CN111623855A - 流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。

Description

流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置
技术领域
本发明涉及流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置。
背景技术
在向半导体制造过程等中的成膜装置的腔室供给材料气体(以下也称为流体)的流体供给系统中，需要对向腔室供给的流体的流量准确地进行管理，因此在流体流动的流道上设有流量控制设备。此外，所述流量控制设备是所谓的质量流量控制器，具备对流过流道的流体的流量进行检测的流量传感器，以使由流量传感器检测的流量接近设定流量的方式进行反馈控制。
但是，所述流量控制设备由于流道堵塞等老化等原因，变成无法按设定流量对流量进行控制。因此，需要定期对流量控制设备是否能够按设定流量进行流量控制进行检查。
因此，在以往的流体供给系统中，有时组装有用于检查流量控制设备的流量计算系统。例如，在专利文献1中公开了一种流量计算系统，与用于将流过流量控制设备的流体向腔室供给的流体供给流道独立地另外设有用于检查流量控制设备的流体检查流道，在该流体检查流道的中途设置有容器。
在所述流量计算系统中，利用容器，通过动态定容积法(压力上升率(ROR)法)，计算被推定为流过流量控制设备的流体的推定流量来进行检查。具体地说，流量计算系统使流过流量控制设备的流体在规定期间流入成为真空状态的容器内，基于此时产生的容器内的压力的变化率(ΔP/Δt)，计算被推定为在所述规定期间中流过流量控制设备的流体的推定流量。此外，通过对推定流量与设定流量进行比较，检查流过流量控制设备的流体的流量是否变成与设定流量一样。
具体地说，通过下面的式1，计算所述推定流量Q。
[式1]
Figure BDA0002391557810000021
此外，在所述式1中，ΔP/Δt显示容器内的每单位时间的压力的变化率，V表示容器的容积，T表示容器的温度(具体地说，容器的内部空间的温度、或容器自身的壁温)，R表示气体常数。
但是，本发明人在为了对所述流量计算系统实施进一步的改良而进行研究开发时发现了：通过所述式1计算出的推定流量，由于下面的现象的原因，相对于实际流过流量控制设备的流体的实际流量具有误差。详细而言，本发明人发现了：在使流过流量控制设备的流体流入容器的过程中，在容器内产生绝热压缩而使流体的温度上升。由此，在通过所述式1计算推定流量时使用的压力的变化率，变成受容器内的流体的温度上升的影响的值，其结果，如果通过所述式1计算推定流量，则相对于所述实际流量会产生误差。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开平11-87318号
发明内容
因此，本发明的主要目的在于得到一种能够利用动态定容积法高精度地计算推定流量的流量计算系统。
即，本发明的流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，所述流量计算系统的特征在于，还具备：压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及流量修正部，基于第一压力以及第二压力，对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
按照该流量计算系统，由于基于在从停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对基于流入期间中的容器内的压力的变化率计算出的流量进行修正，所以能够抑制在计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量时产生的、相对于实际流量的误差。由此，通过流量计算系统，能够计算更准确的换句话说更接近实际流量的推定流量。
具体地说，本发明人在持续进行利用了动态定容积法的流量计算系统的研究开发中发现了：在表示将纵轴设为容器内的压力P、将横轴设为时间t进行表示的压力的时间变化的图(参照图4)中，从停止向容器流入流体的时点开始到经过了某个程度的时间为止，压力P降低，此后成为稳定的状态(以下，也将该状态的压力称为稳定压力。此外，准确地说，稳定压力表示压力的急剧降低(下降)平息的状态，表示压力稍微降低并持续的状态。)。认为这是由于在流入期间中伴随容器内产生的绝热压缩的温度上升的原因而产生的现象。因此发现了：如果想要根据在流入期间中表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据计算推定流量，则变成根据受到伴随容器内产生的绝热压缩的温度上升的影响的压力，计算推定流量，由于该原因而与实际流量之间产生误差。此外，本发明人发现了：通过基于所述第一压力以及所述第二压力对推定流量进行修正，能够抑制伴随绝热压缩的温度上升对推定流量的影响，由此完成了本发明。
顺便说一下，如本发明所示的，动态定容积法基于流入期间中的容器内的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量，按照利用了动态定容积法的流量计算系统，与利用了静态定容积法的流量计算系统相比较，由流入期间中的容器内的压力的最大压力和所述稳定压力所形成的峰对流量的影响显著地显现。因此，基于第一压力和第二压力的修正的效果也显著地显现。
此外，优选的是，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的最大压力或其附近压力。
按照该方式，能够大幅抑制由流量计算部计算出的推定流量中包含的容器内的温度上升造成的误差。
此外，具体地说，所述流量修正部基于修正系数对所述推定流量进行修正，所述修正系数是所述第一压力与所述第二压力之比。
此外，可以采用下述方式：所述流量计算系统还具备温度传感器，所述温度传感器检测所述容器内或所述容器的温度，所述流量计算部基于所述压力的变化率以及在所述流入期间中由所述温度传感器检测到的温度，计算所述推定流量。具体地说，可以采用下述方式：所述流量计算系统还具备：温度存储部，在所述流入期间中存储温度变化数据，所述温度变化数据表示由所述温度传感器检测到的温度的时间变化；以及平均温度计算部，根据所述温度变化数据，计算所述流入期间中的所述容器的平均温度，所述流量计算部基于所述压力的变化率以及所述平均温度，计算所述推定流量。
作为所述容器，例如使用具有100毫升～200升的容积的容器。此外，容器的容积越大，在容器内越产生温度偏移，越变得由温度传感器不能检测出容器的准确的温度。因此，在由流量计算部计算推定流量时，通过使用流入期间中的容器的平均温度，能够计算误差更低的推定流量。在此，容器内或容器的温度例如是容器的内部空间的温度、或容器的壁温。
此外，可以是所述温度传感器检测所述容器的壁温。
此外，可以采用下述方式：所述流量计算系统还具备流量控制设备，所述流量控制设备控制流过所述流入管路的流体的流量，所述流量计算部计算被推定为在所述流入期间中流过所述流量控制设备的流体的推定流量。
此外，可以采用下述方式：所述流量计算系统还具备：分路管路，从所述流入管路分路；以及切换机构，在第一状态和第二状态之间进行切换，所述第一状态是流体仅向所述分路管路流动的状态，所述第二状态是流体仅向所述流入管路的比与所述分路管路的分路点靠下游侧流动的状态，所述流量控制设备设在所述流入管路的比与所述分路管路的分路点靠上游侧。
按照该方式，当在流入期间之前将容器内抽真空之后，能够在将容器内保持在真空状态的状态下通过分路管路使流体流向流量控制设备。由此，通过在从所述流入管路开始向所述容器流入流体的同时，利用切换机构从第一状态切换为第二状态，由此能够立即从流量控制设备向容器内流入稳定流量的流体。
此外，本发明的存储介质，存储有流量计算系统用程序，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，所述存储介质的特征在于，所述程序发挥作为压力变化数据存储部、流量计算部以及流量修正部的功能，所述压力变化数据存储部在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化，所述流量计算部基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量，所述流量修正部基于第一压力以及第二压力对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。此外，流量计算用程序可以是以电子的方式分发的程序，也可以存储在CD、DVD、BD、闪存器等程序存储介质中。
此外，本发明的流量计算方法，其用于流量计算系统，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，所述流量计算方法的特征在于，包括：在流入期间中存储压力变化数据的步骤，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量的步骤；以及基于第一压力以及第二压力，对计算出的所述推定流量进行修正的步骤，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
此外，本发明的流量计算装置，其用于流量计算系统，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，所述流量计算装置的特征在于，具备：压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及流量修正部，基于第一压力以及第二压力，对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
此外，本发明的流量计算系统，其具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；压力传感器，检测所述容器内的压力；以及温度传感器，检测所述容器内或所述容器的温度，所述流量计算系统的特征在于，还具备：压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；温度变化数据存储部，在所述流入期间中存储温度变化数据，所述温度变化数据表示由所述温度传感器检测到的温度的时间变化；流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及流量修正部，基于第一温度以及第二温度，对所述推定流量进行修正，所述第一温度是从关闭所述第一开关阀开始经过了规定时间后由所述温度传感器检测到的温度，所述第二温度是所述温度变化数据中的比所述第一温度高的温度。
按照这样的方式，基于从停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由温度传感器检测到的第一温度以及温度变化数据中包含的比第一温度高的第二温度，对基于流入期间中的容器内的压力的变化率计算出的推定流量进行修正，因此能够抑制计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量时产生的、相对于实际流量的误差。由此，通过流量计算系统，能够计算更准确的推定流量。
按照如上所述地构成的流量计算系统，能够通过动态定容积法高精度地计算推定流量。
附图说明
图1是表示实施方式的流量计算系统的示意图。
图2是表示实施方式的流量计算系统的功能的框图。
图3是表示实施方式的流量计算系统的动作的流程图。
图4是表示将实施方式的流量计算系统切换为排气模式开始到向停止模式切换后经过了规定时间为止的压力的时间变化的图。
图5是表示其它实施方式的流量计算系统的示意图。
附图标记说明
100 流量计算系统
10 容器
20 泵
L1 流入管路
L2 流出管路
L3 分路管路
V1 第一开关阀
V2 第二开关阀
V3 第三开关阀
P 压力传感器
T 温度传感器
C 流量计算装置
C1 阀控制部
C2 压力变化数据存储部
C3 温度变化数据存储部
C4 平均温度计算部
C5 流量计算部
C6 流量修正部
C7 显示控制部
MFC 流量控制设备
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的流量计算系统进行说明。
本发明的流量计算系统用于对例如组装在半导体生产线等上的流量控制设备进行检查、校准。
如图1所示，本实施方式的流量计算系统100具备：容器10，流体流入该容器10；流入管路L1，使流体流入容器10；流出管路L2，使流体从容器10流出；分路管路L3，从流入管路L1分路；以及流量计算装置C。
在所述容器10上设有：压力传感器P，检测容器10内的压力；以及温度传感器T，检测容器10的壁温度(具体地说，外壁面的温度)。此外，温度传感器T也可以检测容器的内部空间的温度、容器的内壁面的温度。
在所述流入管路L1上设有流量控制设备MFC，所述流量控制设备MFC控制流过流入管路L1的流体的流量。流量控制设备MFC是质量流量控制器，其具备：热式或压力式等的流量传感器；压电阀等流量调节阀；以及具备CPU和存储器等的控制电路。此外，本实施方式的流量计算系统100检查该流量控制设备MFC。
在所述流出管路L2上，在下游侧设有泵20，所述泵20用于将流体从容器10排出。
所述分路管路L3的上游端与流入管路L1的比流量控制设备MFC靠下游侧的位置连接，并且下游端与流出管路L2的比泵20靠上游侧的位置连接。即，分路管路L3以绕过容器10的方式与流入管路L1和流出管路L2连接。
此外，在所述流入管路L1、所述流出管路L2、以及所述分路管路L3上分别设有开关阀V1～V3。此外，流量计算系统100通过对各开关阀V1～V3的开闭进行切换，依次切换为：排气模式，对容器10内进行真空排气；准备模式，将容器10内保持为真空状态，并且使流量控制设备MFC的流量稳定；流入模式，使流体向容器10内流入；以及停止模式，停止向容器10内流入流体。
具体地说，在所述流入管路L1上，在比与分路管路L3的分路点靠下游侧设有第一开关阀V1。此外，在所述流出管路L2上，在比与分路管路L3的合流点靠上游侧设有第二开关阀V2。此外，在所述分路管路L3上，在其中途设有第三开关阀V3。此外，第一开关阀V1以及第三开关阀V3发挥切换机构的作用，所述切换机构在第一状态和第二状态之间进行切换，所述第一状态是使在流入管路L1的比与分路管路L3的分路点靠上游侧中流动的流体仅向分路管路L3流动的状态，所述第二状态是使在流入管路L1的比与分路管路L3的分路点靠上游侧中流动的流体仅向流入管路L1的比与分路管路L3的分路点靠下游侧流动的状态。即，第一开关阀V1以及第三开关阀V3发挥切换机构的作用，所述切换机构以如下方式进行切换：使在流入管路L1的比与分路管路L3的分路点靠上游侧中流动的流体选择性地流向分路管路L3和流入管路L1的比与分路管路L3的分路点靠下游侧。
此外，所述各开关阀V1～V3，如果接收到向排气模式切换的切换信号，则关闭第一开关阀V1，打开第二开关阀V2，关闭第三开关阀V3。由此，容器10通过设在流出管路L2上的泵20进行真空排气。此外，流过流入管路L1的流体，通过第一开关阀V1以及第三开关阀V3而不向比容器10靠下游侧流动。由此，泵20成为不与流量控制设备MFC连接而仅与容器10连接的状态，容器10内被充分排气。
接着，所述各开关阀V1～V3如果接收到向准备模式切换的切换信号，则关闭第一开关阀V1，关闭第二开关阀V2，打开第三开关阀V3。由此，容器10被第一开关阀V1和第二开关阀V2密封而保持为真空状态。此外，流过流入管路L1的流体，通过分路管路L3向比容器靠下游侧流动。由此，流量控制设备MFC从在排气模式下流量不稳定的状态返回流量稳定的状态。
接着，所述各开关阀V1～V3，如果接收到向流入模式切换的切换信号，则打开第一开关阀V1，关闭第二开关阀V2，关闭第三开关阀V3。由此，流过流入管路L1的流体换句话说就是流过流量控制设备MFC的流体，全都向容器10流入。
接着，所述各开关阀V1～V3如果接收到向停止模式切换的切换信号，则关闭第一开关阀V1，关闭第二开关阀V2，打开第三开关阀V3。由此，容器10保持为被第一开关阀V1和第二开关阀V2密封的状态。此外，流过流入管路L1的流体再次通过分路管路L3开始向比容器10靠下游侧流动。
此外，所述流量计算装置C与各开关阀V1～V3、压力传感器P、温度传感器T、流量控制设备MFC、以及未图示的显示部连接。此外，具体地说，流量计算装置C是具有CPU、存储器、AD转换器、DC转换器、输入装置等的计算机，通过由CPU执行存储于所述存储器的程序，如图2所示，发挥作为阀控制部C1、压力变化数据存储部C2、温度变化数据存储部C3、平均温度计算部C4、流量计算部C5、流量修正部C6、显示控制部C7等的功能。此外，显示部例如是显示器等。
所述阀控制部C1控制第一开关阀V1、第二开关阀V2、以及第三开关阀V3的开闭。具体地说，阀控制部C1如果接收到流量计算开始信号，则向各开关阀V1～V3按如下的顺序依次发送向排气模式、准备模式、流入模式、以及停止模式切换的切换信号。
所述压力变化数据存储部C2存储压力变化数据，所述压力变化数据表示由压力传感器P检测到的压力的时间变化。具体地说，压力变化数据存储部C2至少存储从切换为流入模式开始到切换为停止模式为止的流入期间(参照图4)中表示由压力传感器P检测到的压力的时间变化的压力变化数据。更具体地说，压力变化数据存储部C2只要至少存储流入期间中的从切换为流入模式开始到容器10内的压力的变化率(上升率)稳定之后的期间的压力变化数据即可。此外，本实施方式的压力变化数据存储部C2存储把所述流入期间和待机期间(参照图4)加在一起的期间的压力变化数据，所述待机期间是从切换为停止模式开始到在保持为该停止模式的状态下经过规定时间为止的期间。
所述温度变化数据存储部C3存储温度变化数据，所述温度变化数据表示由温度传感器T检测到的温度的时间变化。具体地说，温度变化数据存储部C3至少存储在所述流入期间中表示由温度传感器T检测到的温度的时间变化的温度变化数据。此外，温度变化数据存储部C3也可以与压力变化数据存储部C2同样地，存储流入期间的一部分的期间的温度变化数据。
此外，所述压力变化数据存储部C2可以存储流量计算系统100运转的全部期间的压力变化数据，也可以参照从阀控制部C1向各开关阀V1～V3发送的切换信号，存储需要的期间的压力变化数据。此外，对于所述温度变化数据存储部C3也是同样的。
所述平均温度计算部C4计算流入期间中的容器10的平均温度。具体地说，平均温度计算部C4根据存储在温度变化数据存储部C3中的流入期间的温度变化数据，计算所述平均温度。
所述流量计算部C5利用理论式计算被推定为在流入期间中流过流入管路L1的流体的推定流量。具体地说，流量计算部C5基于根据存储在压力变化数据存储部C2中的流入期间的压力变化数据计算出的压力的变化率(上升率)以及由平均温度计算部C4计算出的平均温度，计算推定流量。更具体地说，流量计算部C5将压力的变化率和平均温度代入所述式1计算推定流量。此外，流量计算部C5参照压力变化数据中包含的多个时点的压力，计算针对单位时间的压力的变化率。
在此，被推定为流过流入管路L1的流体的推定流量，由流量控制设备MFC进行控制。因此，可以说流量计算部C5计算被推定为流过流量控制设备MFC的流体的推定流量。
所述流量修正部C6对由流量计算部C5计算出的推定流量进行修正。具体地说，流量修正部C6基于第一压力以及第二压力对推定流量进行修正，所述第一压力是从由流入模式切换为停止模式开始经过了规定时间之后由压力传感器P检测到的压力，所述第二压力是流入期间中的压力变化数据中包含的比第一压力高的压力。具体地说，流量修正部C6基于修正系数对推定流量进行修正，所述修正系数是第一压力与第二压力之比。更具体地说，流量修正部C6将推定流量乘以所述修正系数进行修正。
在此，参照图4，对所述第一压力以及所述第二压力进行详细说明。流入期间中的容器10内的压力不仅受到从流入管路L1流入的流体的增加的影响而且受到因容器10内的绝热压缩而产生的温度上升的影响而上升。因此，流入期间刚结束之后，压力传感器P检测受到了因容器10内的绝热压缩而造成的温度上升的影响的压力。但是，如果从流入期间结束开始经过规定时间，则压力传感器P检测几乎不受因容器10内的绝热压缩而造成的温度上升的影响的压力(稳定压力)。此外，该压力成为第一压力。
此外，所述规定时间是在数分钟～数小时的范围内选择的时间。此外，流入期间结束后的时间越长，因容器10内的绝热压缩而造成的温度上升对压力传感器P检测的压力的影响越小。因此，规定时间越长，越能得到能够将推定流量修正为接近实际流量的修正系数。
此外，所述第二压力是在流入期间中由压力传感器P检测到的压力中的比第一压力高的压力。此外，优选的是，第二压力是在流入期间中由压力传感器检测到的压力的最大压力或其附近压力。在本实施方式中，将在流入期间中由压力传感器P检测到的压力的最大压力设为第二压力。
此外，所述显示控制部C7将由流量修正部C6计算出的修正后的推定流量显示于显示部。
接着，对所述流量计算系统100的动作进行说明。
首先，阀控制部C1如果接收到流量计算开始信号，则向各开关阀V1～V3依次发送向排气模式、准备模式、流入模式、以及停止模式切换的切换信号。由此，各开关阀V1～V3依次向各模式切换(步骤S1，步骤S2，步骤S3，步骤S5)。
此外，如果切换为流入模式，则压力变化数据存储部C2开始存储压力变化数据(步骤S4)。此外，如果从由流入模式切换为停止模式开始在维持该停止模式的状态下经过了规定时间，则压力变化数据存储部C2结束压力变化数据的存储(步骤S8)。即，压力变化数据存储部C2存储将流入期间和待机期间加在一起的期间的压力变化数据，所述流入期间是从切换为流入模式开始到切换为停止模式为止的期间，所述待机期间是从切换为停止模式开始到在保持该停止模式的状态下经过规定时间为止的期间。
此外，如果切换为流入模式，则温度变化数据存储部C3开始存储温度变化数据(步骤4)。此外，如果从流入模式切换为停止模式，则温度变化数据存储部C3结束温度变化数据的存储(步骤S6)。即，温度变化数据存储部C3存储流入期间的温度变化数据。
接着，平均温度计算部C4基于存储在温度变化数据存储部C3中的温度变化数据，计算流入期间中的容器10的平均温度(步骤S9)。
接着，流量计算部C5基于存储在压力变化数据存储部C2中的压力变化数据，计算流入期间中的压力的变化率。此外，流量计算部C5基于压力的变化率以及平均温度，计算被推定为在流入期间中流过流入管路L1的流体的推定流量(步骤S10)。具体地说，流量计算部C5将压力的变化率以及平均温度代入所述式1，计算被推定为在流入期间中流过流入管路L1的流体的推定流量。
接着，流量修正部C6对由流量计算部计算出的推定流量进行修正(步骤S11)。具体地说，流量修正部C6参照待机期间的压力变化数据，将从由流入模式切换为停止模式开始经过规定时间时的压力作为第一压力取得。此外，流量修正部C6参照流入期间的压力变化数据，将比第一压力高的压力作为第二压力取得。具体地说，流量修正部C6参照流入期间的压力变化数据，将流入期间中的最大压力或其附近压力作为第二压力取得。即，流量修正部C6将从流入模式切换为停止模式的时点、或者就要到达该时点之前或紧接在该时点之后的压力作为第二压力取得。
此外，流量修正部C6基于取得的第一压力以及第二压力，计算修正系数，根据该修正系数对由流量计算部C5计算出的推定流量进行修正。具体地说，流量修正部C6将第一压力P1与第二压力P2之比亦即P1/P2设为修正系数，将推定流量乘以该修正系数进行修正。
此后，显示控制部C7将由流量修正部C6修正得到的修正后的推定流量显示于显示部(步骤S12)。
<其它实施方式>
在所述实施方式的流量计算系统100中，将从流入管路L1分路的分路管路L3以绕过容器10的方式与流出管路L2连接。但是，如图5所示，也可以将分路管路L3的下游侧与成为流体的供给对象的腔室CH连接，构成组装有流量计算系统100的流体供给系统。如果是这样构成的流体供给管路，则可以将流过流入管路L1的流体在流入期间以外持续向腔室CH供给。由此，当计算推定流量时，可以缩短向腔室CH的供给停止时间。
此外，在所述实施方式的流量计算系统100中，也可以将流量计算装置C作为流量检查装置，所述流量检查装置除了发挥该流量计算装置C具备的各功能以外还发挥作为流量比较部的功能。在该情况下，流量比较部只要对在流入期间中对流量控制设备MFC设定的设定流量与由流量修正部C6计算出的修正后的推定流量进行比较即可。此外，可以将流量计算装置C作为流量校准装置，所述流量校准装置除了发挥该流量计算装置具备的各功能以外，还发挥作为流量比较部以及校准部的功能。在该情况下，校准部只要根据流量比较部的比较结果对流量控制设备MFC进行校准即可。此外，与所述流量计算装置同样的，所述流量检查装置以及所述流量校准装置是具有CPU、存储器、AD转换器、DC转换器、输入装置等的计算机，通过由CPU执行存储在所述存储器中的程序来发挥各机构的功能。
此外，在所述实施方式中，向压力变化数据存储部C2存储流入期间以及待机期间的压力变化数据，但是不限于此。例如，也可以向压力变化数据存储部C2仅存储流入期间的压力变化数据。在该情况下，流量修正部C6可以取得从由流入模式切换为停止模式开始经过了规定时间时由压力传感器P检测到的压力，并将该压力设为第一压力。此外，也可以向压力变化数据存储部C2存储流入期间以及待机期间以外的期间的压力变化数据。
此外，在所述实施方式中，流量修正部C6基于第一压力和第二压力对由流量计算部C5计算出的推定流量进行修正，但是不限于此。例如，流量修正部C6可以基于第一温度和第二温度对推定流量进行修正，所述第一温度是从关闭第一开关阀V1开始经过了规定时间后由温度传感器T检测到的温度，所述第二温度是温度变化数据中的比第一温度高的温度。
此外，本发明当然不限于所述各实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形。

Claims (12)

1.一种流量计算系统，其具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，
所述流量计算系统的特征在于，还具备：
压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；
流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及
流量修正部，基于第一压力以及第二压力，对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
2.根据权利要求1所述的流量计算系统，其特征在于，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的最大压力或其附近压力。
3.根据权利要求1所述的流量计算系统，其特征在于，所述流量修正部基于修正系数对所述推定流量进行修正，所述修正系数是所述第一压力与所述第二压力之比。
4.根据权利要求1所述的流量计算系统，其特征在于，
所述流量计算系统还具备温度传感器，所述温度传感器检测所述容器内或所述容器的温度，
所述流量计算部基于所述压力的变化率以及在所述流入期间中由所述温度传感器检测到的温度，计算所述推定流量。
5.根据权利要求4所述的流量计算系统，其特征在于，
所述流量计算系统还具备：
温度存储部，在所述流入期间中存储温度变化数据，所述温度变化数据表示由所述温度传感器检测到的温度的时间变化；以及
平均温度计算部，根据所述温度变化数据，计算所述流入期间中的所述容器内或所述容器的平均温度，
所述流量计算部基于所述压力的变化率以及所述平均温度，计算所述推定流量。
6.根据权利要求4所述的流量计算系统，其特征在于，所述温度传感器检测所述容器的壁温。
7.根据权利要求1所述的流量计算系统，其特征在于，
所述流量计算系统还具备流量控制设备，所述流量控制设备控制流过所述流入管路的流体的流量，
所述流量计算部计算被推定为在所述流入期间中流过所述流量控制设备的流体的推定流量。
8.根据权利要求7所述的流量计算系统，其特征在于，
所述流量计算系统还具备：
分路管路，从所述流入管路分路；以及
切换机构，在第一状态和第二状态之间进行切换，所述第一状态是流体仅向所述分路管路流动的状态，所述第二状态是流体仅向所述流入管路的比与所述分路管路的分路点靠下游侧流动的状态，
所述流量控制设备设在所述流入管路的比与所述分路管路的分路点靠上游侧。
9.一种存储介质，存储有流量计算系统用程序，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，
所述存储介质的特征在于，
所述程序发挥作为压力变化数据存储部、流量计算部以及流量修正部的功能，
所述压力变化数据存储部在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化，
所述流量计算部基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量，
所述流量修正部基于第一压力以及第二压力对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
10.一种流量计算方法，其用于流量计算系统，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，
所述流量计算方法的特征在于，包括：
在流入期间中存储压力变化数据的步骤，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；
基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量的步骤；以及
基于第一压力以及第二压力，对计算出的所述推定流量进行修正的步骤，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
11.一种流量计算装置，所述流量计算装置用于流量计算系统，所述流量计算系统具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；以及压力传感器，检测所述容器内的压力，
所述流量计算装置的特征在于，具备：
压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；
流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及
流量修正部，基于第一压力以及第二压力，对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一压力是从停止向所述容器流入流体开始经过了规定时间后由所述压力传感器检测到的压力，所述第二压力是所述压力变化数据中包含的比所述第一压力高的压力。
12.一种流量计算系统，其具备：容器，流体流入该容器；流入管路，使流体流入所述容器；压力传感器，检测所述容器内的压力；以及温度传感器，检测所述容器内或所述容器的温度，
所述流量计算系统的特征在于，还具备：
压力变化数据存储部，在流入期间中存储压力变化数据，所述流入期间是从由所述流入管路开始向所述容器流入流体开始到停止向所述容器流入流体为止的期间，所述压力变化数据表示由所述压力传感器检测到的压力的时间变化；
温度变化数据存储部，在所述流入期间中存储温度变化数据，所述温度变化数据表示由所述温度传感器检测到的温度的时间变化；
流量计算部，基于根据所述压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在所述流入期间中流过所述流入管路的流体的推定流量；以及
流量修正部，基于第一温度以及第二温度，对由所述流量计算部计算出的推定流量进行修正，所述第一温度是从关闭第一开关阀开始经过了规定时间后由所述温度传感器检测到的温度，所述第二温度是所述温度变化数据中的比所述第一温度高的温度。
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