KR20200105416A - 유량 산출 시스템, 유량 산출 시스템용 프로그램, 유량 산출 방법, 및 유량 산출 장치 - Google Patents

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마사노리 데라사카
고지 이마무라
오사무 호리노우치
야스히로 이소베
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가부시키가이샤 호리바 에스텍
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Abstract

동적 정적법에 의해서 추정 유량을 정밀도 좋게 산출하기 위해서, 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와, 상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비한다.

Description

유량 산출 시스템, 유량 산출 시스템용 프로그램, 유량 산출 방법, 및 유량 산출 장치{FLOW RATE CALCULATION SYSTEM, FLOW RATE CALCULATION SYSTEM PROGRAM, FLOW RATE CALCULATION METHOD, AND FLOW RATE CALCULATION DEVICE}
본 발명은 유량 산출 시스템, 유량 산출 시스템용 프로그램, 유량 산출 방법, 및 유량 산출 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 프로세스 등에 있어서의 성막 장치의 챔버에 대해, 재료 가스(이하, 유체라고도 함)를 공급하는 유체 공급 시스템에 있어서는, 챔버에 공급하는 유체의 유량을 정확하게 관리할 필요가 있기 때문에, 유체가 흐르는 유로에 유량 제어 기기가 마련된다. 덧붙여, 상기 유량 제어 기기는, 소위 매스 플로우 컨트롤러이고, 유로를 흐르는 유체의 유량을 검출하는 유량 센서를 구비하고, 유량 센서로 검출되는 유량이 설정 유량에 가까워지도록 피드백 제어하는 구성으로 되어 있다.
그러나, 상기 유량 제어 기기는 유로의 막힘 등의 경년(經年) 열화 등이 원인이 되어 설정 유량대로 유량을 제어할 수 없게 되는 경우가 있다. 이 때문에, 유량 제어 기기는 정기적으로 설정 유량대로 유량을 제어할 수 있는지 여부를 검사할 필요가 있다.
이에, 종래의 유체 공급 시스템에는, 유량 제어 기기를 검사하기 위한 유량 산출 시스템을 조립한 것이 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에는, 유량 제어 기기를 흐르는 유체를 챔버에 공급하기 위한 유체 공급 유로와는 별도로, 유량 제어 기기를 검사하기 위한 유체 검사 유로를 마련하고, 해당 유체 검사 유로의 도중에 용기를 설치한 구성의 유량 산출 시스템이 개시되어 있다.
상기 유량 산출 시스템에 있어서는, 용기를 이용하여, 동적 정적법(압력 상승률(ROR)법)에 의해서 유량 제어 기기를 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하여 검사하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 유량 산출 시스템은 유량 제어 기기를 흐르는 유체를 진공 상태로 한 용기 내로 소정 기간 유입시키고, 이 때 생기는 용기 내의 압력의 변화율(ΔP/Δt)에 기초하여, 상기 소정 기간 중에 유량 제어 기기를 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출한다. 그리고, 추정 유량과 설정 유량을 비교함으로써, 유량 제어 기기를 흐르는 유체의 유량이 설정 유량대로 되어 있는지 여부를 검사한다.
구체적으로는, 상기 추정 유량 Q는, 다음의 수학식 1에 의해서 산출된다.
[수학식 1]
Figure pat00001
덧붙여, 상기 수학식 1에 있어서, ΔP/Δt는 용기 내의 단위 시간당 압력의 변화율, V는 용기의 용적, T는 용기의 온도(구체적으로는, 용기의 내부 공간의 온도, 또는 용기 자체의 벽온(壁溫)), R은 가스 상수를 각각 나타내고 있다.
그런데, 출원인은 상기 유량 산출 시스템에 대해서 한층 더 개량을 더하도록 연구 개발을 행하고 있던 중, 상기 수학식 1에 의해서 산출한 추정 유량은, 다음 현상이 원인이 되어 실제로 유량 제어 기기를 흐르는 유체의 실제 유량에 대해서 오차를 가지는 것을 발견했다. 자세하게 설명하면, 유량 제어 기기를 흐르는 유체를 용기로 유입시키는 과정에 있어서, 용기 내에서 단열 압축이 생겨 유체의 온도가 상승한다. 이것에 의해, 상기 수학식 1에 의해서 추정 유량을 산출하는 경우에 사용되는 압력의 변화율이, 용기 내에 있어서의 유체의 온도 상승의 영향을 받은 값이 되고, 그 결과, 상기 수학식 1에 의해서 추정 유량을 산출하면, 상기 실제 유량에 대해서 오차가 생기는 것을 발견했다.
특허 문헌 1: 일본 특개평 11－87318호
이에, 본 발명은 동적 정적법에 의해서 추정 유량을 정밀도 좋게 산출할 수 있는 유량 산출 시스템을 얻는 것을 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 유량 산출 시스템은 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와, 상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이러한 것이면, 유입 기간 중의 용기 내의 압력의 변화율에 기초하여 산출한 유량을, 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 압력 변화 데이터에 포함되는 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 보정하도록 구성했으므로, 유입 기간 중에 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출할 때 생기는 실제 유량에 대한 오차를 억제할 수 있다. 이것에 의해, 유량 산출 시스템에 의해서, 보다 정확한, 바꾸어 말하면, 실제 유량에 가까운 추정 유량을 산출할 수 있게 된다.
구체적으로는, 출원인은 동적 정적법을 이용한 유량 산출 시스템의 연구 개발을 계속하던 중에, 세로축을 용기 내의 압력 P라고 하고, 가로축에 시간 t로서 나타낸 압력의 시간 변화를 나타내는 그래프(도 4 참조)에 있어서, 압력 P가, 용기로의 유체의 유입을 정지한 시점으로부터 어느 정도 시간이 경과할 때까지 저하하고, 그 후 안정된 상태가 되는 것을 발견했다(이하, 이 상태의 압력을 안정 압력이라고도 한다. 덧붙여, 정확하게는, 안정 압력은 압력의 급격한 저하(강하)가 멎은 상태를 나타내고, 약간 압력이 계속 저하하고 있는 상태를 나타내고 있다). 이것은, 유입 기간 중에 용기 내에 생긴 단열 압축에 따른 온도 상승이 원인이 되어 생기는 현상이라고 생각할 수 있다. 이 때문에, 유입 기간 중에 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터에 의해서 추정 유량을 산출하려고 하면, 용기 내에 생긴 단열 압축에 따른 온도 상승의 영향을 받은 압력에 의해서 추정 유량을 산출하게 되고, 이것이 원인이 되어 실제 유량과의 사이에 오차가 생기는 것을 발견했다. 그리고, 출원인은 상기 제1 압력과 상기 제2 압력에 기초하여 추정 유량을 보정함으로써, 추정 유량에 대한 단열 압축에 따른 온도 상승의 영향을 억제시킬 수 있는 것을 찾아내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
덧붙여서, 본 발명과 같이 유입 기간 중에 있어서의 용기 내의 압력의 변화율에 기초하여, 유입 기간 중에 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 동적 정적법을 이용한 유량 산출 시스템에 의하면, 정적 정적법을 이용한 유량 산출 시스템에 비해, 유입 기간 중의 용기 내의 압력의 최대 압력과 상기 안정 압력에 의해서 형성되는 피크에 의한 유량으로의 영향이 현저하게 나타난다. 이 때문에, 제1 압력과 제2 압력에 기초하는 보정의 효과도 현저하게 나타난다.
덧붙여, 상기 제2 압력은 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 최대 압력 또는 그 근방 압력인 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 유량 산출부에서 산출된 추정 유량에 포함되는 용기 내의 온도 상승에 의한 오차를 큰폭으로 억제할 수 있다.
또, 상기 유량 보정부는, 구체적으로는, 상기 제2 압력에 대한 상기 제1 압력의 비(比)인 보정 계수에 기초하여, 상기 추정 유량을 보정하는 것이다.
또, 상기 용기 내 또는 상기 용기의 온도를 검출하는 온도 센서를 추가로 구비하고, 상기 유량 산출부가 상기 압력의 변화율과 상기 유입 기간 중에 상기 온도 센서로 검출되는 온도에 기초하여, 상기 추정 유량을 산출하는 것이어도 된다. 구체적으로는, 상기 유입 기간 중에, 상기 온도 센서로 검출된 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 온도 기억부와, 상기 온도 변화 데이터로부터 상기 유입 기간 중에 있어서의 상기 용기의 평균 온도를 산출하는 평균 온도 산출부를 추가로 구비하고, 상기 유량 산출부가, 상기 압력의 변화율과 상기 평균 온도에 기초하여, 상기 추정 유량을 산출하는 것이어도 된다.
상기 용기로서는, 예를 들면, 100ml에서 200l의 용적을 가지는 것이 사용된다. 그리고, 용기의 용적이 커지면 커질수록 용기 내에 있어서 온도의 치우침이 생겨, 온도 센서에 의해서 용기의 정확한 온도를 검출할 수 없게 된다. 이에, 유량 산출부에서 추정 유량을 산출하는 경우에, 유입 기간 중의 용기의 평균 온도를 이용함으로써, 보다 오차가 적은 추정 유량을 산출할 수 있다. 여기서, 용기 내 또는 용기의 온도란, 예를 들면, 용기의 내부 공간의 온도, 또는 용기의 벽온이다.
덧붙여, 상기 온도 센서는 상기 용기의 벽온을 검출하는 것이어도 된다.
또, 상기 유입 라인을 흐르는 유체의 유량을 제어하는 유량 제어 기기를 추가로 구비하고, 상기 유량 산출부가 상기 유입 기간 중에 상기 유량 제어 기기를 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 것이어도 된다.
또, 상기 유입 라인으로부터 분기하는 분기 라인과, 상기 분기 라인에만 유체를 흘리는 제1 상태와 상기 유입 라인의 상기 분기 라인과의 분기점보다도 하류측에만 유체를 흘리는 제2 상태를 전환하는 전환 기구를 추가로 구비하고, 상기 유량 제어 기기가, 상기 유입 라인의 상기 분기 라인과의 분기점보다도 상류측에 마련되어 있는 것이어도 된다.
이러한 것이면, 유입 기간 전에 용기 내를 진공 퍼지한 후, 용기 내를 진공 상태를 유지한 상태로 분기 라인을 통해서 유량 제어 기기에 유체를 흘릴 수 있다. 이것에 의해, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작함과 아울러, 전환 기구에 의해서 제1 상태로부터 제2 상태로 전환함으로써, 즉시 유량 제어 기기로부터 안정된 유량의 유체를 용기 내로 유입시킬 수 있게 된다.
또, 본 발명에 따른 유량 산출 시스템용 프로그램은, 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 프로그램으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출된 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와, 상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출된 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부로서의 기능을 발휘하는 것을 특징으로 하는 것이다. 덧붙여, 유량 산출용 프로그램은 전자적으로 배포되는 것이어도 되고, CD, DVD, BD, 플래쉬 메모리 등의 프로그램 기록 매체에 기록된 것이어도 된다.
또, 본 발명에 따른 유량 산출 방법은 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 방법으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출된 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 스텝과, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 스텝과, 상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출된 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명에 따른 유량 산출 장치는 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 것으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와, 상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 유량 산출 시스템은 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 용기 내 또는 상기 용기의 온도를 검출하는 온도 센서를 구비하는 유량 산출 시스템으로서, 상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출된 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와, 상기 유입 기간 중에, 상기 온도 센서로 검출된 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 온도 변화 데이터 기억부와, 상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와, 상기 제1 개폐 밸브를 닫고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 온도 센서로 검출된 제1 온도와, 상기 온도 변화 데이터에 있어서의 상기 제1 온도보다도 높은 제2 온도에 기초하여, 상기 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이러한 것이면, 유입 기간 중의 용기 내의 압력의 변화율에 기초하여 산출한 추정 유량을, 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 온도 센서로 검출되는 제1 온도와, 온도 변화 데이터에 포함되는 제1 온도보다도 높은 제2 온도에 기초하여, 보정하도록 구성했으므로, 유입 기간 중에 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출할 때 생기는 실제 유량에 대한 오차를 억제할 수 있다. 이것에 의해, 유량 산출 시스템에 의해서, 보다 정확한 추정 유량을 산출할 수 있게 된다.
이와 같이 구성한 유량 산출 시스템에 의하면, 동적 정적법에 의해서 추정 유량을 정밀도 좋게 산출할 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 2는 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템의 기능을 나타내는 블록도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 4는 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템을 배기 모드로 전환하고 나서 정지 모드로 전환한 후에 소정 시간 경과할 때까지의 압력의 시간 변화를 나타내는 그래프이다.
도 5는 그 외의 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템을 나타내는 모식도이다.
이하에, 본 발명에 따른 유량 산출 시스템을 도면에 기초하여 설명한다.
본 발명에 따른 유량 산출 시스템은, 예를 들면 반도체 제조 라인 등에 조립되는 유량 제어 기기를 검사·교정하기 위해서 사용되는 것이다.
본 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템(100)은, 도 1에 나타내는 것처럼, 유체가 유입되는 용기(10)와, 용기(10)로 유입되는 유입 라인(L1)과, 용기(10)로부터 유체를 유출하는 유출 라인(L2)과, 유입 라인(L1)으로부터 분기되는 분기 라인(L3)과, 유량 산출 장치(C)를 구비하고 있다.
상기 용기(10)에는 용기(10) 내의 압력을 검출하는 압력 센서(P)와, 용기(10)의 벽온도(구체적으로는, 외벽면의 온도)를 검출하는 온도 센서(T)가 마련되어 있다. 덧붙여, 온도 센서(T)는 용기의 내부 공간의 온도나 용기의 내벽면의 온도를 검출하는 것이어도 된다.
상기 유입 라인(L1)에는 유입 라인(L1)을 흐르는 유체의 유량을 제어하는 유량 제어 기기(MFC)가 마련되어 있다. 유량 제어 기기(MFC)는 열식 또는 압력식 등의 유량 센서와, 피에조 밸브 등의 유량 조정 밸브와, CPU나 메모리 등을 구비한 제어 회로를 구비한 매스 플로우 컨트롤러이다. 덧붙여, 본 실시 형태의 유량 산출 시스템(100)은 해당 유량 제어 기기(MFC)를 검사하는 것이다.
상기 유출 라인(L2)에는 하류측에 용기(10)로부터 유체를 배출시키기 위한 펌프(20)가 마련되어 있다.
상기 분기 라인(L3)은 상류단이 유입 라인(L1)의 유량 제어 기기(MFC)보다도 하류측에 접속되어 있음과 아울러, 하류단이 유출 라인(L2)의 펌프(20)보다도 상류측에 접속되어 있다. 즉, 분기 라인(L3)은 용기(10)를 우회하도록 유입 라인(L1) 및 유출 라인(L2)에 접속되어 있다.
또, 상기 유입 라인(L1), 상기 유출 라인(L2), 및 상기 분기 라인(L3)에는, 각각 개폐 밸브(V1~V3)가 마련되어 있다. 그리고, 유량 산출 시스템(100)은 각 개폐 밸브(V1~V3)의 개폐를 전환함으로써, 용기(10) 내를 진공 배기하는 배기 모드와, 용기(10) 내를 진공 상태로 유지함과 아울러, 유량 제어 기기(MFC)의 유량을 안정시키는 준비 모드와, 용기(10) 내로 유체를 유입하는 유입 모드와, 용기(10) 내로의 유체의 유입을 정지하는 정지 모드로 차례로 전환되도록 구성되어 있다.
구체적으로는, 상기 유입 라인(L1)에는, 분기 라인(L3)과의 분기점보다도 하류측에 제1 개폐 밸브(V1)가 마련되어 있다. 또, 상기 유출 라인(L2)에는 분기 라인(L3)과의 합류점보다도 상류측에 제2 개폐 밸브(V2)가 마련되어 있다. 또, 상기 분기 라인(L3)에는 그 도중에 제3 개폐 밸브(V3)가 마련되어 있다. 덧붙여, 제1 개폐 밸브(V1) 및 제3 개폐 밸브(V3)는, 유입 라인(L1)의 분기 라인(L3)의 분기점보다도 상류측을 흐르는 유체를, 분기 라인(L3)에만 흘리는 제1 상태와 유입 라인(L1)의 분기 라인(L3)과의 분기점보다도 하류측에만 흘리는 제2 상태를 전환하는 전환 기구의 역할을 담당하고 있다. 즉, 제1 개폐 밸브(V1) 및 제3 개폐 밸브(V3)는, 유입 라인(L1)의 분기 라인(L3)과의 분기점보다도 상류측을 흐르는 유체를, 분기 라인(L3)과, 유입 라인(L1)의 분기 라인(L3)과의 분기점보다도 하류측으로 선택적으로 흘리도록 전환하는 전환 기구의 역할을 담당하고 있다.
그리고, 상기 각 개폐 밸브(V1~V3)는 배기 모드로의 전환 신호를 접수하면, 제1 개폐 밸브(V1)를 닫고, 제2 개폐 밸브(V2)를 개방하고, 제3 개폐 밸브(V3)를 닫는다. 이것에 의해, 용기(10)는, 유출 라인(L2)에 마련된 펌프(20)에 의해서 진공 배기된다. 덧붙여, 유입 라인(L1)을 흐르는 유체는, 제1 개폐 밸브(V1) 및 제3 개폐 밸브(V3)에 의해서 용기(10)보다도 하류측으로 흐르지 않게 된다. 이것에 의해, 펌프(20)가 유량 제어 기기(MFC)와는 접속되지 않고, 용기(10)와만 접속된 상태가 되어, 용기(10) 내가 충분히 배기된다.
다음에, 상기 각 개폐 밸브(V1~V3)는 준비 모드로의 전환 신호를 접수하면, 제1 개폐 밸브(V1)를 닫고, 제2 개폐 밸브(V2)를 닫고, 제3 개폐 밸브(V3)를 개방한다. 이것에 의해, 용기(10)는 제1 개폐 밸브(V1)와 제2 개폐 밸브(V2)에 의해서 실링되어 진공 상태로 유지된다. 덧붙여, 유입 라인(L1)을 흐르는 유체는, 분기 라인(L3)을 통해서 용기보다도 하류측으로 흐른다. 이것에 의해, 유량 제어 기기(MFC)가, 배기 모드에서 유량이 안정되지 않은 상태로부터 유량이 안정된 상태로 돌아간다.
다음에, 상기 각 개폐 밸브(V1~V3)는 유입 모드로의 전환 신호를 접수하면, 제1 개폐 밸브(V1)를 개방하고, 제2 개폐 밸브(V2)를 닫고, 제3 개폐 밸브(V3)를 닫는다. 이것에 의해, 유입 라인(L1)을 흐르는 유체, 바꾸어 말하면, 유량 제어 기기(MFC)를 흐르는 유체가, 모두 용기(10)로 유입하게 된다.
다음에, 상기 각 개폐 밸브(V1~V3)는 정지 모드로의 전환 신호를 접수하면, 제1 개폐 밸브(V1)를 닫고, 제2 개폐 밸브(V2)를 닫고, 제3 개폐 밸브(V3)를 개방한다. 이것에 의해, 용기(10)는 제1 개폐 밸브(V1)와 제2 개폐 밸브(V2)에 의해서 실링된 상태로 유지된다. 덧붙여, 유입 라인(L1)을 흐르는 유체는, 다시 분기 라인(L3)을 통해서 용기(10)보다도 하류측으로 흐르기 시작한다.
또, 상기 유량 산출 장치(C)는 각 개폐 밸브(V1~V3), 압력 센서(P), 온도 센서(T), 유량 제어 기기(MFC), 및 도시하지 않은 표시부에 접속되어 있다. 덧붙여, 유량 산출 장치(C)는, 구체적으로는, CPU, 메모리, AD 컨버터, DC 컨버터, 입력 수단 등을 가진 컴퓨터이며, 상기 메모리에 격납된 프로그램을 CPU에 의해서 실행함으로써, 도 2에 나타내는 것처럼, 밸브 제어부(C1), 압력 변화 데이터 기억부(C2), 온도 변화 데이터 기억부(C3), 평균 온도 산출부(C4), 유량 산출부(C5), 유량 보정부(C6), 표시 제어부(C7) 등으로서의 기능을 발휘되도록 구성되어 있다. 덧붙여, 표시부는, 예를 들면, 디스플레이 등이다.
상기 밸브 제어부(C1)는 제1 개폐 밸브(V1), 제2 개폐 밸브(V2), 및 제3 개폐 밸브(V3)의 개폐를 제어하는 것이다. 구체적으로는, 밸브 제어부(C1)는 유량 산출 개시 신호를 접수하면, 각 개폐 밸브(V1~V3)에 대해, 배기 모드, 준비 모드, 유입 모드, 및 정지 모드로 전환하는 전환 신호를 이 순서대로 차례로 송신한다.
상기 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 압력 센서(P)로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 것이다. 구체적으로는, 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 적어도 유입 모드로 전환되고 나서 정지 모드로 전환될 때까지의 유입 기간(도 4 참조) 중에, 압력 센서(P)로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 것이다. 보다 구체적으로는, 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 적어도 유입 기간에 있어서의 유입 모드로 전환되고 나서 용기(10) 내의 압력의 변화율(상승률)이 안정된 후의 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억하는 것이면 된다. 덧붙여, 본 실시 형태의 압력 변화 데이터 기억부(C2)는, 상기 유입 기간과, 정지 모드로 전환되고 나서 해당 정지 모드인 채 소정 시간 경과할 때까지의 대기 기간(도 4 참조)을 합한 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억하게 되어 있다.
상기 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 온도 센서(T)로 검출되는 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 것이다. 구체적으로는, 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 적어도 상기 유입 기간 중에, 온도 센서(T)로 검출되는 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 것이다. 덧붙여, 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 압력 변화 데이터 기억부(C2)와 마찬가지로 유입 기간의 일부의 기간의 온도 변화 데이터를 기억하는 것이어도 된다.
덧붙여, 상기 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 유량 산출 시스템(100)이 가동하고 있는 전체 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억하도록 해도 되고, 밸브 제어부(C1)로부터 각 개폐 밸브(V1~V3)에 송신되는 전환 신호를 참조하여, 필요한 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억하도록 해도 된다. 덧붙여, 상기 온도 변화 데이터 기억부(C3)에 대해서도 마찬가지이다.
상기 평균 온도 산출부(C4)는 유입 기간 중의 용기(10)의 평균 온도를 산출하는 것이다. 구체적으로는, 평균 온도 산출부(C4)는 온도 변화 데이터 기억부(C3)에 기억된 유입 기간에 관련된 온도 변화 데이터에 기초하여 상기 평균 온도를 산출한다.
상기 유량 산출부(C5)는 유입 기간 중에 유입 라인(L1)을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량에 대해 이론식을 이용하여 산출하는 것이다. 구체적으로는, 유량 산출부(C5)는 압력 변화 데이터 기억부(C2)에 기억된 유입 기간에 관련된 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율(상승률)과, 평균 온도 산출부(C4)에서 산출된 평균 온도에 기초하여 추정 유량을 산출한다. 보다 구체적으로는, 유량 산출부(C5)는 압력의 변화율과 평균 온도를 상기 수학식 1에 대입하여 추정 유량을 산출한다. 덧붙여, 유량 산출부(C5)는 압력 변화 데이터에 포함되는 복수의 시점에 있어서의 압력을 참조하여 단위 시간에 대한 압력의 변화율을 산출한다.
여기서, 유입 라인(L1)을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량은, 유량 제어 기기(MFC)에 의해서 제어되고 있다. 따라서, 유량 산출부(C5)는 유량 제어 기기(MFC)를 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하고 있다고도 말할 수 있다.
상기 유량 보정부(C6)는 유량 산출부(C5)에서 산출한 추정 유량을 보정하는 것이다. 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 유입 모드로부터 정지 모드로 전환되고 나서 소정 시간 경과 후에 압력 센서(P)로 검출되는 제1 압력과, 유입 기간 중의 압력 변화 데이터에 포함되는 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여 추정 유량을 보정하는 것이다. 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 제2 압력에 대한 제1 압력의 비인 보정 계수에 기초하여 추정 유량을 보정하는 것이다. 보다 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 추정 유량에 상기 보정 계수를 곱해 보정하는 것이다.
여기서, 도 4에 기초하여 상기 제1 압력 및 상기 제2 압력에 대해 상술한다. 유입 기간 중의 용기(10) 내의 압력은, 유입 라인(L1)으로부터 유입되는 유체의 증가뿐만이 아니라, 용기(10) 내의 단열 압축에 의해서 생기는 온도 상승의 영향을 받아 상승한다. 따라서, 유입 기간 종료 직후, 압력 센서(P)는 용기(10) 내의 단열 압축에 의한 온도 상승의 영향을 받은 압력을 검출한다. 그러나, 유입 기간이 종료되고 나서 소정 시간 경과하면, 압력 센서(P)는 용기(10) 내의 단열 압축에 의한 온도 상승의 영향을 거의 받고 있지 않은 압력(안정 압력)을 검출한다. 그리고, 이 압력이 제1 압력이 된다.
또, 상기 소정 시간은 수분~수시간의 범위에서 선택되는 것이다. 덧붙여, 유입 기간 종료 후의 시간이 길어질수록, 압력 센서(P)로 검출되는 압력에 대한 용기(10) 내의 단열 압축에 의한 온도 상승의 영향도 작아진다. 따라서, 소정 시간을 길게 할수록, 추정 유량을 실제 유량에 가까운 값으로 보정할 수 있는 보정 계수가 얻어진다.
또, 상기 제2 압력은 유입 기간 중에 압력 센서(P)로 검출되는 압력 중에서 제1 압력보다도 높은 압력이다. 덧붙여, 제2 압력은 유입 기간 중에 압력 센서로 검출되는 압력의 최대 압력 또는 그 근방 압력인 것이 바람직하다. 본 실시 형태에 있어서는, 유입 기간 중에 압력 센서(P)로 검출되는 압력의 최대 압력을 제2 압력으로 하고 있다.
또, 상기 표시 제어부(C7)는 유량 보정부(C6)에서 산출된 보정 후의 추정 유량을 표시부에 표시하는 것이다.
다음에, 상기 유량 산출 시스템(100)의 동작을 설명한다.
먼저, 밸브 제어부(C1)는 유량 산출 개시 신호를 접수하면, 각 개폐 밸브(V1~V3)에 대해, 배기 모드, 준비 모드, 유입 모드, 및 정지 모드로 전환하는 전환 신호를 차례로 송신한다. 이것에 의해, 각 개폐 밸브(V1~V3)는 차례로 각 모드로 전환한다(스텝 S1, S2, S3, S5).
덧붙여, 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 유입 모드로 전환하면, 압력 변화 데이터의 기억을 개시한다(스텝 S4). 그리고, 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 유입 모드로부터 정지 모드로 전환되고 나서 해당 정지 모드를 유지한 상태로 소정 시간 경과하면, 압력 변화 데이터의 기억을 종료한다(스텝 S8). 즉, 압력 변화 데이터 기억부(C2)는 유입 모드로 전환되고 나서 정지 모드로 전환될 때까지의 유입 기간과, 정지 모드로 전환되고 나서 해당 정지 모드인 채 소정 시간 경과할 때까지의 대기 기간을 합한 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억한다.
또, 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 유입 모드로 전환하면, 온도 변화 데이터의 기억을 개시한다(스텝 4). 그리고, 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 유입 모드로부터 정지 모드로 전환하면, 온도 변화 데이터의 기억을 종료한다(스텝 S6). 즉, 온도 변화 데이터 기억부(C3)는 유입 기간에 관련된 온도 변화 데이터를 기억한다.
다음에, 평균 온도 산출부(C4)는 온도 변화 데이터 기억부(C3)에 기억된 온도 변화 데이터에 기초하여 유입 기간 중의 용기(10)의 평균 온도를 산출한다(스텝 S9).
다음에, 유량 산출부(C5)는 압력 변화 데이터 기억부(C2)에 기억된 압력 변화 데이터에 기초하여 유입 기간 중의 압력의 변화율을 산출한다. 그리고, 유량 산출부(C5)는 압력의 변화율과 평균 온도에 기초하여, 유입 기간 중에 유입 라인(L1)을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출한다(스텝 S10). 구체적으로는, 유량 산출부(C5)는 압력의 변화율 및 평균 온도를 상기 수학식 1에 대입하여, 유입 기간 중에 유입 라인(L1)을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출한다.
다음에, 유량 보정부(C6)가 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정한다(스텝 S11). 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 대기 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 참조하여, 유입 모드로부터 정지 모드로 전환되고 나서 소정 시간 경과시의 압력을 제1 압력으로서 취득한다. 또, 유량 보정부(C6)는 유입 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 참조하여, 제1 압력보다도 높은 압력을 제2 압력으로서 취득한다. 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 유입 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 참조하여, 유입 기간 중의 최대 압력 또는 그 근방 압력을 제2 압력으로서 취득한다. 즉, 유량 보정부(C6)는 유입 모드로부터 정지 모드로 전환된 시점, 혹은 그 직전 또는 직후의 압력을 제2 압력으로서 취득한다.
그리고, 유량 보정부(C6)는 취득한 제1 압력 및 제2 압력에 기초하여 보정 계수를 산출하고, 해당 보정 계수에 의해서 유량 산출부(C5)에서 산출된 추정 유량을 보정한다. 구체적으로는, 유량 보정부(C6)는 제2 압력 P2에 대한 제1 압력 P1의 비, 즉, P1/P2를 보정 계수로 하고, 해당 보정 계수를 추정 유량을 곱하여 보정한다.
그 후, 표시 제어부(C7)는 유량 보정부(C6)에서 보정된 보정 후의 추정 유량을 표시부에 표시한다(스텝 S12).
＜그 외의 실시 형태＞ 상기 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템(100)에 있어서는, 유량 산출, 유입 라인(L1)으로부터 분기되는 분기 라인(L3)을, 용기(10)를 우회하도록 유출 라인(L2)에 접속하고 있다. 그러나, 도 5에 나타내는 것처럼, 분기 라인(L3)의 하류측을 유체의 공급 대상이 되는 챔버(CH)로 접속하여, 유량 산출 시스템(100)을 조립한 유체 공급 시스템을 구성해도 된다. 이러한 구성의 유체 공급 라인이면, 유입 라인(L1)을 흐르는 유체를, 유입 기간 이외는 챔버(CH)로 계속 공급할 수 있다. 이것에 의해, 추정 유량을 산출하는 경우에, 챔버(CH)로의 공급 정지 시간을 짧게 할 수 있다.
또, 상기 실시 형태에 따른 유량 산출 시스템(100)에 있어서, 유량 산출 장치(C)를 해당 유량 산출 장치(C)가 구비하는 각 기능에 더하여 유량 비교부로서의 기능을 발휘하는 유량 검사 장치로 해도 된다. 이 경우, 유량 비교부는 유입 기간 중에 유량 제어 기기(MFC)에 설정되어 있던 설정 유량과, 유량 보정부(C6)에서 산출된 보정 후의 추정 유량을 비교하도록 구성하면 된다. 또한, 유량 산출 장치(C)를 해당 유량 산출 장치가 구비하는 각 기능에 더하여 유량 비교부 및 교정부로서의 기능을 발휘하는 유량 교정 장치로 해도 된다. 이 경우, 교정부는 유량 비교부의 비교 결과에 기초하여 유량 제어 기기(MFC)를 교정하도록 구성하면 된다. 덧붙여, 상기 유량 검사 장치 및 상기 유량 교정 장치는, 상기 유량 산출 장치와 마찬가지로, CPU, 메모리, AD 컨버터, DC 컨버터, 입력 수단 등을 가진 컴퓨터이며, 상기 메모리에 격납된 프로그램을 CPU에 의해서 실행함으로써 각 기구를 발휘하는 것이다.
또, 상기 실시 형태에 있어서는, 압력 변화 데이터 기억부(C2)에 대해서 유입 기간 및 대기 기간에 관련된 압력 변화 데이터를 기억하고 있지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 압력 변화 데이터 기억부(C2)에 대해서 유입 기간에 관련된 압력 변화 데이터만을 기억하도록 해도 된다. 이 경우, 유량 보정부(C6)가 유입 모드로부터 정지 모드로 전환되고 나서 소정 시간 경과시에 있어서의 압력 센서(P)로 검출되는 압력을 취득하고, 이것을 제1 압력으로 하도록 구성하면 된다. 또한, 압력 변화 데이터 기억부(C2)에 대해서 유입 기간 및 대기 기간 이외의 기간에 관련된 압력 변화 데이터도 기억하도록 해도 된다.
또, 상기 실시 형태에 있어서는, 유량 보정부(C6)가 유량 산출부(C5)에서 산출된 추정 유량을 제1 압력과 제2 압력에 기초하여 보정하고 있지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 유량 보정부(C6)가, 제1 개폐 밸브(V1)를 닫고 나서 소정 시간 경과 후에 온도 센서(T)로 검출된 제1 온도와, 온도 변화 데이터에 있어서의 제1 온도보다도 높은 제2 온도에 기초하여, 추정 유량을 보정하는 것이어도 된다.
그 외, 본 발명은 상기 각 실시 형태로 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.
100: 유량 산출 시스템 10: 용기
20: 펌프 L1: 유입 라인
L2: 유출 라인 L3: 분기 라인
V1: 제1 개폐 밸브 V2: 제2 개폐 밸브
V3: 제3 개폐 밸브 P: 압력 센서
T: 온도 센서 C: 유량 산출 장치
C1: 밸브 제어부 C2: 압력 변화 데이터 기억부
C3: 온도 변화 데이터 기억부 C4: 평균 온도 산출부
C5: 유량 산출부 C6: 유량 보정부
C7: 표시 제어부 MFC: 유량 제어 기기

Claims (12)

  1. 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템으로서,
    상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와,
    상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와,
    상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 산출 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 압력이 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 최대 압력 또는 그 근방 압력인 유량 산출 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유량 보정부가 상기 제2 압력에 대한 상기 제1 압력의 비(比)인 보정 계수에 기초하여, 상기 추정 유량을 보정하는 것인 유량 산출 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 용기 내 또는 상기 용기의 온도를 검출하는 온도 센서를 추가로 구비하고,
    상기 유량 산출부가 상기 압력의 변화율과 상기 유입 기간 중에 상기 온도 센서로 검출되는 온도에 기초하여, 상기 추정 유량을 산출하는 것인 유량 산출 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 유입 기간 중에, 상기 온도 센서로 검출되는 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 온도 기억부와,
    상기 온도 변화 데이터로부터 상기 유입 기간 중의 상기 용기 내 또는 상기 용기의 평균 온도를 산출하는 평균 온도 산출부를 추가로 구비하고,
    상기 유량 산출부가, 상기 압력의 변화율과 상기 평균 온도에 기초하여, 상기 추정 유량을 산출하는 것인 유량 산출 시스템.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 온도 센서가 상기 용기의 벽온을 검출하는 것인 유량 산출 시스템.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 유입 라인을 흐르는 유체의 유량을 제어하는 유량 제어 기기를 추가로 구비하고,
    상기 유량 산출부가, 상기 유입 기간 중에 상기 유량 제어 기기를 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 것인 유량 산출 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 유입 라인으로부터 분기하는 분기 라인과,
    상기 분기 라인에만 유체를 흘리는 제1 상태와 상기 유입 라인의 상기 분기 라인과의 분기점보다도 하류측에만 유체를 흘리는 제2 상태를 전환하는 전환 기구를 추가로 구비하고,
    상기 유량 제어 기기가 상기 유입 라인의 상기 분기 라인과의 분기점보다도 상류측에 마련되어 있는 유량 산출 시스템.
  9. 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 프로그램이 기록된 기록 매체로서,
    상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와,
    상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와,
    상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부로서의 기능을 발휘하는 것을 특징으로 하는 유량 산출 시스템용 프로그램이 기록된 기록 매체.
  10. 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 방법으로서,
    상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 스텝과,
    상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 스텝과,
    상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출된 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 산출 방법.
  11. 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비하는 유량 산출 시스템에 이용되는 것으로서,
    상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와,
    상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와,
    상기 용기로의 유체의 유입을 정지하고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 압력 센서로 검출되는 제1 압력과, 상기 압력 변화 데이터에 포함되는 상기 제1 압력보다도 높은 제2 압력에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 산출 장치.
  12. 유체가 유입되는 용기와, 상기 용기로 유체를 유입하는 유입 라인과, 상기 용기 내의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 용기 내 또는 상기 용기의 온도를 검출하는 온도 센서를 구비하는 유량 산출 시스템으로서,
    상기 유입 라인으로부터 상기 용기로 유체를 유입하기 시작하고 나서 상기 용기로의 유체의 유입을 정지할 때까지의 유입 기간 중에, 상기 압력 센서로 검출되는 압력의 시간 변화를 나타내는 압력 변화 데이터를 기억하는 압력 변화 데이터 기억부와,
    상기 유입 기간 중에, 상기 온도 센서로 검출되는 온도의 시간 변화를 나타내는 온도 변화 데이터를 기억하는 온도 변화 데이터 기억부와,
    상기 압력 변화 데이터로부터 산출되는 압력의 변화율에 기초하여, 상기 유입 기간 중에 상기 유입 라인을 흐르고 있었다고 추정되는 유체의 추정 유량을 산출하는 유량 산출부와,
    상기 제1 개폐 밸브를 닫고 나서 소정 시간 경과 후에 상기 온도 센서로 검출된 제1 온도와, 상기 온도 변화 데이터에 있어서의 상기 제1 온도보다도 높은 제2 온도에 기초하여, 상기 유량 산출부에서 산출된 추정 유량을 보정하는 유량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 산출 시스템.

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