KR20180050228A - 스캐닝 음향 현미경용 조절가능 고정구 - Google Patents

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Abstract

스캐닝 음향 현미경을 사용하는 검사를 위해 샘플을 유지시키기 위한 조절가능 고정구는, 프레임의 제1 단부에 배치되 제1 수평 바아 및 프레임의 제2 단부에 배치되는 제2 수평 바아를 포함한다. 제2 수평 바아는 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 움직일 수 있도록 프레임과 결합될 수 있다. 조절가능 고정구는, 프레임의 제1 측부와 제2 측부 중의 하나 이상에 배치되는 측면 바아(제2 수평 바아의 일 단부가 측면 바아를 따라 슬라이딩 가능하고 록킹 가능함), 및 제2 수평 바아의 일 단부를 측면 바아에 해제 가능하게 연결하는 결합 기구를 더 포함할 수 있다.

Description

스캐닝 음향 현미경용 조절가능 고정구{ADJUSTABLE FIXTURE FOR SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPY}
스캐닝 음향 현미경을 사용하면, 초음파를 사용하여 대상(본 명세서에서 "샘플"이라고도 함)의 스캐닝된 영상을 얻을 수 있다. 어떤 스캐닝 음향 현미경에서, 샘플은 유체의 탱크 안에서 제자리에 유지되고, 전달 트랜스듀서에서 나온 초음파 펄스의 쏘임을 스캔 패턴으로 다수의 위치에서 받게 된다. 이를 위해, 일반적으로 고정구를 사용하여 샘플을 제자리에 유지시킨다.
따라서 스캐닝 음향 현미경을 사용하여 다른 크기와 형상의 샘플을 스캐닝할 수 있고, 이 경우 각각의 다른 샘플에 대해 일반적으로 맞춤형 고정구가 필요하다. 그러므로, 스캐닝 음향 현미경 시스템 또는 이의 사용자는 많은 다른 고정구들을 필요로 할 수 있고, 한 맞춤형 고정구에서 다른 것으로 변경하게 되는데, 그래서, 고정구가 대체되고 상호 교환됨에 따라, 스캐닝에 이용 가능한 시간이 줄어들 수 있다.
예컨대 스캐닝 음향 현미경에 의해 검사 및 스캐닝될 다른 크기와 형상의 샘플을 유지시킬 수 있는 고정구가 필요하다.
첨부 도면은, 다양한 대표적인 실시 형태를 더 충분히 설명하는데에 사용될 것이고 또한 개시된 대표적인 실시 형태 및 이의 내재적인 이점을 더 잘 이해하기 위해 당업자에 의해 사용될 수 있는 시각적인 표현을 제공한다. 도면은 척도에 따를 필요는 없고, 대신에, 본 명세서에서 설명하는 장치, 시스템 및 방법의 원리를 도시하는데에 강조가 주어진다. 이 도면에서, 유사한 참조 번호는 대응하는 요소를 나타낼 수 있다.
도 1은 일 대표적인 실시 형태에 따른 조절가능 고정구를 도시한다.
도 2는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 3은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 도 2의 조절가능 고정구의 상면도를 도시한다.
도 4는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 수용하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 5는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 6은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 웨이퍼 홀더를 갖는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 7은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 어댑터 판 및 웨이퍼 홀더를 갖는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 8은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구의 일 부분의 확대도를 도시한다.
도 9는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 국제 반도체 표준 협의기구(JEDEC) 트레이를 유지하는 조절가능 고정구의 사진이다.
도 10은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 스트립 샘플을 유지하는 조절가능 고정구의 사진이다.
도 11은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 웨이퍼 홀더를 갖는 조절가능 고정구의 사진이다.
도 12는 일 대표적인 실시 형태에 따른 조절가능 고정구 안으로 샘플을 삽입하는 것을 도시한다.
도 13은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 14는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 클램프 죠오를 도시한다.
도 15는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구의 단면도를 도시한다.
도 16는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 17은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 클램프의 사진이다.
도 18은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 19는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구의 일 부분의 사진이다.
도 20은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 안내 레일을 도시한다.
도 21은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 스프링 클램프를 도시한다.
도 22는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 23은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 유지하는 조절가능 고정구를 도시한다.
도 24는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 스프링 클램프를 도시한다.
도 25는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 클램프를 도시한다.
도 26은 일 대표적인 실시 형태에 따른 샘플 검사 방법의 흐름도이다.
본 명세서에서 설명되는 다양한 방법, 시스템, 기구 및 장치는 일반적으로 샘플의 검사를 위해 샘플을 스캐닝 음향 현미경에 유지시켜 고정하는 것을 포함한다.
본 발명은 많은 다른 형태의 실시 형태가 가능하지만, 특정 실시 형태가 도면에 나타나 있고 본 명세에서 상세히 셜명될 것이며, 본 개시는 본 발명의 원리의 일 예로서 생각되어야 하며 또한 본 발명을 나타나 있고 설명되는 특정 실시 형태에 한정하고자 하는 것은 아님을 이해할 것이다. 아래의 설명에서, 유사한 참조 번호는 도면 중의 여러 도에서 동일하거나 유사하거나 또는 대응하는 부분을 설명하기 위해 사용될 수 있다.
본 명세서에서, 제1, 제2, 정상, 바닥 등과 같은 관계적 용어는, 한 실체 또는 행위를 다른 실체 또는 행위와 구별하기 위해서만 사용될 수 있고, 그러한 실체 또는 행위 사이에 실제적인 그러한 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 암시하는 것은 아니다. "포함한다", "포함하는", "갖는다", "갖는" 또는 이의 다른 변형어는 비배타적인 포함을 포괄하도록 되어 있으며, 따라서 일련의 요소를 포함하는 공정, 방법, 물품, 또는 장치는, 그들 요소만 포함하는 것은 아니고, 명시적으로 열거되지 않은 또는 그러한 공정, 방법, 물품, 또는 장치에 내재적인 다른 요소도 포함할 수 있다. 어떤 요소를 "포함한다" 라고 할 때, 그 요소는, 더 많은 구속 요건 없이, 그 요소를 포함하는 는 공정, 방법, 물품 또는 장치에서 추가적인 동일한 요소의 존재를 배제하지 않는다.
본 명세서서 전체에 걸쳐 "하나의 실시 형태", "어떤 실시 형태", "일 실시 형태", "실행예(들)", "양태(들)" 또는 유사한 용어는, 실시 형태와 관련하여 설명되는 특정한 사항, 구조 또는 특징이 본 발명의 적어도 하나의 실시 형태에 포함된다는 것을 의미한다. 따라서, 본 명세서 전체에 걸쳐 여러 곳에 존재하는 그러한 문구는 반드시 모두 동일한 실시 형태를 언급하는 것은 아니다. 또한, 특정한 사항, 구조 또는 특징은 제한 없이 하나 이상의 실시 형태에서 어떤 적절한 방식으로도 조합될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어 "또는"은 포괄적인 것으로 또는 임의의 하나 또는 임의의 조합을 의미하는 것으로 해석되어야 한다. 그러므로, "A, B 또는 C"는 "A; B; C; A 및 B; A 및 C; B 및 C; A, B 및 C 중의 어느 하나"를 의미한다. 이러한 정의에 대한 예외는, 요소, 기능, 단계 또는 행위의 조합이 어떤 식으로 원래 서로 배타적일 때에만 생길 것이다. 또한, 문법적인 접속사는, 다른 언급이 없거나 또는 문맥으로부터 명확하지 않다면, 접속된 절, 문장, 단어 등의 모든 이접적 조합 및 접속적인 조합을 표현하는 것이다. 따라서, "또는" 이라는 용어는 일반적으로 "및/또는" 등을 의미하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 언급된 모든 문헌은 본원에 전체적으로 참조로 관련된다. 단수 표현의 항목은, 명시적인 다른 언급이 없거나 문맥으로부터 명확하지 않다면, 복수 표현의 항목도 포함하고 또한 그 반대도 가능한 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 값의 범위는 한정적인 것이 아니고, 다른 언급이 없다면, 대신에 그 범위 내에 있는 임의의 그리고 모든 값을 개별적으로 말하는 것이고, 그 범위 내에 있는 각각의 개별적인 값은 마치 본 명세서에 개별적으로 언급되는 것처럼 명세서에 포함된다. "약", "대략" 등의 단어는, 수치 값을 동반하는 경우, 당업자는 아는 바와 같이, 의도된 목적을 위해 만족스럽게 작용하기 위해 어떤 편차를 나타내는 것으로 해석되어야 한다. 본 명세서에서 값 및/또는 수치 값의 범위는 단지 예로서 제공된 것이고, 설명되는 실시 형태의 범위를 제한하는 것은 아니다. 본 명세서에 제공되는 임의의 그리고 모든 예 또는 예시적인 언어("예컨대", "∼와 같은" 등)는, 실시 형태를 더 잘 나타내기 위한 것에 불과하며 그 실시 형태의 범위를 한정하지 않는다. 본 명세서 내의 언어는 실시 형태의 실행에 본질적인 청구되지 않은 요소를 나타내는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
도시의 단순성과 명료성을 위해, 도들 간에 참조 번호가 반복되어, 대응하거나 유사한 요소를 나타낼 수 있다. 많은 상세는 본 명세서에서 설명되는 실시 형태의 이해를 제공하기 위해 제시된다. 실시 형태는 이들 상세 없이 실행될 수 있다. 다른 경우, 잘 알려져 있는 방법, 절차, 및 부품은 설명되는 실시 형태를 모호하게 하는 것을 피하기 위해 상세히 설명되지 않았다. 설명은 본 명세서에서 설명되는 실시 형태의 범위에 제한되는 것으로 생각되어서는 아니 된다.
이하의 설명에서, "제1", "제2", "정상", "바닥", "위", "아래", "위쪽", "아래쪽" 등의 용어는 편의를 위한 단어이고, 한정적인 용어로서 해석되지 않아야 함을 이해할 것이다. 또한, 기구 및 장치라는 용어는 본 명세서에서 상호 교환적으로 사용될 수 있다.
스캐닝 음향 현미경은 초음파를 사용하여 대상을 촬상할 수 있다. 일부 스캐닝 음향 현미경에서, 대상은 유체의 탱크 안에서 제자리에 유지되고 다수의 위치에서 전달 트랜스듀서로부터 나온 초음파 펄스의 쏘임을 받게 된다. 반사되어 전달된 초음파는 수신 트랜스듀서에서 감지될 수 있고 분석되어 대상의 영상을 형성할 수 있다. 탱크 내의 유체는 대상과 트랜스듀서 간에 초음파를 연결한다.
일반적으로, 본 명세서에서 설명되는 장치, 시스템, 및 방법은 스캐닝 음향 현미경 등을 사용하는 검사를 위해 대상을 유지 및 고정시키기 위한 조절가능 고정구 또는 조절가능 고정구의 사용을 포함할 수 있다. 조절가능 고정구를 논의할 때 지지, 안정화, 유지, 고정 등 중의 하나 이상은, 명시적인 다른 언급이 없거나 문백상 명확하지 않다면, 임의의 또한 모든 그러한 용어를 포함하는 것으로 이해될 것이다. 또한, 스캐닝, 검사, 측정, 분석, 촬상 등(예컨대, 스캐닝 음향 현미경에 의해) 중의 하나 이상은, 명시적인 다른 언급이 없거나 문백상 명확하지 않다면, 임의의 또한 모든 그러한 용어를 포함하는 것으로 이해될 것이다. 따라서, 본 개시는 스캐닝 음향 현미경을 사용하는 "스캐닝", "촬상" 또는 "검사"를 언급할 수 있지만, 본 명세서에서 설명되는 기술은, 분석을 위해 샘플이 고정되는 스캐닝 음향 현미경 또는 유사한 장치의 다른 기능을 위해서도 사용될 수 있다. 이렇게 해서, 본 개시에서 "스캐닝 음향 현미경"과 함께 조절가능 고정구의 사용은 또한 또는 대신에, 명시적인 다른 언급이 없거나 문맥으로부터 명확하지 않다면, 유사한 장치에 의한 사용도 포함할 수 있음을 이해할 것이다.
본 명세서에서, 스캐닝될 대상을 일반적으로 "샘플"이라고 하는데, 이는 스캐닝 음향 현미경 등을 사용하는 검사, 스캐닝 또는 촬상을 위해 유지되는 대상 또는 물품을 포함하는 것으로 이해되며, "샘플"은 단일의 대상, 홀더(예컨대, 프레임, 어댑터 판, 지지 표면 등) 내에 있는 단일의 대상, 복수의 대상, 또는 홀더 내에 있는 복수의 대상을 포함할 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 샘플은 또한 또는 대신에 국제 반도체 표준 협의기구(JEDEC) 트레이, 스트립 샘플, 웨이퍼 샘플, 보드 샘플, 및 이것들의 조합을 포함할 수 있다.
본 명세서에서 설명하는 바와 같이, 본 교시는, 스캐닝 음향 현미경에 의한 검사를 위해 다른 종류, 크기, 형상, 중량 등의 샘플 및 샘플 홀더를 유지시키기 위해 조절될 수 있는 스캐닝 음향 현미경용 조절가능 고정구를 포함한다. 예컨대, 조절가능 고정구는, 단일 마이크로전자 패키지, 마이크로전자 패키지의 트레이 홀더(예컨대, JEDEC 표준에 부합하는 트레이 홀더), 마이크로전자 패키지의 다양한 크기의 보트 홀더, 다양한 크기의 마이크로전자 스트립, 다양한 크기의 마이크로전자 웨이퍼 및 결합형 웨이퍼(예컨대, 자체으로 또는 웨이퍼 홀더에서 최대 300 mm의 직경을 갖는) 등을 유지시키기 위해 조절될 수 있다. 조절가능 고정구는 다양한 샘플 종류에 대해 펄스 에코(PE) 검사 모드와 관통 투과(TT) 검사 모드 중의 어느 하나 또는 둘 모두의 사용을 가능하게 해주고, 조절가능 고정구는 개선된 검사를 위해 샘플을 움직이지 않게 유지시킬 수 있고 또한 샘플의 뒤틀림을 최소화할 수 있다. 본 교시의 조절가능 고정구는 샘플을 그의 가장자리에서 고정할 수 있고, 그래서 샘플 아래의 영역은 실질적으로 비어있고(clear), 여기서 "실질적으로 비어있다" 라는 말은, 샘플이 스캐닝 음향 현미경을 통해 적절히 검사될 수 있는 조건을 포함하는 것으로 이해될 것이다. 이렇게 해서, 조절가능 고정구는 거의 무한한 수의 샘플 종류에 대한 TT 검사를 가능하게 해준다. 또한, 샘플을 그의 가장자리에서 고정하는 것은, 조절가능 고정구의 일 요소가 조금이라도 샘플 가장자리 위쪽으로 단지 최소한으로 연장되어 있는 것을 포함할 수 있고, 그래서, 예컨대, 초음파 트랜스듀서와 조절가능 고정구 간에 충돌이 일어날 위험이 제한된다.
종래 기술의 다른 고정구는 본 교시에 비해 상당한 제한을 가질 수 있는데, 종래 기술의 여러 다른 고정구를 아래에서 예시적으로 논의한다.
JEDEC 트레이 크기의 고정구가 당 업계에서 사용되고 있다. 즉, 종래 기술에 있는 가장 일반적인 종류의 고정구 중의 하나는, JEDEC 트레이의 x-방향 치수에 맞도록 조절될 수 있는 슬라이딩 C-클램프를 갖는 직사각형 프레임을 포함하고, y-방향 치수는 JEDEC 트레이의 y-방향 치수에 고정되어 있다. 이러한 JEDEC 트레이 크기의 고정구가 유용한데, 왜냐하면, 처음에, 스캐닝 음향 현미경은 마무리된 마이크로전자 패키지를 검사하는데에 사용되었기 때문이다. 일반적으로, 이들 유닛은 JEDEC 트레이로 전달되었으며, 이 트레이는 트레이의 외부 치수에 대한 JEDEC 가이드라인을 따르지만, 특정한 마이크로전자 패키지에 적절히 맞도록 다양한 내부 치수를 가질 수 있다. 그런 다음, 적어도 몇개의 마이크로전자 패키지를 갖는 JEDEC 트레이가 검사될 샘플을 위한 스캐닝 음향 현미경 안으로 로딩되었다.
어떤 경우에, JEDEC 트레이에 없는 개별적인 부품이 또한 검사 되었다. 이는 일반적으로 JEDEC 트레이 크기의 고정구 안으로 끼워지는 JEDEC 크기의 판을 사용하여 행해졌으며, 샘플(들)은 검사를 위해 그 판 위에 배치되었다. 이러한 경우, 종종 양면 테이프를 사용하여 샘플을 검사를 위해 제자리에 고정시켰다. 그러나, TT 검사의 경우, 테이프는 초음파의 전파를 종종 방해할 것이며, 그래서 샘플(들)은 횡방향 움직임이 제한되도록 양면 테이프의 가장자리에 또는 2개의 직각 자(ruler) 사이에 배치되어야 했다. 처음에, 플라스틱 판이 사용되었지만(이 플라스틱 판은 (감쇠 효과를 최소화하기 위해) PE의 경우에 더 두껍고 TT의 경우에는 더 얇다), 시간이 지남에 따라 플라스틱 판은 물을 흡수하여 뒤틀릴 수 있다. PE의 경우에 평평도를 더 잘 유지하기 위해 그리드 라인을 갖는 스테인레스강 판이 사용되었지만, 스레인레스강 판은 TT 신호가 수신기에 도달하는 것을 허용하지 않고, 그래서 플라스틱 판이 여전히 TT 검사에 사용되고 있다.
다른 경우에, 샘플은 JEDEC 트레이가 아닌 보트로 전달되었다. 이들 보트는 크기가 변할 것이지만, JEDEC 트레이용으로 설계된 종래 기술의 고정구가 JEDEC 트레이 크기의 보트에만 사용될 수 있다. 이러한 방안의 한계로서, (a) 고정구는 JEDEC 트레이 또는 샘플 판의 뒤틀림을 최소화하도록 설계되어 있지 않고, (b) 수중 부착을 유지하고 샘플 상에 잔류물이 남지 않도록 하기 위해서는 특정한 양면 테이프를 사용해야 하며, (c) 샘플을 유지하기 위해 자를 사용하는 경우, 여전히 어는 정도의 "흔들림" 또는 처짐이 있을 수 있고 그래서 스캔 속도를 줄일 필요가 있고 처리량이 감소되며, 그리고 (d) 보트는 JEDEC 트레이 치수에 제한될 수 있다.
당 업계에서 스트립 샘플이 사용되고 있다. 스캐닝 음향 현미경의 사용이 마이크로전자 산업에서 성숙됨에 따라, 제조 공정에서 더 이른 단계에서 샘플을 검사하는 것이 바람직하게 되었다. 이러한 더 이른 단계 중의 하나가, 샘플이 스트립 형태로 있는, 즉 샘플이 개별 패키지로 분리되지 않은 때이다. 대신에, 샘플은 기판 재료의 스트립 상에 결합되고 오버 몰딩되었거나 그렇지 않을 수 있다. 스트립 치수는 넓게 변할 수 있고 기판 재료는 가요적이어서, 전체 스트립에 걸쳐 샘플 을 평평하게 유지시키는 것이 어렵게 된다.
종래 기술의 일 방안에서, 스트립이 JEDEC 트레이 보다 작다고 가정하면, 스트립은 검사를 위해 단순히 JEDEC 트레이 크기의 판 상에 배치된다. 이러한 방안에서의 어려움으로서, 양면 테이프를 사용하여 스트립을 제자리에 유지하는 경우, 스트립이 테이프로부터 제거될 때 그 스트립이 위로 말리는 경향이 있다. 그리고 가장자리에서 테이프를 더 적게 사용하면, 검사 중에 스트립에 주어질 수 있는 평평도가 제한되는 경향이 있다. 따라서, 이 기술을 사용해서는 일반적으로 한번에 스트립의 더 작은 부분만 행해질 수 있다. 또한, 테이프가 사용되지 않으면, 스트립은 위로 말리고, 스캐닝 중에 앞뒤로 흔들리거나 또는 스캐닝 중에 다른 식으로 움직이게 된다. 이 방안의 추가 한계는, 테이프 또는 판이 TT 검사 능력을 제한할 수 있다는 것이다.
다른 방안은 웨이퍼 척(chuck) 등을 사용하여 웨이퍼 샘플을 검사하는 것을 포함한다. 즉, 마이크로전자 샘플은 여전히 웨이퍼 상태로, 예컨대 웨이퍼 샘플로서 있을 때 검사될 수 있다. 웨이퍼 샘플은 스캐닝 음향 현미경을 사용하는 검사를 위해 결합형 웨이퍼를 포함할 수 있다. 이렇게 해서, 스캐닝 시스템은 결합형 웨이퍼 검사에 사용되는 전공정(front-end) 제작 환경에 있을 수 있다. 표준적인 방안은 웨이퍼 샘플을 평평하게 유지시키기 위해 웨이퍼 척 등을 사용하는 것일 수 있다. 웨이퍼 척은 금속 또는 세라믹일 수 있고, 다양한 구멍 패턴, 흡입 컵, 포스트 및 다공성 재료 방안을 갖는다. 웨이퍼 척은 웨이퍼 샘플 자체에 대한 최소한의 오염만 주면서 웨이퍼 샘플을 유지시키는 경향이 있다. 이들 시스템에서, 검사 영역에서 가압된 수막을 사용하여 물 접촉을 제한할 수 있다. 그러나, 어떤 종류의 웨이퍼 뒤틀림은 평평하게 끌어 당기거나 또는 그에 대한 충분한 연결을 이루는 것이 어려울 수 있다. 또한, TT 검사는 웨이퍼 척으로는 가능하지 않을 수 있다. 또한, 실험실 또는 연구/개발 환경에서는, 종종 불충분한 공간이 있어 완전 자동화된 시스템이 필요하게 되며, 또한 많은 경우에 웨이퍼 샘플은 검사되는 유일한 샘플이 아니다. TT가 일반적으로 가능하지 않을 수 있지만, 웨이퍼 척이 여전히 일반적인 방안으로 남아 있다. 따라서, 샘플 종류들 간의 전환을 하기 위해, 웨이퍼 척을 탱크로부터 완전히 제거하여, 대안적인 고정구로 대체할 수 있고, 그런 다음 고정구가 수평 맞춤된다. 또한, 샘플의 다양한 스트립 및 패키지를 위해 수조(water bath)가 필요할 수 있다. 예컨대, 웨이퍼 샘플에 TT가 요구되면, 수조가 필요할 수 있고 웨이퍼는 적어도 2개의 JEDEC 트레이 크기의 고정구에서 균형 잡힐 수 있다. 대안적으로, 웨이퍼 샘플은 웨이퍼 홀더에 배치될 수 있고, 그런 다음 웨이퍼 홀더는 적어도 2개의 JEDEC 트레이 크기의 고정구에서 균형 잡히게 된다. 이 방안의 한계로서, 웨이퍼 샘플이 스캐닝 중에 움직일 수 있고 고정구에 있는 지지 바아가 TT 영상에서 초음파 발생 섀도우(샘플에 있는 잠재적인 결함을 감출 수 있음)를 흩어지게 할 수 있다.
다른 방안은 보드 샘플의 검사를 포함한다. 따라서, 검사될 수 있는 다른 샘플 종류는 장착된(populated) 또는 장착되지 않은 인쇄 회로 기판(PCB)을 포함할 수 있다. 이 검사는 일반적으로 보드 샘플의 층 내에서의 층간 박리를 찾는 것을 동반한다. 가장 일반적인 방안은 층 내의 결함을 찾기 위해 TT 검사를 사용하는 것이다. 특정한 층 정보가 필요하면, 펄스 에코(PE) 검사를 사용할 수 있다. 보드 샘플이 JEDEC 트레이 보다 작으면, 그 보드 샘플은 표준적인 JEDEC 트레이 크기의 고정구에 배치될 수 있다. 그러나, 샘플을 제자리에 고정시키는 것은 어려울 수 있는데, 이 결과 스캐닝 중에 움직임이 일어날 수 있다. 보드 샘플이 JEDEC 트레이 보다 크면, 위에서 논의한 웨이퍼의 경우에서 처럼 샘플은 하나 또는 2개의 JEDEC 트레이 크기의 고정구에서 균형 잡히는 경향이 있는데, 이 또한 유사한 한계를 가지고 있다.
다른 크기의 샘플을 유지시키기 위한 다른 방안이 이전에 시도되었지만, 역시 상당한 한계를 가지고 있다. 여러 개의 그러한 방안을 아래에서 논의하도록 한다.
제1 방안에서, y-방향 프레임 라인을 갖는 스트립 샘플 위에 금속 프레임이 배치되는데, 이 금속 프레임은 스트립 샘플 상에 있는 장치 어레이 부분들 사이에 있도록 세팅된다. 그러나, 금속 프레임의 두께는 장치의 높이를 초과할 수 없거나 또는 충돌 위험이 있을 수 있기 때문에, 이는 금속 프레임의 중량 및 스트립 샘플을 평평하게 하고 제자리에 유지시키는 그의 능력을 제한하게 된다. 또한, 각각의 스트립 레이아웃에 대해서는 다른 프레임이 필요할 것이다. 그리고, TT 검사의 경우, 판의 아래쪽 영역이 TT 신호를 제한할 수 있다.
제2 방안은 샘플 아래에서 자화(magnetized) 판을 사용한다. 어떤 경우에, 기판의 자기력을 의해 스트립 기판이 평평하게 끌어 당겨질 수 있지만, 어떤 경우에는, 자석에 부착되어 있는 금속 프레임을 사용하여 스트립을 더 평평하게 한다. 그러나, 일부 스트립 샘플만 자석에 충분히 부착될 수 있고, 또한, 프레임 두께에 대한 제한 및 각 스트립 레이아웃에 대해 다른 프레임을 가질 필요성이 여전히 존재한다. 또한, 자화 판은 TT 검사를 가능하게 하지 않는다.
제3 방안은, 스트립을 평평하게 끌어당기기 하기 위해 메쉬 패턴의 와이어를 갖는 프레임을 스트립 샘플 위에 두는 것이다. 그러나, 이 방안의 어려움으로서, 와이어가 초음파를 흩트릴 수 있는데, 이러면, 장치의 영역을 감추는 섀도우가 샘플 영상에 생길 수 있다(PE 및 TT 모두를 사용하여). 따라서, 와이어 아래에 있는 영역에 결함이 존재하는지를 아는 것이 가능하지 않을 수 있다. 또한, 와이어와 트랜스듀서 간에 충돌의 위험이 있을 수 있다.
제4 방안은 스트립 샘플을 평평하게 끌어당기기 위해 진공 척을 사용하는 것이다. 이 방안의 버젼은 표준적인 진공 및 베르누이 효과(공기 또는 물 운동을 갖는)를 사용할 수 있다. 이 방안은 스트립을 평평하게 끌어당기는 경향은 있지만, 값비싸고, 진공 라인에서 물과 공기를 분리시키는 방법을 필요로 하고, 샘플을 부착하기 위해 고정구를 물 밖으로 들어올리는 방법을 필요로 하는 경향이 있으며, 또한 TT 검사를 수행하는 방법은 제공하지 않는다.
제5 방안은 스트립 샘플을 지지 판에 대해 평평하게 유지시키기 위해 클립을 사용하는 것이다. 클립은 위치로 회전되어 조여질 수 있고, 또는 일종의 스프링 클립이 사용되어 샘플을 유지시키고, 해제하고 또한 교체할 수 있다. 이 방안의 단점으로서, 클립은 충돌을 피하기 위해 스트립 샘플의 높이 보다 더 높게 위치될 수 없고, 그래서, 스트립 샘플을 평평하게 하기 위해 사용될 수 있는 힘의 양이 제한된다. 또한, 샘플이 각 클립에 대해 여러 번 움직일 수 있어, 이 방안은 사용자 집중적이고 시간 소비적이다. 또한, 금속 클립은 스트립 샘플을 긁거나 손상시킬 수 있고, 지지 판은 TT 검사를 가능하게 하지 않을 수 있다.
그러므로, 본 교시에 따른 장치, 시스템, 및 방법이 위에서 언급한 결점을 극복하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 본 명세서에 설명되는 바와 같은 조절가능 고정구가 위에서 언급한 결점을 극복할 수 있다.
어떤 실시 형태에서, 조절가능 고정구는 적어도 2개의 수평 바아, 예컨대 제1 수평 바아 및 제2 수평 바아를 사용하여 작동되며, 하나 이상의 수평 바아가 서로에 대해 움직일 수 있다. 예컨대, 제2 수평 바아는 검사될 샘플의 크기에 따른 위치로 조절될 수 있고, 스프링 로딩되는 제1 수평 바아는 샘플이 로딩될 수 있게 해주고 또한 샘플을 제자리에 단단히 유지시킬 수 있다. 일단 제2 수평 바아가 위치해 있으면, 제1 수평 바아에 배치되어 있는 홈(예컨대, "v-홈") 등의 안으로 샘플을 끼워 넣고, 제2 수평 바아에 배치되어 있는 대응하는 홈(예컨대, "v-홈") 등의 안으로 샘플의 일측이 로딩될 수 있도록 스프링 요소에 대항하여 제1 수평 바아를 누르고 그런 다음에 제1 수평 바아를 해제하여 샘플을 눌러 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이의 제자리로 가게 함으로써, 복수의 샘플을 신속하게 또한 쉽게 로딩할 수 있다. 이 구성은, 샘플을 유지시키는 것 외에도, 샘플의 뒤틀림을 평평하게 하는데에도 도움을 줄 수 있다.
조절가능 고정구의 추가적인 특징적 사항은, 고정되는 샘플에 따라 수평 바아를 원하는 위치로 움직이는 것을 용이하게 하기 위한 "신속 해제" 캠 레버 등, 다른 샘플 종류에 대해 수평 바아의 적절한 설정을 이루는 것을 용이하게 하기 위한 그리드 라인 등, 조절가능 고정구를 스캐닝 면과 정렬시키는 수평 맞춤 스크류 등, 스캐닝 음향 현미경의 탱크 벽에 대해 조절가능 고정구를 록킹하고 또한 조절가능 고정구의 정렬을 유지하는 측면 핀 등, 및 샘플의 위치를 보장하기 위해 수평 바아에 있는 위치 설정 기구(예컨대, 핀, 클램프 등)를 포함할 수 있다.
도 1은 대표적인 실시 형태에 따른 조절가능 고정구(100), 예컨대, 스캐닝 음향 현미경(160)을 사용하는 검사를 위해 샘플을 유지하기 위한 조절가능 고정구(100)를 도시한다. 조절가능 고정구(100)는 프레임(101), 수평 바아(예컨대, 제1 수평 바아(110) 및 제2 수평 바아(120)), 하나 이상의 측면 바아(130), 측벽(예컨대, 제1 측벽(140) 및 제2 측벽(141)), 및 결합 기구(150)를 포함할 수 있다.
조절가능 기구(100)는, 샘플 아래의 영역(샘플의 아래쪽)이 비어있고 또한 스캐닝 음향 현미경(160) 등으로 검사하는데에 방해받지 않도록 가장자리에서(그리고 다른 어느 곳은 아닌) 또는 실질적으로 가장자리에서 샘플을 고정하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 이렇게 해서, 샘플을 실질적으로 그의 가장자리에서 또는 그의 가장자리를 따라 고정 또는 유지시킴으로써, 다양한 종류의 샘플에 대한 TT 검사가 가능하게 된다. 또한, 샘플을 실질적으로 그의 가장자리에서 또는 가장자리를 따라 샘플을 고정 및 유지시킴으로써, 조절가능 기구(100)의 일부분만이 샘플 가장자리의 위쪽으로 최소한으로 연장되어, 스캐닝 음향 현미경(160)의 초음파 트랜스듀서와 조절가능 고정구(100)의 일부분 사이에 충돌이 일어날 위험이 제한된다. 또한 또는 대신에, 조절가능 고정구(100)의 일부분은 스캐닝을 방해하도록 샘플의 위쪽으로(샘플 위로) 돌출하지 않을 수 있다. 일반적으로, 조절가능 고정구(100)는, 수평 바아 중의 하나 이상을 검사 대상 샘플에 대해 원하는 위치로 조절하여 작동될 수 있고, 수평 바아 중의 하나 이상은 스프링 로딩되어, 샘플을 쉽게 로딩할 수 있고 또한 샘플을 조절가능 고정구(100) 내에서 제자리에 단단히 유지할 수 있다.
프레임(101)은 제1 단부(102), 제2 단부(103), 제1 측부(104), 및 제2 측부(105)를 포함할 수 있다. 프레임(101)은, 금속, 세라믹, 플라스틱, 복합재료 및 이것들의 조합물을 비한정적으로 포함하여, 샘플을 지지하기에 충분한 안정성을 제공하는 재료로 만들어질 수 있다.
수평 바아는 제1 수평 바아(110) 및 제2 수평 바아(120)를 포함할 수 있다. 일반적으로 그리고 아래에서 설명하는 바와 같이, 수평 바아 중의 적어도 하나는 샘플을 조절가능 고정구(100)에 고정하기 위해 조절을 위해 움직일 수 있다. 또한 또는 대신에, 수평 바아 중의 적어도 하나는 스프링 로딩될 수 있다. 일반적으로 2개의 수평 바아를 갖는 조절가능 고정구(100)가 나타나 있지만, 더 많은 수평 바아도 가능함을 이해할 것이다. 예컨대, 일 대안적인 조절가능 고정구는 3개의 수평 바아를 포함할 수 있는데, 이 경우, 제1 샘플은 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이에 유지될 수 있고, 별개의 제2 샘플은 제2 수평 바아와 제3 수평 바아 사이에 유지될 수 있다.
제1 수평 바아(110)는 프레임(101)의 제1 단부(102)에 배치될 수 있고, 제2 수평 바아(120)는 프레임(101)의 제2 단부(103)에 배치될 수 있다. 제1 수평 바아(110)는 샘플의 제1 단부와 결합하도록 구조적으로 구성된 제1 면(112)을 포함할 수 있고, 제2 수평 바아(120)는 제1 면(112)과 대향하는 제2 면(122)을 포함할 수 있으며, 제2 면(122)은 샘플의 제2 단부와 결합하도록 구조적으로 구성되어 있다. 따라서, 제1 면(112)과 제2 면(122)은 일반적으로 샘플과 결합하도록 구조적으로 구성된 대향 표면들을 포함할 수 있다. 아래에서 더 상세히 설명하는 바와 같이, 제2 수평 바아(120)는 프레임(101)의 제1 단부(102)와 제2 단부(103) 사이에서 움직일 수 있도록 프레임(101)과 결합될 수 있다.
조절가능 고정구(100)는 하나 이상의 측면 바아(130)를 포함할 수 있다. 측면 바아(130)는 프레임(101)의 제1 측부(104)와 제2 측부(105) 중의 하나 이상에 배치될 수 있다. 제2 수평 바아(120)의 일 단부(예컨대, 제2 수평 바아의 제1 단부(124)와 제2 단부(326) 중의 하나 이상 - 아래에서 설명하는 도 3 참조)는 측면 바아(130)를 따라 슬라이딩 가능하고 또한 록킹 가능하다. 이를 위해, 조절가능 고정구(100)는, 제2 수평 바아(120)의 일 단부(예컨대, 제2 수평 바아의 제1 단부(124)와 제2 단부(326) 중의 하나 이상 - 아래에서 설명하는 도 3 참조)를 측면 바아(130)에 해제 가능하게 연결하는 결합 기구(150)를 포함할 수 있다. 본 개시 전체에 걸쳐 사용되는 "록킹" 등의 용어 및 이의 변형어는 해제 가능한 연결 또는 고정을 포함하는 것으로 이해하면 되는데, 예컨대, 스캐닝 음향 현미경(160)을 통한 검사와 같은 의도된 목적을 위해 한 구성품이 다른 구성품에 대해 해제 가능한 방식으로 충분히 연결되거나 고정되어 유지된다.
위에서 논의한 바와 같이, 수평 바아 중의 적어도 하나는 스프링 로딩될 수 있다. 예컨대, 제1 수평 바아(110)는 하나 이상의 스프링 요소를 통해 스프링 로딩될 수 있다. 이렇게 해서, 스프링 요소의 스프링력 보다 큰 힘이 제1 면에 가해지면, 제1 면(112)이 프레임(101)의 제1 단부(102) 쪽으로 움직일 수 있다. 스프링력은, 샘플의 제1 단부를 받을 때 제1 면(112)이 프레임(101)의 제1 단부(102) 쪽으로 움직일 수 있도록 선택될 수 있다. 또한 또는 대신에, 스프링력은, 샘플의 제2 단부가 제2 수평 바아(120)의 제2 면(122)과 결합할 때 샘플을 프레임(101)에 고정하도록 선택될 수 있다.
스프링 로딩된 수평 바아를 용이하게 하기 위해, 지지 부재가 수평 바아 중의 하나 이상에 연결될 수 있고, 지지 부재와 수평 바아 중의 하나 이상은 서로에 대해 움직일 수 있다. 예컨대, 조절가능 고정구(100)는 하나 이상의 스프링 요소를 통해 제1 수평 바아(110)에 결합되는 제1 지지 부재(114)를 포함할 수 있고, 이 제1 지지 부재는 그에 가해지는 미리 정해진 스프링력을 통해 제1 수평 바아(110)에 대해 움직일 수 있다. 따라서 제1 면(112)은 제1 지지 부재(114)에 배치될 수 있다. 다르게 말하면, 제1 지지 부재(114)는 제1 면(112)을 포함할 수 있고, 이 제1 면(112)은 샘플의 제1 단부와 결합하도록 구조적으로 구성되어 있다.
수평 바아 중의 하나 이상은 홈을 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 수평 바아(110)는 제1 면(112)에 있는 제1 홈을 포함할 수 있고, 제2 수평 바아(120)는 제2 면(122)에 있는 제2 홈을 포함할 수 있다. 제1 홈과 제2 홈 중의 하나 이상은 테이퍼형일 수 있다. 어떤 실시 형태에서는, 제1 홈과 제2 홈 중의 하나 이상의 테이퍼형은, 샘플이 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 사이에 고정될 때 샘플의 뒤틀림을 평평하게 하도록 구조적으로 구성되어 있다.
위에서 논한 바와 같이, 수평 바아 중의 하나 이상은 움직일 수 있다. 예컨대, 어떤 실시 형태는, 제1 수평 바아(110)가 프레임(101)의 제1 단부(102)에 고정되고 제2 수평 바아(120)는 움직일 수 있는 조절가능 고정구(100)를 포함한다. 다른 실시 형태에서는, 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 각각은 프레임(101)의 제1 단부(102)와 제2 단부(103) 사이에서 움직일 수 있다.
어떤 실시 형태에서, 측면 바아(130), 제1 수평 바아(110), 및 제2 수평 바아(120) 중의 하나 이상은 하나 이상의 마킹(132)을 포함한다. 예컨대, 도 1에 나타나 있는 바와 같이, 측면 바아(130)가 마킹(132)을 포함할 수 있다. 이 마킹(132)은 조절가능 고정구(100)를 다른 샘플 유형 중의 적어도 하나를 유지하도록 구성하기 위해 다른 샘플 유형에 대응할 수 있다. 마킹(132)은 그리드 라인, 측정 표시(예컨대, 자의 눈금), 문자, 삽화 등 및 이것들의 조합을 포함할 수 있다. 예컨대, 측면 바아(130)에 있는 마킹(132)은 제2 수평 바아(120)와 제1 수평 바아(110)의 평행한 배치를 유지하기 위해 사용될 수 있다.
측면 바아(130)는 슬롯(134)을 포함할 수 있다. 이 슬롯(134)은, 수평 바아 중의 하나 이상이 슬롯과 결합하여 프레임(101)의 제1 단부(102)와 제2 단부(103) 사이에서 슬롯을 통해 슬라이딩하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 이를 위해, 조절가능 고정구(100)는, 결합 기구(150)와 수평 바아 중의 하나 이상(예컨대, 제2 수평 바아(120))의 일 단부 중의 하나 이상에 배치되는 돌출부(152)를 포함할 수 있고, 이 돌출부(152)는 슬롯(134)과 결합하도록 크기 결정되고 형상을 가지고 있다. 돌출부(152)는, 수평 바아 중의 하나 이상이 측면 바아(130)에 대해 회전하는 것을 방지하고 또한 측면 바아(130)에 대한 수평 바아 중의 하나 이상의 미리 정해진 정렬을 유지하도록 구조적으로 더 구성될 수 있다. 예컨대, 돌출부(152)는, 제2 수평 바아(120)가 측면 바아(130)에 대해 회전하는 것을 방지하고 또한 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120)의 미리 정해진 정렬을 유지하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 이를 위해, 돌출부(152)는 제1 축선(107)을 따라 연장될 수 있고, 그리하여 수평 바아의 회전이 방지될 수 있다. 돌출부(152)는 또한 또는 대신에 제2 수평 바아(120)를 제1 수평 바아(110)와 평행하게 유지하는데에 도움을 줄 수 있다.
측면 바아(130)는 또한 또는 대신에 수평 바아 중의 하나 이상을 측면 바아(130)에 대해 위치시키기 위한 하나 이상의 노치(notch)(136)를 포함할 수 있다. 예컨대, 노치(136)는 제2 수평 바아(120)를 프레임(101)의 제1 단부(102)와 제2 단부(103) 사이의 미리 정해진 위치에 위치시키기 위해 구조적으로 구성될 수 있다. 어떤 실시 형태에서, 수평 바아 및 결합 기구(150) 중의 하나 이상은, 측면 바아(130)를 따라 수평 바아를 위치시키기 위해 노치(136)와 결합하는 요소를 포함한다.
결합 기구(150)는, 측면 바아(130)를 따른 수평 바아의 위치를 고정하기 위해 수평 바아와 측면 바아(130) 중의 하나 이상과 협력할 수 있다. 이를 위해, 도 1에 나타나 있는 바와 같이, 결합 기구(150)는 신속 해제 레버, 특히, 신속 해제 캠 레버 등과 같은 신속 해제 기구를 포함할 수 있다. 결합 기구(150)는 또한 또는 대신에 손잡이 나사를 포함한다. 일반적으로, 결합 기구(150)는 측면 바아(130)를 따른 수평 바아의 위치를 해제 가능하게 고정하거나 록킹하기 위한 기구 또는 요소를 포함할 수 있다.
조절가능 고정구(100)는 측벽을 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 조절가능 고정구(100)는 프레임(101)의 제1 측부(104)에 배치되는 제1 측벽(140), 및 프레임(101)의 제2 측부(105)에 배치되는 제2 측벽(141)을 포함할 수 있다. 측면 바아(130)는 제1 측벽(140)과 제2 측벽(141) 중의 하나 이상에 의해 지지될 수 있다.
어떤 실시 형태에서, 제1 측벽(140) 및 제2 측벽(141) 각각은 스캐닝 음향 현미경(160)의 침지 탱크의 벽(162)과 정렬되도록 크기 결정되고 형상을 가지고 있다. 따라서, 조절가능 고정구(100)는 침지 탱크의 내부에 끼워지도록 크기 결정되고 형상을 가질 수 있고, 또한 탱크의 바닥부(경사질 수 있음) 또는 침지 탱크의 정상부를 따라 있는 기존의 장착점에 장착될 수 있다. 조절가능 고정구(100)의 배향은 조절가능 고정구(100)가 예컨대 수평이 될 수 있도록 조절될 수 있다. 이렇게 해서, 제1 측벽(140) 및 제2 측벽(141) 각각과 침지 탱크의 벽(162)의 정렬이 조절될 수 있다. 이를 위해, 하나 이상의 프레임 록킹 기구(142)가 측벽에 포함될 수 있는데, 예컨대, 프레임 록킹 기구(142)는 스캐닝 음향 현미경(160)으로 프레임(101)을 고정하도록 구조적으로 구성되어 있다. 예컨대, 프레임 록킹 기구(142)는 제1 측벽(140)과 제2 측벽(141) 각각에 배치될 수 있다. 프레임 록킹 기구(142)는 예컨대 하나 이상의 핀 등을 포함할 수 있다. 프레임 록킹 기구(142)는 또한 또는 대신에 측벽과 분리될 수 있고 그렇지 않은 경우에는 프레임(101)에 포함될 수 있다. 어느 경우든, 일반적으로, 프레임 록킹 기구(142)는 스캐닝 음향 현미경(160)으로 프레임(101)을 고정하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 프레임 록킹 기구(142)는 또한 또는 대신에 스캐닝 음향 현미경(160)에 대한 프레임(101)의 배향을 조절할 수 있게 해준다.
또한 또는 대신에, 제1 측벽(140) 및 제2 측벽(141)은 프레임(101)의 샘플 면(106)과 스캐닝 음향 현미경(160)의 스캐닝 면(164) 사이의 미리 정해진 정렬을 유지하도록 구조적으로 구성될 수 있고, 프레임(101)의 샘플 면(106)은 제1 수평 바아(110) 및 제2 수평 바아(120) 모두와 교차한다. 상기 미리 정해진 정렬은, 프레임(101)의 샘플 면(106)이 스캐닝 음향 현미경(160)의 스캐닝 면(164)에 평행한 구성을 포함할 수 있다.
조절가능 고정구(100)는 프레임(101)을 스캐닝 음향 현미경(160)의 스캐닝 면(164)과 정렬시키도록 구조적으로 구성된 하나 이상의 수평 맞춤 요소(144)를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 수평 맞춤 요소(144)는 하나 이상의 수평 맞춤 스크류 등을 포함할 수 있다.
따라서, 일반적으로, 조절가능 고정구(100)는 다른 크기와 형상의 샘플을 검사를 위해 쉽게 또한 편리하게 고정하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 이를 위해 조절가능 고정구(100)는, 수평 바아 중의 하나 이상을 특정 샘플을 위한 정확한 위치로 쉽게 이동시키기 위한 신속 해제 캠 레버, 다른 샘플 유형을 위한 적절한 치수를 쉽게 설정하기 위해 측면 바아(130)에 있는 그리드 라인 또는 다른 마킹(132), 프레임(101)을 스캐닝 면(164)과 정렬시키는 수평 맞춤 요소(144)(예컨대, 수평 맞춤 스크류), 조절가능 고정구(100)를 탱크 벽(162)에 대해 록킹하고 또한 스캐닝 도구에 대한 상기 조절가능 고정구(100)의 수직을 유지하는 프레임 록킹 기구(142)(예컨대, 측면 핀), 및 조절가능 고정구(100)에서의 샘플의 적절한 위치를 보장하기 위해 수평 바아 중의 하나 이상에 배치되는 샘플 위치 설정 기구(예컨대, 본 명세서에서 설명하는 바와 같은 위치 설정 핀)와 같은 특징적 요소를 포함할 수 있다.
도 2는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(202)을 유지하고 있는 조절가능 고정구(100)를 도시하고, 도 3은 도 2에 나타나 있는 조절가능 고정구(100)의 상면도를 도시한다. 이들 도에 나타나 있는 샘플(202)은 스트립 샘플을 포함할 수 있다. 도 2 및 3에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(100)는 샘플(202) 아래의 영역이 비어있도록 샘플(202)을 그의 가장자리에서만 고정할 수 있으며, 그래서 샘플(202)의 TT 검사가 가능하게 된다. 도 2 및 3에서, 제2 수평 바아(120)는 제1 축선(107)을 따라, 샘플(202)의 크기와 형상에 대응하는 위치로 앞으로 이동해 있다.
도 3에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(100)는 적어도 2개의 측면 바아(130)를 포함할 수 있는데, 각 측면 바아는 자의 측정 표시(센티미터, 밀리미터, 인치 또는 다른 적절한 측정 단위의)와 같은 마킹(132)을 포함할 수 있다. 조절가능 고정구(100)는 또한 적어도 2개의 결합 기구(150)를 포함할 수 있으며, 예컨대 이 결합 기구는 적어도 제2 수평 바아(120)를 측면 바아(130)에 고정하기 위해 사용되는 신속 해제 캠 레버의 형태로 되어 있다.
도 3은 또한 스프링 로딩된 수평 바아(즉, 이 실시예에서는 제1 수평 바아(110))에 대한 구성의 일 예를 나타낸다. 그 도에 나타나 있는 있는 바와 같이, 스프링 요소(316)가 제1 지지 부재(114)와 제1 수평 바아(110) 사이에 배치되어 이 둘을 연결할 수 있다. 제1 지지 부재(114)는 제1 수평 바아(110)에 대해 움직일 수 있는데, 예컨대 제1 지지 부재(114)는 스프링 요소(316)에 의해 가해지는 미리 정해진 스프링력에 대항하여 제1 수평 바아(110) 쪽으로 이동하도록 구조적으로 구성되어 있다. 이렇게 해서, 어떤 실시 형태에서, 제2 수평 바아(120)와 제1 지지 부재(114)의 면(112) 사이의 거리(D1)가 샘플(202)의 폭(W1)과 실질적으로 같게 되도록 제2 수평 바아(120)가 제1 축선(107)을 따라 위치될 수 있다. 스프링 요소(316)의 압축을 통해 제1 지지 부재(114)를 제1 수평 바아(110)에 대해 압축시켜 이 거리(D1)를 예컨대 거리(D2)(제1 지지 부재(114)와 제1 수평 바아(110) 사이의 거리) 만큼 약간 증가시킬 수 있다. 이렇게 해서, 예컨대 제2 수평 바아(120)와 제1 수평 바아(110)가 결합 기구(150)의 록킹을 통해 고정된 위치에 있을 때 샘플(202)을 조절가능 고정구(100) 상에 배치하고 또한 샘플(202)을 조절가능 고정구(100)로부터 제거하는 것을 용이하게 할 수 있다.
본 명세서에서 설명하는 스프링 요소(316) 또는 다른 스프링 또는 스프링 요소는 다양한 스프링 및 스프링 기구와 같은 편향 부재를 포함할 수 있다. 예컨대, 스프링 요소(316)는 코일 스프링, 판 스프링, 또는 다른 종류의 스프링 또는 스프링의 조합을 포함할 수 있다. 다른 편향 부재가 또한 또는 대신에 이용될 수 있다.
도 4는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(402)을 수용하는 조절가능 고정구(100)를 도시하고, 도 5는 샘플(402)을 유지하고 있는 조절가능 고정구(100)를 도시한다. 이들 도에서, 샘플(402)은 JEDEC 트레이 등을 포함할 수 있는데, 이 경우 어댑터 판(470)이 사용되어 샘플(402)의 고정을 도와 준다. 따라서, 이들 도에서, 스캐닝 음향 현미경 등을 사용하는 검사를 위해 샘플(402)을 유지시키기 위해, 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 중의 하나 이상을 조절하여 어댑터 판(470)을 이들 두 수평 바아 사이에 배치할 수 있다. 대안적으로, 샘플(402)은 어댑터 판(470)의 사용 없이 조절가능 고정구(100)에 유지될 수 있다.
따라서, 도 4 및 5에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(100)는, 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 사이에 배치 및 고정되도록 구조적으로 구성된 어댑터 판(470)을 포함할 수 있다. 어댑터 판(470)은, JEDEC 트레이 등과 같은 도면에 나타나 있는 샘플(402), 웨이퍼, 웨이퍼 홀더, 스트립 샘플 등을 비한정적으로 포함하여, 미리 정해진 샘플을 유지하도록 크기 결정되고 형상을 가질 수 있다.
어떤 실시 형태에서, 어댑터 판(470)은 금속, 세라믹, 유리, 플라스틱 또는 이것들의 조합일 수 있다. 예컨대, 샘플(402)은, 샘플(402)을 지지하는 플라스틱 배플 판을 포함하는 어댑터 판(470) 위에 배치될 수 있다. 어떤 실시 형태에서는, 샘플(402)과 어댑터 판(470) 사이에 공기가 잡히는 것을 피하도록 주의를 해야 하는데, 왜냐하면, 예컨대 잡힌 공기는 스캐닝 음향 현미경에서의 TT 스캐닝을 저해하는 음향 임피던스 불일치를 줄 수 있기 때문이다.
도 6은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 웨이퍼 홀더(672)를 갖는 조절가능 고정구(100)를 도시하고, 도 7은 어댑터 판(770)과 웨이퍼 홀더(672)를 갖는 조절가능 고정구(100)를 도시한다. 웨이퍼 홀더(672)는 웨이퍼 등의 형태로 된 샘플을 유지하거나 아니면 지지하거나 그 샘플과 결합하도록 구조적으로 구성될 수 있다.
도 6에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(100)는 웨이퍼 홀더(672)와 결합하도록 구성될 수 있고, 이 웨이퍼 홀더는 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120)에 의해 지지될 수 있는데, 예컨대 도 6과 도 7 중의 어느 하나 또는 양쪽 모두에 나타나 있는 바와 같이 지지된다. 예컨대, 웨이퍼 홀더(672)는 수평 바아 중의 하나 이상에 의해 아래쪽에서 지지될 수 있거나, 웨이퍼 홀더(672)는 수평 바아들 사이에 배치되어 지지될 수 있거나, 또는 웨이퍼 홀더(672)는 어댑터 판(770)에 의해 지지될 수 있다. 따라서, 도 6은 (ⅰ) 지지되는 웨이퍼 홀더(672), 또는 (ⅱ) 웨이퍼 홀더(672)를 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 사이에 지지하기 위해 제2 수평 바아(120)가 프레임(101)의 제2 단부(103) 쪽으로 이동하기 전의 조절가능 고정구(100)를 나타내는 것으로 이해하면 된다.
도 7에 나타나 있는 바와 같이, 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 중의 하나 이상이 조절되어, 어댑터 판(770)이 이들 두 수평 바아 사이에 배치되어 유지될 수 있고, 어댑터 판(770)은 웨이퍼 홀더(672)를 지지하도록 구조적으로 구성되어 있다. 대안적으로, 웨이퍼 홀더(672) 또는 심지어 웨이퍼 자체가 어댑터 판(770)의 사용 없이 조절가능 고정구(100)에 유지될 수 있다.
도 8은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(802)을 유지하는 조절가능 고정구의 일부분의 확대도를 도시한다. 구체적으로, 도 8은 제1 수평 바아(110), 제1 지지 부재(114), 스프링 요소(316), 제2 수평 바아(120), 및 샘플(802)의 일 예를 나타낸다. 상기 도는 또한 제1 수평 바아(110)에 있는 제1 홈(818) 및 제2 수평 바아(120)에 있는 제2 홈(828)의 일 예를 나타낸다.
상기 도에 나타나 있는 바와 같이, 제1 수평 바아(110)와 제2 수평 바아(120) 중의 하나 이상은, 예컨대 스캐닝 음향 현미경에 의해 검사될 샘플(802)에 대한 미리 정해진 위치로 조절될 수 있다. 제1 지지 부재(114)는 제1 수평 바아(110)와 제1 지지 부재(114) 사이에 위치되는 하나 이상의 스프링 요소(316)를 지지할 수 있다. 이 스프링 요소(316)를 미리 정해진 스프링력에 대항하여 압축시켜 샘플(802)을 제1 수평 바아(110)의 제1 홈(818) 안으로 끼울 수 있고 또한 상기 스프링 요소를 팽창시켜 샘플(802)을 제2 수평 바아(120)에 있는 대응하는 제2 홈(828) 안에 유지시킬 수 있다. 따라서, 일단 수평 바아가 미리 정해진 적절한 위치에 있으면, 예컨대, 샘플(802)의 제1 단부(803)를 제1 수평 바아(110)의 제1 홈(818) 안에 끼우고, 적어도 스프링력으로 제1 지지 부재(114)를 스프링 요소(316)에 눌러 샘플의 제2 단부(805)를 제2 수평 바아(120)의 제2 홈(828)에 끼우고, 그런 다음 제1 지지 부재(114)의 압축을 해제하여 샘플(802)이 수평 바아들 사이의 제자리로 가도록 함으로써, 일반적으로 동일한 크기와 형상을 갖는 복수의 샘플(802)을 신속하고 용이하게 로딩할 수 있다. 제1 홈(818) 및 제2 홈(828)은, 수평 바아, 지지 부재 또는 프레임에 배치되는 레지(ledge)(예컨대, 단차형 표면)를 포함할 수 있다. 제1 홈(818) 및 제2 홈(828)은 또한 또는 대신에, 샘플(802)의 뒤틀림을 평평하게 하는데에 도움을 줄 수 있는 테이퍼형 또는 실질절으로 "v-형" 프로파일, 슬롯, 만입부(indent), 공동부, 틈새 또는 이것들의 조합을 포함할 수 있다. 다른 프로파일을 갖는 홈 또는 슬롯이 또한 또는 대신에 사용될 수 있다. 또한, 스프링 요소(316)와 결합되는 제1 지지 부재(114)만 나타나 있지만, 다른 지지 부재, 예컨대, 하나 이상의 스프링 요소(316)를 통해 제2 수평 바아(120)와 결합되는 제2 지지 부재가 또한 또는 대신에 존재할 수 있다.
도 9는 일 대표적인 실시 형태에 따른, JEDEC 트레이(901)를 유지하는 조절가능 고정구(900)의 사진이다. 이 도에 나타나 있는 바와 같이, JEDEC 트레이(901)는 하나 이상의 샘플(902)를 유지하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 도 10은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 하나 이상의 샘플(1002)(스트립 샘플을 포함할 수 있음)을 유지하는 조절가능 고정구(1000)의 사진이다. 도 11은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 웨이퍼 홀더(1172)를 유지하는 조절가능 고정구(1100)의 사진이다.
따라서, 도 9 ∼ 11에 예시되어 있는 바와 같이, 상기 고정구는 예컨대 스캐닝 음향 현미경의 탱크 안에서의 검사를 위해 다른 종류의 샘플들을 지지하도록 조절될 수 있다. 위에서 논한 바와 같이, 고정구는 샘플(뒤틀리거나 휘어질 수 있는 300 mm 이상 크기의 웨이퍼 또는 가요성 스트립을 포함할 수 있음), 샘플을 유지하거나 고정하도록 구성된 홀더, 어댑터 판(예컨대, 플라스틱 배플 판), JEDEC 트레이(예컨대, 그것을 평평하게 유지하는 수단을 가짐) 등을 유지할 수 있다. 고정구는 샘플에 손상을 줌이 없이(예컨대, 긁지 않고) 그 샘플을 평평하게 유지하도록 구성될 수 있다. 어떤 실시 형태에서, 샘플 몰드 컴파운드는 매우 얇을 수 있는데, 예컨대 1 mm 미만일 수 있다. 적절한 샘플 지지를 위해서는, 고정구가 스캐닝 및 검사 중에 초음파 트랜스듀서 등과 간섭하지 않도록 고정구의 일부분이 샘플의 정상부 보다 상당히 위쪽에 배치되지 않도록 하는 것이 바람직할 수 있다. 본 교시에 의해, 사용자는 서로 다른 샘플 유형들 간의 전환을 쉽게 할 수 있고 또한 도구의 사용 없이 샘플을 고정구 안에 간단하게 배치할 수 있다.
도 12는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(1202)을 조절가능 고정구(1200) 안에 삽입하는 것을 도시한다. 일반적으로, 이 도는 샘플(1202)을 조절가능 고정구(1200) 안에 삽입하는 과정의 3개의 부분, 즉 제1 부분(1204), 제2 부분(1206) 및 제3 부분(1208)을 나타낸다.
상기 도는 제1 수평 바아(1210) 및 제2 수평 바아(1220)를 또한 나타내는데, 이들 수평 바아 각각은 하나 이상의 클램프 죠오(1280)를 포함한다. 구체적으로, 제1 수평 바아(1210)와 제2 수평 바아(1220) 중의 하나 이상은, 샘플(1202)을 유지하거나 또는 샘플과 어댑터 판(1203)을 유지하도록 구조적으로 구성된 클램프 죠오(1280)를 포함할 수 있다. 따라서 클램프 죠오(1280)는 수평 바아들 중의 하나 이상에 배치될 수 있는데, 예컨대 클램핑 죠오는 스프링력에 대항하여 수평 바아에 대해 움직일 수 있다. 클램프 죠오(1280)가 프레임의 제1 단부 또는 프레임의 제2 단부 중의 하나 이상 쪽으로 이동하면, 샘플(1202)의 일 단부를 수용하기 위한 통로가 형성될 수 있다.
예컨대, 클램프 죠오(1280)는 제1 수평 바아(1210)에 배치될 수 있고 스프링력에 대항하여 제1 수평 바아(1210)에 대해 움직일 수 있으며, 클램프 죠오(1280)가 프레임의 제1 단부 쪽으로 이동하면 샘플(1202)의 제1 단부를 수용하기 위한 제1 통로(1282)가 형성된다. 클램프 죠오(1280)는 또한 또는 대신에 제2 수평 바아(1220)에 배치될 수 있고 스프링력에 대항하여 제2 수평 바아(1220)에 대해 움직일 수 있으며, 클램프 죠오(1280)가 프레임의 제2 단부 쪽으로 이동하면 샘플(1202)의 제2 단부를 수용하기 위한 제2 통로(1284)가 형성된다. 다른 실시 형태에서, 클램프 죠오(1280)는 제1 수평 바아(1210)와 제2 수평 바아(1220) 각각에 배치될 수 있지만, 수평 바아들 중의 하나 이상에 있는 클램프 죠오(1280)는 고정되는데, 예컨대 제2 수평 바아(1220)에 있는 클램프 죠오(1280)가 고정될 수 있고, 반면에, 제1 수평 바아(1210)에 있는 클램프 죠오(1280)는 움직일 수 있다. 제2 수평 바아(1220)에 있는 클램프 죠오(1280)가 고정되어 있는지 또는 움직일 수 있는지에 상관 없이, 제2 수평 바아(1220)에 있는 클램프 죠오(1280)는 샘플(1202)의 제2 단부를 수용하기 위한 제2 통로(1284)를 포함할 수 있다.
도 12에 나타나 있는 바와 같이, 클램프 죠오(1280)는 제1 수평 바아(1210)와 제2 수평 바아(1220) 중의 하나 이상의 정상 표면(1211)과 결합될 수 있다. 그러나, 다른 구성이 또한 또는 대신에 가능하다. 예컨대, 클램프 죠오(1280)는 제1 수평 바아(1210)와 제2 수평 바아(1220) 중의 하나 이상의 내부 표면과 결합될 수 있다. 따라서, 클램프 죠오(1280)는 본 명세서에서 설명하는 바와 같은 제1 면과 제2 면 중의 하나 이상, 예컨대 샘플(1202)의 가장자리 또는 단부와 (부분적으로 또는 전체적으로) 접촉하는 면 또는 표면을 포함할 수 있다.
또한, 제1 수평 바아(1210), 제2 수평 바아(1220) 및 클램프 죠오(1280) 중의 하나 이상은 다른 프레임 부재, 예컨대, 본 명세서에서 설명하는 제1 지지 부재와 같은 고정된 프레임 부재 또는 가동 프레임 부재와 결합될 수 있다. 프레임 부재는 또한 또는 대신에 예컨대 도 15를 참조하여 아래에서 설명하는 바와 같은 단차형 표면을 포함한다.
따라서, 다시 도 12를 참조하면, 2개의 클램프 죠오(1280)(스프링 로딩되고움직일 수 있는 클램프 죠오, 및 고정된 클램프 죠오)를 사용하여 샘플(1202)을 유지할 수 있다. 제1 부분(1204) 및 제2 부분(1206)에 나타나 있는 바와 같이, 움직일 수 있는 클램프 죠오(1280)는 스프링력에 대항하여 반대편 클램프 죠오(1280)로부터 멀어지게 슬라이딩할 수 있다. 제2 부분(1206)에서, 샘플(1202)의 제1 단부 또는 가장자리는 제1 통로(1282)와 결합하도록 위치될 수 있고, 제1 통로는 클램프 죠오(1280)를 반대편 클램프 죠오(1280)로부터 멀어지게 슬라이딩시키면 형성된다. 제3 부분(1208)에서, 샘플(1202)의 제2 단부 또는 가장자리는 제2 통로(1284)에 위치될 수 있고, 제2 통로는 고정된 클램프 죠오(1280)에 인접하여 존재하거나 그에 배치될 수 있고 또는 슬라이딩 클램프 죠오(1280)에 의해 형성될 수 있다. 그리고, 슬라이딩/가동 클램프 죠오(1280) 중의 하나 이상이 해제될 수 있고, 그런 다음 샘플(1202)이 클램프 죠오(1280) 중의 하나 이상의 스프링 로딩(loading)에 의해 제자리에 단단히 유지된다.
도 13은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(1302)을 유지하는 조절가능 고정구(1300)를 도시하며, 도 14는 조절가능 고정구(1300)의 클램프 죠오(1380)를 도시하며, 이를 사용하여 샘플(1302) 또는 지지 표면(1392)을 클램프 죠오 사이에 유지시킬 수 있다. 도 13은 스프링 요소(1316)를 더 나타내는데, 이 스프링 요소는 클램프 죠오(1380) 중의 하나 이상과 수평 바아 또는 다른 프레임 부재(1386) 사이에 배치될 수 있고, 따라서 클램프 죠오(1380) 중의 하나 이상은 스프링 로딩된다. 다르게 말하면, 지지 부재 또는 프레임 부재(1386)(조절가능 고정구(1300)의 프레임에 고정될 수 있음)에 반작용하는 스프링 요소(1316)를 사용하여, 클램프 죠오(1380) 중의 하나 이상이 스프링 로딩될 수 있다.
도 13 및 14에 나타나 있는 바와 같이, 클램프 죠오(1380)의 하나 이상의 클램핑 표면(1388)은 홈(1389), 예컨대, 샘플(1302)의 정확하고 반복 가능한 위치 설정을 제공하도록 구조적으로 구성된 테이퍼형 홈 또는 "v-홈"을 포함할 수 있다. 이렇게 해서, 일단 조절가능 고정구(1300)의 수평 바아가 적절히 위치되면, 샘플(1302)을 홈(1389) 안으로 끼워넣어 복수의 샘플(1302)을 신속하고 쉽게 로딩할 수 있다. 샘플(1302)을 홈(1389) 안으로 끼워넣는 것은 먼저 스프링 로딩된 수평 바아에서 일어날 수 있고, 샘플(1302)의 일 단부가 수평 바아의 일부분을 스프링 요소(1316) 등에 눌러, 샘플(1302)의 반대편 단부가 대응 수평 바아의 대응 홈(1389) 안으로 로딩될 수 있고, 스프링 로딩된 수평 바아에 대한 힘을 해제하면 샘플이 제자리로 눌리게 된다. 설계에 의해, 홈(1389)은 샘플(1302)의 뒤틀림을 평평하게 하는데 도움을 줄 수 있다. 도면에 나타나 있는 것과는 다른 프로파일을 갖는 홈(1389) 또는 슬롯이 또한 또는 대신에 사용될 수 있다.
도 15는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(1502)을 유지하는 조절가능 고정구의 단면도를 도시한다. 구체적으로, 샘플(1502)은, 스프링 요소(1516)를 통해 프레임 부재(1586)에 대해 스프링 로딩되는 클램프 죠오(1580)에 의해 제자리에 유지되는 것으로 나타나 있다. 샘플(1502)은 또한 또는 대신에, 예컨대 샘플(1502)의 정확하고 반복 가능한 위치 설정을 제공하기 위한 조절가능 고정구의 프레임의 단차형 표면(1587) 상에 지지될 수 있다. 어떤 실시 형태에서, 클램프 죠오(1580), 프레임 부재(1586) 및 단차형 표면(1587) 중의 하나 이상은 수평 바아에 배치된다.
도 16은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(1602)을 유지하는 조절가능 고정구(1600)를 도시한다. 이 도에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(1600)는 하나 이상의 클램프(1690)를 포함할 수 있다. 이 클램프(1690)는 홀드다운 클램프 등을 포함할 수 있는데, 이 홀드다운 클램프는 샘플(1602)(또는 홀더, 어댑터 판 등)의 가장자리를 내리 누르도록 구조적으로 구성되어 있다. 클램프(1690)는 지지 표면(1692) 상에 위치될 수 있다. 지지 표면(1692)은 수평 바아, 측면 바아, 프레임 부재, 지지 부재, 어댑터 판, 웨이퍼 홀더(또는 다른 샘플 홀더) 및 이것들의 조합 중의 하나 이상에 포함될 수 있다. 클램프(1690)의 위치는 예컨대 아래에서 설명하는 도 17 및 18에 더 나타나 있는 바와 같이 조절될 수 있다.
도 17은 일 대표적인 실시 형태, 예컨대 도 16을 참조하여 전술한 것과 유사한 실시 형태에 따른, 샘플(1602)을 유지하는 조절가능 고정구의 클램프(1690)의 사진이다. 도 17에 나타나 있는 바와 같이, 클램프(1690)는 스크류 요소(1694)(또는 당 업계에 알려져 있는 바와 같은 다른 홀드다운 요소)를 통해 지지 표면(1692)에 조절 가능하게 부착될 수 있다. 스크류 요소(1694)는 클램프(1690)의 회전을 가능하게 해주도록 구조적으로 구성될 수 있다.
도 18은 일 대표적인 실시 형태, 예컨대 도 16 및 17을 참조하여 전술한 것과 유사한 실시 형태에 따른, 샘플(1602)을 유지하는 조절가능 고정구(1600)를 도시한다. 도 18에 나타나 있는 바와 같이, 복수의 클램프(1690)가 사용되어 샘플(1602)을 유지시키며, 클램프(1690) 중의 하나 이상은 조절 가능하다. 이러한 실시 형태에서, 클램프(1690)는 클램프(1690)에 있는 슬롯 구멍(1696) 등을 통과하는 스크류 요소(1694) 등(예컨대, 손잡이 나사)을 사용하여 결합될 수 있다. 이러한 구성에 의해, 클램프(1690)는 지지 표면에 대해 회전 및 슬라이딩 모두가 가능하게 되어, 예컨대 다른 크기의 샘플(1602)을 사용할 수 있고 또한 샘플(1602)을 쉽게 삽입하고 제거할 수 있다.
도 19는 일 대표적인 실시 형태, 예컨대 도 16 ∼ 18을 참조하여 전술한 것과 유사한 실시 형태에 따른, 샘플(1602)을 유지하는 조절가능 고정구(1600)의 사진이다. 따라서, 도 16 ∼ 19에 나타나 있는 바와 같이, 조절가능 고정구(1600)는 클램프(1690)를 포함할 수 있고, 이 클램프(1690)는 조절 가능하다. 예컨대, 클램프(1690)는 프레임의 일 요소, 예컨대, 제1 수평 바아, 제2 수평 바아, 측면 바아, 지지 표면(1692), 어댑터 판, 및 프레임 부재 중의 하나 이상에 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다. 클램프(1690)는 또한 프레임의 일 요소에 록킹될 수 있는데, 예컨대, 제1 수평 바아, 제2 수평 바아 중의 하나 이상을 따라 록킹될 수 있다. 조절성 및 록킹 가능성은 스크류 요소(1694) 등에 의해 제공될 수 있다. 예컨대, 클램프(1690)는 슬롯형 구멍을 포함할 수 있고, 클램프(1690)의 슬라이딩 가능한 조절을 위해 스크류 요소(1694)가 그 슬롯형 구멍을 통해 배치된다. 클램프(1690)는 또한 회전 가능하다.
도 20은 일 대표적인 실시 형태에 따른 조절가능 고정구의 안내 레일(2012)을 도시한다. 이 안내 레일(2012)은 슬롯(2013)을 포함할 수 있고, 이 슬롯(2013)은 샘플의 가장자리(또는 단부)를 수용하도록 구조적으로 구성되어 있다. 슬롯(2013)은 또한 또는 대신에, 지지 표면 및 어댑터 판 중의 하나 이상의 가장자리를 수용하도록 구조적으로 구성될 수 있다. 안내 레일(2012)은 수평 바아(예컨대, 본 명세서에서 설명하는 바와 같은 제1 수평 바아 및 제2 수평 바아), 측면 바아, 지지 부재, 어댑터 판 중의 하나 이상 또는 프레임 부재에 배치될 수 있다. 조절가능 고정구는 샘플의 상호 반대편 가장자리를 유지하기 위해 복수의 안내 레일(2012), 예컨대, 제1 수평 바아에 있는 제1 안내 레일 및 제2 수평 바아에 있는 제2 안내 레일을 포함할 수 있다.
도 21은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 클램프(2180)(예컨대, 스프링 클램프)를 도시한다. 이 클램프(2180)는 홀드다운 아암(2182), 푸시다운 요소(2184), 및 스프링 요소(2186) 중의 하나 이상을 포함할 수 있다. 작동시, 그리고 상기 도에 나타나 있는 바와 같이, 푸시다운 요소(2184)에 가해지는 하향력에 의해 스프링 요소(2184)가 압축되어 홀드다운 아암(2182)이 올라가고 샘플 또는 어댑터 판의 삽입 또는 제거가 가능하게 된다. 따라서 홀드다운 아암(2182)은 스프링 로딩될 수 있지만, 다른 종류의 홀드다운 아암(2182)도 사용될 수 있다. 이러한 방안의 일 이점은, 샘플의 삽입 또는 제거시 도구가 필요 없다는 것을 포함할 수 있다. 클램프(2180)는 본 명세서 다른 곳에서 설명하는 바와 같은 다른 클램프 또는 홀드다운 요소를 보충하거나 대체하기 위해 사용될 수 있다. 예컨대, 클램프(2180)는 수평 바아, 측면 바아, 지지 부재, 어댑터 판 중의 하나 이상 또는 프레임 부재에 배치될 수 있다.
도 22는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(2202)을 유지하는 조절가능 고정구(2200)를 도시한다. 도 22에 나타나 있는 조절가능 고정구(2200)는, 수평 바아, 예컨대 제1 수평 바아(2210) 및 제2 수평 바아(2220) 중의 하나 이상에 배치되는 하나 이상의 샘플 위치 설정 기구(2280)를 포함할 수 있다. 이 샘플 위치 설정 기구(2280)는, 조절가능 고정구(2200)의 프레임에 대한 샘플(2202)의 위치를 고정시키도록 구조적으로 구성될 수 있다. 샘플 위치 설정 기구(2280)는 수평 바아 중의 하나 이상을 따라 슬라이딩 가능하고, 수평 바아를 따른 샘플 위치 설정 기구(2280)의 위치를 고정시키거나 잠그는 록킹 기구(2282)를 더 포함할 수 있다. 이 록킹 기구(2282)는 손잡이 나사, 핀, 볼트, 스크류 등을 포함할 수 있다. 도 22에 나타나 있는 바와 같이, 샘플 위치 설정 기구(2280)는 클램프 등으로서 형성되거나 아니면 클램프 등을 포함할 수 있다. 작동시, 수평 바아 및 샘플 위치 설정 기구(2280)는 원하는 샘플 크기에 맞게 조절될 수 있고, 샘플 위치 설정 기구(2280)는 샘플(2202)을 삽입하고 해제하도록 구조적으로 구성될 수 있다.
도 22는 손잡이 나사 형태로 된 결합 기구(2250)를 또한 나타내는데, 그 손잡이 나사를 회전시켜, 제1 수평 바아(2210) 및 제2 수평 바아(2220) 중의 하나 이상의 위치를 고정시키거나 잠글 수 있고, 이들 수평 바아는 각각 독립적으로 움직일 수 있다.
도 23은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플(2302)을 유지하는 조절가능 고정구(2300)를 도시한다. 이 도는 수평 바아, 예컨대 제1 수평 바아(2310) 및 제2 수평 바아(2320) 중의 하나 이상에 배치되는 샘플 위치 설정 기구(2380)의 일 대안적인 실시 형태를 포함한다. 구체적으로, 샘플 위치 설정 기구(2380)는 수평 바아를 따라 슬라이딩 가능하고, 수평 바아를 따른 샘플 위치 설정 기구(2280)의 위치를 고정하거나 잠그는 록킹 기구(2382)를 더 포함할 수 있고, 이 록킹 기구(2382)는 스프링 그립 등을 포함한다. 록킹 기구(2382)를 또한 또는 대신에 사용하여, 샘플 위치 설정 기구(2380)에서 샘플(2302)과 결합되는 부분을 조절할 수 있는데, 예컨대 샘플(2302)을 조절가능 고정구(2300) 내의 특정 위치에 록킹할 수 있다.
도 24는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구의 스프링 클램프(2480)를 도시한다. 이 스프링 클램프(2480)는 홀드다운 아암(2482) 및 스프링 요소(2486)를 포함할 수 있다. 스프링 요소(2486)의 비틀림이 홀드다운 아암(2482)에 가해질 수 있으며, 그 홀드다운 아암이 샘플(2402)의 가장자리를 유지하게 된다.
도 25는 일 대표적인 실시 형태에 따른, 조절가능 고정구(2500)의 클램프(2580)를 도시한다. 조절가능 고정구(2500)는 클램프(2580)의 적어도 일부분의 위치를 제어하기 위해 가이드(2582)와 핀(fin)(2584) 중의 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 가이드(2282) 및 핀(2584)는 샘플(2502)을 고정하기 위해 클램프(2580)의 운동을 제어할 수 있다. 스프링 요소(2586)를 사용하여 샘플(2502)을 클램핑할 수 있고, 스프링 요소(2586)는 도에 나타나 있는 바와 같이 지지 표면의 하측에 배치될 수 있다.
도 26은 일 대표적인 실시 형태에 따른, 샘플을 검사하기 위한 방법(2600)의 흐름도이다. 이 방법(2600)은, 예컨대 스캐닝 음향 현미경을 사용하는 검사를 위해 샘플을 고정하기 위해, 본 명세서에서 논의한 바와 같은 조절가능 고정구 중의 하나 이상을 사용하는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2602)에서, 상기 방법(2600)은 조절가능 고정구를 스캐닝 음향 현미경 내부에 고정하는 것을 포함할 수 있다. 전술한 바와 같이, 조절가능 고정구는 프레임, 프레임의 제1 단부에서 스프링 로딩되는 제1 수평 바아, 및 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 움직일 수 있는 제2 수평 바아를 포함할 수 있다.
블럭(2604)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 제2 수평 바아의 위치를 조절하는 것을 포함할 수 있다. 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 제2 수평 바아의 위치를 조절하는 것은 측면 바아를 따라 제2 수평 바아를 슬라이딩시키는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2606)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 결합 기구를 사용하여 제2 수평 바아를 측면 바아 상의 원하는 위치에 해제 가능하게 연결하는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2608)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 샘플의 제1 단부를 사용하여, 미리 정해진 스프링력 보다 큰 힘을 가해서 제1 수평 바아의 적어도 일부분을 프레임의 제1 단부 쪽으로 변위시키는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2610)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 샘플의 제2 단부를 제2 수평 바아와 결합시키는 것을 포함할 수 있다. 샘플의 제2 단부를 제2 수평 바아와 결합시키는 것은, 제2 수평 바아에 있는 홈 안에 샘플의 제2 단부를 배치하는 것을 포함할 수 있다. 미리 정해진 스프링력에 의해 샘플이 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이에 고정될 수 있다. 샘플을 수평 바아들 사이에 결합시킴으로써 그 샘플이 평평하게 될 수 있으며, 그래서 상기 방법(2600)은 샘플의 뒤틀림을 평평하게 하는 것을 더 포함할 수 있다.
블럭(2612)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 중의 적어도 하나를 따라 클램프(또는 다른 샘플 위치 설정 기구)를 슬라이딩시키고 또한 수평 바아를 따른 클램프(또는 다른 샘플 위치 설정 기구)의 위치를 고정하는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2614)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 샘플을 더 고정시키기 위해 클램프(또는 다른 샘플 위치 설정 기구)를 사용하여 샘플을 클램핑시키는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2616)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 예컨대 스캐닝 음향 현미경으로 샘플을 스캐닝하는 것을 포함할 수 있다. 어떤 실시 형태에서는, 샘플의 스캐닝은 샘플의 관통 투과 검사를 포함할 수 있다.
블럭(2618)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 미리 정해진 스프링력 보다 큰 힘을 가하여 제1 수평 바아의 적어도 일부분을 프레임의 제1 단부 쪽으로 변위시켜 샘플을 해제시키는 것을 포함할 수 있다.
블럭(2620)에 나타나 있는 바와 같이, 방법(2600)은 샘플을 제거하는 것을 포함할 수 있다. 샘플의 제거는, 제1 수평 바아의 일부분이 변위될 때 샘플의 제2 단부를 제2 수평 바아와의 결합으로부터 해제시키고 또한 샘플의 제1 단부를 제1 수평 바아와의 결합으로부터 해제시키는 것을 포함할 수 있다.
따라서, 일반적으로, 상기 방법(2600)은 조절가능 고정구에 유지될 샘플의 깊이에 따라 가동 수평 바아를 위치시키고 그 수평 바아를 제자리에 록킹하는 것을 포함할 수 있다. 제1 수평 바아, 제2 수평 바아 또는 이들 양 수평 바아가 움직일 수 있다. 샘플의 제1 가장자리는 수평 바아들 중의 한 수평 바아에 있는 홈에 위치될 수 있고, 그 한 수평 바아는 스프링 로딩될 수 있고 또한 밀리면 스프링 로딩이 줄어든다. 힘(스프링력 보다 큼)을 가하여 상기 스프링 로딩된 수평 바아를 이동시켜, 샘플의 제2 가장자리를 다른 수평 바아에 있는 홈에 위치시킬 수 있다. 그러면 샘플에 대한 힘이 해제될 수 있고, 스프링 로딩된 수평 바아가 뒤로 움직여 샘플이 두 수평 바아 사이에 잡히게 된다. 수평 바아들에 있는 홈으로 인해, 샘플이 정확히 위치될 수 있고(또한 정확하게 반복적으로 위치될 수 있음) 샘플의 뒤틀림을 최소화하는데 도움될 수 있다. 그런 다음, 샘플이 스캐닝될 수 있다. 스캐닝 후에, 다른 수평 바아에 있는 홈으로부터 샘플이 제거될 수 있도록, 샘플을 스프링 로딩된 수평 바아 안으로 뒤로 밀어 스프링 요소를 압축시키고 수평 바아를 이동시킨다. 그러면 샘플이 완전히 제거될 수 있다. 다른 샘플을 스캐닝하고자 한다면, 상기 과정을 반복할 수 있다. 스캐닝될 다음 샘플이 이전 샘플과 동일한 크기가 아니면, 다음 샘플을 수용하기 위해 가동 수평 바아를 재위치시킬 수 있다.
전술한 장치, 시스템 및 방법은 예시적으로 주어진 것이며 한정적인 것이 아님을 알 것이다. 반대되는 명시적인 언급이 없다면, 개시된 단계들은 본 개시의 범위에서 벗어남이 없이 수정되거나 보충되거나 생략되며 그리고/또는 재정렬될 수 있다. 많은 변화, 추가, 생략 및 기타 수정이 당업자에게 명백할 것이다. 또한, 특정한 순서가 명시적으로 요구되지 않거나 문맥으로부터 명확하지 않으면, 위의 설명 및 도면에서 방법 단계들의 순서 또는 제시는 언급된 단계들을 수행하는 이 순서를 필요로 하는 것은 아니다.
본 명세서에서 설명한 실시 형태의 방법 단계들은, 다른 의미가 명시적으로 제공되거나 아니면 문맥으로부터 명확하지 않으면, 그러한 방법 단계가 다음 청구 범위의 특허성과 부합하게 수행되게 하는 어떤 적절한 방법이라도 포함하도록 되어 있다. 그래서, 예컨대, X 단계의 수행은 원거리 사용자, 원거리 처리 리소스(예컨대, 서버 또는 클라우드 컴퓨터) 또는 기계와 같은 다른 상대가 X 단계를 수행하게 하기 위한 어떤 적절한 방법이라도 포함한다. 유사하게, X, Y 및 Z 단계의 수행은, X, Y 및 Z 단계를 수행하여 이러한 단계들의 이익을 얻기 위해 이러한 다른 개인 또는 자원의 임의의 조합을 감독 또는 제어하는 어떤 방법이라도 포함할 수 있다. 따라서, 본 명세서에서 설명하는 실시 형태의 방법 단계는, 다른 의미가 명시적으로 제공되거나 아니면 문맥으로부터 명확하지 않으면, 하나 이상의 다른 상대 또는 실체가 다음 청구 범위의 특허성과 부합하게 단계를 수행하게 해주는 어떤 적절한 방법이라도 포함하도록 되어 있다. 이러한 상대 또는 실체는 다른 상대 또는 실체의 감독 또는 제어를 받을 필요가 없고 또한 특정한 관할권 내에 있을 필요가 없다.
또한, 위의 방법은 예시적으로 제공된 것임을 알아야 한다. 반대되는 명시적인 언급이 없으면, 개시된 단계들은 본 개시의 범위에서 벗어남이 없이 수정되거나 보충되거나 생략되며 그리고/또는 재정렬될 수 있다.
전술한 방법 및 시스템은 예시적으로 주어진 것이고 한정적인 것이 아님을 알 것이다. 많은 변화, 추가, 생략 및/또는 다른 수정이 당업자에게 명백할 것이다. 또한, 특정한 순서가 명시적으로 요구되지 않거나 문맥으로부터 명확하지 않으면, 위의 설명 및 도면에서 방법 단계들의 순서 또는 제시는 언급된 단계들을 수행하는 이 순서를 필요로 하는 것은 아니다. 따라서, 특정 실시 형태를 나타내고 설명했지만, 형태 및 상세의 다양한 변화 및 수정이 본 개시의 범위 내에서 이루어질 수 있고 또한 이하의 청구 범위(법률로 허용되는 가장 넓은 의미로 해석되어야 함)로 규정되어 있는 바와 같은 본 개시의 일부분을 형성하도록 되어 있음이 당업자에게 명백할 것이다.
본 명세서에서 상세히 설명한 다양한 대표적인 실시 형태는 예시적으로 주어진 것이지 한정적인 것이 아니다. 당업자는, 설명한 실시 형태의 형태 및 상세에 있어 다양한 변화가 이루어져 첨부된 청구 범위 내에 유지되는 등가적인 실시 형태가 얻어질 수 있음을 이해할 것이다.

Claims (30)

  1. 스캐닝 음향 현미경을 사용하는 검사를 위해 샘플을 유지시키기 위한 조절가능 고정구로서,
    제1 단부, 제2 단부, 제1 측부 및 제2 측부를 포함하는 프레임;
    상기 프레임의 제1 단부에 배치되고, 샘플의 제1 단부와 결합하도록 구조적으로 구성된 제1 면을 포함하는 제1 수평 바아;
    상기 프레임의 제2 단부에 배치되고, 상기 제1 면과 대향하고 상기 샘플의 제2 단부와 결합하도록 구조적으로 구성된 제2 면을 포함하고, 또한 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 움직일 수 있도록 상기 프레임과 결합되는 제2 수평 바아;
    상기 프레임의 제1 측부와 제2 측부 중의 하나 이상에 배치되는 측면 바아 - 상기 제2 수평 바아의 일 단부가 상기 측면 바아를 따라 슬라이딩 가능하고 록킹 가능함 -; 및
    상기 제2 수평 바아의 상기 일 단부를 상기 측면 바아에 해제 가능하게 연결하는 결합 기구를 포함하는, 조절가능 고정구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아는 하나 이상의 스프링 요소를 통해 스프링 로딩되는, 조절가능 고정구.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 하나 이상의 스프링 요소의 스프링력 보다 큰 힘이 상기 제1 면에 가해질 때 제1 면이 상기 프레임의 제1 단부 쪽으로 움직일 수 있는, 조절가능 고정구.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 스프링력은, 상기 제1 면이 샘플의 제1 단부를 수용할 때 상기 프레임의 제1 단부 쪽으로 움직일 수 있고 또한 샘플의 제2 단부가 상기 제2 수평 바아의 제2 면과 결합할 때 샘플을 프레임에 고정시킬 수 있도록 선택되는, 조절가능 고정구.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 하나 이상의 스프링 요소를 통해 상기 제1 수평 바아와 결합하고 또한 미리 정해진 스프링력을 받으면 상기 제1 수평 바아에 대해 움직일 수 있는 제1 지지 부재를 더 포함하고, 제1 지지 부재는 샘플의 제1 단부와 결합하도록 구조적으로 구성된 상기 제1 면을 포함하는, 조절가능 고정구.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아는 상기 제1 면에 있는 제1 홈을 포함하고, 상기 제2 수평 바아는 상기 제2 면에 있는 제2 홈을 포함하는, 조절가능 고정구.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 홈과 제2 홈 중의 하나 이상은 테이퍼형으로 되어 있는, 조절가능 고정구.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 홈과 제2 홈 중의 하나 이상의 테이퍼형은, 샘플이 상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이에 고정될 때 샘플의 뒤틀림을 평평하게 하도록 구조적으로 구성되어 있는, 조절가능 고정구.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아는 상기 프레임의 제1 단부에 고정되는, 조절가능 고정구.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아는 상기 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 움직일 수 있는, 조절가능 고정구.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 측면 바아, 제1 수평 바아, 및 제2 수평 바아 중의 하나 이상은, 상기 조절가능 고정구가 다른 샘플 종류들 중의 적어도 하나를 유지시킬 수 있도록 구성하기 위해 상기 다른 샘플 종류에 대응하는 하나 이상의 마킹을 포함하는, 조절가능 고정구.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 측면 바아는 슬롯을 포함하고, 상기 조절가능 고정구는, 상기 결합 기구 및 상기 제2 수평 바아의 단부 중의 하나 이상에 배치되는 돌출부를 더 포함하며, 돌출부는 상기 슬롯과 결합하도록 크기 결정되고 형상을 가지는, 조절가능 고정구.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 돌출부는, 상기 측면 바아에 대한 제2 수평 바아의 회전을 방지하고 또한 제1 수평 바아와 제2 수평 바아의 미리 정해진 정렬을 유지하도록 구조적으로 구성되어 있는, 조절가능 고정구.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 결합 기구는 신속 해제 기구를 포함하는, 조절가능 고정구.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 샘플은, 샘플의 아래쪽 영역이 방해받지 않아 복수 종류의 샘플에 대한 관통 투과 검사가 가능하도록, 샘플의 가장자리에서 고정되는, 조절가능 고정구.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이에 배치되어 고정되도록 구조적으로 구성된 어댑터 판을 더 포함하고, 어댑터 판은 미리 정해진 샘플을 유지시키도록 크기 결정되고 형상을 가지는, 조절가능 고정구.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 중의 하나 이상은 상기 샘플을 유지시키도록 구조적으로 구성된 클램프 죠오(clamp jaw)를 포함하는, 조절가능 고정구.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아, 제2 수평 바아 및 클램프 죠오 중의 하나 이상은 단차형 표면을 포함하는 프레임 부재와 결합되는, 조절가능 고정구.
  19. 제1항에 있어서,
    상기 프레임의 제1 측부에 배치되는 제1 측벽, 및 프레임의 제2 측부에 배치되는 제2 측벽을 더 포함하고, 상기 제1 측벽과 제2 측벽 각각은 스캐닝 음향 현미경의 침지 탱크의 벽과 정렬되도록 크기 결정되고 형상을 가지는, 조절가능 고정구.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 제1 측벽과 제2 측벽은, 상기 프레임의 샘플 면과 스캐닝 음향 현미경의 스캐닝 면 사이의 미리 정해진 정렬을 유지하도록 구조적으로 구성되어 있고, 프레임의 샘플 면은 상기 제1 수평 바아 및 제2 수평 바아 모두와 교차하는, 조절가능 고정구.
  21. 제1항에 있어서,
    상기 프레임을 스캐닝 음향 현미경의 스캐닝 면과 정렬시키도록 구조적으로 구성된 하나 이상의 수평 맞춤 요소를 더 포함하는, 조절가능 고정구.
  22. 제1항에 있어서,
    상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 중의 하나 이상에 배치되는 하나 이상의 샘플 위치 설정 기구를 더 포함하고, 샘플 위치 설정 기구는 프레임에 대한 샘플의 위치를 고정시키도록 구조적으로 구성되어 있는, 조절가능 고정구.
  23. 제1항에 있어서,
    클램프를 더 포함하는 조절가능 고정구.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 중의 하나 이상에 슬라이딩 가능하게 결합되는, 조절가능 고정구.
  25. 프레임, 프레임의 제1 단부에서 스프링 로딩되는 제1 수평 바아, 및 상기 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 움직일 수 있는 제2 수평 바아를 포함하는 조절가능 고정구를 스캐닝 음향 현미경 내에 고정시키는 단계;
    상기 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 상기 제2 수평 바아의 위치를 조절하는 단계;
    샘플의 제1 단부를 사용해, 미리 정해진 스프링력 보다 큰 힘을 가하여 상기 제1 수평 바아의 적어도 일부분을 상기 프레임의 제1 단부 쪽으로 변위시키는 단계; 및
    상기 샘플의 제2 단부를 상기 제2 수평 바아와 결합시키는 단계를 포함하고,
    상기 미리 정해진 스프링력에 의해 샘플이 상기 제1 수평 바아와 제2 수평 바아 사이에 고정되는, 방법.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 샘플을 스캐닝 음향 현미경으로 스캐닝하는 단계를 더 포함하는 방법.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 샘플을 스캐닝하는 단계는 샘플에 대한 관통 투과 검사를 포함하는 방법.
  28. 제25항에 있어서,
    상기 프레임의 제1 단부와 제2 단부 사이에서 상기 제2 수평 바아의 위치를 조절하는 단계는 측면 바아를 따라 제2 수평 바아를 슬라이딩시키는 것을 포함하는 방법.
  29. 제28항에 있어서,
    결합 기구를 사용하여 상기 제2 수평 바아를 상기 측면 바아 상의 원하는 위치에 해제 가능하게 연결하는 단계를 더 포함하는 방법.
  30. 제25항에 있어서
    상기 샘플의 뒤틀림을 평평하게 하는 단계를 더 포함하는 방법.
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