JP3212898B2 - リークテスト方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリークテスト方法お
よび装置に関し、ワークに導入した加圧気体が洩れてい
るか否かをより的確に判別する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】リークテスト装置は、ワークに加圧気体
を導入し、そのワークから加圧気体が洩れているか否か
を判別する装置である。このリークテスト装置には、マ
スタとワークとの間に発生する差圧の変化に基づいて、
そのワークに導入した加圧気体の洩れを判別する差圧式
リークテスト装置が一般に用いられている。ここで、差
圧式リークテスト装置について、図１６と図１７とを参
照しながら簡単に説明する。図１６には従来技術におけ
る配管ブロック図を示し、図１７には時間の経過に従っ
て変化する差圧のパターンを示す。

【０００３】図１６において、導入排出口２１０とワー
ク２２２との間は、二つのバルブ２１２，２１４を介在
させて配管されている。同様に、導入排出口２１０とマ
スタ２２８との間は、二つのバルブ２１２，２１６を介
在させて配管されている。また、ワーク２２２とマスタ
２２８との間には、差圧センサ２１８が接続されてい
る。実際のリークテスト時には、バルブ２１２，２１
４，２１６を開けて、ワーク２２２とマスタ２２８に加
圧気体を導入する。次にバルブ２１４，２１６を閉じて
から差圧センサ２１８によって差圧を計測する。ここ
で、ワーク２２２にリークがなければ差圧は零になるは
ずである。ところが実際にはワーク２２２にリークがな
くても、差圧が発生することが多い。これは、例えばワ
ーク２２２の方がマスタ２２８よりも加熱された状態で
差圧の計測が開始されると、ワーク２２２の方が冷却さ
れるにつれてワーク２２２内の圧力が低下するためであ
る。こうして計測される差圧の変化パターンについて、
図１７（Ａ）を参照しながら説明する。

【０００４】図１７（Ａ）において、図１６に示すバル
ブ２１４，２１６を閉じた時刻ｔ１００から差圧が発生
するが、時刻ｔ１０２までの間は差圧の変動が不安定に
なる。これは、主としてバルブ２１４，２１６を閉じる
際のショックによるためである。次に、時刻ｔ１０２か
ら時刻ｔ１０４までの間は、差圧はほぼ直線状に変化す
る。これは、上述したように例えばワーク２２２に供給
された加圧気体の温度が徐々に冷却されるためである。
また、時刻ｔ１０４から時刻ｔ１０６までの間は、差圧
は緩やかなカーブを描いて変化する。これは、冷却され
ている加圧気体の温度がほぼ室温に近づくに従って冷却
効率が落ちてくるためである。さらに、時刻ｔ１０６以
後（以下「安定期間」と呼ぶ。）では、リークのないワ
ークでは差圧が変動しなくなるが、リークのあるワーク
ではさらに差圧が直線状に変化する。このときワークお
よびマスタの気体温度はほぼ室温状態にあると考えられ
るため、単位時間当たりの差圧変化量はリーク量に比例
する。この現象を利用することによって、時刻ｔ１０６
以後の単位時間当たりの差圧変化量を検出し、これが零
に近いときにはリークがないと判別でき、零より離れて
いるときにはリークがあると判別できる。

【０００５】ところが、上記方法によると、時刻ｔ１０
６に達するまで待機してから計測しなければならないた
め、計測に長時間を必要とする。そこで、この問題に対
処した差圧式リークテスト装置が、特表平４−５０６２
６２号公報に開示されている。この公報に開示された差
圧式リークテスト装置では、まずリークのない良好なワ
ークを用いて単位時間当たりの差圧変化量を求めてお
く。このとき、安定期間となる以前、すなわち図１７
（Ａ）で例示した差圧の急激な変化が消失する時刻以後
であって差圧が直線的に変化している期間（図では時刻
ｔ１０２〜ｔ１０４の期間に対応し、以下「計測期間」
と呼ぶ。）での単位時間当たりの差圧変化量を求めてお
く。そして、実際のリークテスト時には計測期間内にお
いて単位時間当たりの差圧変化量を求め、これをリーク
のないワークを使用したときの差圧変化量と比較する。
両者がほとんど等しいときにはリークがないと判別で
き、両者が相違すればリークがあると判別できる。これ
によると、時刻ｔ１０６以前に計測することが可能とな
り、計測時間を短縮することが可能になる。この方法
は、計測時間の短縮を可能にする点で有用であるもの
の、リークがないことを確認した良好なワークを用意し
ておく必要がある。そこで、この問題に対処すべく次の
提案がなされている。

【０００６】この方法では、一つのサンプルワークを用
いる。そして、このサンプルワークを用いて、図１７
（Ｂ）に示す時刻ｔ１０２から時刻ｔ１０４までの間、
すなわち計測期間において、所定時間Δｔ６（例えば、
２秒）をおいて計測された二つの差圧ｐ５０，ｐ５２に
基づいて単位時間当たりの差圧変化量ｐａを求める。そ
の後、安定期間において同様に所定時間Δｔ６をおいて
計測された二つの差圧ｐ５４，ｐ５６に基づいて単位時
間当たりの差圧変化量ｐｂを求める。具体的に単位時間
当たりの差圧変化量ｐａ，ｐｂは、次式に従って求めら
れる。

【数１】 ｐａ＝（ｐ５２−ｐ５０）／Δｔ６ ｐｂ＝（ｐ５６−ｐ５４）／Δｔ６ ここで、安定期間における差圧変化量ｐｂは、ワークの
洩れに起因する変化量とみなすことができる。また、計
測期間における差圧変化量ｐａは、この洩れに起因する
変化量に、ワークの洩れがなくても発生する変化量（以
下「ドリフト量」と呼ぶ。）を加算した変化量とみなす
ことができる。そこで、上記差圧変化量ｐａから差圧変
化量ｐｂを引くことでドリフト量を求めることができ
る。このようにしてドリフト量を求めておく。

【０００７】実際のリークテスト時には、判別対象のワ
ークについて時刻ｔ１０２から時刻ｔ１０４までの間に
単位時間当たりの差圧変化量を求め、この差圧変化量か
ら上記ドリフト量を引いて補正結果を求める。最後に、
この補正結果が所定範囲に入っているか否かで、リーク
の有無を判別する。この方法によると、一つのサンプル
ワーク（リークの有無を問わない）を用いた補正が可能
となり、リークのない良好なワークを必要としない。ま
た、サンプルワークに対してのみ安定期間まで計測を行
えばよく、他のワークについてはより早いタイミングで
計測し、リークの有無を判別することができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の技術に
よれば、図１７（Ｂ）に示すように計測期間において計
測される差圧ｐ５０，ｐ５２と、安定期間において計測
される差圧ｐ５４，ｐ５６とを一つの差圧センサで計測
する必要がある。一般に、一つの差圧センサで正確に計
測できる数値のオーダーは制限されている。大きな差圧
を計測することができる差圧センサの最小分解能は、小
さな差圧を計測するための差圧センサの最小分解能より
も粗い。したがって、大きな差圧（例えば、100mmHg）
を計測する差圧センサでは、小さな差圧（例えば、0.1m
mHg）を精度よく検出することができない。そのため、
ドリフト量を精度よく求めるのが困難であった。一方、
上述した特表平４−５０６２６２号公報に開示された技
術によれば、リークのない良好なワークが必要となる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであって、
リークのない良好なワークや大きな差圧の計測を必要と
することなく、ワークに導入した加圧気体が洩れている
か否かをより的確に判別できるリークテスト方法および
装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための第１の手段】請求項１に記載の
発明は、マスタとワークとに加圧気体を導入し、前記マ
スタと前記ワークとの間に発生する差圧を差圧センサに
よって計測し、その計測値から単位時間当たりの差圧変
化量を求め、その差圧変化量に基づいて前記ワークから
加圧気体が洩れているか否かを判別するリークテスト方
法において、計測タイミングに達すると、前記マスタ内
圧と、前記マスタよりも加熱された状態の前記ワーク内
圧との単位時間当たりの第１の差圧変化量を求める工程
と、前記第１の差圧変化量を求めた後に、前記マスタと
前記ワークとの間の圧力を平衡にするとともに、前記差
圧センサの出力を零に較正する工程と、前記差圧センサ
の出力を零に較正した後の前記マスタおよび前記ワーク
がほぼ室温状態にある安定期間に、単位時間当たりの第
２の差圧変化量を求める工程と、予め適宜数の前記ワー
クについて前記第１の差圧変化量と前記第２の差圧変化
量（ただし洩れ無しの場合は前記第２の差圧変化量は実
質上ゼロ）の差がそれぞれドリフト量として初期記録さ
れたドリフトテーブルを用いることとし、第ｎ＋１番目
の前記ワークについて検査する際には、当該ワークにつ
いて前記第１の差圧変化量を求めて、当該第１の差圧変
化量と前記ドリフトテーブル内にすでに初期記録された
ｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかかる平均値との
差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋１番目のワー
クを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別した場合にだけ
前記第ｎ＋１番目のワークについて求めた第１の差圧変
化量をドリフトデータｄｎ＋１として前記ドリフトテー
ブルに追加記録し、次いで第ｎ＋２番目の前記ワークに
ついて検査する際には、当該ワークについて前記第１の
差圧変化量を求めて、当該第１の差圧変化量と前記ドリ
フトテーブル内に記録されたデータｄ２，ｄ３，…，ｄ
ｎ＋１にかかる平均値との差がしきい値範囲内の場合に
は前記第ｎ＋２番目のワークを洩れ無しと判別し、洩れ
無しと判別した場合にだけ前記第ｎ＋２番目のワークに
ついて求めた第１の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋
２として前記ドリフトテーブルに追加記録するという手
順で必要数の前記ワークについて順次行う工程とを有す
る。

【００１０】請求項１に記載の発明によれば、ドリフト
テーブルにはｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎをドリ
フト量として初期記録する。そして第ｎ＋１番目のワー
クについて検査する際には、当該ドリフトテーブル内に
記録されたｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかかる
平均値を用いて洩れの有無を判別する。もし洩れ無しと
判別した場合には、当該第ｎ＋１番目のワークにかかる
第１の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋１としてドリ
フトテーブルに追加記録する。次いで第ｎ＋２番目のワ
ークについて検査する際には、ドリフトテーブル内に記
録されたデータｄ２，ｄ３，…，ｄｎ＋１にかかる平均
値を用いて洩れの有無を判別する。洩れ無しと判別した
場合には、当該第ｎ＋２番目のワークにかかる第１の差
圧変化量をドリフトデータｄｎ＋２としてドリフトテー
ブルに追加記録する。この手順を繰り返すことによって
必要数のワークについて順次リークテストを行えば、気
温変化等に追従する。したがって、気温変化等が生じた
場合であっても、ワークから加圧気体が洩れているか否
かをより的確に判別することができる。

【００１１】

【課題を解決するための第２の手段】請求項２に記載の
発明は、マスタとワークとに加圧気体を導入する気体導
入手段と、前記マスタと前記ワークとの間に発生する差
圧を差圧センサによって計測する差圧計測手段と、その
計測値から単位時間当たりの差圧変化量を求める手段
と、その差圧変化量に基づいて前記ワークから加圧気体
が洩れているか否かを判別する洩れ判別手段とを有する
リークテスト装置において、前記マスタと前記ワークと
の間を接続するバルブと、そのバルブの開閉を制御する
開閉制御手段と、計測タイミングに達すると、前記マス
タ内圧と、前記マスタよりも加熱された状態の前記ワー
ク内圧との単位時間当たりの第１の差圧変化量を求めた
後、前記開閉制御手段により前記バルブを開けて前記マ
スタと前記ワークとの間の圧力を平衡にするとともに、
前記差圧センサの出力を零に較正し、前記マスタおよび
前記ワークがほぼ室温状態にある安定期間に前記バルブ
を閉じて単位時間当たりの第２の差圧変化量を求め、予
め適宜数の前記ワークについて前記第１の差圧変化量と
前記第２の差圧変化量（ただし洩れ無しの場合は前記第
２の差圧変化量は実質上ゼロ）の差をそれぞれドリフト
量としてドリフトテーブルに初期記録する手段と、第ｎ
＋１番目の前記ワークについて検査する際には、当該ワ
ークについて前記第１の差圧変化量を求めて、当該第１
の差圧変化量と前記ドリフトテーブル内にすでに初期記
録されたｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかかる平
均値との差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋１番
目のワークを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別した場
合にだけ前記第ｎ＋１番目のワークについて求めた第１
の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋１として前記ドリ
フトテーブルに追加記録する手段と、第ｎ＋２番目の前
記ワークについて検査する際には、当該ワークについて
前記第１の差圧変化量を求めて、当該第１の差圧変化量
と前記ドリフトテーブル内に記録されたデータｄ２，ｄ
３，…，ｄｎ＋１にかかる平均値との差がしきい値範囲
内の場合には前記第ｎ＋２番目のワークを洩れ無しと判
別し、洩れ無しと判別した場合にだけ前記第ｎ＋２番目
のワークについて求めた第１の差圧変化量をドリフトデ
ータｄｎ＋２として前記ドリフトテーブルに追加記録す
るという手順で必要数の前記ワークについて順次行う手
段とを有する。

【００１２】請求項２に記載の発明によれば、ドリフト
テーブルにはｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎがドリ
フト量として初期記録する。そして第ｎ＋１番目のワー
クについて検査する際には、当該ドリフトテーブル内に
記録されたｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかかる
平均値を用いて洩れの有無を判別する。もし洩れ無しと
判別した場合には、当該第ｎ＋１番目のワークにかかる
第１の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋１としてドリ
フトテーブルに追加記録する。次いで第ｎ＋２番目のワ
ークについて検査する際には、ドリフトテーブル内に記
録されたデータｄ２，ｄ３，…，ｄｎ＋１にかかる平均
値を用いて洩れの有無を判別する。洩れ無しと判別した
場合には、当該第ｎ＋２番目のワークにかかる第１の差
圧変化量をドリフトデータｄｎ＋２としてドリフトテー
ブルに追加記録する。この手順を繰り返すことによって
必要数のワークについて順次リークテストを行えば、気
温変化等に追従する。したがって、気温変化等が生じた
場合であっても、ワークから加圧気体が洩れているか否
かをより的確に判別することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づいて説明する。 〔実施の形態１〕まず、実施の形態１について、図１〜
図６を参照しながら説明する。ここで、図１と図２には
本発明を実施するための構成を示す。具体的には、図１
には配管ブロック図を、図２にはリークテスト装置の構
成をそれぞれ示す。また、図３には洩れ判別処理、図４
には判別処理、図５にはドリフト量算出処理に係るそれ
ぞれのフローチャートを示す。さらに、図６には図３〜
図５に示す処理を実行して計測される差圧の変化パター
ンを示す。

【００１４】まず、図１に示す配管構成は、後述する図
２に示すリークテスト装置１００によって制御され、ワ
ーク２２から加圧気体の洩れがあるか否かが判別され
る。導入排出口１０は加圧気体をワーク２２に導入し、
あるいは排出する。この導入排出口１０とワーク２２の
間は、二つのバルブ１２，１４を介在させて配管されて
いる。同様に、導入排出口１０とマスタ２８の間は、二
つのバルブ１２，１６を介在させて配管されている。温
度計２４は、ワーク２２の温度や室温を計測する。ワー
ク２２とマスタ２８との間には、差圧センサ１８ととも
にバルブ２０が並列に接続されている。バルブ２０は開
閉制御手段２６によって開閉が制御される。このバルブ
２０が開かれると、ワーク２２とマスタ２８との間の圧
力が平衡になる。ドリフト量算出手段３０は開閉制御手
段２６に指令を送ってバルブ２０の開閉を行い、バルブ
２０を開けたときには差圧センサ１８の出力を零に較正
する。この差圧センサ１８の出力および温度計２４の出
力は、リークテスト装置１００に送られる。

【００１５】次に、リークテスト装置１００の具体的な
構成について説明する。図２において、リークテスト装
置１００は開閉制御手段２６およびドリフト量算出手段
３０を含んでおり、ＣＰＵ１１０，ＲＯＭ１０２，ＲＡ
Ｍ１１２，入力処理回路１０４，出力処理回路１０６，
表示制御回路１１４，表示装置１１６，タイマー１１８
によって構成されている。なお、ワーク２２の設置や交
換を行う等の他の制御部位については省略する。ＣＰＵ
１１０は、ＲＯＭ１０２に格納されている洩れ判別プロ
グラムに従ってバルブ２０等を制御する。洩れ判別プロ
グラムには、後述のフローチャートで示す洩れ判別処
理，判別処理，ドリフト量算出処理等の各種プログラム
が含まれている。ＲＯＭ１０２にはＥＰＲＯＭが用いら
れるが、ＥＥＰＲＯＭやフラッシュメモリ等を用いても
よい。ＲＡＭ１１２には、ワーク２２の温度や室温，差
圧，差圧変化量，ドリフト量，補正結果，ドリフトテー
ブル，移動平均，しきい量等の各種データが格納され
る。このＲＡＭ１１２にはＤＲＡＭ，ＳＲＡＭが用いら
れるが、フラッシュメモリ，外部記憶装置（例えばハー
ドディスクやフレキシブルディスク等）のようにデータ
が記録可能な記録媒体を用いてもよい。なお、以下の実
施の形態では、記録の一態様としてＲＡＭ１１２に各種
データを記憶する態様について説明する。

【００１６】入力処理回路１０４は、差圧センサ１８お
よび温度計２４から出力される信号を受けて、ＣＰＵ１
１０に送るか、あるいはＲＡＭ１１２等に格納する。出
力処理回路１０６は開閉制御手段２６を具体化した回路
であって、ＣＰＵ１１０からバス１０８を介して送られ
た開閉データに従って、バルブ２０の開閉を行うための
電圧電流を出力する。すなわち、バルブ２０を開けるタ
イミングに達すると、タイマー１１８から信号がＣＰＵ
１１０に送られ、この信号を受けたＣＰＵ１１０が上記
開閉データを出力処理回路１０６に送る。表示制御回路
１１４はバス１０８を介してＣＰＵ１１０等から送られ
た表示データに従って表示装置１１６に洩れ判別結果等
を表示する。表示装置１１６には液晶表示装置が用いら
れるが、ＣＲＴや７セグメントＬＥＤ等の表示装置を用
いてもよい。なお、上記各構成要素は、いずれもバス１
０８に互いに結合されている。

【００１７】ワーク２２に洩れがあるか否かの判別は、
上記リークテスト装置１００で行われる。これらの処理
はいずれもＣＰＵ１１０が図３〜図５に示す処理を実行
することによって実現される。以下、各処理の詳細につ
いて説明する。図３に示す洩れ判別処理において、まず
初期化処理を行う［ステップＳ１０］。この初期化処理
では、例えばＲＡＭ１１２内の各種データをクリアする
等の処理を行う。次に、ワーク２２を設置する［ステッ
プＳ１２］。具体的には、判別対象のワーク２２を設置
する。その後、バルブ１２，１４，１６を開けてワーク
２２とマスタ２８とに加圧気体を導入し、そのバルブ１
２を閉じ、ワーク２２とマスタ２８との間の圧力を平衡
にする。こうして、差圧計測のための準備が整ったこと
になる。また洩れ差圧を計測するときは、バルブ１４，
１６を閉じる。

【００１８】そして、ワーク２２の種類や温度計２４で
計測された室温について検査する［ステップＳ１４］。
もし、前回計測したワークと同じ種類のワーク２２を計
測する場合であって、かつ室温の変化が所定範囲内であ
れば（ＹＥＳ）、上述した計測期間内に設定されている
計測タイミングに達するまで待機し［ステップＳ１
６］、単位時間当たりの差圧変化量ｐ１０を求める［ス
テップＳ２０］。この差圧変化量ｐ１０は、具体的には
次のようにして求める。すなわち、ワーク２２とマスタ
２８との間の差圧について、１回目に計測を行い、その
後所定時間経過してから２回目の計測を行う。これらの
２回の計測は、いずれも差圧センサ１８から出力される
信号の値に基づいてそれぞれの差圧を求める。こうして
１回目に計測された差圧ｐ１２と、その後所定時間経過
してから２回目に計測された差圧ｐ１４および所定時間
Δｔ２とに基づいて、単位時間当たりの差圧変化量ｐ１
０は次式に従って算出される。

【数２】ｐ１０＝（ｐ１４−ｐ１２）／Δｔ２ こうして求められた単位時間当たりの差圧変化量ｐ１０
に基づいて、ワーク２２から加圧気体が洩れているか否
かを判別する判別処理が行われる［ステップＳ２２］。
この判別処理について、図４を参照しながら説明する。

【００１９】図４において、ワーク２２から加圧気体が
洩れているか否かの判別は、まず補正結果ｐ２０を求め
［ステップＳ３０］、その補正結果ｐ２０がしきい量範
囲内にあるか否かを検査する［ステップＳ３２］。な
お、補正結果ｐ２０は上記単位時間当たりの差圧変化量
ｐ１０と、後述するドリフト算出処理によって算出され
るドリフト量ｐ４０との差分によって求められ、次式の
ようになる。

【数３】ｐ２０＝ｐ１０−ｐ４０ もし、補正結果ｐ２０がしきい量範囲内にあれば（ＹＥ
Ｓ）、リークのないワークと判別する［ステップＳ３
４］。一方、補正結果ｐ２０がしきい量範囲内になけれ
ば（ＮＯ）、リークのあるワークと判別する［ステップ
Ｓ３６］。

【００２０】図３に戻り、ステップＳ２２の判別処理が
実行された後、他に判別対象のワーク２２がある場合に
は上述したステップＳ１０〜Ｓ２２を繰り返す［ステッ
プＳ２４］。なお、ステップＳ１４において、異なる種
類のワーク２２か、あるいは室温のが所定範囲以上に変
化した場合には（ＮＯ）、ドリフト量ｐ４０を算出する
ためのドリフト量算出処理を実行する［ステップＳ１
８］。このドリフト量算出処理の具体的な処理内容につ
いて、図５を参照しながら説明する。

【００２１】図５に示すドリフト量算出処理は、ドリフ
ト量算出手段３０を具体化した処理である。まず配管の
圧力を平衡にし、差圧センサの出力を零に較正する［ス
テップＳ４０］。具体的には、ＣＰＵ１１０から出力処
理回路１０６を通じてバルブ２０に信号を送り、そのバ
ルブ２０を開いてワーク２２とマスタ２８との間の圧力
を平衡にする。また、このときに差圧センサ１８から出
力される信号（すなわち電圧値）をＲＡＭ１１２に記憶
しておき、この値を零（０mmHg）として後の計測に備え
る。次に、計測タイミングに達するまで待機し［ステッ
プＳ４２］、その計測タイミングに達したときに差圧変
化量ｐ３０を求める［ステップＳ４４］。ここで、ステ
ップＳ４２における計測タイミングは、後述する図６の
時刻ｔ０〜ｔ２，ｔ２〜ｔ４，ｔ４〜ｔ６間にそれぞれ
に設定されており、繰り返し実行される。また、差圧変
化量ｐ３０は、ステップＳ２０と同様にして求められ
る。すなわち各計測タイミングにおける１回目に計測さ
れた差圧ｐ３２、２回目に計測された差圧ｐ３４および
１回目と２回目の計測間の所定時間Δｔ４に基づいて、
単位時間当たりの差圧変化量ｐ３０は次式に従って算出
される。

【数４】ｐ３０＝（ｐ３４−ｐ３２）／Δｔ４

【００２２】そして、最初又は最後の計測であるか否か
を判別し［ステップＳ４６］、最初又は最後の計測であ
るときにのみ単位時間当たりの差圧変化量ｐ３０をＲＡ
Ｍ１１２に記憶する［ステップＳ４８］。ここで、最初
の計測は計測期間において行われ、最後の計測は安定期
間において行われる。こうして、最初に計測された単位
時間当たりの差圧変化量（以下「最初の差圧変化量」と
呼ぶ。）ｐ４２と、最後に計測された単位時間当たりの
差圧変化量（以下「最後の差圧変化量」と呼ぶ。）ｐ４
４とが記憶される。上記ステップＳ４０〜Ｓ４８の処理
を計測終了まで行なった後［ステップＳ５０］、ドリフ
ト量ｐ４０を算出する［ステップＳ５２］。このドリフ
ト量ｐ４０はＲＡＭ１１２に記憶されている最初の差圧
変化量ｐ４２と最後の差圧変化量ｐ４４との差分によっ
て求められる。すなわち、式で表すと次のようになる。

【数５】ｐ４０＝ｐ４２−ｐ４４ このドリフト量ｐ４０を算出するとドリフト量算出処理
を終了し、図３に示す洩れ判別処理のステップＳ１２に
戻り、次のワーク２２について洩れ判別を行う。

【００２３】従来の技術によれば、図６（Ａ）に示すよ
うにワーク２２とマスタ２８との間の差圧は、時間の経
過とともに上昇する。これに対して上述した実施の形態
１によれば、各差圧の計測後（時刻ｔ２，ｔ４，ｔ６，
ｔ８，ｔ１０，…）に、ステップＳ４０においてワーク
２２とマスタ２８との間の圧力がバルブ２０によって平
衡にされるとともに、差圧センサ１８の出力が零に較正
される。この平衡と較正によって計測ごとに差圧センサ
１８の出力がクリアされ、ワーク２２とマスタ２８との
間の差圧は図６（Ｂ）に示すように増減を繰り返す。す
なわち、ステップＳ４４が実行されて差圧変化量が求め
られた後に、時刻ｔ２，ｔ４，ｔ６，ｔ８，ｔ１０，…
においてステップＳ４０が実行されて差圧センサ１８の
出力が零に較正される。そのため、差圧センサ１８の出
力はそれほど大きくならず、敏感で最小分解能の細かい
差圧センサを用いることができる。こうして差圧変化量
ｐ４２，ｐ４４をより正確に計測することができるの
で、算出されるドリフト量ｐ４０もまたより正確な値と
なる。また、そのドリフト量ｐ４０を算出するにあたっ
て、リークのない良好なワークを必要とせず、任意のワ
ークを用いて算出することができる。

【００２４】〔実施の形態１の応用例〕 （ａ１）バルブ２０の開閉によるショックのため、差圧
センサ１８によって計測されるワーク２２とマスタ２８
との間の差圧が不安定になる場合がある。これを防止す
るためには、図７（Ａ）に示すように、バルブ２０を開
いて圧力を平衡にし、その状態を一定期間継続すればよ
い。例えば、時刻ｔ２２から時刻ｔ２４までの間、時刻
ｔ２８から時刻ｔ３０までの間等が該当する。そして、
その一定期間経過後にバルブ２０を閉じて差圧を計測す
る。こうすることによって、バルブ２０によるショック
の影響が防止され、差圧（ひいては時間当たりの差圧変
化量やドリフト量）をさらに正確に求めることができ
る。

【００２５】（ａ２）また、図７（Ｂ）に示すような曲
線ｆについて、例えば次式で表されるような差圧ｐを算
出する方程式を定めておく。

【数６】ｐ＝ａ・exp(−ｂｔ) ｛ただし、ａ，ｂは係
数であり、ｔは時間である｝ そして、計測期間において図５に示すステップＳ４０〜
Ｓ５０の処理を複数回（具体的には３〜５回程度）実行
し、ワーク２２とマスタ２８との間の差圧を計測する。
こうして得られた差圧を上記方程式に当てはめて、係数
ａ，ｂを決定する。係数ａ，ｂが決定された上記方程式
について、安定期間の時間ｔを当てはめれば、その安定
期間における差圧を推定して算出することができる。こ
の方法では、最初の数回の計測によって安定期間におけ
る差圧が求められるので、その安定期間における単位時
間当たりの差圧変化量を算出することができる。したが
って、ドリフト量の算出時間を大幅に短縮することがで
きる。この場合でも差圧の計測ごとにワーク２２とマス
タ２８との間の圧力が平衡にされ、差圧センサ１８の出
力が零に較正されるので、ドリフト量は従来よりも正確
に求めることができる。

【００２６】（ｂ３）さらに、図５に示すドリフト量算
出処理では、ワーク２２とマスタ２８との間の圧力を平
衡にし、差圧センサ１８の出力を零に較正する工程を複
数回繰り返し行なった。こうすることにより、差圧セン
サ１８によって計測される差圧が正確に得られる。しか
し、従来と比較して差圧を正確に得るには、ワーク２２
とマスタ２８との間の圧力を平衡にし、差圧センサ１８
の出力を零に較正する工程を、最初の計測後に１回行う
だけでも達成される。この場合のドリフト量算出処理の
フローチャートを図８に示す。図８において、まずワー
ク２２とマスタ２８との間の圧力を平衡にし、差圧セン
サ１８の出力を零に較正する［ステップＳ６０］。その
後、計測期間において計測タイミングに達してから［ス
テップＳ６２］、１回目の差圧変化量を求める［ステッ
プＳ６４］。この差圧変化量の求め方はステップＳ２０
と同様である。そして、安定期間に達するまで待機し
［ステップＳ６６］、ステップＳ６０と同様に圧力の平
衡と較正とを行う［ステップＳ６８］。さらにその後、
計測タイミングに達してから［ステップＳ７０］、２回
目の差圧変化量を求める［ステップＳ７２］。こうして
求められた二つの差圧変化量に基づいて、ドリフト量を
算出する［ステップＳ７４］。ドリフト量の算出はステ
ップＳ５２と同様である。

【００２７】上記図８に示すドリフト量算出処理を実行
すると、差圧センサ１８から出力される差圧は、図９に
示すような変化パターンになる。すなわち、時刻ｔ７０
にステップＳ６０が実行されて差圧センサ１８の出力が
零に較正され、時刻ｔ７２にステップＳ６４が実行され
て１回目の差圧変化量が求められる。そして、時刻ｔ７
４にステップＳ６８が実行されて再び差圧センサ１８の
出力が零に較正され、時刻ｔ７６にステップＳ７２が実
行されて２回目の差圧変化量が求められる。この処理手
順であっても、２回目の差圧変化量を求める前に差圧セ
ンサ１８の出力が零に較正されるため、正確な値を得る
ことができる。したがって、ステップＳ７４において算
出されるドリフト量もより正確な値になる。

【００２８】なお上記実施の形態１では、計測環境条件
（気温や湿度等）が一定量変化するごとにドリフト量ｐ
４０が求められるが（図３に示すステップＳ１４，Ｓ１
８）、こうして求められるドリフト量ｐ４０は段階的に
変化することになる。ところが、実際に気温等は緩やか
に変化することが多く、こうした場合にドリフト量ｐ４
０は気温等の変化に追従していない。一方、ドリフト量
ｐ４０の算出には時間を要するため、その算出を頻繁に
行えば単位時間当たりのリークテスト可能なワークの数
が減ってしまう。こうしたことから、リークテストする
ワークの数を減らすことなく（あるいは増やすため）、
気温等の変化に追従可能なドリフト量の算出方法につい
て、実施の形態２に説明する。

【００２９】〔実施の形態２〕次に、実施の形態２につ
いて、図１０〜図１４を参照しながら説明する。ここ
で、図１０には他の洩れ判別処理を示し、図１１には初
期ドリフト量算出処理を示し、図１３には他の判別処理
をフローチャートで示す。これらのフローチャートにお
いて、図３〜図５に示す処理ステップと同一処理につい
ては、同一符号を付して説明を省略する。また、図１２
にはドリフトテーブルの一例を示す。さらに、図１４に
はドリフトテーブルに記憶する補正結果の範囲を示す。
なお、図１３に示す判別処理は学習手段を具体化したも
のである。

【００３０】図１０に示す洩れ判別処理は、図３に示す
処理とほぼ同様に行われる。このうち図３に示す処理と
異なるのは、次の二点である。その一つは、ステップＳ
１４ａにおいてワークの種類が変わったときにのみ［ス
テップＳ１４ａ］、図１１に示すドリフト量算出処理を
実行する点である［ステップＳ１８ａ］。他の一つは、
図４に示す処理に代えて図１３に示す判別処理を実行す
る点である［ステップＳ２２ａ］。以下、これらの処理
について説明する。

【００３１】図１１において、図５に示すドリフト量算
出処理と異なるのは、計測が終了したときに［ステップ
Ｓ５０のＹＥＳ］、初期ドリフト量ｐ６０を算出し［ス
テップＳ５２ａ］、算出された初期ドリフト量ｐ６０で
ドリフトテーブルを初期化する［ステップＳ５４］点で
ある。ここで、初期ドリフト量ｐ６０は、図５における
ステップＳ５０と同様の式、すなわち最初の差圧変化量
ｐ４２と最後の差圧変化量ｐ４４との差分によって求め
られる。式で表すと次のようになる。

【数７】ｐ６０＝ｐ４２−ｐ４４ 図１２に示すように、ドリフトテーブル３００は要素数
ｎのデータｄ１〜ｄｎが記憶可能なテーブルであって、
例えばＲＡＭ１１２の所定領域内に設けられる。この要
素数ｎは、経験的によって求められる適正な値が適用さ
れる。ステップＳ５４では、要素数ｎのデータｄ１〜ｄ
ｎに全て初期ドリフト量ｐ６０を記憶して初期化され、
図１２（Ａ）のようになる。このように初期化するの
は、初期ドリフト量ｐ６０について重みづけするためで
ある。すなわち、比較的長時間かけて求められる差圧変
化量ｐ４４に基づいて算出される初期ドリフト量ｐ６０
は、今回の計測によって比較的短時間で求められる差圧
変化量ｐ１０（すなわち計測値から求めた差圧変化量）
よりも精度がよい。その初期ドリフト量ｐ６０を重みづ
けして移動平均ｐ６２を求めれば、単純平均よりも精度
がよくなるからである。

【００３２】また、図１３において、図４に示す判別処
理と異なるのは、次の二点である。その一つは、ドリフ
トテーブル３００のデータに基づいて移動平均ｐ６２を
算出し［ステップＳ３０ａ］、その移動平均ｐ６２と上
記差圧変化量ｐ１０とに基づいて補正結果ｐ６４を算出
する［ステップＳ３０ｂ］点である。他の一点は、加圧
気体が洩れていないワーク（以下「リークのないワー
ク」と呼ぶ。）と判別された場合に［ステップＳ３２の
ＹＥＳ］、差圧変化量ｐ１０をドリフトテーブル３００
に記憶する点である［ステップＳ３８］。ここで、移動
平均ｐ６２は、ドリフトテーブル３００における要素数
ｎのデータｄ１〜ｄｎについての平均値である。また、
補正結果ｐ６４は、今回計測されたワークについての差
圧変化量ｐ１０と移動平均ｐ６２との差分によって求め
られる。これらを式で表すと次のようになる。

【数８】

【００３３】そして、ステップＳ３２においてリークの
ないワークと判別された場合には、差圧変化量ｐ１０を
ドリフトテーブル３００に記憶する［ステップＳ３
８］。具体的には、ステップＳ１８ａにおいて初期ドリ
フト量ｐ６０が算出されてから、最初にリークのないワ
ークと判別された場合には、図１２（Ｂ）に示すように
ドリフトテーブル３００における最初のデータｄ１とし
て記憶する。この図１２（Ｂ）では記憶された差圧変化
量ｐ１０を「ｐ１０（１）」と示す。続いて、ｘ番目
（具体的には２番目からｎ番目まで）のデータｄｘにつ
いて、リークのないワークと判別された場合に順次差圧
変化量ｐ１０を記憶する。こうしてｎ番目までの差圧変
化量ｐ１０が記憶された状態のドリフトテーブル３００
を図１２（Ｃ）に示す。この図１２（Ｃ）では記憶され
た差圧変化量ｐ１０を「ｐ１０（２），…，ｐ１０
（ｎ）」と示す。さらにその後は、ドリフトテーブル３
００における２番目からｎ番目までのデータをシフトさ
せて１番目から（ｎ−１）番目までのデータとした後、
ｎ番目のデータｄｎに（ｎ＋１）番目の差圧変化量ｐ１
０を記憶する。こうして（ｎ＋１）番目の差圧変化量ｐ
１０が記憶された状態のドリフトテーブル３００を図１
２（Ｄ）に示す。この図１２（Ｄ）では記憶された差圧
変化量ｐ１０を「ｐ１０（ｎ＋１）」と示す。

【００３４】上記実施の形態２では、ドリフトテーブル
３００に記憶されているデータｄ１〜ｄｎについて移動
平均ｐ６２を求めた後、その移動平均ｐ６２と差圧変化
量ｐ１０｛計測値から求めた差圧変化量｝との差分から
補正結果ｐ６４を求めている。さらに、この差圧変化量
ｐ１０はリークのないワークと判別された場合にドリフ
トテーブル３００に記憶される。差圧変化量ｐ１０は気
温変化等の影響を受けて変化しやすいため、結果として
移動平均ｐ６２や補正結果ｐ６４も追従して変化する。
したがって、気温変化等が生じた場合であっても、ワー
クから加圧気体が洩れているか否かをより的確に判別す
ることができる。なお、ドリフトテーブル３００を初期
ドリフト量ｐ６０で初期化（重みづけ）しているので、
その後に差圧変化量ｐ１０が記憶された場合でも移動平
均ｐ６２の精度をよくすることができる。

【００３５】〔実施の形態２の応用例〕 （ｂ１）上記実施の形態２では、リークのないワークの
場合に図１３のステップＳ３８で差圧変化量ｐ１０をド
リフトテーブル３００に記憶し、気温変化等に追従すべ
く学習を行うようにした。この場合において、今回計測
されたワークについての差圧変化量ｐ１０と移動平均ｐ
６２とによっては、異常な値の差圧変化量ｐ１０を記憶
する場合もあり得る。そのため、ステップＳ３８におい
てドリフトテーブル３００に記憶する差圧変化量ｐ１０
の範囲を規定する。この範囲は、図１４に示すように初
期ドリフト量ｐ６０を基準として記録上限Ｐmaxと記録
下限Ｐminとで囲まれる範囲である（以下「許容範囲」
と呼ぶ。）。こうすれば、異常な値の差圧変化量ｐ１０
がドリフトテーブル３００に記憶されなくなる。したが
って、ドリフトテーブル３００に記憶される差圧変化量
ｐ１０は正常な値に限られるので、ワークから加圧気体
が洩れているか否かをさらに的確に判別することができ
る。

【００３６】また、差圧変化量ｐ１０が上記許容範囲を
外れるようなワークが所定回数ｋ以上に連続して計測さ
れるような場合には、図１０のステップＳ１４ａに示す
条件にかかわらずステップＳ１８ａを実行するようにし
てもよい。すなわち、昼休みや休日等で計測作業が中断
するような場合には、計測環境条件が大幅に変化するこ
とが多い。この場合には、以前に算出された初期ドリフ
ト量ｐ６０やドリフトテーブル３００のデータはほとん
ど役に立たないためである。このように、強制的にステ
ップＳ１８ａを実行することによって、現在の計測環境
条件に適した初期ドリフト量ｐ６０やドリフトテーブル
３００のデータが得られる。そのため、計測作業が中断
するような場合であっても、継続してワークから加圧気
体が洩れているか否かを的確に判別することができる。

【００３７】（ｂ２）上記実施の形態２では、移動平均
ｐ６２はドリフトテーブル３００に記憶されている要素
数ｎのデータｄ１〜ｄｎによって算出されるため、急激
な気温変化等があっても移動平均ｐ６２はそれほど変化
しない。そこで、ドリフトテーブル３００の要素数ｎを
固定せず、その要素数を可変させてもよい。例えば、図
１１のステップＳ５４において初期ドリフト量ｐ６０を
１個のデータとしてドリフトテーブル３００に記憶し
（図１５（Ａ）参照）、図１３のステップＳ３８におい
て差圧変化量ｐ１０を追加して記憶し（図１５（Ｂ）参
照）、その後も同様に差圧変化量ｐ１０を追加して記憶
する（図１５（Ｃ）参照）。なお、追加して記憶された
データ数が要素数ｎに達したときは、上記ステップＳ３
８と同様に１つずつシフトさせて、最後の要素に記憶す
る（図１５（Ｄ）参照）。こうすれば、急激な気温変化
等があった場合でも、移動平均ｐ６２を実際の変化に対
応して追従させることが可能になる。なお、本例ではド
リフトテーブル３００における最初の要素数を１とした
場合であるが、ワークの種類や計測環境条件によっては
最初の要素数をｍ［１＜ｍ＜ｎ］にしてもよい。また、
移動平均ｐ６２の値に応じて、ドリフトテーブル３００
の要素数ｎを増減してもよく、単純に追加のみの態様で
あってもよい。

【００３８】（ｂ３）上記実施の形態２では、ワークの
種類ごとに対応して初期ドリフト量ｐ６０を算出してい
た（図１０のステップＳ１４ａ，Ｓ１８ａ）。ここで、
リークテストの対象となるワークの種類や、過去の計測
によって気温に対応する初期ドリフト量ｐ６０等が予め
分かっている場合には、図１０のステップＳ１８ａでは
現在のワークの種類および気温等に対応する初期ドリフ
ト量ｐ６０を設定するようにしてもよい。こうすれば、
初期ドリフト量ｐ６０が素早く設定されるので、計測対
象のワークについてより速くリークテストを開始するこ
とができる。

【００３９】（ｂ４）図１３のステップＳ３８におい
て、差圧変化量ｐ１０をドリフトテーブル３００に記憶
するときには、初期ドリフト量ｐ６０や差圧変化量ｐ１
０をワークの種類に応じて重みづけするようにしてもよ
い。例えば、種類Ｃ１と種類Ｃ２のワークについてそれ
ぞれを係数ｃ１，ｃ２とするとき、種類Ｃ１のワークに
ついては差圧変化量ｐ１０に係数ｃ１を掛け、種類Ｃ２
のワークについては差圧変化量ｐ１０に係数ｃ２を掛け
た後にドリフトテーブル３００に記憶する。こうすれ
ば、計測対象の全てのワークに対して、その種類ごとに
予め初期ドリフト量ｐ６０を算出せずに、通常と同様に
リークテストを行うことができる。そのため、他品種少
量生産型のワークについて連続してリークテストを精度
よく行うことができる。

【他の発明の態様】以上、本発明の実施の形態について
説明したが、この実施の形態には特許請求の範囲に記載
した発明の態様以外の発明の態様を有するものである。
この発明の態様を以下に列挙するとともに、必要に応じ
て関連説明を行う。

【００４０】〔態様１〕 請求項１に記載のリークテス
ト方法であって、マスタとワークとの間の圧力を平衡に
するとともに、差圧センサの出力を零に較正する工程
を、第１の差圧変化量を求めてから第２の差圧変化量を
求めるまでの間に所定時間ごとに複数回行うことを特徴
とするリークテスト方法。 〔態様１の関連説明〕 態様１によれば、所定時間ごと
にマスタとワークとの間の圧力が平衡にされるため、差
圧センサの出力が零に較正される。したがって、差圧セ
ンサから出力される差圧を小さく抑えることができ、時
間当たりの差圧変化量やドリフト量をより正確に求める
ことができる。

【００４１】〔態様２〕 マスタとワークとに加圧気体
を導入し、そのマスタとワークとの間に発生する差圧を
差圧センサによって計測し、その計測値から単位時間当
たりの差圧変化量を求め、その差圧変化量をドリフト量
で補正し、その補正結果に基づいてワークから加圧気体
が洩れているか否かを判別するリークテスト方法におい
て、単位時間当たりの第１の差圧変化量を複数個求める
工程と、その複数の第１の差圧変化量をプロットして得
られる曲線に基づいて、所定時間後の第２の差圧変化量
を推定する工程と、複数個のうち最初の第１の差圧変化
量と、推定した第２の差圧変化量とに基づいて、ドリフ
ト量を算出する工程と、を有することを特徴とするリー
クテスト方法。 〔態様２の関連説明〕 態様２によれば、計測期間にお
いて行われる複数回の計測によって曲線が決定され、こ
の曲線に基づいて安定期間における差圧が推定される。
こうして安定期間における単位時間当たりの差圧変化量
を算出することができる。そのため、ドリフト量の算出
時間を大幅に短縮することができる。

【００４２】〔態様３〕 請求項２に記載のリークテス
ト方法において、その第３の差圧変化量をドリフトテー
ブルに記録する工程では、許容範囲内の第３の差圧変化
量についてのみドリフトテーブルに記録することを特徴
とするリークテスト方法。 〔態様３の関連説明〕 態様３によれば、許容範囲を外
れた補正結果がドリフトテーブルに記録されなくなる。
こうしてドリフトテーブルに記録される第３の差圧変化
量は正常な値に限られるので、移動平均（ひいては補正
結果）をさらに正確に算出することができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、気温変化等が生じた場
合であっても、ワークから加圧気体が洩れているか否か
をより的確に判別することができる。

【００４４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る配管ブロック図である。

【図２】本発明に係るリークテスト装置の構成を示す図
である。

【図３】洩れ判別処理を示すフローチャートである。

【図４】判別処理を示すフローチャートである。

【図５】ドリフト量算出処理を示すフローチャートであ
る。

【図６】時間の経過とともに変化する差圧を示す図であ
る。

【図７】時間の経過とともに変化する差圧を示す図であ
る。

【図８】ドリフト量算出処理を示すフローチャートであ
る。

【図９】時間の経過とともに変化する差圧を示す図であ
る。

【図１０】他の洩れ判別処理を示すフローチャートであ
る。

【図１１】初期ドリフト量算出処理を示すフローチャー
トである。

【図１２】ドリフトテーブルの一例を示す図である。

【図１３】他の判別処理を示すフローチャートである。

【図１４】ドリフトテーブルに記憶する補正結果の範囲
を示す図である。

【図１５】他のドリフトテーブルの一例を示す図であ
る。

【図１６】従来技術に係る配管ブロック図である。

【図１７】時間の経過とともに変化する差圧を示す図で
ある。

【符号の説明】

１０ 導入排出口 １２，１４，１６，２０ バルブ １８ 差圧センサ ２２ ワーク ２４ 温度計 ２６ 開閉制御手段 ２８ マスタ ３０ ドリフト量算出手段 １００ リークテスト装置 １０２ ＲＯＭ １０４ 入力処理回路 １０６ 出力処理回路 １０８ バス １１０ ＣＰＵ １１２ ＲＡＭ １１４ 表示制御回路 １１６ 表示装置 １１８ タイマー ３００ ドリフトテーブル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 菊井 広行 (56)参考文献 特開 平７−174661（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 3/26

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスタとワークとに加圧気体を導入し、
   前記マスタと前記ワークとの間に発生する差圧を差圧セ
   ンサによって計測し、その計測値から単位時間当たりの
   差圧変化量を求め、その差圧変化量に基づいて前記ワー
   クから加圧気体が洩れているか否かを判別するリークテ
   スト方法において、 計測タイミングに達すると、前記マスタ内圧と、前記マ
   スタよりも加熱された状態の前記ワーク内圧との単位時
   間当たりの第１の差圧変化量を求める工程と、前記第１
   の差圧変化量を求めた後に、前記マスタと前記ワークと
   の間の圧力を平衡にするとともに、前記差圧センサの出
   力を零に較正する工程と、 前記差圧センサの出力を零に較正した後の前記マスタお
   よび前記ワークがほぼ室温状態にある安定期間に、単位
   時間当たりの第２の差圧変化量を求める工程と、予め適宜数の前記ワークについて前記第１の差圧変化量
   と前記第２の差圧変化量（ただし洩れ無しの場合は前記
   第２の差圧変化量は実質上ゼロ）の差がそれぞれドリフ
   ト量として初期記録されたドリフトテーブルを用いるこ
   ととし、 第ｎ＋１番目の前記ワークについて検査する際には、当
   該ワークについて前記第１の差圧変化量を求めて、当該
   第１の差圧変化量と前記ドリフトテーブル内にすでに初
   期記録されたｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかか
   る平均値との差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋
   １番目のワークを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別し
   た場合にだけ前記第ｎ＋１番目のワークについて求めた
   第１の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋１として前記
   ドリフトテーブルに追加記録し、 次いで第ｎ＋２番目の前記ワークについて検査する際に
   は、当該ワークについて前記第１の差圧変化量を求め
   て、当該第１の差圧変化量と前記ドリフトテーブル内に
   記録されたデータｄ２，ｄ３，…，ｄｎ＋１にかかる平
   均値との差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋２番
   目のワークを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別した場
   合にだけ前記第ｎ＋２番目のワークについて求めた第１
   の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋２として前記ドリ
   フトテーブルに追加記録するという手順で必要数の前記
   ワークについて順次行う工程とを有する リークテスト方
   法。
2. 【請求項２】 マスタとワークとに加圧気体を導入する
   気体導入手段と、前記マスタと前記ワークとの間に発生
   する差圧を差圧センサによって計測する差圧計測手段
   と、その計測値から単位時間当たりの差圧変化量を求め
   る手段と、その差圧変化量に基づいて前記ワークから加
   圧気体が洩れているか否かを判別する洩れ判別手段とを
   有するリークテスト装置において、 前記マスタと前記ワークとの間を接続するバルブと、 そのバルブの開閉を制御する開閉制御手段と、 計測タイミングに達すると、前記マスタ内圧と、前記マ
   スタよりも加熱された状態の前記ワーク内圧との単位時
   間当たりの第１の差圧変化量を求めた後、前記開閉制御
   手段により前記バルブを開けて前記マスタと前記ワーク
   との間の圧力を平衡にするとともに、前記差圧センサの
   出力を零に較正し、前記マスタおよび前記ワークがほぼ
   室温状態にある安定期間に前記バルブを閉じて単位時間
   当たりの第２の差圧変化量を求め、予め適宜数の前記ワ
   ークについて前記第１の差圧変化量と前記第２の差圧変
   化量（ただし洩れ無しの場合は前記第２の差圧変化量は
   実質上ゼロ）の差をそれぞれドリフト量としてドリフト
   テーブルに初期記録する手段と、第ｎ＋１番目の前記ワークについて検査する際には、当
   該ワークについて前記第１の差圧変化量を求めて、当該
   第１の差圧変化量と前記ドリフトテーブル内にすでに初
   期記録されたｎ個のデータｄ１，ｄ２，…，ｄｎにかか
   る平均値との差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋
   １番目のワークを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別し
   た場合にだけ前記第ｎ＋１番目のワークについて求めた
   第１の差圧変化量をドリフトデータｄｎ＋１として前記
   ドリフトテーブルに追加記録する 手段と、第ｎ＋２番目の前記ワークについて検査する際には、当
   該ワークについて前記第１の差圧変化量を求めて、当該
   第１の差圧変化量と前記ドリフトテーブル内に記録され
   たデータｄ２，ｄ３，…，ｄｎ＋１にかかる平均値との
   差がしきい値範囲内の場合には前記第ｎ＋２番目のワー
   クを洩れ無しと判別し、洩れ無しと判別した場合にだけ
   前記第ｎ＋２番目のワークについて求めた第１の差圧変
   化量をドリフトデータｄｎ＋２として前記ドリフトテー
   ブルに追加記録するという手順で必要数の前記ワークに
   ついて順次行う手段とを有する リークテスト装置。