JPH03217785A - バッチ式焼成炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は主としてセラミックコンデンサ等のセラミノク
電子部品の製造に使用されるバッチ式焼成炉に関する。

（従来の技術） 一般に、セラミック電子部品の製造に使用されるセラミ
ノク成形体の焼成には、トンネル式の連続焼成炉やバッ
チ式の焼成炉が使用される。

従来のこの種の焼成炉の一例の縦断面を第３図に、また
、その■一■線に沿う断面を第４図に示す。

上記焼成炉は炉床が昇降するバッチ式焼成炉で、架台１
の上に支持された炉体２の炉床３に設けられた開口４に
嵌合する昇降式炉床５が、油圧もしくはスクリュ等の手
段により、上記開口４に対して昇降する。この昇降式炉
床５の上には、焼成する被焼成物（図示せず。）が収容
された匣を積み重ねてなる匣組み６が載置される。そし
て、上記被焼成物は、具体的には図示しないが、炉体２
の天井部２ａから懸垂させたＵ字型もしくは炉壁２ｂを
貫通して井桁状に配置される棒状の炭化ケイ素（ＳｉＣ
）等のヒータにより加熱され、たとえば第５図に点線ｆ
ｉｌｌで示すような焼成プロファイルに従って焼成され
る。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記のような構成を有する焼成炉では、従来
より、炉体２内からこの炉体２の外部に逃げる熱をでき
るだけ少なくし、炉内温度の立上りをはや《するととも
に消費電力を少なくするため、上記炉体２を構成してい
る断熱材層を厚くしていた。このため、炉体２内の温度
を、第５図に示すように、Ｔ　’Ｃの高温に保持した後
、ヒータの電源を切っても、炉体２内の温度は、第５図
に実線ｍ２で示すように、なかなか降下せず、降温時間
が長《なる。このように、上記従来の焼成炉では、降温
時に炉体１内の温度の降下に時間がかかるので、降温時
に炉体２内の温度を焼成プロファイルに従って正確に制
御するのが困難であるといった問題があった。

本発明の目的は、稼動率が高く降昌時の正確な温度制御
が可能なバッチ式焼成炉を提供することである。

（課題を解決するための手段） このため、本発明は、被焼成物を内部に収容して焼成す
る竪型の炉体を有し、この炉体の炉壁部分および天井部
分が内側断熱層、外側断熱層、およひにれら内側断熱層
と外側断熱層との間に位置する中間断熱層とからなり、
上記内側断熱層と中間断熱層との間の空間、中間断熱層
と外側断熱層との間の空間にはそれぞれエアー供給手段
とエアー排出手段とが連通したことを特徴としている。

（作用） 炉体内部の降温時に、上記エアー供給手段よりエアーが
内側断熱層と中間断熱層との間の空間、この中間断熱層
と外側断熱層との間の空間内に導入される。これら空間
内に導入されたエアーは、炉体を冷却しつつ上記エアー
排出手段より排出される。これにより、炉体の降温時間
が短縮される。

（発明の効果） 本発明によれば、炉体内部の降昌時に、炉体を構成する
内側断熱層と中間断熱層との間の空間、この中間断熱層
と外側断熱層との間の空間に導入されたエアーにより炉
体が冷却されて降温されるので、この降温時にもヒータ
に通電することにより、降温時の炉体内部の温度を正確
に制御することができる。

また、本発明によれば、エアーによる炉体の冷却により
、炉体内部を必要な温度まで冷却するのに必要な時間が
短縮されるので、炉の稼動率も向上する。

さらに、本発明によれば、降温時以外には炉体の内側断
熱層と外側断熱層との間の空間に導入されているエアー
は熱の遮断層として機能するので、炉の熱効率も向上す
る。

（実施例） 以下に、添付の図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

本発明に係るバッチ式焼成炉の一実施例の縦断面を第１
図に、また、この第１図のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面を第
２図にそれぞれ示す。

上記バッチ式焼成炉１１は、炉体１２の炉壁部分１２ａ
および天井部分１２ｂが、内側断熱層ｌ３、外側断熱層
１４、およびこれら内側断熱層ｌ３と外側断熱層１４と
の間に配置された中間断熱層１５とからなる。

上記内側断熱層１３、外側断熱層１４および中間断熱層
１５は、いずれもたとえば約２０ｍｍＯ厚さを有する断
熱ボードからなる。これら各断熱ボードは、炭化けい素
製の支柱１６により、第３図で述べたバッチ式焼成炉と
同様の架台１上に支持された炉床３上に垂直に支持され
る。

上記炉体１２の炉壁部分１２ａおよび天井部分１２ｂは
、内側断熱層１３と中間断熱層１５との間に、幅が約３
０ｍｍの空間１７を有し、また、上記中間断熱層１５と
外側断熱層１４との間にも、幅が約３Ｏｎ＋ｎ＋の空間
１８を有する。

上記炉体１２の炉壁部分１２ａには、その内側断熱層ｌ
３と中間断熱層１５との間の上記空間１７に連通ずる複
数本のエアー供給パイプ２１，２１，・・・と、上記中
間断熱層１５と外側断熱層１４との間の上記空間１８に
連通ずる複数本のエアー供給バイブ２２，２２・・・が
取着される。そして、エアー供給パイプ２１．２２の各
々は、それを電気信号により開閉するための電磁弁２３
を備える。

同様に、上記炉体１２の天井部分１２ｂには、内側断熱
層１３と中間断熱層１５との間の上記空間ｌ７に連通ず
る排気ガス排出バイブ２４と、上記中間断熱層１５と外
側断熱層１４との間の上記空間ｌ８に連通ずる排気ガス
排出バイブ２５が取着される。そして、排気ガス排呂バ
イブ２４，２５の各々にも、電気信号により開閉するた
めの電磁弁２６を備える。

上記エアー供給パイプ２１．２２の各々は、具体的には
図示しないが、エアー送出用のブロアに接続される。ま
た、上記各排気ガス排出バイブ２４，２５は本焼成炉が
設置されている建屋（図示せず。）の外に通じる排気パ
イプ（図示せず。）に接続される。

上記炉体ｌ２内には、具体的には図示しないが、第３図
の焼成炉と同様のＵ字状もしくは棒状の炭化ケイ素製の
ヒータが配置される。

また、上記バッチ式焼成炉１１の上記炉床５上には、第
３図およひ第４図のバッチ式焼成炉と同様に、各々に焼
成する被焼成物（図示せず。）が収容された匣が積み重
ねられてなる匣組み６が載置される。

このような構成であれば、昇降式炉床５の上に載置され
た匣組み６内の各匣に収容された被焼成物は、上記ヒー
タによって加熱焼成される。加熱昇温時には、電磁弁２
　２．　２　３および２６の各々が閉じられ、内側断熱
層１３，空間１７内のエアー層、中間断熱層１５、いま
ーっの空間１８内のエアー層および外側断熱層１４の合
計５層の断熱層により、放熱ロスが少なく、急昇温が行
なわれる。そして、高温キープが終了した降温時には、
電磁弁２３および２６が開かれ、上記エアー供給パイプ
２１．２２に接続されたブロア（図示せず。）により、
エアー供給パイプ２１．２２を通してエアーが上記空間
１７および空間１８に送られ、矢印Ａ．およびＡ，で示
すように、エアー供給パイプ２１．２２から上記空間１
７および空間１８に吹出す。このエアーは、上記空間１
　７．　１　８内にて、炉体１２内で発生した熱を吸収
し、炉体１２を冷却しつつ、炉体１２の天井部１２ｂの
上部のエアー排出パイプ２４．２５に集められ、第１図
において矢印Ａ３で示すように、そのまま排気ガス排出
バイブ２４，２５により屋外へ放出される。これにより
、本発明のバッチ式の設置された部屋の温度を上げるこ
となく炉体ｌ２内の温度を降下させることができる。

なお、上記実施例において、被焼成物を保護雰囲気ガス
中で焼成する必要がある場合は、保護雰囲気ガスを、炉
体１２の内部に投入する前に、上記空間１　７．　１　
８内に投入して予め予熱した後、上記炉体１２内に投入
するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るバッチ式焼成炉の一実施例の縦断
面図、 第２図は第１図のバッチ式焼成炉のｆｆ−ＩＶ線に沿う
断面図、 第３図は従来のバッチ式焼成炉の縦断面図、第４図は第
３図のバッチ式焼成炉の■−■線に沿う断面図、 第５図は従来のバッチ式焼成炉の焼成温度プロファイル
と実際の炉内温度変化の説明図である。 ３・・・炉床，４・・開口，５・・・昇降式炉床．６　
・匣組み，１１バッチ式焼成炉， ２・・炉体（１２ａ・・・炉壁部分，１２ｂ・・・天井
部分）３・・・内側断熱層，１４・・・外側断熱層．５
・・・中間断熱層，　１　７．　１　８・・・空間１，
２２・・・エアー供給パイプ，２３・・・電磁弁，４．
２５・・・排気ガス排出パイプ，２６・・・電磁弁。 特　許　出　願　人　株式会社村田製作所代　理　人　
弁理士　青　山　　葆はか１名第 １ 図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被焼成物を内部に収容して焼成する竪型の炉体を
   有し、この炉体の炉壁部分および天井部分が内側断熱層
   、外側断熱層、およびこれら内側断熱層と外側断熱層と
   の間に位置する中間断熱層とからなり、上記内側断熱層
   と中間断熱層との間の空間、中間断熱層と外側断熱層と
   の間の空間にはそれぞれエアー供給手段とエアー排出手
   段とが連通したことを特徴とするバッチ式焼成炉。