JPWO2020026784A1 - 流量制御システム及び流量測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
流量制御器の下流側に設けられた第1バルブと、第1バルブの下流側に設けられた圧カセンサ、温度センサ及び両センサの下流側に設けられた第2バルブを有する流量測定装置と、第1バルブ及び第2バルブの開閉動作を制御する制御部とを備え、
制御部は、圧カセンサ及び温度センサの計測値を記録する記録部と、
圧力センサの計測値に応じた第1バルブから第2バルブまでの容積値を記憶する記憶部と、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第1バルブと第2バルブとを同時に閉鎖し、その後に計測した第1圧力値及び第1温度値、第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第2バルブを閉鎖し、その後、所定時間が経過後、第1バルブを閉鎖した後に計測した第2圧力値及び第2温度値、並びに、記憶部から得られる第2圧力値に応じた第1バルブから第2バルブまでの容積値に基づいて流量を演算する演算部とを有している。
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第1及び第2バルブを同時に閉鎖し、その後圧力及び温度を測定する第1ステップと、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第2バルブを閉鎖し、その後、所定時間が経過後に第1バルブを閉鎖した後の圧力及び温度を測定する第2ステップと、
第1ステップで測定した圧力及び温度、第2ステップで測定した圧力及び温度、並びに、第2ステップで測定した圧力に応じて変動するビルドアップ容積に基づいて流量を演算する第3ステップとを含む。
流量制御システムが、流量制御器及び第1バルブの下流側で、かつ、圧カセンサ及び温度センサの上流側に常時開放状態の第3バルブを備え、第2ステップの圧力測定及び温度測定の後、第3バルブを閉鎖するとともに、第2バルブを短時間で開閉させた後に測定した圧力と、その後さらに第2バルブを閉鎖した状態で第3バルブを開放した後に計測した圧力を第3ステップの流量演算に用いるようにすることができる。これによって配管温度の影響を解消することができる。
本実施形態1は、本発明に係る流量制御システムである。この流量制御システム1は、図1に示すように、流量制御器10の下流側に設けられた第1バルブV1と、この第1バルブV1の下流側に設けられた圧力センサP(図例、圧力センサは圧力センサPa及びPbの2基配設しているが総称して圧力センサPという)、温度センサT、及び、圧力センサP、温度センサTの下流側に設けられた第2バルブV2を有する流量測定装置2と、第1バルブV1及び第2バルブV2の開閉動作を制御する制御部3とを備える流量制御システム1であって、制御部3は、圧力センサP及び温度センサTの計測値を記録する記録部31と、圧力センサPの計測値に応じた第1バルブV1から第2バルブV2までの容積を記憶する記憶部32と、第1バルブV1と第2バルブV2とを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第1バルブV1と第2バルブV2とを同時に閉鎖し、その後に計測した第1圧力値P1及び第1温度値T1、第1バルブV1と第2バルブV2とを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第2バルブV2を閉鎖し、その後、所定時間Δtが経過後、第1バルブV1を閉鎖した後に計測した第2圧力値P2及び第2温度値T2、並びに第2圧力値P2に応じた第1バルブV1から第2バルブV2までの容積値Vとに基づいて流量を演算する演算部33とを備えている。なお、圧力センサPa及び圧力センサPbは、一方が高圧用、他方が低圧用として機能する他、同レンジの圧力計を取り付け、ダブルチェック用に使用するように構成しても構わない。また、圧力センサの数は2基以上、または1基であっても構わない。
本実施形態2は、本発明に係る流量制御システムであり、機器の構成は実施形態1と同様であり詳細な説明を省略する。本実施形態2においても、図1に示した流量制御システム1において流量計測を行う時は、開閉弁V4を開放し、開閉弁V5を閉鎖する。
10 流量制御器
11 絞り部
12 圧力センサ
13 温度センサ
14 コントロール弁
15 制御回路
2 流量測定装置
3 制御部
31 記録部
32 記憶部
33 演算部
34 表示部
4 ガス供給源
5 チャンバ
6 真空ポンプ
P 圧カセンサ
T 温度センサ
V1 第1バルブ
V2 第2バルブ
P1 第1圧力値
T1 第1温度値
P2 第2圧力値
T2 第2温度値
Δt 所定時間
V 容積値
Claims (4)
- 流量制御器の下流側に設けられた第1バルブと、前記第1バルブの下流側に設けられた圧カセンサ、温度センサ及び両センサの下流側に設けられた第2バルブを有する流量測定装置と、第1バルブ及び第2バルブの開閉動作を制御する制御部とを備える流量制御システムであって、
前記制御部は、前記圧カセンサ及び温度センサの計測値を記録する記録部と、
前記圧力センサの計測値に応じた第1バルブから第2バルブまでの容積値を記憶する記憶部と、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第1バルブと第2バルブとを同時に閉鎖し、その後に計測した第1圧力値及び第1温度値、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第2バルブを閉鎖し、その後、所定時間が経過後、第1バルブを閉鎖した後に計測した第2圧力値及び第2温度値、並びに、
前記記憶部から得られる前記第2圧力値に応じた第1バルブから第2バルブまでの容積値、に基づいて流量を演算する演算部と、
を備えた流量制御システム。 - 前記第1バルブと前記第2バルブとの間に配置された第3バルブをさらに備え、
前記演算部は、
前記第2圧力値及び第2温度値を計測後、第1バルブを閉鎖した状態で第2バルブを前記所定時間よりも短時間開放すると共に、第2バルブの開放と同時又は開放の直前に前記第3バルブを閉鎖し、前記第2バルブと前記第3バルブとを閉鎖した状態で計測した第3圧力値及び第3温度値、および、
前記第3圧力値及び第3温度値を計測した後、前記第1バルブと前記第2バルブとを閉鎖したまま第3バルブを開放して計測した第4圧力値及び第4温度値
を加味して流量を演算する請求項1に記載の流量制御システム。 - 流量制御器の下流側に設けられた第1バルブと、前記第1バルブの下流側に設けられた圧カセンサ、温度センサ及び両センサの下流側に設けられた第2バルブを有する流量測定装置と、第1バルブ及び第2バルブの開閉動作を制御する制御部とを備える流量制御システムにおいて行われる流量測定方法であって、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第1及び第2バルブを同時に閉鎖し、その後圧力及び温度を測定する第1ステップと、
第1バルブと第2バルブとを開放してガスを流し、ガスが流れている状態で第2バルブを閉鎖し、その後、所定時間が経過後に第1バルブを閉鎖した後の圧力及び温度を測定する第2ステップと、
第1ステップで測定した圧力及び温度、第2ステップで測定した圧力及び温度、並びに、第2ステップで測定した圧力に応じて変動するビルドアップ容積に基づいて流量を演算する第3ステップとを含む流量測定方法。 - 前記流量制御システムが、流量制御器及び第1バルブの下流側で、かつ、圧カセンサ及び温度センサの上流側に配置された第3バルブを備え、前記第3バルブは、前記第1ステップおよび前記第2ステップを行う間は開かれており、
前記第2ステップの圧力測定及び温度測定の後、前記第3バルブを閉鎖するとともに、第2バルブを短時間で開閉させた後に測定した圧力と、その後さらに第2バルブを閉鎖した状態で第3バルブを開放した後に計測した圧力を第3ステップの流量演算に用いるようにした請求項3に記載の流量測定方法。
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