JP3112512B2 - チャックテーブルの表面状態検査方法 - Google Patents
チャックテーブルの表面状態検査方法Info
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- JP3112512B2 JP3112512B2 JP19979991A JP19979991A JP3112512B2 JP 3112512 B2 JP3112512 B2 JP 3112512B2 JP 19979991 A JP19979991 A JP 19979991A JP 19979991 A JP19979991 A JP 19979991A JP 3112512 B2 JP3112512 B2 JP 3112512B2
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハ等の脆
弱材料を載置し、高精度で切削又は研削等をする加工装
置の吸引機能を備えたチャックテーブルに関するもので
あり、特にチャックテーブルを構成するポーラス板とが
接着剤でキチンと接着固定されているか否かを検査する
方法に関するものである。
弱材料を載置し、高精度で切削又は研削等をする加工装
置の吸引機能を備えたチャックテーブルに関するもので
あり、特にチャックテーブルを構成するポーラス板とが
接着剤でキチンと接着固定されているか否かを検査する
方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】この種のポーラス板を上面に接着させた基
台を含むチャックテーブルとしては、例えば同一出願人
に係る実公昭５８−３３７０５号公報に開示された構成
のものが従来例として周知である。
台を含むチャックテーブルとしては、例えば同一出願人
に係る実公昭５８−３３７０５号公報に開示された構成
のものが従来例として周知である。
【０００３】このような構成のチャックテーブルにおい
ては、底部に吸引機能を備えた基台上にポーラス板を接
着剤で接着固定するようにしている。そして、実際の使
用により、半導体ウエーハ等を載置し吸着して切削を行
った場合に、接着固定が不完全であるとポーラス板が変
位し、即ち部分的に浮き沈みして加工物の仕上がり精度
を悪くしていた。
ては、底部に吸引機能を備えた基台上にポーラス板を接
着剤で接着固定するようにしている。そして、実際の使
用により、半導体ウエーハ等を載置し吸着して切削を行
った場合に、接着固定が不完全であるとポーラス板が変
位し、即ち部分的に浮き沈みして加工物の仕上がり精度
を悪くしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例のような構
成におけるチャックテーブルの表面、即ちポーラス板と
基台との接着固定状況を検査するには、加工装置にチャ
ックテーブルを組み込んで、実際にウエーハ等を研削
し、その研削されたウエーハの切削厚さを精密にチェッ
クすることにより、チャックテーブルにおけるポーラス
板の接着状況の良否を知ることができ、その検査作業に
多くの時間と労力とを必要とし非能率的であり、その接
着固定状況の検査手段に解決しなければならない課題を
有している。
成におけるチャックテーブルの表面、即ちポーラス板と
基台との接着固定状況を検査するには、加工装置にチャ
ックテーブルを組み込んで、実際にウエーハ等を研削
し、その研削されたウエーハの切削厚さを精密にチェッ
クすることにより、チャックテーブルにおけるポーラス
板の接着状況の良否を知ることができ、その検査作業に
多くの時間と労力とを必要とし非能率的であり、その接
着固定状況の検査手段に解決しなければならない課題を
有している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する具体
的手段として本発明は、吸引機能を備えた基台上にポー
ラス板を接着剤で接着固定した後に、該ポーラス板の上
面を全面的に覆う大きさの気密性のシート状部材を載置
し、該ポーラス板に吸引機能を作用させない状態で、測
定器の触針部を前記シート状部材に接触させて計測値を
記録し、次に前記ポーラス板に吸引機能を作用させ、該
ポーラス板に前記シート状部材を吸着させた状態で、前
記と同一位置に測定器の触針部を該シート状部材に接触
させて計測値を記録し、両計測値を比較して前記ポーラ
ス板の接着不良を発見するチャックテーブルの表面状態
検査方法を要旨とする。
的手段として本発明は、吸引機能を備えた基台上にポー
ラス板を接着剤で接着固定した後に、該ポーラス板の上
面を全面的に覆う大きさの気密性のシート状部材を載置
し、該ポーラス板に吸引機能を作用させない状態で、測
定器の触針部を前記シート状部材に接触させて計測値を
記録し、次に前記ポーラス板に吸引機能を作用させ、該
ポーラス板に前記シート状部材を吸着させた状態で、前
記と同一位置に測定器の触針部を該シート状部材に接触
させて計測値を記録し、両計測値を比較して前記ポーラ
ス板の接着不良を発見するチャックテーブルの表面状態
検査方法を要旨とする。
【０００６】
【作用】本発明は、ポーラス板を所定の位置に接着固定
した状態において、その接着固定が適正になされている
か否かを検出するものであり、ポーラス板の上面に気密
性のシート状部材を載置し、吸引しない状態と吸引した
状態とでその表面の浮き沈みが有るか否かを測定するこ
とで、ポーラス板の接着固定状況を検出し、その良否を
見い出すものである。
した状態において、その接着固定が適正になされている
か否かを検出するものであり、ポーラス板の上面に気密
性のシート状部材を載置し、吸引しない状態と吸引した
状態とでその表面の浮き沈みが有るか否かを測定するこ
とで、ポーラス板の接着固定状況を検出し、その良否を
見い出すものである。
【０００７】
【実施例】次に本発明を図示の実施例により更に詳しく
説明すると、１は基台であり、該基台に接着剤２を介し
てポーラス板３が接着固定される。前記基台１には前記
ポーラス板３が嵌まり込む凹部４が設けられ、該凹部４
の底部に吸引用の小孔５が複数個設けられ、該小孔５を
介して所謂吸引機能を有するチャックテーブル用の上面
板６が形成される。
説明すると、１は基台であり、該基台に接着剤２を介し
てポーラス板３が接着固定される。前記基台１には前記
ポーラス板３が嵌まり込む凹部４が設けられ、該凹部４
の底部に吸引用の小孔５が複数個設けられ、該小孔５を
介して所謂吸引機能を有するチャックテーブル用の上面
板６が形成される。
【０００８】このように構成されたチャックテーブル用
の上面板６は、加工装置に取り付ける前に、その表面状
態、つまり基台１に対してポーラス板３の接着固定状態
を検査し、適正に取り付けられているものと不適切なも
のとを振り分けて次の工程に搬送するようにする。
の上面板６は、加工装置に取り付ける前に、その表面状
態、つまり基台１に対してポーラス板３の接着固定状態
を検査し、適正に取り付けられているものと不適切なも
のとを振り分けて次の工程に搬送するようにする。
【０００９】この場合の検査手段は、前記基台１が載置
される吸引台となる検査台７と接触式の測定器８とが使
用される。前記検査台７には前記基台の小孔５に連通す
る通路９が設けられ、該通路に連通して適宜のバキュー
ム手段１０が連接されている。
される吸引台となる検査台７と接触式の測定器８とが使
用される。前記検査台７には前記基台の小孔５に連通す
る通路９が設けられ、該通路に連通して適宜のバキュー
ム手段１０が連接されている。
【００１０】前記測定器８は、ゲージ部１１と触針部１
２とを有するものであり、ゲージ部１１における計測値
又は計測状況は、適宜の記録紙又はグラフ用紙にデータ
として記録できるようにし、前記触針部１２は表面が平
滑な適宜の厚さ及び気密性を有するフィルム又はシート
状部材１３を介して上面板６、即ちポーラス板３の上面
に接触するようにしてある。この場合に使用されるフィ
ルム又はシート状部材１３は、ある程度の柔軟性と腰の
強さがあれば種々の物が選択できるが、ＯＨＰ用シート
が好ましい。
２とを有するものであり、ゲージ部１１における計測値
又は計測状況は、適宜の記録紙又はグラフ用紙にデータ
として記録できるようにし、前記触針部１２は表面が平
滑な適宜の厚さ及び気密性を有するフィルム又はシート
状部材１３を介して上面板６、即ちポーラス板３の上面
に接触するようにしてある。この場合に使用されるフィ
ルム又はシート状部材１３は、ある程度の柔軟性と腰の
強さがあれば種々の物が選択できるが、ＯＨＰ用シート
が好ましい。
【００１１】実際の検査について説明すると、ポーラス
板３の上面を全面的に覆う大きさのシート状部材１３を
上面板６上に載せ、バキューム手段１０を作用させない
状態で、触針部１２をシート状部材１３に接触させ、次
に測定器８又は検査台７の何れか又は双方を右方向若し
くは左方向に平行に移動させる。
板３の上面を全面的に覆う大きさのシート状部材１３を
上面板６上に載せ、バキューム手段１０を作用させない
状態で、触針部１２をシート状部材１３に接触させ、次
に測定器８又は検査台７の何れか又は双方を右方向若し
くは左方向に平行に移動させる。
【００１２】そして、その計測値を、図３で示したよう
に、グラフＡとして記録する。次に、バキューム手段１
０を作用させシート状部材１３を吸着させた状態で、前
記同様に測定器８又は検査台７を移動させて同一部分を
計測し、その計測値をグラフＢとして記録する。
に、グラフＡとして記録する。次に、バキューム手段１
０を作用させシート状部材１３を吸着させた状態で、前
記同様に測定器８又は検査台７を移動させて同一部分を
計測し、その計測値をグラフＢとして記録する。
【００１３】このＡ及びＢの両グラフを比較すれば明ら
かなように、検査した上面板６の一部にポーラス板３に
おける接着不良、つまり接着されないで浮き上がった箇
所が存在することが発見され、不良品として振り分けら
れる。
かなように、検査した上面板６の一部にポーラス板３に
おける接着不良、つまり接着されないで浮き上がった箇
所が存在することが発見され、不良品として振り分けら
れる。
【００１４】又、図４に示したように、前記同様の吸着
前のグラフＡと吸着後のグラフＢとを比較すると、中央
部に接着不良があることが発見され、これも不良品とし
て工程系外に振り分けられる。
前のグラフＡと吸着後のグラフＢとを比較すると、中央
部に接着不良があることが発見され、これも不良品とし
て工程系外に振り分けられる。
【００１５】いずれにしても、前記検査において、基台
１にポーラス板３を接着固定した後に検査台７上に載
せ、シート状部材１３をポーラス板３上に被覆するよう
に位置させて、吸着させない状態と吸着させた状態（吸
着させた状態が先で吸着させない状態が後でも良い）と
の二つの状態を同一位置にて測定器８により測定するこ
とで、ポーラス板３の浮き沈みを検出し、それによって
接着固定状態の良及び不良を速やかに検査するのであ
る。
１にポーラス板３を接着固定した後に検査台７上に載
せ、シート状部材１３をポーラス板３上に被覆するよう
に位置させて、吸着させない状態と吸着させた状態（吸
着させた状態が先で吸着させない状態が後でも良い）と
の二つの状態を同一位置にて測定器８により測定するこ
とで、ポーラス板３の浮き沈みを検出し、それによって
接着固定状態の良及び不良を速やかに検査するのであ
る。
【００１６】この場合に、一箇所だけの検査ではなく、
例えば測定器８の検査方向又は検査台７を９０°又は４
５°若しくは３０°宛つ複数回に亘って回転させ、２箇
所又は４箇所、必要があれば更にそれ以上の位置におい
て浮き沈みの状態を検査するようにすれば良い。
例えば測定器８の検査方向又は検査台７を９０°又は４
５°若しくは３０°宛つ複数回に亘って回転させ、２箇
所又は４箇所、必要があれば更にそれ以上の位置におい
て浮き沈みの状態を検査するようにすれば良い。
【００１７】そして、前記検査は複数箇所に亘って行わ
れるものであるが、例えば１箇所の検査でも、不良状態
が発見されれば、それ以上の検査をするまでもなく、直
ちに不良品として系外に振り分けることができるが、実
際の検査においては、最初の複数個（５〜１０個）の上
面板６は、４箇所又はそれ以上の所定の検査領域の全部
に亘って検査し、その内のどの部分に不良箇所が発生し
易いかを実測により検出し、その対応する基台及びポー
ラス板（特に寸法及び厚さ）毎の接着作業のマニアルと
することもできる。
れるものであるが、例えば１箇所の検査でも、不良状態
が発見されれば、それ以上の検査をするまでもなく、直
ちに不良品として系外に振り分けることができるが、実
際の検査においては、最初の複数個（５〜１０個）の上
面板６は、４箇所又はそれ以上の所定の検査領域の全部
に亘って検査し、その内のどの部分に不良箇所が発生し
易いかを実測により検出し、その対応する基台及びポー
ラス板（特に寸法及び厚さ）毎の接着作業のマニアルと
することもできる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るチャッ
クテーブルの表面状態検査方法は、ポーラス板を接着し
た後に、該ポーラス板の上面に気密性のシート状部材を
載置し、吸引機能を作用及び不作用の状態にしてポーラ
ス板の上面の浮き沈みを測定するようにしたことによ
り、直ちにポーラス板の接着固定状況の良及び不良が発
見でき、従来のように実際に半導体ウエーハを切削加工
して、その加工品を検査した後でないと発見できなかっ
たものと比べて、検査のための材料無駄及び作業能率の
悪さを解消することができると言う優れた効果を奏す
る。
クテーブルの表面状態検査方法は、ポーラス板を接着し
た後に、該ポーラス板の上面に気密性のシート状部材を
載置し、吸引機能を作用及び不作用の状態にしてポーラ
ス板の上面の浮き沈みを測定するようにしたことによ
り、直ちにポーラス板の接着固定状況の良及び不良が発
見でき、従来のように実際に半導体ウエーハを切削加工
して、その加工品を検査した後でないと発見できなかっ
たものと比べて、検査のための材料無駄及び作業能率の
悪さを解消することができると言う優れた効果を奏す
る。
【００１９】又、前記ポーラス板の上面の浮き沈みの測
定は、同一箇所において計測し、且つその計測手段は、
触針式で行い、その計測値を所定の用紙にグラフとして
表示できるようにしたことにより、大きさ及び厚さの異
なるポーラス板であっても、夫々に対応する接着良否の
データとして記録しておくことができ、それに基づき以
後の接着作業を良好に行うことができると言う優れた効
果も奏する。
定は、同一箇所において計測し、且つその計測手段は、
触針式で行い、その計測値を所定の用紙にグラフとして
表示できるようにしたことにより、大きさ及び厚さの異
なるポーラス板であっても、夫々に対応する接着良否の
データとして記録しておくことができ、それに基づき以
後の接着作業を良好に行うことができると言う優れた効
果も奏する。
【図１】本発明の方法によって検査されるポーラス板を
接着固定したチャックテーブル用表面板の一例を示す断
面図である。
接着固定したチャックテーブル用表面板の一例を示す断
面図である。
【図２】図１に示した表面板を本発明の方法によって検
査する状況を示す略示的断面図である。
査する状況を示す略示的断面図である。
【図３】本発明の方法によって検査する状況の１例をチ
ャックテーブル用表面板と対応させて示したグラフであ
る。
ャックテーブル用表面板と対応させて示したグラフであ
る。
【図４】本発明の方法によって検査する状況の他の例を
示した図３と同様のグラフである。
示した図３と同様のグラフである。
１ 基台 ２ 接着剤 ３ ポーラス板 ４ 凹部 ５ 小孔 ６ 上面板 ７ 検査台 ８ 測定器 ９ 通路 １０ バキューム手段 １１ ゲージ部 １２ 触針部 １３ シート状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−123717（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−312036（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−28048（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−44807（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−129438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−79647（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−224219（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−126312（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 3/08 B25B 11/00 H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】吸引機能を備えた基台上にポーラス板を接
着剤で接着固定した後に、該ポーラス板の上面を全面的
に覆う大きさの気密性のシート状部材を載置し、該ポー
ラス板に吸引機能を作用させない状態で、測定器の触針
部を前記シート状部材に接触させて計測値を記録し、 次に前記ポーラス板に吸引機能を作用させ、該ポーラス
板に前記シート状部材を吸着させた状態で、前記と同一
位置に測定器の触針部を該シート状部材に接触させて計
測値を記録し、両計測値を比較して前記ポーラス板の接
着不良を発見することを特徴とするチャックテーブルの
表面状態検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19979991A JP3112512B2 (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | チャックテーブルの表面状態検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19979991A JP3112512B2 (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | チャックテーブルの表面状態検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0523941A JPH0523941A (ja) | 1993-02-02 |
| JP3112512B2 true JP3112512B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=16413820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19979991A Expired - Lifetime JP3112512B2 (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | チャックテーブルの表面状態検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3112512B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013086187A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Disco Corp | チャックテーブル検査装置 |
| JP6858529B2 (ja) * | 2016-10-14 | 2021-04-14 | 株式会社ディスコ | 保持テーブルの保持面形成方法、研削装置及び研削ホイール |
| JP6784570B2 (ja) * | 2016-11-01 | 2020-11-11 | 株式会社ディスコ | 保持テーブルの取り付け検査方法 |
| JP6542863B2 (ja) * | 2017-11-22 | 2019-07-10 | ローム株式会社 | 吸引保持装置およびウエハ研磨装置 |
| CN112059955B (zh) * | 2020-08-28 | 2023-12-12 | 中车贵阳车辆有限公司 | 一种脱轨阀吊座浮动定位装置 |
-
1991
- 1991-07-16 JP JP19979991A patent/JP3112512B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523941A (ja) | 1993-02-02 |
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