクセス等に必要なプリフォ
ーマット信号が最大強度で得られる。
【0038】また、請求項3の発明では、請求項1の光
記録媒体において、案内層によって反射される光の位相
と、記録層によって反射される光の位相の差がπ/2お
よびそれにπの整数倍を加えた値となることから、請求
項1の発明の効果に加えて、トラッキングに必要なプッ
シュプル信号が最大強度で得られる。
【0039】また、請求項4の発明の光記録媒体用基板
では、反射材が案内層よりも基板に近い位置に形成され
ているため、第2の誘電体の上に記録層等を形成した
場合、プッシュプル信号および、プリフォーマット信号
がそれぞれ十分な強度で得られる。
【0040】また、請求項5の発明では、請求項4の光
記録媒体用基板において、基板と、第1および第2の誘
電体層の屈折率が等しいか、ほぼ等しくすることによ
り、請求項4の発明の効果に加えて、基板、第1および
第2の誘電体層の各境界において、不用な反射は生じな
いか非常に小さくなり、各種光記録媒体を製造する上
で、クロストークの小さな優れた基板として用いること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である光記録媒体の要部断面
図である。
【図2】本発明の一実施例である光記録媒体の基板側か
らみた平面図である。
【図3】(a)から(g)は本発明の光記録媒体の製造
方法を示す説明図である。
【図4】本発明の実施に用いられるプリフォーマットパ
ターンの形成された露光用マスクを示す平面図である。
【図5】本発明の実施に用いられるトラッキングパター
ンの形成された露光用マスクを示す平面図である。
【図6】本発明の光記録媒体の他の実施例を示す要部断
面図である。
【図7】本発明の光記録媒体用基板の一実施例および本
発明の光記録媒体の他の実施例を示す要部断面図であ
る。
【図8】本発明の光記録媒体用基板および本発明の光記
録媒体の他の実施例を示す要部断面図である。
【図9】本発明の光記録媒体の他の実施例を示す要部断
面図である。
【図10】本発明の光記録媒体の他の実施例を示す要部
平面図である。
【図11】本発明の光記録媒体の他の実施例を示す要部
平面図である。
【図12】本発明の実施に用いられるマスクの他の実施
例を示す要部断面図である。
【図13】従来の光記録媒体を示す要部断面図である。
【図14】従来の光記録媒体を基板側からみた平面図で
ある。
【符号の説明】
10 光記録媒体 12 基板 14 反射材 18 案内層 22 記録層 61 基板 63 第1の誘電体層 65 第2の誘電体層 66 光記録媒体用基板
フロントページの続き (72)発明者 浜口 琢哉 名古屋市瑞穂区苗代町15番1号ブラザー 工業株式会社内 審査官 殿川 雅也 (56)参考文献 特開 昭61−22450(JP,A) 特開 平3−137838(JP,A) 特開 平3−225638(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/24 G11B 11/10

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、所定パターンで形成された反射
    材と、一部が除去された案内層と、記録層とを備え、前
    記反射材が前記案内層よりも前記記録層から遠い位置に
    形成されていることを特徴とする光記録媒体。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光記録媒体において、
    前記反射材によって反射された光の位相と、前記記録層
    によって反射された光の位相の差がπおよびそれに2π
    の整数倍を加えた値となることを特徴とする光記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の光記録媒体において、
    前記案内層によって反射される光の位相と、前記記録層
    によって反射される光の位相の差がπ/2およびそれに
    πの整数倍を加えた値となることを特徴とする光記録媒
    体。
  4. 【請求項4】 基板と、所定パターンで形成された反射
    材と、前記基板および前記反射材の上に設けられた第1
    の誘電体層と、その上に設けられ、一部が除去された案
    内層と、その上に設けられた第2の誘電体とからなる
    ことを特徴とする光記録媒体用基板。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の光記録媒体用基板にお
    いて、前記基板と、前記第1および第2の誘電体層の屈
    折率が等しいか、ほぼ等しいことを特徴とする光記録媒
    体用基板。
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