JP3151528U - 加圧治具セット - Google Patents
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Abstract
【課題】セラミックス基体と予め凹部が形成されたベース基体との機械的圧接による接合を良好に実施する加圧治具セットを提供する。【解決手段】リング状の窪み44を上向きにした加圧治具40の上に、グラファイトシート50、基板載置面を下向きにしたセラミックス基体22、アルミニウム合金シート38、凹部34を上向きにしたベース基体32、グラファイトシート50及びリング状の窪み44を下向きにした加圧治具40を、この順に積層していき、ワークWとする。このワークWは、セラミックス基体22とアルミニウム合金シート38とベース基体32とが積層された積層体60を一対の加圧治具40で挟んだものである。その後、このワークWを加圧加熱装置に入れ、アルミニウム合金シート38に所定の加圧荷重が加わるようにすると共に、真空中でアルミニウム合金シート38をその固相線温度以上液相線温度以下に加熱し、その後冷却する。【選択図】図5
Description
本考案は、加圧治具セットに関し、詳しくは、半導体ウエハなどの基板を載置する基板載置台の製造工程で用いられる加圧治具セットに関する。
従来より、半導体デバイスの製造プロセスにおいて、半導体ウエハなどの基板を載置する基板載置台が使用されている。基板載置台としては、例えば、セラミックスヒータや静電チャックなどが知られている。近年、こうした基板載置台を用いて低温エッチングを行ったり高温処理後に短時間に基板の温度を低下させたり基板の面内温度分布を制御したりする場合には、基板載置台に載置された基板を強制冷却することが要求されている。こうしたことから、表面が基板載置部であるセラミックス基体の裏面に、多孔質セラミックスと金属とのコンポジット材(複合材)からなるベース基体を接合し、ベース基体をヒートシンクとして使用した基板載置台が提案されている。ベース基体は、コンポジット材で作製されているため、熱膨張係数をセラミックス基体に近づけることができ、セラミックス基体との接合後に反りや剥がれを生じにくくすることができる。また、加工性も良好なため、冷媒を流通させる冷媒流路を形成する場合の加工負担が少なてすむ。更に、金属が充填されているため、セラミックス単体よりも高い熱伝導性を示し、効率よくセラミックス基体を冷却することができる。こうした基板載置台の作製方法は、例えば特許文献1に開示されている。具体的には、セラミックス基体とベース基体との接合面にアルミニウム合金シートを挿入し、真空下、温度500〜560℃、加圧加重4.9〜19.6MPa(50〜200kgf/cm2)という条件で接合を行う。こうすることにより、アルミニウム合金シートを溶融させることなく機械的圧接により接合させることができる。
しかしながら、ベース基体のうちセラミックス基体と接合する接合面とは反対側の面に予め冷媒流路としての凹部が形成されている場合、セラミックス基体とこのベース基体との接合面にアルミニウム合金シートを挿入して上述した条件で接合すると、セラミックス基体に割れが発生するという問題があった。こうした問題が発生する原因は、セラミックス基体のうちベース基体の凹部を投影した部分に曲げ応力が加わることにあると考えられる。
本考案はこのような課題を解決するためになされたものであり、セラミックス基体と予め凹部が形成されたベース基体との機械的圧接による接合を良好に実施可能な加圧治具セットを提供することを主目的とする。
本考案は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採用した。
すなわち、本考案の加圧治具セットは、
表裏両面が平坦であるセラミックス基体と、表面が平坦で裏面に凹部が形成されているベース基体とを、前記セラミックス基体の裏面と前記ベース基体の表面との間に加熱加圧処理で接合される接合シートを介在させた状態で積層して積層体とし、その積層体を挟んで加圧するための一対の加圧治具からなる加圧治具セットであって、一方の加圧治具は、前記積層体のうち前記ベース基体の裏面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成され、他方の加圧治具は、前記積層体のうち前記セラミックス基体の表面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成されている。
表裏両面が平坦であるセラミックス基体と、表面が平坦で裏面に凹部が形成されているベース基体とを、前記セラミックス基体の裏面と前記ベース基体の表面との間に加熱加圧処理で接合される接合シートを介在させた状態で積層して積層体とし、その積層体を挟んで加圧するための一対の加圧治具からなる加圧治具セットであって、一方の加圧治具は、前記積層体のうち前記ベース基体の裏面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成され、他方の加圧治具は、前記積層体のうち前記セラミックス基体の表面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成されている。
この加圧治具セットでは、一方の加圧治具は、積層体のうちベース基体の裏面と接触する面に窪みを有し、他方の加圧治具は、積層体のうちセラミックス基体の表面と接触する面に窪みを有している。そして、両加圧治具の窪みは、積層体のベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成されている。この一対の加圧治具を介して積層体を加圧した場合、ベース基体の凹部やセラミックス基体のうちこの凹部を投影した部分には、直接圧力が加わらない。このため、セラミックス基体のうちベース基体の凹部を投影した部分に曲げ応力が加わることはほとんどない。したがって、セラミックス基体と予め凹部が形成されたベース基体との機械的圧接による接合を良好に実施することができる。
本考案の加圧治具セットにおいて、前記加圧治具は、表裏両面が平坦な治具本体の裏面に所定形状の治具付加体を接合することにより該治具付加体以外の部分が前記凹部を形成するようにしてもよい。こうすれば、切削加工などにより凹部を形成する場合に比べて容易に凹部を形成することができる。
本考案の好適な実施形態を図面を用いて以下に説明する
まず、基板載置台20について説明する。図1は基板載置台20の説明図である。基板載置台20は、静電チャック機能を有するものであり、表面が基板載置面22aであるセラミックス基体22と、セラミックスと金属とのコンポジット材で形成されたベース基体32と、両基体22,32を接合する接合層36とを備えている。この基板載置台20は、基板載置面22aに対して半導体ウエハを上下動させるリフトピン(図示せず)を挿通可能な3つのリフトピン挿通孔26と、セラミックス基体22に埋設された抵抗発熱体24の両端から電極端子を引き出すための端子孔28,30とを有している。このうち、端子孔28は、基板載置台20の中心に設けられている。
セラミックス基体22は、表裏両面とも平坦に形成され、基板載置面22aに載置する半導体ウエハの大きさに合わせて、例えば直径80〜300mmの円盤形状に形成されている。このセラミックス基体22には、モリブデンやタングステンなどの高融点金属からなる抵抗発熱体24が埋設されている。抵抗発熱体24は、ヒータ線の一端がセラミックス基体22の中心に配置され、そこからセラミックス基体22内で複数の同心円に沿って面全体を引き回されたあとヒータ線の他端がセラミックス基体22の中心近傍に戻るように形成されている。この抵抗発熱体24の両端からは電極端子(図示せず)が端子孔28,30を介して外部に引き出される。こうしたセラミックス基体22は、アルミナ等の酸化物セラミックス、窒化アルミニウムや窒化ケイ素、サイアロンなどの窒化物セラミックス、炭化ケイ素などの炭化物セラミックスなどから選ばれたセラミックス材で作製されるが、ここでは窒化アルミニウムで作製されているものとする。
ベース基体32は、セラミックス基体22の大きさに合うように形成されている。このベース基体32は、セラミックス基体22と接合する面は平坦に形成され、その面とは反対側の面にはリング状の凹部34が形成されている。凹部34には、冷媒が流通可能な冷媒ユニット(図示せず)が配置される。こうしたベース基体32は、セラミックスと金属とのコンポジット材で形成されているが、セラミックスとしては、セラミックス基体22と同質又は異質の多孔質セラミックス材料を使用することができる。また、金属は、多孔質セラミックス材料の孔に充填されており、例えばアルミニウムやアルミニウムとシリコンとの合金を使用することができる。ここで、セラミックス基体22は窒化アルミニウム(熱膨張係数が約4.5ppm/K)で作製されているとしたため、ベース基体32は、炭化ケイ素と金属アルミニウムとのコンポジット材(熱膨張係数約4〜7ppm/K)で作製されているものとする。この場合、お互いの熱膨張係数差が小さいため、接合層36での残留応力を低減できる。
接合層36は、セラミックス基体22とベース基体32との間に厚さ50〜200μmのアルミニウム合金シート38(図4参照)を挟み、加熱・加圧することでアルミニウム合金シート38を機械的に圧接したものである。このように接合層36は、機械的な圧接により形成されているため、ろう付けを用いた場合のようなポアが生じず、実質的に広い接合面積を確保できる。なお、アルミニウム合金シート38は、3つのリフトピン挿通孔26に対向する位置及び端子孔28,30に対向する位置にそれぞれ貫通孔を有している。
次に、加圧治具40について説明する。加圧治具40は、本考案の一実施形態である加圧治具セットを構成する部品であり、この加圧治具40が一対となったものが加圧治具セットである。図2は加圧治具40の説明図である。加圧治具40は、カーボンプレート製であり、ベース基体32の裏面の大きさに合うように形成されている。この加圧治具40には、図3に示すように、3つのリフトピン挿通孔26(図1参照)に対向する位置にそれぞれ貫通孔46が設けられている。また、加圧治具40は、一方の面40aは平坦になっているが、他方の面40bにはベース基体32のリング状の凹部34と同形状の窪み44が形成されている。なお、面40bのうち、窪み44以外の部分は中央の円形凸部41と外周のリング状凸部43となっている。
次に、グラファイトシート50について説明する。グラファイトシート50は、加圧治具40によってセラミックス基体22やベース基体32の当接面が傷つけられないようにするためのものであり、加圧治具40とセラミックス基体22との間や加圧治具40とベース基体32との間に挿入される。図3はグラファイトシートの説明図である。グラファイトシート50は、天然の膨張黒鉛を原料とするシートであり、黒鉛本来の耐熱・耐薬品・異方性といった長所をそのまま保持すると共に、軽量・柔軟性・弾性などの性質を兼ね備えているものである。こうしたグラファイトシート50としては、例えばグラフテック(Graftech)社のグラフォイルなどを使用することができる。このグラファイトシート50には、3つのリフトピン挿通孔26(図1参照)に対向する位置にそれぞれ貫通孔56が設けられている。なお、グラファイトシート50は、表裏両面とも平坦に形成されている。
次に、加圧治具セットを用いて基板載置台20を製造する工程について説明する。図4は一対の加圧治具40に基板載置台20の構成部品をセットする様子を示す説明図である。まず、作業台62に加圧治具40をリング状の窪み44が上向きになるように載せる。この加圧治具40の3つの貫通孔46にそれぞれ位置決めピンPを挿入する。続いて、グラファイトシート50を、3つの貫通孔56が位置決めピンPに挿入されるように位置を調整して加圧治具40に重ね合わせる。続いて、基板載置面22aを下向きにしたセラミックス基体22、アルミニウム合金シート38、凹部34を上向きにしたベース基体32、グラファイトシート50及びリング状の窪み44を下向きにした加圧治具40を、この順に位置決めピンPに挿入していき、ワークWとする。図5はワークWの断面図である。このワークWは、セラミックス基体22とアルミニウム合金シート38とベース基体32とが積層された積層体60を一対の加圧治具40で挟んだものである。このとき、一対の加圧治具40の窪み44は、いずれもベース基体32に投影したときの投影パターンがベース基体32の凹部34と一致する。その後、ワークWの側面の数カ所を焼成用仮止めテープで固定し、位置決めピンPを外して図示しない加圧加熱装置に入れる。加圧加熱装置は加熱部に一軸加圧方式の円柱形状をした上下ラムがあり、ラムは油圧により加圧される。上下ラムの間に加圧冶具40を挟みこむ。そして、一対の加圧治具40が互いに接近する方向に力を付与してアルミニウム合金シート38に所定の加圧荷重(例えば4.9〜19.6MPa(50〜200kgf/cm2))が加わるようにすると共に、13.3Pa(0.1Torr)以下の真空中でアルミニウム合金シート38をその固相線温度以上液相線温度以下に加熱する。加熱温度は、アルミニウム合金シート38がSiを10wt%、Mgを1.5wt%含むアルミニウム合金製の場合には、固相線温度が560℃であるため、500〜560℃とする。こうすることにより、アルミニウム合金シート38は機械的な圧接により接合層36となり、セラミックス基体22とベース基体32とが接合層36で接合された基板載置台20が得られる。
実際に、このワークWを加圧加重9.8MPa(100kgf/cm2)で加圧すると共に、約1Paの真空中、530〜555℃で処理したあと室温まで冷却し、加熱加圧装置から取りだしたところ、セラミックス基体22のうちベース基体32の凹部34を投影した凹部投影部23(図5の網掛け部)にもその他の箇所にも破損のない基板載置台20が得られた。これに対して、表裏両面とも平坦な一対の加圧治具を用いて同じ条件で加熱加圧処理を行ったところ、セラミックス基体22は凹部投影部23で破損していた。
以上詳述した本実施形態の加圧治具セットによれば、一対の加圧治具40を介して積層体60を加圧した場合、セラミックス基体22のうちベース基体32の凹部34を投影した凹部投影部23に曲げ応力が加わることはほとんどないため、セラミックス基体22とベース基体32との機械的圧接による接合を良好に実施することができる。
また、加圧治具40とセラミックス基体22との間や加圧治具40とベース基体32との間には柔軟性のあるグラファイトシート50が挿入されているため、加熱加圧処理を行うときに各基体22,32が加圧治具40によって傷つけられることがない。
更に、一対の加圧治具40は、ベース基体32の凹部34以外の部分つまり中央の円形凸部41と外周のリング状凸部43とを加圧するため、アルミニウム合金シート38のうちこの円形凸部41及びリング状凸部43に対向する部分が強く圧接されて緊密に接合される。こうした円形凸部41及びリング状凸部43に対向する部分には、リフトピン挿通孔26や端子孔28,30(図1参照)が形成されるため高い気密性が要求されるが、一対の加圧治具40を用いた場合にはこの部分が緊密に接合されるため、その要求に応えることができる。
なお、本考案は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本考案の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
例えば、上述した実施形態の加圧治具40は、図6に示すように、表裏両面が平坦な治具本体140の裏面に、円形凸部41と同形状の第1治具付加体141及びリング状凸部43と同形状の第2治具付加体143を接合することにより作製されたものであってもよい。こうすれば、一枚のカーボンプレートの裏面に切削加工などによりリング状の窪み44を形成する場合に比べて容易に窪み44を形成することができる。
上述した実施形態では、ベース基体32の凹部34を冷媒ユニットを配置するためのものとしたが、凹部34の用途は冷媒ユニットを配置するために限定されるものではなく、例えば何らかの部品を設置するためのスペースであってもよい。
上述した実施形態では、セラミックス基体22とベース基体32とをアルミニウム合金シート38を介して接合する場合を例示したが、ベース基体32とグラファイトシート50との間に、アルミニウム合金シートと高融点金属シート(例えばモリブデンシート)とを挿入して、セラミックス基体22とベース基体32とをアルミニウム合金シート38を介して接合すると同時に、ベース基体32と高融点金属シートとをアルミニウム合金シートを介して接合するようにしてもよい。ベース基体32とグラファイトシート50との間に挿入する各シートは、円形凸部41とリング状凸部43に対応する大きさのものを使用する。こうすれば、特開2008−103713号公報に開示されている金属板付きの基板載置台を作製することができる。
上述した実施形態では、ベース基体32はコンポジット材製であるとしたが、セラミックス基体22と同質又は異質のセラミックス材で作製されたものを使用してもよい。
20 基板載置台、22 セラミックス基体、22a 基板載置面、23 凹部投影部、24 抵抗発熱体、26 リフトピン挿通孔、28,30 端子孔、32 ベース基体、34 凹部、36 接合層、38 アルミニウム合金シート、40 加圧治具、40a 一方の面、40b 他方の面、41 円形凸部、43 リング状凸部、44 窪み、46,56 貫通孔、50 グラファイトシート、60 積層体、62 作業台、140 治具本体、141 第1治具付加体、143 第2治具付加体。
Claims (2)
- 表裏両面が平坦であるセラミックス基体と、表面が平坦で裏面に凹部が形成されているベース基体とを、前記セラミックス基体の裏面と前記ベース基体の表面との間に加熱加圧処理で接合される接合シートを介在させた状態で積層して積層体とし、その積層体を挟んで加圧するための一対の加圧治具からなる加圧治具セットであって、
一方の加圧治具は、前記積層体のうち前記ベース基体の裏面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成され、
他方の加圧治具は、前記積層体のうち前記セラミックス基体の表面と接触する面に窪みを有し、該窪みは、前記ベース基体に投影したときの投影パターンが該ベース基体の凹部と一致する形状に形成されている、
加圧治具セット。 - 前記加圧治具は、表裏両面が平坦な治具本体の裏面に所定形状の治具付加体を接合したものであり該治具付加体以外の部分が前記窪みを形成している、
請求項1に記載の加圧治具セット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009002412U JP3151528U (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 加圧治具セット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009002412U JP3151528U (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 加圧治具セット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3151528U true JP3151528U (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=54855915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009002412U Expired - Lifetime JP3151528U (ja) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | 加圧治具セット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3151528U (ja) |
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2009
- 2009-04-15 JP JP2009002412U patent/JP3151528U/ja not_active Expired - Lifetime
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