JP3133275B2 - リークテスト方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリークテスト方法お
よび装置に関し、ワークに導入した加圧気体が洩れてい
るか否かをより的確に判別する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】リークテスト装置は、ワークに加圧気体
（例えば空気）を導入し、そのワークから加圧気体が洩
れているか否かを判別する装置である。このリークテス
ト装置には、マスタとワークとの間に発生する差圧の変
化量（以下「差圧変化量」と呼ぶ。）に基づいて、その
ワークに導入した加圧気体の洩れを判別する差圧式リー
クテスト装置が一般に用いられている。なお、差圧式リ
ークテスト装置の構成は周知であるので、判別方法つい
て図７（Ａ）を参照しながら説明する。この差圧式リー
クテスト装置では、まず通常のワークを用いて比較的長
時間かけてドリフト量を求める。すなわち、ワークに導
入された気体の温度がそのワークの温度とほぼ同じにな
る時期（例えば図７（Ａ）では時刻ｔ１０であり、以下
「安定時期」と呼ぶ。）までは差圧変化量が大きく変化
する。そのため、差圧変化量がほぼ安定する安定時期に
達するまで待機し、その後（例えば時刻ｔ１２から時刻
ｔ１４までの期間ｔｂ）に差圧の計測を行う。このとき
に計測される差圧による単位時間当たりの差圧変化量ｐ
ｂ＝（ｐ８−ｐ６）／ｔｂは、ワークの洩れに起因する
変化量とみなすことができる。

【０００３】一方、上記安定時期に達するまでの間であ
っても、バルブを閉じる際のショックに影響を受ける時
刻ｔ２までは不安定であるが、その後ワークの温度が気
温とほぼ同じ温度になる時刻ｔ８までは比較的安定して
差圧が変化する。この時刻ｔ２から時刻ｔ８までの期間
（以下「検査期間」と呼ぶ。）内における適切な時期
（例えば時刻ｔ４から時刻ｔ６までの期間ｔａ）に行う
差圧の計測による単位時間当たりの差圧変化量ｐａ＝
（ｐ４−ｐ２）／ｔａは、気体温度の変化に起因する変
化量と、上記ワークの洩れに起因する変化量とみなすこ
とができる。したがって、上記差圧変化量ｐｂと差圧変
化量ｐａとの差分量（すなわちｐａ−ｐｂ）を求め、ド
リフト量ｐｃとする。このドリフト量ｐｃは気体温度の
変化に起因する変化量に相当する。なお、上記期間ｔ
ａ，ｔｂは任意の期間であり、その長さは同じであって
もよく異なってもよい。

【０００４】そして、検査対象のワークについて差圧を
計測して差圧変化量を求め、先に求めたドリフト量に基
づいて差圧変化量を補正して洩れの有無を判別する。す
なわち、上記検査時期において、検査対象のワークにつ
いて差圧を計測して差圧変化量ｐｄを求める。そして、
ドリフト量で補正した差圧変化量ｐｅ＝ｐｄ−ｐｃを求
め、この差圧変化量ｐｅに基づいてワークの洩れの有無
を判別する。ところが、この差圧式リークテスト装置に
おける判別方法では、計測開始から計測終了までの期間
（上記の例では時刻ｔ０から時刻ｔ１４までの期間ｔｃ
に相当し、以下「計測期間」と呼ぶ。）におけるワーク
自体の温度変化が考慮されていない。すなわち、ワーク
自体が周囲の環境によって温度が変化すると、導入され
ている気体の圧力もその影響を受けるため、計測される
差圧も図７（Ｂ）の一点鎖線で示すように変化する。そ
のため、計測時期を経て求められるドリフト量ｐｃはワ
ーク自体の温度変化に起因する変化量が含まれている。
したがって、ワークの洩れの有無を的確に判別すること
ができなかった。

【０００５】上記不具合を解消する技術が、特開平７−
２５３３７８号公報に開示されている。この技術によれ
ば、大気圧で気体をワークに導入して封止すると、封止
された気体の温度はワーク自体の温度の影響を受けて上
昇する。その気体の温度上昇に伴って発生する差圧を計
測して差圧変化量を求め、その差圧変化量から温度補償
値を決定する。そして、計測時期を経て求められるドリ
フト量は温度補償値に基づいて補正される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報に記
載された技術では、リークテストを行うワークごとに温
度補償値を決定しなければならず、この計測のためにも
所定の時間を要する。そのため、ワークごとについて必
要なサイクルタイムが長くなってしまう。本発明はこの
ような点に鑑みてなされたものであり、サイクルタイム
を短縮して単位時間当たりにテスト可能なワークの数を
増やすことのできるリークテスト方法および装置を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための第１の手段】請求項１に記載の
発明は、マスタと第１ワークとに大気圧で気体を導入
し、そのマスタと第１ワークとの間に発生する差圧を計
測し、計測された差圧に基づいて温度ドリフト量を求め
る工程と、前記マスタと前記第１ワークとに加圧気体を
導入し、そのマスタと第１ワークとの間に発生する差圧
を計測し、計測された差圧に基づいて圧力ドリフト量を
求める工程と、前記第１ワークと同一または異なる第２
ワークについて、前記マスタと前記第２ワークとに加圧
気体を導入し、そのマスタと第２ワークとの間に発生す
る差圧を計測し、計測された差圧に基づいて求められる
差圧変化量を前記温度ドリフト量および／または前記圧
力ドリフト量で補正し、その補正結果に基づいて第２ワ
ークから加圧気体が洩れているか否かを判別する工程と
を有することを特徴とする。請求項１に記載の発明によ
れば、マスタと第１ワークとに導入する気体によって、
温度ドリフト量と圧力ドリフト量を求める。その後は、
マスタと第２ワークとに導入する気体によって求められ
る差圧変化量を温度ドリフト量および／または圧力ドリ
フト量で補正し、その補正結果に基づいて第２ワークか
ら加圧気体が洩れているか否かを判別する。そのため、
リークテストを行う第２ワークごとに温度ドリフト量を
求める必要がなく、その計測に要する時間を短縮でき
る。したがって、サイクルタイムを短縮して、単位時間
当たりにテスト可能なワークの数を増やすことができ
る。

【０００８】

【課題を解決するための第２の手段】請求項２に記載の
発明は、マスタと第１ワークとに大気圧で気体を導入
し、そのマスタと第１ワークとの間に発生する差圧を計
測し、計測された差圧に基づいて温度ドリフト量を求め
る温度ドリフト量算出手段と、前記マスタと前記第１ワ
ークとに加圧気体を導入し、そのマスタと第１ワークと
の間に発生する差圧を計測し、計測された差圧に基づい
て圧力ドリフト量を求める圧力ドリフト量算出手段と、
前記第１ワークと同一または異なる第２ワークについ
て、前記マスタと前記第２ワークとに加圧気体を導入
し、そのマスタと第２ワークとの間に発生する差圧を計
測し、計測された差圧に基づいて求められる差圧変化量
を前記温度ドリフト量および／または前記圧力ドリフト
量で補正し、その補正結果に基づいて第２ワークから加
圧気体が洩れているか否かを判別する洩れ判別手段とを
有することを特徴とする。請求項２に記載の発明によれ
ば、マスタと第１ワークとに導入した気体について、温
度ドリフト量算出手段によって温度ドリフト量を求め、
圧力ドリフト量算出手段によって圧力ドリフト量を求め
る。その後は洩れ判別手段によって、マスタと第２ワー
クとに導入する気体によって求められる差圧変化量を温
度ドリフト量および／または圧力ドリフト量で補正し、
その補正結果に基づいて第２ワークから加圧気体が洩れ
ているか否かを判別する。そのため、リークテストを行
う第２ワークごとに温度ドリフト量を求める必要がな
く、その計測に要する時間を短縮できる。したがって、
サイクルタイムを短縮して、単位時間当たりにテスト可
能なワークの数を増やすことができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面（図１〜図６）に基づいて説明する。ここで、
図１と図２には本発明を実施するための構成をブロック
図で示す。具体的には、図１にはリークテスト装置の全
体構成を、図２には制御部の構成をそれぞれ示す。ま
た、図３にはリークテスト処理、図４には洩れ判別処
理、図５には温度ドリフト量算出処理、図６には圧力ド
リフト量算出処理に係るそれぞれのフローチャートを示
す。

【００１０】まず、図１において、リークテスト装置
は、導入排出口１０、バルブ１２，１４，１６、差圧セ
ンサ１８、ワーク２０（２０ａ，２０ｂ）、マスタ２
２、制御部１００によって構成されている。導入排出口
１０とワーク２０ａ，２０ｂとの間は、二つのバルブ１
２，１４を介在させて配管されている。また、導入排出
口１０とマスタ２２との間は、二つのバルブ１２，１６
を介在させて配管されている。さらに、ワーク２０（２
０ａ，２０ｂ）とマスタ２２との間には、差圧センサ１
８が接続されている。この差圧センサ１８によって計測
された圧力は、アナログ／デジタル信号に変換されて制
御部１００に送られる。そして、上記バルブ１２，１
４，１６について、それぞれのバルブの開閉（開度調整
等を含む）は、制御部１００によって制御可能になって
いる。

【００１１】次に、制御部１００の構成について、図２
を参照しながら説明する。図２において、ＣＰＵ１１
０，ＲＯＭ１０２，ＲＡＭ１０４，入力処理回路１０
６，出力処理回路１０８，表示制御回路１１２，表示器
１１４，タイマー１１６によって構成されている。な
お、ワーク２０（ワーク２０ａ，２０ｂ）の設置や交換
を行う等のように他の制御部位については周知の機構や
制御手段を用いるので、その説明を省略する。ＣＰＵ１
１０は、ＲＯＭ１０２に格納されているリークテストプ
ログラムに従ってバルブ１２，１４，１６等を制御す
る。リークテストプログラムには、後述のフローチャー
トで示すリークテスト処理，洩れ判別処理，温度ドリフ
ト量算出処理，圧力ドリフト量算出処理等の各種プログ
ラムが含まれている。ＲＯＭ１０２にはＥＰＲＯＭが用
いられるが、ＥＥＰＲＯＭやフラッシュメモリ等を用い
てもよい。ＲＡＭ１０４には、差圧，差圧変化量，ドリ
フト量，補正結果，記録テーブル，移動平均，しきい値
等の各種データが格納される。このＲＡＭ１０４にはＤ
ＲＡＭ，ＳＲＡＭが用いられるが、フラッシュメモリ，
外部記憶装置（例えばハードディスクやフレキシブルデ
ィスク等）のようにデータが記録可能な記録媒体を用い
てもよい。なお、以下の実施の形態では、記録の一態様
としてＲＡＭ１０４に各種データを記憶する態様につい
て説明する。

【００１２】入力処理回路１０６は、差圧センサ１８か
ら出力される信号を受けて制御部１００内で処理可能な
データ形式に変換し、バス１１８を介してＣＰＵ１１０
に送るか、あるいはＲＡＭ１０４等に格納する。出力処
理回路１０８はＣＰＵ１１０からバス１１８を介して送
られた開閉データに従って、バルブ１２，１４，１６の
開閉（あるいは開度調整）を行うための電圧電流を出力
する。すなわち、バルブ１２，１４，１６を開けるタイ
ミングに達すると、タイマー１１６から開閉動作信号が
ＣＰＵ１１０に送られ、この開閉動作信号を受けたＣＰ
Ｕ１１０が上記開閉データを出力処理回路１０８に送
る。表示制御回路１１２はバス１１８を介してＣＰＵ１
１０等から送られた表示データに従って表示器１１４に
洩れ判別結果等を表示する。表示器１１４には液晶表示
器が用いられるが、ＣＲＴや７セグメントＬＥＤ、ある
いはプラズマ表示器等のような他の表示器を用いてもよ
い。なお、上記各構成要素は、いずれもバス１１８に互
いに結合されている。

【００１３】ワーク２０に洩れがあるか否かの判別は、
上記制御部１００で行われる。この判別はＣＰＵ１１０
が図３〜図５に示す各処理を実行することによって実現
される。以下、各処理の詳細について説明する。図３に
示すリークテスト処理において、最初に初期化処理を行
う［ステップＳ１０］。この初期化処理では、例えばＲ
ＡＭ１０４内の各種データをクリアする等の処理を行
う。次に、通常の動作手順について説明する。通常で
は、まずワーク２０ａを設置または交換する［ステップ
Ｓ１２］。具体的には、テスト対象のワーク２０ａを設
置または交換し、バルブ１２，１４，１６を開けてワー
ク２０ａとマスタ２２とに加圧気体を導入する。そし
て、バルブ１２のみを閉じて、ワーク２０ａとマスタ２
２との間の圧力を平衡にする。こうして、差圧計測のた
めの準備が整ったことになる。その後、洩れ差圧を計測
するときは、バルブ１４，１６を閉じる。

【００１４】そして、計測環境が変化したか否かを判別
する［ステップＳ１４］。計測環境の変化としては、ワ
ークの温度変化（例えば温度が５゜変化），所定の気温
変化（例えば気温が２℃変化），所定の時間経過（例え
ば２時間経過），ワークの種類の変化等のような環境の
変化が生じた場合である。もし、計測環境が変化してい
なければ（ＮＯ）、上述した計測期間内における計測タ
イミングに達するまで待機し［ステップＳ１６］、単位
時間当たりの差圧変化量ｄｐ２を求める［ステップＳ１
８］。この単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ２は、上述
した検査期間において算出される差圧変化量ｐａと同様
に求められる。なお、その日初めてテストを行う場合
は、「計測環境が変化している（ＹＥＳ）」と判別して
後述する処理を行う。上記ステップＳ１８において算出
された単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ２に基づいて、
洩れ判別処理を行う［ステップＳ２０］。この洩れ判別
処理はワーク２０ａから加圧気体が洩れているか否かを
判別する処理であって、具体的な処理内容は図４を参照
しながら説明する。

【００１５】図４に示す洩れ判別処理は、洩れ判別手段
を具体化した処理である。まず、ドリフト量ｄｐ１を求
め［ステップＳ４０］、このドリフト量ｄｐ１を用いて
単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ２を補正して補正結果
ｄｐを求める［ステップＳ４２］。ドリフト量ｄｐ１お
よび補正結果ｄｐは、上記単位時間当たりの差圧変化量
ｄｐ２，温度ドリフト量Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃｄに基
づいて、次の各式によって算出される。なお、温度ドリ
フト量Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃｄの算出方法については
後述する。

【数１】ｄｐ１＝Ｃｔ＋Ｃｄ ｄｐ＝ｄｐ２−ｄｐ１＝ｄｐ２−（Ｃｔ＋Ｃｄ）

【００１６】そして、その補正結果ｄｐがしきい値範囲
内にあるか否かを検査し［ステップＳ４４］、しきい値
範囲内である場合（ＹＥＳ）にはリークのないワーク２
０ａと判別し［ステップＳ４６］、しきい値範囲外であ
る場合（ＮＯ）にはリークのあるワーク２０ａと判別す
る［ステップＳ４８］。こうして洩れ判別処理を終了
し、図３に戻る。図３ではステップＳ２０の洩れ判別処
理を実行した後、他にテスト対象のワーク２０ａがある
場合には上述したステップＳ１０〜Ｓ２０を繰り返し
［ステップＳ２２］、他にテスト対象のワーク２０ａが
ない場合にはリークテスト処理を終了する。

【００１７】次に、通常の動作手順とは異なる手順につ
いて説明する。その手順は図３に示すステップＳ１４に
おいて計測環境が変化した場合（ＹＥＳ）に実行され
る。この場合、温度ドリフト量算出処理［ステップＳ３
０］と圧力ドリフト量算出処理［ステップＳ３２］とを
実行する。ここで、温度ドリフト量算出処理は、ワーク
２０ｂとマスタ２２とに大気圧で気体を導入して封止
し、ワーク２０ｂ自体の温度による差圧の変化を温度ド
リフト量として算出するための処理である。また、圧力
ドリフト量算出処理は、ワーク２０とマスタ２２とに加
圧気体を導入して封止し、ワーク２０ｂ自体の温度によ
る差圧の変化を圧力ドリフト量（単に「ドリフト量」と
も呼ぶ。）として算出するための処理である。これらの
具体的な処理内容について、図５，図６を参照しながら
説明する。

【００１８】まず、図５に示す温度ドリフト量算出処理
は、温度ドリフト量算出手段を具体化した処理である。
最初に、ワーク２０ｂとマスタ２２とに大気圧で気体を
導入して封止する［ステップＳ５０］。具体的には、Ｃ
ＰＵ１１０から出力処理回路１０８を通じてバルブ１
２，１４，１６に信号を送り、そのバルブ１２，１４，
１６を開いて導入排出口１０から気体を導入し、その後
にバルブ１２，１４，１６を閉じて封止する。そして、
温度ドリフト量の計測タイミングに達するまで待機した
後に［ステップＳ５２］、単位時間当たりの差圧変化量
ｄｐ３を求める［ステップＳ５４］。この計測タイミン
グは、例えば図７（Ａ）に示す時刻ｔ４，ｔ６等であ
る。また、単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ３は、図３
に示すステップＳ１８と同様にして求められる。こうし
て算出された単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ３は、Ｒ
ＡＭ１０４に記憶される。

【００１９】さらに、上記ステップＳ５２〜Ｓ５６の処
理は計測が終わるまで繰り返し実行された後［ステップ
Ｓ５８］、温度ドリフト量Ｃｔを求める［ステップＳ６
０］。この温度ドリフト量Ｃｔは、上述したドリフト量
ｐｃの算出方法と同様に求められたドリフト量Ｃｔ０
と、ボイルシャルルの式を基にして求められた差圧の変
化率Ｇｔとに基づいて、次式によって算出される。

【数２】Ｃｔ＝Ｃｔ０×Ｇｔ Ｇｔ＝０．９３１７×ｐｔ＋０．９３１７

【００２０】なお、上記差圧の変化率Ｇｔ＝Ｐ２／Ｐ１
は、ボイルシャルルの式において同一容積の場合にＰ２
／Ｐ１＝Ｔ２／Ｔ１となり、結局は差圧の変化率Ｇｔ＝
Ｔ２／Ｔ１で求められる。例えば気温が２０℃であると
きに、後述するステップＳ７０（図６参照）においてワ
ーク２０ｂに導入する加圧気体の圧力ｐｔによってその
ワーク２０ｂの温度を０．１゜だけ上昇させる場合の近
似式である。したがって、条件が異なる場合には、係数
（上記式では０．９３１７）も変わる。

【００２１】最後に、ワーク２０ｂとマスタ２２とに封
止していた気体を排出して［ステップＳ６２］、温度ド
リフト量算出処理を終了する。気体の排出は、ＣＰＵ１
１０から出力処理回路１０８を通じてバルブ１２，１
４，１６に信号を送り、そのバルブ１２，１４，１６を
開いて導入排出口１０に向けて気体を排出する。

【００２２】次に、図６に示す圧力ドリフト量算出処理
は、圧力ドリフト量算出手段を具体化した処理である。
この圧力ドリフト量算出処理は、上記図５に示す温度ド
リフト量算出処理とほぼ同様な処理が実行されるので、
同一の処理には同一符号を付して説明を省略する。した
がって、以下には温度ドリフト量算出処理と異なる処理
内容について説明する。温度ドリフト量算出処理と異な
っている処理は、最初にワーク２０ｂとマスタ２２とに
加圧気体を導入して封止し［ステップＳ７０］、圧力ド
リフト量の計測タイミングまで待機し［ステップＳ７
２］、ステップＳ５８の計測終了後に圧力ドリフト量を
求めている［ステップＳ８０］点である。すなわち、温
度ドリフト量算出処理では大気圧の気体をワーク２０ｂ
とマスタ２２とに導入し、圧力ドリフト量算出処理では
加圧気体をワーク２０ｂとマスタ２２とに導入している
点の違いによるものである。したがって、ステップＳ８
０において算出される圧力ドリフト量Ｃｄもまた、図７
（Ａ）において算出したドリフト量ｐｃと同様にして求
められる。

【００２３】上記実施の形態によれば、マスタ２２とワ
ーク２０ｂ（第１ワーク）とに導入する気体によって、
温度ドリフト量Ｃｔと圧力ドリフト量Ｃｄを求める。そ
の後は、マスタ２２とワーク２０ａ（第２ワーク）とに
導入する気体によって求められる差圧変化量ｄｐ２を温
度ドリフト量Ｃｔおよび圧力ドリフト量Ｃｄで補正し、
その補正結果ｄｐに基づいてワーク２０ａから加圧気体
が洩れているか否かを判別する態様が実現される。この
態様によれば、温度ドリフト量Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃ
ｄに基づいて、テスト対象のワーク２０について計測さ
れた単位時間当たりの差圧変化量ｄｐ２が補正される
（図４のステップＳ４０，Ｓ４２）。そのため、ワーク
２０自体の温度変化に対応した単位時間当たりの差圧変
化量（すなわち補正結果ｄｐ）が求められるので、洩れ
があるか否かを的確に判別することができる。しかも、
温度ドリフト量Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃｄは、計測環境
が変化したときだけ計測が行われ、その計測結果に基づ
いて算出される。そのため、温度ドリフト量Ｃｔ，圧力
ドリフト量Ｃｄを算出するために要する時間を最小限に
抑えることができる。したがって、サイクルタイムを短
縮して単位時間当たりにテスト可能なワークの数を増や
すことができる。

【００２４】〔他の実施の形態〕上述したリークテスト
方法および装置におけるその他の部分の構造，形状，大
きさ，材質，個数，配置および動作条件等については、
上記実施の形態に限定されるものでない。例えば、上記
実施の形態を応用した次の各形態を実施することもでき
る。 （１）図３に示すリークテスト処理では計測環境が変化
した場合（ステップＳ１４のＹＥＳ）に温度ドリフト量
Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃｄを算出するようにした（ステ
ップＳ３０，Ｓ３２）。この手順に限らず、温度ドリフ
ト量Ｃｔのみを求める条件，圧力ドリフト量Ｃｄのみを
求める条件，温度ドリフト量Ｃｔと圧力ドリフト量Ｃｄ
との両方を求める条件がそれぞれ成立した場合に、それ
ぞれのドリフト量を求める手順としてもよい。これらの
条件は、異なる条件であってもよく、組み合わせた条件
であってもよい。このように求めるドリフト量に応じて
条件を異ならせることによって、求める時期を最適化す
ることができる。そのため、サイクルタイムをより短縮
して、単位時間当たりにテスト可能なワークの数をより
多く増やすことができる。

【００２５】（２）図５，図６に示すドリフト量算出処
理においてステップＳ５６で算出した温度ドリフト量Ｃ
ｔ，圧力ドリフト量ＣｄをＲＡＭ１０４等の記録媒体
（記録テーブル）に記録しておき、記録された複数の温
度ドリフト量Ｃｔ，圧力ドリフト量Ｃｄに基づいて移動
平均を求めておく。こうして求められた移動平均に基づ
いて洩れの有無を判別し、洩れがないと判別された場合
には図３のステップＳ１８において算出された差圧変化
量ｄｐ２を上記記録テーブルに記録する。こうすること
によって、気温変化等によってワーク自体の温度が変化
した場合であっても、ワークから加圧気体が洩れている
か否かをより的確に判別することができるようになる。 （３）図３に示すリークテスト処理において、テスト対
象のワーク２０ａと、ステップＳ３０，Ｓ３２で用いる
ワーク２０ｂとを異なるワークとしているが、最初にリ
ークテストを行うワークに関してはワーク２０ｂとな
り、その後にワーク２０ａにもなる。したがって、第１
ワークと第２ワークとは通常は異なるワークであるが、
同じワークになる場合がある。

【００２６】

【他の発明の態様】以上、本発明の実施の形態について
説明したが、この実施の形態には特許請求の範囲に記載
した発明の態様以外の発明の態様を有するものである。
この発明の態様を以下に列挙するとともに、必要に応じ
て関連説明を行う。

【００２７】〔態様１〕 請求項１に記載のリークテス
ト方法において、前記温度ドリフト量を求める工程およ
び／または前記圧力ドリフト量を求める工程は、ワーク
の温度変化，所定の気温変化，所定の時間経過，ワーク
の種類の変化等のような計測環境が変化するごとに実行
することを特徴とするリークテスト方法。 〔態様１の関連説明〕 本態様によれば、ドリフト量を
求める時期を最適化することができる。そのため、サイ
クルタイムをより短縮して、単位時間当たりにテスト可
能なワークの数をより多く増やすことができる。

【００２８】〔態様２〕 請求項１に記載のリークテス
ト方法において、前記温度ドリフト量および／または前
記圧力ドリフト量を記録テーブルに記録する工程と、そ
の記録テーブルに記録されているデータに基づいて移動
平均を算出する工程と、単位時間当たりの差圧変化量を
求める工程と、その差圧変化量と移動平均とに基づい
て、前記補正結果を算出する工程と、前記補正結果によ
って加圧気体が洩れていないワークと判別された場合に
は、その差圧変化量を記録テーブルに記録する工程と、
を有することを特徴とするリークテスト方法。 〔態様２の関連説明〕 本態様によれば、記録テーブル
には、最初には温度ドリフト量および／または圧力ドリ
フト量が記録され、その後は加圧気体が洩れていないワ
ークと判別された場合にのみ差圧変化量が記録される。
その差圧変化量と、記録テーブルに基づいて算出された
移動平均とに基づいて、補正結果が算出される。ここ
で、差圧変化量は気温変化等の影響を受けて変化しやす
いため、移動平均は気温変化等に追従して変化する。し
たがって、気温変化等によってワーク自体の温度が変化
した場合であっても、ワークから加圧気体が洩れている
か否かをより的確に判別することができる。

【００２９】〔態様３〕 請求項２に記載のリークテス
ト装置において、前記温度ドリフト量および／または前
記圧力ドリフト量を記録テーブルに記録し、その記録テ
ーブルに記録されているデータに基づいて移動平均を算
出し、単位時間当たりの差圧変化量を求め、その差圧変
化量と移動平均に基づいて前記補正結果を算出し、前記
補正結果によって加圧気体が洩れていないワークと判別
された場合には、その差圧変化量を記録テーブルに記録
する学習手段を有することを特徴とするリークテスト装
置。 〔態様３の関連説明〕 本態様によれば、学習手段は、
最初には温度ドリフト量および／または圧力ドリフト量
を記録テーブルに記録し、その後は加圧気体が洩れてい
ないワークと判別された場合にのみ第３の差圧変化量を
記録テーブルに記録する。また、学習手段は、その第３
の差圧変化量と、記録テーブルに基づいて算出された移
動平均とに基づいて、補正結果を算出する。ここで、第
３の差圧変化量は気温変化等の影響を受けて変化しやす
いため、移動平均は気温変化等に追従して変化する。し
たがって、気温変化等によってワーク自体の温度が変化
した場合であっても、ワークから加圧気体が洩れている
か否かをより的確に判別することができる。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、リークテストを行うワ
ークごとに温度ドリフト量を求める必要がなく、その計
測に要する時間を短縮できる。したがって、サイクルタ
イムを短縮して、単位時間当たりにテスト可能なワーク
の数を増やすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】リークテスト装置の構成をブロック図を示す。

【図２】制御部の構成をブロック図を示す。

【図３】リークテスト処理を示すフローチャートであ
る。

【図４】洩れ判別処理を示すフローチャートである。

【図５】温度ドリフト量算出処理を示すフローチャート
である。

【図６】圧力ドリフト量算出処理を示すフローチャート
である。

【図７】時間の経過とともに変化する差圧を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０ 導入排出口 １２，１４，１６ バルブ １８ 差圧センサ ２０（２０ａ，２０ｂ） ワーク ２２ マスタ １００ 制御部 １０２ ＲＯＭ １０４ ＲＡＭ １０６ 入力処理回路 １０８ 出力処理回路 １１０ ＣＰＵ １１２ 表示制御回路 １１４ 表示器 １１６ タイマー １１８ バス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 深草 誠 (56)参考文献 特開 平７−253378（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174661（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 3/00 - 3/40 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスタと第１ワークとに大気圧で気体を
   導入し、そのマスタと第１ワークとの間に発生する差圧
   を計測し、計測された差圧に基づいて温度ドリフト量を
   求める工程と、 前記マスタと前記第１ワークとに加圧気体を導入し、そ
   のマスタと第１ワークとの間に発生する差圧を計測し、
   計測された差圧に基づいて圧力ドリフト量を求める工程
   と、前記第１ワークと同一または異なる第２ワークについ
   て、 前記マスタと前記第２ワークとに加圧気体を導入
   し、そのマスタと第２ワークとの間に発生する差圧を計
   測し、計測された差圧に基づいて求められる差圧変化量
   を前記温度ドリフト量および／または前記圧力ドリフト
   量で補正し、その補正結果に基づいて第２ワークから加
   圧気体が洩れているか否かを判別する工程と、 を有することを特徴とするリークテスト方法。
2. 【請求項２】 マスタと第１ワークとに大気圧で気体を
   導入し、そのマスタと第１ワークとの間に発生する差圧
   を計測し、計測された差圧に基づいて温度ドリフト量を
   求める温度ドリフト量算出手段と、 前記マスタと前記第１ワークとに加圧気体を導入し、そ
   のマスタと第１ワークとの間に発生する差圧を計測し、
   計測された差圧に基づいて圧力ドリフト量を求める圧力
   ドリフト量算出手段と、前記第１ワークと同一または異なる第２ワークについ
   て、 前記マスタと前記第２ワークとに加圧気体を導入
   し、そのマスタと第２ワークとの間に発生する差圧を計
   測し、計測された差圧に基づいて求められる差圧変化量
   を前記温度ドリフト量および／または前記圧力ドリフト
   量で補正し、その補正結果に基づいて第２ワークから加
   圧気体が洩れているか否かを判別する洩れ判別手段と、 を有することを特徴とするリークテスト装置。