JP3117830B2 - 半導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重ね装置 - Google Patents
半導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重ね装置Info
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- JP3117830B2 JP3117830B2 JP05007714A JP771493A JP3117830B2 JP 3117830 B2 JP3117830 B2 JP 3117830B2 JP 05007714 A JP05007714 A JP 05007714A JP 771493 A JP771493 A JP 771493A JP 3117830 B2 JP3117830 B2 JP 3117830B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイオード等の半導体
部品を製造するに際して使用するリードフレームにおい
て、このリードフレームに一体的に造形されているリー
ド端子を互いに重ね合わせるための装置に関するもので
ある。
部品を製造するに際して使用するリードフレームにおい
て、このリードフレームに一体的に造形されているリー
ド端子を互いに重ね合わせるための装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】先行技術としての特開平４−２２９６４
２号公報は、リードフレームを使用してダイオード等の
電子部品を製造する方法について、次のような方法を提
案している。すなわち、図１に示すように、リードフレ
ームＡに、第１リード端子Ａ1 を長手方向に沿って適宜
ピッチの間隔で一体的に造形すると共に、この第１リー
ド端子Ａ1 と対をなす第２リード端子Ａ2 を、当該第２
リード端子Ａ2 が前記各第１リード端子Ａ1 の間の部位
において両サイドフレームＡ3 ，Ａ4 の相互間を連結す
るセクションバーＡ5 に対して細幅片Ａ6 を介してのみ
一体的に連接するように造形し、このリードフレームＡ
を、矢印Ｂで示すように、その長手方向に沿って移送す
る途中において、 ．前記各第２リード端子Ａ2 の先端部を段付き状に曲
げ加工する。 ．前記各第１リード端子Ａ1 の先端上面に、半導体チ
ップＡ7 をダイボンディングする。 ．前記各第２リード端子Ａ2 を、矢印Ｃで示すよう
に、その細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら前記第１リー
ド端子Ａ1 に向かって裏返し状に反転することにより、
前記各第１リード端子Ａ1 と各第２リード端子Ａ2 と
を、その間に半導体チップＡ7 を挟んだ状態に重ね合わ
せる。 ．互いに重ね合わせた両リード端子Ａ1 ，Ａ2 の先端
部を、合成樹脂製のモールド部Ａ8 にてパッケージした
のち、リードフレームＡから切り離す。
２号公報は、リードフレームを使用してダイオード等の
電子部品を製造する方法について、次のような方法を提
案している。すなわち、図１に示すように、リードフレ
ームＡに、第１リード端子Ａ1 を長手方向に沿って適宜
ピッチの間隔で一体的に造形すると共に、この第１リー
ド端子Ａ1 と対をなす第２リード端子Ａ2 を、当該第２
リード端子Ａ2 が前記各第１リード端子Ａ1 の間の部位
において両サイドフレームＡ3 ，Ａ4 の相互間を連結す
るセクションバーＡ5 に対して細幅片Ａ6 を介してのみ
一体的に連接するように造形し、このリードフレームＡ
を、矢印Ｂで示すように、その長手方向に沿って移送す
る途中において、 ．前記各第２リード端子Ａ2 の先端部を段付き状に曲
げ加工する。 ．前記各第１リード端子Ａ1 の先端上面に、半導体チ
ップＡ7 をダイボンディングする。 ．前記各第２リード端子Ａ2 を、矢印Ｃで示すよう
に、その細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら前記第１リー
ド端子Ａ1 に向かって裏返し状に反転することにより、
前記各第１リード端子Ａ1 と各第２リード端子Ａ2 と
を、その間に半導体チップＡ7 を挟んだ状態に重ね合わ
せる。 ．互いに重ね合わせた両リード端子Ａ1 ，Ａ2 の先端
部を、合成樹脂製のモールド部Ａ8 にてパッケージした
のち、リードフレームＡから切り離す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した製
造方法においては、各第２リード端子Ａ2 を、細幅片Ａ
6 を捩じり変形しながら第１リード端子Ａ1 に向かって
裏返し状に反転することによって、当該各第２リード端
子Ａ2 に対応する第１リード端子Ａ1 に対して重ね合わ
せるものであり、この場合において、前記各第２リード
端子Ａ2 は、変形容易な細幅片Ａ6 のみを介してリード
フレームＡに連接されると言う形態であるから、この各
第２リード端子Ａ2 を、第１リード端子Ａ1 に向かって
裏返し状に反転するとき、当該第２リード端子Ａ2 が、
その横方向にずれ変形することが多発して、不良品の発
生率が高いと言う問題があった。
造方法においては、各第２リード端子Ａ2 を、細幅片Ａ
6 を捩じり変形しながら第１リード端子Ａ1 に向かって
裏返し状に反転することによって、当該各第２リード端
子Ａ2 に対応する第１リード端子Ａ1 に対して重ね合わ
せるものであり、この場合において、前記各第２リード
端子Ａ2 は、変形容易な細幅片Ａ6 のみを介してリード
フレームＡに連接されると言う形態であるから、この各
第２リード端子Ａ2 を、第１リード端子Ａ1 に向かって
裏返し状に反転するとき、当該第２リード端子Ａ2 が、
その横方向にずれ変形することが多発して、不良品の発
生率が高いと言う問題があった。
【０００４】また、前記各第２リード端子Ａ2 を、その
細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら裏返し状に反転するに
際して、その細幅片Ａ6 にスプリングバックが存在する
ことにより、第１リード端子Ａ1 に対して重ね合わせた
筈の第２リード端子Ａ2 が、第１リード端子Ａ1 から大
きく浮き上がると言う問題もあった。本発明は、第２リ
ード端子を、第１リード端子に対して、当該第２リード
端子における横方向へのずれ変形及び浮き上がりを低減
できる状態で、且つ、早い速度で能率良く重ね合わせる
ようにした装置を提供することを技術的課題とするもの
である。
細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら裏返し状に反転するに
際して、その細幅片Ａ6 にスプリングバックが存在する
ことにより、第１リード端子Ａ1 に対して重ね合わせた
筈の第２リード端子Ａ2 が、第１リード端子Ａ1 から大
きく浮き上がると言う問題もあった。本発明は、第２リ
ード端子を、第１リード端子に対して、当該第２リード
端子における横方向へのずれ変形及び浮き上がりを低減
できる状態で、且つ、早い速度で能率良く重ね合わせる
ようにした装置を提供することを技術的課題とするもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、第１リード端子を長手方向に沿って適
宜ピッチの間隔で一体的に形成すると共に、この各第１
リード端子と対をなす第２リード端子を捩じり変形可能
な細幅片のみを介して一体的に形成して成るリードフレ
ームの下方に、前記第２リード端子に対する鉤型の突き
上げ体を配設して、この突き上げ体を、当該突き上げ体
がリードフレームの上面より突出するように上昇動し、
次いで、前記第１リード端子の方向に横移動したのち下
降動するようにした作動機構に取付ける構成にした。
るため本発明は、第１リード端子を長手方向に沿って適
宜ピッチの間隔で一体的に形成すると共に、この各第１
リード端子と対をなす第２リード端子を捩じり変形可能
な細幅片のみを介して一体的に形成して成るリードフレ
ームの下方に、前記第２リード端子に対する鉤型の突き
上げ体を配設して、この突き上げ体を、当該突き上げ体
がリードフレームの上面より突出するように上昇動し、
次いで、前記第１リード端子の方向に横移動したのち下
降動するようにした作動機構に取付ける構成にした。
【０００６】
【作 用】この構成において、鉤型の突き上げ体がそ
の作動機構によって上昇動するとき、この突き上げ体に
よって、第２リード端子を、当該第２リード端子におけ
る細幅片を捩じり変形しながら上向きに押し上げる。次
いで、前記突き上げ体がその作動機構によって第１リー
ド端子の方向に横移動するとき、この突き上げ体によっ
て、前記第２リード端子を、その細幅片を更に捩じり変
形しながら第１リード端子に向かって裏返し状に反転す
る。
の作動機構によって上昇動するとき、この突き上げ体に
よって、第２リード端子を、当該第２リード端子におけ
る細幅片を捩じり変形しながら上向きに押し上げる。次
いで、前記突き上げ体がその作動機構によって第１リー
ド端子の方向に横移動するとき、この突き上げ体によっ
て、前記第２リード端子を、その細幅片を更に捩じり変
形しながら第１リード端子に向かって裏返し状に反転す
る。
【０００７】このように、各第２リード端子を、突き上
げ体による下から上向きへの突き上げにて裏返し状に反
転するものであることにより、各第２リード端子が、そ
の裏返し状に反転するときにおいて横方向にずれ変形す
ることを確実に低減できるのである。そして、前記突き
上げ体がその作動機構によって下降動するとき、この突
き上げ体によって、前記第２リード端子における細幅片
の部分を下向きに押圧することにより、前記第２リード
端子を第１リード端子に対して重ね合わせることができ
ると共に、前記細幅片をより強く捩じり変形するから、
前記細幅片の捩じり変形に際して発生するスプリングバ
ックを小さくすることができるのである。
げ体による下から上向きへの突き上げにて裏返し状に反
転するものであることにより、各第２リード端子が、そ
の裏返し状に反転するときにおいて横方向にずれ変形す
ることを確実に低減できるのである。そして、前記突き
上げ体がその作動機構によって下降動するとき、この突
き上げ体によって、前記第２リード端子における細幅片
の部分を下向きに押圧することにより、前記第２リード
端子を第１リード端子に対して重ね合わせることができ
ると共に、前記細幅片をより強く捩じり変形するから、
前記細幅片の捩じり変形に際して発生するスプリングバ
ックを小さくすることができるのである。
【０００８】
【発明の効果】従って、本発明によると、リードフレー
ムにおける各第２リード端子を各第１リード端子に対し
て重ね合わせるに際して、不良品が発生する率を大幅に
低減できるのであり、しかも、前記の重ね合わせを突き
上げ体における一連の動きによって行うことにより、そ
の重ね合わせを早い速度で行うことができるから、前記
不良品の発生を低減できることと相俟って、コストの低
減を達成できる効果を有する。
ムにおける各第２リード端子を各第１リード端子に対し
て重ね合わせるに際して、不良品が発生する率を大幅に
低減できるのであり、しかも、前記の重ね合わせを突き
上げ体における一連の動きによって行うことにより、そ
の重ね合わせを早い速度で行うことができるから、前記
不良品の発生を低減できることと相俟って、コストの低
減を達成できる効果を有する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図２〜図７の図面
について説明する。この図において符号１は、前記図１
に示すように構成したリードフレームＡに対する支持板
を示し、この支持板１は、機枠２に取付けられ、その上
面に沿って前記リードフレームＡがその長手方向に適宜
長さずつ間欠的に移動する。
について説明する。この図において符号１は、前記図１
に示すように構成したリードフレームＡに対する支持板
を示し、この支持板１は、機枠２に取付けられ、その上
面に沿って前記リードフレームＡがその長手方向に適宜
長さずつ間欠的に移動する。
【００１０】符号３は、前記支持板１の下面側に配設し
た突き上げ部材を示し、この突き上げ部材３には、前記
リードフレームＡにおける第２リード端子Ａ2 に対する
複数本の突き上げ体４を備えており、この各突き上げ体
４の先端は、鉤型に形成されている。そして、前記突き
上げ部材３を、後述するように構成した作動機構５によ
って、図３に矢印Ｄで示すように、当該突き上げ部材３
における各突き上げ体４の先端がリードフレームＡの上
面より突出する状態まで適宜ストロークＨ1 だけ上昇動
し、次いで、矢印Ｅで示すように、前記第１リード端子
Ａ1 の方向に適宜ストロークＨ2 だけ横移動したのち、
矢印Ｆで示すように、適宜ストロークＨ3 だけ下降動
し、更に、前記とは逆の経路を通って元の位置まで復帰
するように構成する。
た突き上げ部材を示し、この突き上げ部材３には、前記
リードフレームＡにおける第２リード端子Ａ2 に対する
複数本の突き上げ体４を備えており、この各突き上げ体
４の先端は、鉤型に形成されている。そして、前記突き
上げ部材３を、後述するように構成した作動機構５によ
って、図３に矢印Ｄで示すように、当該突き上げ部材３
における各突き上げ体４の先端がリードフレームＡの上
面より突出する状態まで適宜ストロークＨ1 だけ上昇動
し、次いで、矢印Ｅで示すように、前記第１リード端子
Ａ1 の方向に適宜ストロークＨ2 だけ横移動したのち、
矢印Ｆで示すように、適宜ストロークＨ3 だけ下降動
し、更に、前記とは逆の経路を通って元の位置まで復帰
するように構成する。
【００１１】前記作動機構５は、機枠２に取付けたベー
ス部材６の上面に左右方向に往復動自在に設けた往復部
材７と、この往復部材７に対して上下動自在に取付けた
ヘッド部材８とを備え、このヘッド部材８に、前記突き
上げ部材３を取付けることにより、当該突き上げ部材３
を、前記のように矢印Ｄ，Ｅ，Ｆのように作動するもの
である。
ス部材６の上面に左右方向に往復動自在に設けた往復部
材７と、この往復部材７に対して上下動自在に取付けた
ヘッド部材８とを備え、このヘッド部材８に、前記突き
上げ部材３を取付けることにより、当該突き上げ部材３
を、前記のように矢印Ｄ，Ｅ，Ｆのように作動するもの
である。
【００１２】すなわち、前記ベース部材６の下部に、基
端を回動自在に枢着した左右一対のリンク９ａ，９ｂ
と、この両リンク９ａ，９ｂの先端間を連結する水平リ
ンク９ｃとによって構成される平行リンク機構９を設
け、この平行リンク機構９における両リンク９ａ，９ｂ
間の部位に配設した回転軸１０に、第１カム１１と、第
２カム１２とを嵌着し、前記平行リンク機構９における
一方のリンク９ａに設けたコロ９ｄを、他方のリンク９
ｂと機枠２との間に装架した引張りばね１３にて、前記
第１カム１１の外周面に接当する。
端を回動自在に枢着した左右一対のリンク９ａ，９ｂ
と、この両リンク９ａ，９ｂの先端間を連結する水平リ
ンク９ｃとによって構成される平行リンク機構９を設
け、この平行リンク機構９における両リンク９ａ，９ｂ
間の部位に配設した回転軸１０に、第１カム１１と、第
２カム１２とを嵌着し、前記平行リンク機構９における
一方のリンク９ａに設けたコロ９ｄを、他方のリンク９
ｂと機枠２との間に装架した引張りばね１３にて、前記
第１カム１１の外周面に接当する。
【００１３】一方、前記ベース部材の下面側には、上端
を前記往復部材７に連結した梃リンク１４をピン１５に
て回動自在に枢着し、この梃リンク１４の下端に設けた
コロ１４ａを、当該梃リンク１４と機枠２との間に装架
した引張りばね１６にて、前記第２カム１２の外周面に
接当する。また、前記平行リンク機構９における水平リ
ンク９ｃには、上向きに延びる連動杆１７を固着し、こ
の連動杆１７の上端に設けた水平部材１７ａと、前記ヘ
ッド部材８との間に、ヘッド部材８に設けたコロ１８を
水平部材１７ａの下面に対して押圧するように付勢する
引張りばね１９を設ける。
を前記往復部材７に連結した梃リンク１４をピン１５に
て回動自在に枢着し、この梃リンク１４の下端に設けた
コロ１４ａを、当該梃リンク１４と機枠２との間に装架
した引張りばね１６にて、前記第２カム１２の外周面に
接当する。また、前記平行リンク機構９における水平リ
ンク９ｃには、上向きに延びる連動杆１７を固着し、こ
の連動杆１７の上端に設けた水平部材１７ａと、前記ヘ
ッド部材８との間に、ヘッド部材８に設けたコロ１８を
水平部材１７ａの下面に対して押圧するように付勢する
引張りばね１９を設ける。
【００１４】そして、前記第１カム１１の外周面には、
突出傾斜面１１ａと凹み傾斜面１１ｂとを設ける一方、
前記第２カム１２の外周面には、凹み傾斜面１２ａを設
けて、両カム１１，１２の回転に伴い、先づ、第１カム
１１における突出傾斜面１１ａが、平行リンク機構９に
おけるコロ９ｄに接当して、平行リンク機構９がその引
張りばね１３に抗して左方向に回動することにより、こ
の平行リンク機構９における水平リンク９ｃに設けた連
動杆１７が上昇動し、この連動杆１７の上昇動に追従し
て、ヘッド部材８が上昇動するから、このヘッド部材８
に取付けた突き上げ部材３が、前記矢印Ｄで示すように
適宜ストロークＨ1 だけ上昇動する。
突出傾斜面１１ａと凹み傾斜面１１ｂとを設ける一方、
前記第２カム１２の外周面には、凹み傾斜面１２ａを設
けて、両カム１１，１２の回転に伴い、先づ、第１カム
１１における突出傾斜面１１ａが、平行リンク機構９に
おけるコロ９ｄに接当して、平行リンク機構９がその引
張りばね１３に抗して左方向に回動することにより、こ
の平行リンク機構９における水平リンク９ｃに設けた連
動杆１７が上昇動し、この連動杆１７の上昇動に追従し
て、ヘッド部材８が上昇動するから、このヘッド部材８
に取付けた突き上げ部材３が、前記矢印Ｄで示すように
適宜ストロークＨ1 だけ上昇動する。
【００１５】この上昇動により、リードフレームＡにお
ける各第２リード端子Ａ2 が、突き上げ部材３における
各突き上げ体４にて、図５に示すように、当該第２リー
ド端子Ａ2 における細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら上
向きに押し上げられる。次いで、前記両カム１１，１２
の回転に伴い、第２カム１２における凹み傾斜面１２ａ
に、梃リンク１４における下端のコロ１４ａが接当する
ことにより、往復部材７が、その引張りばね１６にて右
方向に移動するから、この往復部材７にて支持のヘッド
部材８に取付けた突き上げ部材４が、前記矢印Ｅで示す
ように適宜ストロークＨ2 だけ横移動する。
ける各第２リード端子Ａ2 が、突き上げ部材３における
各突き上げ体４にて、図５に示すように、当該第２リー
ド端子Ａ2 における細幅片Ａ6 を捩じり変形しながら上
向きに押し上げられる。次いで、前記両カム１１，１２
の回転に伴い、第２カム１２における凹み傾斜面１２ａ
に、梃リンク１４における下端のコロ１４ａが接当する
ことにより、往復部材７が、その引張りばね１６にて右
方向に移動するから、この往復部材７にて支持のヘッド
部材８に取付けた突き上げ部材４が、前記矢印Ｅで示す
ように適宜ストロークＨ2 だけ横移動する。
【００１６】この横移動により、リードフレームＡにお
ける各第２リード端子Ａ2 が、突き上げ部材３における
各突き上げ体４にて、図６に示すように、その細幅片Ａ
6 を更に捩じり変形しながら第１リード端子Ａ1 に向か
って裏返し状に反転される。そして、前記両カム１１，
１２の更なる回転に伴い、第１カム１１における凹み傾
斜面１１ｂに、平行リンク機構９におけるコロ９ｄが接
当して、平行リンク機構９がその引張りばね１３に右方
向に戻し回動することにより、平行リンク機構９におけ
る水平リンク９ｃに設けた連動杆１７が下降動し、この
連動杆１７の下降動に追従して、ヘッド部材８が下降動
するから、このヘッド部材８に取付けた突き上げ部材３
が、前記矢印Ｆで示すように適宜ストロークＨ3 だけ下
降動する。
ける各第２リード端子Ａ2 が、突き上げ部材３における
各突き上げ体４にて、図６に示すように、その細幅片Ａ
6 を更に捩じり変形しながら第１リード端子Ａ1 に向か
って裏返し状に反転される。そして、前記両カム１１，
１２の更なる回転に伴い、第１カム１１における凹み傾
斜面１１ｂに、平行リンク機構９におけるコロ９ｄが接
当して、平行リンク機構９がその引張りばね１３に右方
向に戻し回動することにより、平行リンク機構９におけ
る水平リンク９ｃに設けた連動杆１７が下降動し、この
連動杆１７の下降動に追従して、ヘッド部材８が下降動
するから、このヘッド部材８に取付けた突き上げ部材３
が、前記矢印Ｆで示すように適宜ストロークＨ3 だけ下
降動する。
【００１７】この下降動により、前記各第２リード端子
Ａ2 における細幅片Ａ6 の部分を、当該突き上げ部材３
における各突き上げ体４にて、図７に示すように、下向
きに押圧することにより、前記第２リード端子Ａ2 を第
１リード端子Ａ1 に対して重ね合わせることができると
共に、前記細幅片Ａ6 をより強く捩じり変形するから、
前記細幅片Ａ6 の捩じり変形に際して発生するスプリン
グバックを小さくすることができるのである。
Ａ2 における細幅片Ａ6 の部分を、当該突き上げ部材３
における各突き上げ体４にて、図７に示すように、下向
きに押圧することにより、前記第２リード端子Ａ2 を第
１リード端子Ａ1 に対して重ね合わせることができると
共に、前記細幅片Ａ6 をより強く捩じり変形するから、
前記細幅片Ａ6 の捩じり変形に際して発生するスプリン
グバックを小さくすることができるのである。
【００１８】なお、前記の操作が完了すると、突き上げ
部材３が、両カム１１，１２の回転に伴って元の位置ま
で復帰したのち、リードフレームＡがその長手方向に適
宜長さだけ移送され、以後、前記動作を繰り返すことに
より、フープ状リードフレームＡにおける各第２リード
端子Ａ2 の第１リード端子Ａ1 に対する重ね合わせを行
うのである。
部材３が、両カム１１，１２の回転に伴って元の位置ま
で復帰したのち、リードフレームＡがその長手方向に適
宜長さだけ移送され、以後、前記動作を繰り返すことに
より、フープ状リードフレームＡにおける各第２リード
端子Ａ2 の第１リード端子Ａ1 に対する重ね合わせを行
うのである。
【図１】リードフレームの斜視図である。
【図２】本発明の実施例を示す正面図である。
【図３】図２の要部を示す斜視図である。
【図４】第１の作用状態を示す図である。
【図５】第２の作用状態を示す図である。
【図６】第３の作用状態を示す図である。
【図７】第４の作用状態を示す図である。
Ａ リードフレーム Ａ1 第１リード端子 Ａ2 第２リード端子 Ａ3 ，Ａ4 サイドフレーム Ａ5 セクションバー Ａ6 細幅片 １ リードフレームの支持板 ２ 機枠 ３ 突き上げ部材 ４ 突き上げ体 ５ 作動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 23/48 B21D 5/01
Claims (1)
- 【請求項１】第１リード端子を長手方向に沿って適宜ピ
ッチの間隔で一体的に形成すると共に、この各第１リー
ド端子と対をなす第２リード端子を捩じり変形可能な細
幅片のみを介して一体的に形成して成るリードフレーム
の下方に、前記第２リード端子に対する鉤型の突き上げ
体を配設して、この突き上げ体を、当該突き上げ体がリ
ードフレームの上面より突出するように上昇動し、次い
で、前記第１リード端子の方向に横移動したのち下降動
するようにした作動機構に取付けたことを特徴とする半
導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重
ね装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05007714A JP3117830B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 半導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重ね装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05007714A JP3117830B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 半導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重ね装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216286A JPH06216286A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3117830B2 true JP3117830B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=11673414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05007714A Expired - Fee Related JP3117830B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 半導体部品製造用リードフレームにおけるリード端子の重ね装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3117830B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002280509A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-27 | Rohm Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP05007714A patent/JP3117830B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06216286A (ja) | 1994-08-05 |
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