JP3840839B2 - 基板の供給装置 - Google Patents
基板の供給装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3840839B2 JP3840839B2 JP15908799A JP15908799A JP3840839B2 JP 3840839 B2 JP3840839 B2 JP 3840839B2 JP 15908799 A JP15908799 A JP 15908799A JP 15908799 A JP15908799 A JP 15908799A JP 3840839 B2 JP3840839 B2 JP 3840839B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transfer head
- receiving portion
- thickness
- substrate supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層状態で載置された基板をピックアップして次工程装置に供給する基板の供給装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品実装用の基板は一般に薄い板状部品であり、このような基板は積層状態で収納・保管される。そして基板を次工程へ供給する際には、積層状態の基板を最上層から1枚づつ移載ヘッドによってピックアップする。基板の表面は平滑であるため密着しやすく、積層状態におくと上下の基板が密着した状態でピックアップされるいわゆる2枚取りを生じる場合がある。このような2枚が重なったままの状態の基板が次工程へ供給されるのを防止するため、基板のピックアップ時には2枚取りであるか否かの検査が行われる。従来この2枚取り検査は、ピックアップされた基板を一旦仮置きステージに載置し、ここでレーザセンサなどの測定具によって基板の厚さを測定することにより行われていた。すなわち、厚さ測定結果から載置された基板が正しく1枚のみピックアップされたものであるか否かを判定していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の2枚取り検査には次のような問題点があった。まず、ピックアップした基板を載置するための仮置きステージを設けるため、次工程装置との間にこのスペースをとる必要があり、このことが装置全体のコンパクト化を困難なものとしていた。またレーザセンサなどの測定具は高価格である上に、検出結果が必ずしも安定せず2枚取り判定の信頼性は低いものであった。さらに、多種類の基板を対象する場合には、基板サイズ毎に計測位置が異なるため測定具の位置調整を行う必要があるなど、従来の基板の供給装置には、2枚取り検出の機構に起因して、低コスト・コンパクト化が阻害され、基板毎の段取り替え作業に手間と時間を要するという問題点があった。
【0004】
そこで本発明は、多種類の基板に対応でき、低コスト・コンパクトな機構で2枚取りを検出することができる基板の供給装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板の供給装置は、基板供給部に積層状態で載置された基板を移載ヘッドによりピックアップして次工程装置に供給する基板の供給装置であって、前記移載ヘッドに保持された状態の基板の上面を受ける基板受け部とこの基板の下面に当接してこの下面の高さを検出する位置検出部とで基板を挟み込むことにより基板の厚さを計測する厚さ計測手段を備え、前記基板受け部を前記移載ヘッドに取り付けるとともに前記位置検出部を前記基板供給部から次工程装置へ至る前記移載ヘッドの移動経路に配設した。
請求項2記載の基板の供給装置は、請求項1記載の基板の供給装置において、前記移載ヘッドに下向きにした姿勢で配置されたシリンダのロッドの先端部に前記基板受け部を装
着し、前記シリンダのロッドを下降させて前記基板受け部を前記移載ヘッドに保持された基板の上面に相当する高さ位置まで下降させるように構成した。
請求項3記載の基板の供給装置は、請求項1記載の基板の供給装置において、前記基板受け部は、前記移載ヘッドにピックアップされる最小寸法の基板の上面に当接可能な範囲内に配設されている。
【0006】
本発明によれば、移載ヘッドによって保持された状態の基板を基板受け部と位置検出部とで挟み込んで厚さを計測することにより、仮置きステージを必要とせずに基板の2枚取り検査が行える。
【0007】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の基板の供給装置の正面図、図2は同基板の供給装置の平面図、図3は同基板の供給装置の移載ヘッドの平面図、図4(a),(b)、図5(a),(b)、図6(a),(b)は同基板の供給動作の説明図である。
【0008】
まず図1、図2を参照して基板の供給装置の構造を説明する。図1において、基板供給部1には板状の基板3が多数積層状態で収納されている。基板供給部1の上方には、移載ヘッド2が配設されている。図2に示すように、移載ヘッド2は昇降機構2aにアーム2bを介して結合された昇降プレート2cを備えており、昇降プレート2cには複数の吸着ノズル6が装着されている。昇降機構2aは水平方向に配設された移動テーブル9に結合されており、移動テーブル9を駆動することにより、移載ヘッド2は水平移動する。
【0009】
移載ヘッド2を基板供給部1上に位置させ、次いで昇降機構2aを駆動して昇降プレート2cを基板供給部1に積層状態で載置された基板3上に下降させて、移載ヘッド2が備えた吸着ノズル6から真空吸引することにより最上段の基板3は吸着される。そして移載ヘッド2を上昇させ、移動テーブル9によって移動させることにより、ピックアップされた基板3は次工程装置であるプラズマ処理装置4に搬送される。
【0010】
プラズマ処理装置4は、ベース部11と蓋部材10との間で形成される処理室12を備えている。ベース部11には基板載置部を兼ねた電極14が絶縁材13を介して装着されており、電極14上に処理対象の基板3を載置した状態で、処理室12内の真空排気、プラズマ発生用ガス供給を行った後に、蓋部材10と電極14との間に電源部15により高周波電圧を印加することによりプラズマ処理を行う。プラズマ処理装置4への基板3の供給は、蓋部材10を上昇させた状態で行われる。基板3を保持した移載ヘッド2を蓋部材10の下方まで移動させて電極14上に下降させ、ここで吸着ノズル6による真空吸着を解除することにより、電極14上に基板3を載置する。
【0011】
移載ヘッド2の昇降プレート2cには、シリンダ7がロッド7aを下向きした姿勢で配設されており、ロッド7aの先端部には基板受け部8が装着されている。シリンダ7を駆動してロッド7aを下降させることにより、基板受け部8は所定高さまで下降する。この所定高さは、吸着ノズル6に吸着された状態の基板3の上面に相当する高さ位置となっている。
【0012】
また、基板供給部1からプラズマ処理装置4に至る移載ヘッド2の移動経路には、位置検出部5が配設されている。位置検出部5は上向きに配置されたシリンダ16のロッド16aの先端部に水平な取り付け板17を介してポテンショメータ18を装着したものである。ポテンショメータ18は厚さ検出部19に接続されており、厚さ検出部19はさらに判定部20に接続されている。厚さ検出部19は移載ヘッド2に保持された状態の基板3の厚さを検出する。判定部20は、保持された基板3が正しく1枚のみ保持されたものであるか否かの2枚取り判定を行う。
【0013】
基板3を保持した移載ヘッド2を位置検出部5の上方に位置させ、基板3の計測部位をポテンショメータ18の上方に位置合わせした状態で、シリンダ16のロッドを突出させてポテンショメータ18の測定端部18aを基板3の下面に当接させる。そしてこのときのポテンショメータ18の出力信号を厚さ検出部19で受けることにより、この当接面の高さ位置が検出される。なお位置検出部5に用いられる測定手段は、基板3に当接することにより当接面の位置が検出できるものであればポテンショメータ以外のものであってもよい。
【0014】
このポテンショメータ18による高さ位置検出時には、基板3の上面は基板受け部8によって受けられるようになっており、測定端部18aが基板3の下面に当接した状態では、基板3の上面は基板受け部8によって受けられて所定の高さ位置にある。したがって、ポテンショメータ18の出力信号に基づいて検出された測定端部18aと基板3との当接面、すなわち基板3の下面の高さ位置と、所定の高さ位置に保たれた基板3上面の高さの差より、厚さ検出部19は移載ヘッド2に保持された状態の基板3の厚さを検出する。
【0015】
言い換えれば、基板受け部8と位置検出部5との間に基板3を挟み込むことにより、基板3の厚さが検出され、基板受け部8と位置検出部5との組み合わせによって厚さ計測手段が構成されている。さらに検出された基板3の厚さと、当該種類の基板の1枚の基準厚さのデータとを判定部20によって比較することにより、移載ヘッド2に保持された基板3が1枚であるかもしくは2枚以上であるかを判定することができる。
【0017】
ここで、移載ヘッド2の昇降プレート2cに取り付けられた基板受け部8の位置について図3を参照して説明する。図3において、昇降プレート2cには対角位置にそれぞれ1個の吸着ノズル6が装着され、吸着ノズル6の装着位置はピックアップ対象の基板3の寸法によって調整できるようになっている。すなわち、最大寸法の基板3Mを対象とする場合、および最小寸法の基板3mを対象とする場合には、それぞれ実線および破線で示す位置に吸着ノズル6が装着される。
【0018】
図3において、基板受け部8は移載ヘッド2にピックアップされた最小寸法の基板3mに当接可能な範囲内に配設されている。したがって最小寸法の基板を含めていずれの寸法の基板を対象とする場合においても厚さ計測が可能な位置に厚さ計測手段が配設されている。すなわち、ピックアップ対象の基板の寸法が異なる場合においても、基板受け部8及び位置検出部5のいずれも位置調整の必要がない。
【0019】
この基板の供給装置は上記のように構成されており、次に動作について図4、図5、図6を参照して説明する。図4(a)において、移載ヘッド2を基板供給部1に積層状態で載置された基板3上に下降させ、最上段の基板3を吸着してピックアップする。次いで図4(b)に示すように、移載ヘッド2を厚さ計測位置まで、すなわち基板受け部8が位置検出部5のポテンショメータ18の測定端部18aの直上に位置するように移載ヘッド2を水平移動させる。
【0020】
次に、図5(a)に示すようにシリンダ7を駆動して基板受け部8を所定高さ位置まで下降させるとともに、シリンダ16のロッド16aを突出させてポテンショメータ18の計測端部18aを基板3の下面に当接させる。これにより、基板3は基板受け部8と計測端部18aとの間に挟み込まれ、このときのポテンショメータ18の計測結果から、基板3の厚さが厚さ検出部19(図1)により検出され、この厚さ計測結果に基づいて2枚取りであるか否かの判定が判定部20(図1)によりなされる。
【0021】
この後、図5(b)に示すように移載ヘッド2は基板供給部1上に再び戻り、ここでプラズマ処理装置4の処理室12内で行われているプラズマ処理のタイムアップまで待機する。そして先行する基板3のプラズマ処理が完了したならば、図6(a)に示すように蓋部材10が上昇し、当該基板3が搬出用の移載ヘッド22によって搬出される。この後、待機中であった移載ヘッド2はプラズマ処理装置4の蓋部材10の下方に移動し、保持した基板3を電極14上に載置する。そして再び基板供給部1上に復帰し、待機する。
【0022】
なお、図5(a)に示す厚さ計測の結果2枚取りであると判定された場合には、作業者が移載ヘッド2に保持された基板3のうち1枚を取り除く処置を行うか、あるいは保持中の基板3を一旦基板供給部1上に戻す動作を行わせるなど、適当な処理方法を選択することができる。
【0023】
このように、積層状態からピックアップされた基板3を移送する途中で、移載ヘッド2に保持された状態で基板の2枚取り検査を行うことにより、従来必要とされた2枚取り検査用の仮置きステージを必要としないため、装置のコンパクト化を図ることができる。また、移載ヘッド2には最小寸法の基板の厚み計測が行える位置に厚さ計測手段が配置されているので、多品種の基板を対象とする場合においても段取り替えを必要とせずに2枚取り検査が行える。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、移載ヘッドによって保持された状態の基板を基板受け部と位置検出部とで挟み込んで厚さを計測するようにしたので、仮置きステージを必要とせずに基板の2枚取り検査が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の基板の供給装置の正面図
【図2】本発明の一実施の形態の基板の供給装置の平面図
【図3】本発明の一実施の形態の基板の供給装置の移載ヘッドの平面図
【図4】(a)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
(b)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
【図5】(a)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
(b)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
【図6】(a)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
(b)本発明の一実施の形態の基板の供給動作の説明図
【符号の説明】
1 基板供給部
2 移載ヘッド
3 基板
5 位置検出部
8 基板受け部
19 厚さ検出部
20 判定部
Claims (3)
- 基板供給部に積層状態で載置された基板を移載ヘッドによりピックアップして次工程装置に供給する基板の供給装置であって、前記移載ヘッドに保持された状態の基板の上面を受ける基板受け部とこの基板の下面に当接してこの下面の高さを検出する位置検出部とで基板を挟み込むことにより基板の厚さを計測する厚さ計測手段を備え、前記基板受け部を前記移載ヘッドに取り付けるとともに前記位置検出部を前記基板供給部から次工程装置へ至る前記移載ヘッドの移動経路に配設したことを特徴とする基板の供給装置。
- 前記移載ヘッドに下向きにした姿勢で配置されたシリンダのロッドの先端部に前記基板受け部を装着し、前記シリンダのロッドを下降させて前記基板受け部を前記移載ヘッドに保持された基板の上面に相当する高さ位置まで下降させるように構成したことを特徴とする請求項1記載の基板の供給装置。
- 前記基板受け部は、前記移載ヘッドにピックアップされる最小寸法の基板の上面に当接可能な範囲内に配設されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板の供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15908799A JP3840839B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 基板の供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15908799A JP3840839B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 基板の供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000349497A JP2000349497A (ja) | 2000-12-15 |
JP3840839B2 true JP3840839B2 (ja) | 2006-11-01 |
Family
ID=15685961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15908799A Expired - Fee Related JP3840839B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 基板の供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3840839B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102091446B1 (ko) * | 2019-08-12 | 2020-03-20 | 주식회사 디에스이엔티 | 인쇄회로기판 매수 검출용 측정장치 |
-
1999
- 1999-06-07 JP JP15908799A patent/JP3840839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102091446B1 (ko) * | 2019-08-12 | 2020-03-20 | 주식회사 디에스이엔티 | 인쇄회로기판 매수 검출용 측정장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000349497A (ja) | 2000-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3062517B2 (ja) | 物品整列装置 | |
EP3038146A1 (en) | Substrate holding assistant member and substrate transfer apparatus | |
TW201329471A (zh) | 基板檢查裝置 | |
JP5718601B2 (ja) | ダイボンダ及び半導体製造方法 | |
JPH11154797A (ja) | 吸着ノズルの下降ストローク制御方法と電子部品装着装置 | |
JPH11145683A (ja) | 部品装着装置、及び方法 | |
JP3840839B2 (ja) | 基板の供給装置 | |
JP5273428B2 (ja) | 導電性ボール搭載装置 | |
JP2001296325A (ja) | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 | |
JP3128354B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
CN115993470A (zh) | 检查装置和检查方法 | |
JP3172286B2 (ja) | 電子部品装着装置における押圧力測定装置 | |
JPH09275115A (ja) | 基板の位置決め装置 | |
JP2003053689A (ja) | 部品供給装置及び部品検出方法 | |
JP3642160B2 (ja) | 基板の2枚取り検出装置および2枚取り検出方法 | |
JP2869003B2 (ja) | 薄板の表面粗さ測定装置及び積層状態検出装置 | |
JP2002141395A (ja) | 基板保持における基板有無確認方法及び装置 | |
JP2001177296A (ja) | 表面実装部品装着機および表面実装部品装着方法 | |
JP3449178B2 (ja) | 導電性ボールの移載方法 | |
JP4147368B2 (ja) | マウントヘッド | |
JP4051166B2 (ja) | ペレットボンディング方法および装置 | |
CN221078431U (en) | Wafer detection equipment | |
JP3449192B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
JPH06230061A (ja) | 回路基板検査機の基板矯正方法 | |
WO2021206028A1 (ja) | ハンドシステム及びハンド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050603 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051024 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060718 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060731 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090818 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |