JP3121422B2 - 連続焼成装置 - Google Patents
連続焼成装置Info
- Publication number
- JP3121422B2 JP3121422B2 JP04028152A JP2815292A JP3121422B2 JP 3121422 B2 JP3121422 B2 JP 3121422B2 JP 04028152 A JP04028152 A JP 04028152A JP 2815292 A JP2815292 A JP 2815292A JP 3121422 B2 JP3121422 B2 JP 3121422B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fired
- continuous firing
- firing
- furnace
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
ク成形体などの連続焼成装置に関し、特に不活性雰囲気
としてHeガスを使用して、薄肉厚の炭化けい素質ハニ
カム成形体を連続的に焼成するのに適した炭化けい素セ
ラミック成形体などの連続焼成装置に関する。
の焼成は、バッチ式又は連続式の焼成装置によって行わ
れている。炭化けい素質セラミック成形体の焼成温度は
通常2,200℃と言う高温度である。このような高温
度で特に被焼成物成形体(被焼成体という)が薄肉厚の
炭化けい素質ハニカム成形体である場合、被焼成体の酸
化を防止しなければならない。そのため被焼成体が高温
度に曝される部分については酸化を防止するためにN2
ガス又はArガスを用い、かかる不活性雰囲気下で焼成
が行われている。
ぎのような問題点があった。すなわち、N2ガス雰囲気
下で焼成した場合には被焼成体の酸化は防止できるが、
窒化されることとなり、満足な結果を得ることはできな
い。また、Arガスを用いた場合には被焼成物の窒化を
防止することはできるが、連続焼成した場合、出入口等
からArガスの炉外への漏出、及び、空気の炉内への侵
入を防止しなければならない。空気の炉内への侵入を防
止するため従来は出入口に複数の扉を設ける方法が採ら
れているが、空気の炉内への侵入を完全に防止すること
は困難である。
高断熱性のカ−ボンファイバ−等の酸化性材料を用いて
連続焼成装置を製作することが考えられるが、かかる焼
成装置の寿命は短く、また、Arガスを多量に消費して
しまうこととなり実用上困難がある。
点を解決し、炭化けい素セラミックス成形体等の被焼成
体の連続焼成に適した焼成装置について種々検討した結
果、高温部分における不活性雰囲気として密度の小さい
Heガスを使用することによって炉内にガスを充満させ
ることができ、且つ、連続焼成装置の出入口を密閉エレ
ベ−タル−ムを用いることによって空気等の炉内への侵
入を防止でき、前記の難点を解決することを見出し本発
明を完成したもので、本発明の目的は不活性雰囲気とし
てHeガスを使用して、薄肉厚の炭化けい素質ハニカム
成形体を連続的に焼成するのに適した連続焼成装置を提
供するにある。
両端面に密閉エレベ−タル−ムを設けると共に装置内を
多段階に区分けした連続焼成装置であって、最上段には
被焼成物成形体を焼成するための焼成炉本体とし、下段
には被焼成物及び焼成物のストレッヂラインとし、且
つ、エレベ−タル−ム及び装置内の雰囲気ガスがHeで
あることを特徴とする連続焼成装置である。
る焼成炉本体を連続焼成装置の最上段に設けてあるの
で、比重の小さいHeガスを充満させることは容易であ
り、被焼成体が酸化及び窒化されることはない。また、
エレベ−タル−ム内もHeガスが充満されており、炉本
体に挿入したHeガスと共に膨張作用に依り操業中に酸
素ガス及び窒素ガスが炉本体に侵入することはないの
で、常にHeガス雰囲気下で操業することができる。
2200℃という高温度で操業するため熱エネルギーの
ロスを最小限にとどめなければならず、また特に完全に
酸素ガスが皆無のもとで行なわねばならない、そのため
発熱エレメントとしては黒鉛電極を用い、断熱材として
高断熱性材料であるカーボンファイバーを使用し熱効率
を向上させることが好ましい。また焼成治具としては黒
鉛治具を使用する。特に焼成治具として黒鉛を使用する
ことによって、被焼成体がSiC原料の場合、その表面
にSiO2膜を有しており、これが昇温中SiO蒸気と
して揮散し、発熱エレメント及び炉材と反応損耗を防ぐ
ために黒鉛治具と反応させる目的をも有している。
部分を常に不活性雰囲気として操業することができるの
で炭化けい素の焼成にとどまらず、窒化けい素(Si3
N4)、窒化タングステン(WN)、炭化タングステン
(WC)などの不活性雰囲気下での焼成にも使用できる
ことは言うまでもない。
は連続焼成装置の平面図、図2はその側面図、図3はそ
の断面図である。図において連続焼成装置1の両端部に
は密閉エレベ−タル−ム2,3を設置する。連続焼成装
置1の内部は多段階に区分され、その最上段部に焼成炉
本体4を設け、その他の段部にはストレッジライン5が
それぞれ設けてある。焼成炉本体4の出入口6,7には
密閉エレベ−タル−ムの最上段の出入口が密着して配設
されている。連続焼成炉4は入口側から昇温帯A、ねら
し帯B、第1冷却体C、第2冷却帯Dよりなっている。
炉の中心付近より常時Heガスの一定量を炉内に供給す
る。連続焼成装置は二重ケ−シングよりなり、装置の出
入口はエレベ−タで密閉されている。密閉エレベ−タル
−ム内は炉本体より洩れ出たHeガスで充満されてい
る。
操作を説明する。先ず連続焼成炉の入口側のエレベ−タ
2内には被焼成物がセットされた状態で焼成炉入口6に
密着して待機しており、出口側7にはからのエレベ−タ
3が待機している。規定の時間がくると、出口側7より
焼成された焼成物が焼成治具と共に待機しているエレベ
−タ内に引き出すと同時に入口側エレベ−タ2内の被焼
成物が入った焼成治具を焼成炉4内に導入する。続いて
エレベ−タ2,3は規定の段数まで降下して出口側のエ
レベ−タ3内の焼成物をストレッジラインに送り出すと
同樹に入口側エレベ−タ2内に被焼成物を挿入する。続
いて出入口側のエレベ−タは前記と同様に最上段の連続
焼成炉の出入口に密着して待機する。なお、連続焼成炉
の出入口部の規定個所の炉圧と連動してHeガスが炉内
に導入されるような構造とすることが好ましい。
度分布、焼成時間を示すと次のとおりである。 焼成炉の長さ 約40メータ 温度 焼成時間 焼成温度分布 昇温帯 100〜2,000℃ 5〜6時間 ねらし帯 2,000〜2,200℃ 4〜5時間 第1冷却帯 2,000〜700℃ 5〜6時間 第2冷却帯 700〜室温 3〜4時間
置にあっては、連続焼成炉を最上段に設け、不活性雰囲
気として比重の最も軽いHeガスを使用したので炉内に
容易にHeガスを充満することができ、更に炉の出入口
にはHeガスが充満されている密閉エレベ−タル−ムを
密着させ、該エレベ−タを使用して焼成物及び被焼成物
を移動させるので操業中に炉内に空気が侵入することは
なく、薄肉厚の炭化けい素質ハニカム成形体を連続的に
焼成することができる。また、炉内を完全に不活性ガス
雰囲気とすることによって、使用する黒鉛発熱体、カ−
ボンファイバ−質断熱材及び黒鉛質焼成用治具を酸化損
耗を生じることなく、長期間にわたって使用することが
可能となった。更に、Heガス使用量を著しく減少させ
ることが可能となったことにより、雰囲気調整用ガス費
用のコストダウンが可能となる等の効果を奏することが
できた。
Claims (4)
- 【請求項1】 装置の両端面に密閉エレベ−タル−ムを
設けると共に装置内を多段階に区分けした連続焼成装置
であって、最上段には被焼成物成形体を焼成するための
焼成炉本体とし、下段には被焼成物及び焼成物のストレ
ッヂラインとし、且つ、エレベ−タル−ム及び装置内の
雰囲気ガスがHeであることを特徴とする連続焼成装
置。 - 【請求項2】 被焼成物成形体が炭化けい素質セラミッ
ク成形体である請求項第1項記載の連続焼成装置。 - 【請求項3】 加熱用発熱体が黒鉛質材料である請求項
第1項記載の連続焼成装置。 - 【請求項4】 断熱材料がカーボンファイバー質材料で
ある請求項第1項記載の連続焼成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04028152A JP3121422B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 連続焼成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04028152A JP3121422B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 連続焼成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05223461A JPH05223461A (ja) | 1993-08-31 |
JP3121422B2 true JP3121422B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=12240792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04028152A Expired - Lifetime JP3121422B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 連続焼成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3121422B2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP04028152A patent/JP3121422B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05223461A (ja) | 1993-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4600901B2 (ja) | セラミックハニカム体焼成用トンネルキルン | |
JP3121422B2 (ja) | 連続焼成装置 | |
US4244686A (en) | Energy saving furnace and method of operating same | |
JPH0248618B2 (ja) | ||
US2097620A (en) | Method and apparatus for firing ceramic ware | |
JPH0519950Y2 (ja) | ||
JP2651101B2 (ja) | 雰囲気制御熱処理装置及び熱処理方法 | |
JPS5822077Y2 (ja) | 高温高純度ガス雰囲気炉 | |
CN211626100U (zh) | 一种窑炉结构 | |
JPH11281259A (ja) | 連続式雰囲気炉 | |
JPS6234233Y2 (ja) | ||
JP2557137B2 (ja) | 半導体製造用加熱装置 | |
JP3861009B2 (ja) | 耐火物焼成雰囲気炉 | |
JP2524578B2 (ja) | 炭化珪素発熱体 | |
JP3534518B2 (ja) | 半導体熱処理方法およびそれに用いる装置 | |
JPH07235507A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH07173526A (ja) | 雰囲気熱処理炉の操業方法 | |
JPS5519456A (en) | Production of hard-to-work metal pipe | |
JPS61282785A (ja) | バツチ式焼成炉 | |
JPS5856341A (ja) | 熱処理方法および熱処理装置 | |
JPH02115357A (ja) | バッチ浸炭炉の炉休処置方法 | |
JPH03217785A (ja) | バッチ式焼成炉 | |
JPH01100069A (ja) | セラミック焼成炉 | |
Herrmann et al. | FOUNDATIONS OF PREPARATION OF REACTION BONDED SILICON NITRIDE- FOUNDATIONS OF NITRIDATION | |
JPH05340676A (ja) | バッチ式焼成炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071020 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 12 |