JPH0330352A - 半導体ウエハ検査治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体ウエノ１を目視検査するために使用さ
れる半導体ウェハ検査治具に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の半導体ウェハ（以下ウェハという）検査
治具を示す断面図で、図において、（１）はウェハを支
持する検査板、（２）はウェハである。

次に動作について説明する。

ウェハ（２）を検査板（１）に載せることにより、ウェ
ハ（２）を１枚づつ持ち運びして、そのまま表面を裸眼
及び顕微鏡等で目視検査をする。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ検査治具は、ウェハをのせた場合、ウェハ
の裏面が検査板に全面で接触し、裏面が汚染され、又、
ウェハの裏面を検査する場合は、表面が圧接され、傷つ
き汚染されるなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、ウェハを載せた場合ウェハが検査板上で外周
部のみ支持され、ウェハをのせかえることなくウェハの
表面と裏面の両方を検査できる半２４体ウェハ検査治具
を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体ウェハ検査治具は、大口径ののぞ
き窓をあけた検査板本体と、同じく大口径ののぞき窓を
あけたふたとで、ウェハを挾み固定することにより、ウ
ェハをウェハの外縁部で支持し、ウェハ自身をのせかえ
ることなく、ウェハの表面と裏面の両方を検査しようと
するものである０ 〔作　用〕 この発明における半導体ウニノー検査治具は、大口径の
のぞき窓をあけた検査板本体と、同じく大口径の、のぞ
き窓をあけたふたとで、ウエノ１を挾み固定することＫ
より、ウェハがウエノ為外碌部で支持され、ウェハ自身
をのせかえろことなく、ウェハの表面と裏面の両方が検
査できる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図、第２図において、（１）はウェハを支持する検査板
本体、（３）はウエノ１を挾み固定するふた、（２）は
検査板本体（１）とぶな（３）とにより挾み固定された
ウェハである。

次に動作について説明する。ウニ／５（２）を検査板本
体（１）とふた（３）とにより挾み固定することにより
、ウェハをのせかえることなく、検査板本体（１）にあ
けた大口径のぞき窓（４）により、あるいはふた（３）
にあけた大口径のぞき窓（５）により、ウェハの表面、
裏面の両面の目視検査をそれぞれ行なうことができる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、半導体ウエノ１検査治
具の検査板本体に大口径のぞき窓をあけ、さらに同じく
大口径のぞき窓をあけたふたを投けることにより、ウェ
ハの表面や裏面を圧接したり傷をつけたりまた汚染した
りすることなくなおかつ、ウェハをのせかえずにウェハ
の表面、裏面を検査することができ、検査することによ
る品質低下を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はこの発明の一実施例による半導体ウェ
ハ検査治具の平面図および断面図、第３図は従来の半導
体ウェハ検査治具の断面図である。 図において、（１）はクエへをのせる検査板本体、（３
）はふた、（２）はウェハ、（４）、（５）は検査板本
体及びふたにあけられた大口径のぞき窓を示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示Ｔ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウェハを検査する際に使用する半導体ウェハ検査
   板にふたを設けるとともに検査板本体およびふた双方に
   、大口径ののぞき窓をあけたことを特徴とする半導体ウ
   ェハ検査治具。