JP3106153B2 - Lcフィルターの製造方法 - Google Patents
Lcフィルターの製造方法Info
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Description
電部を層間に介在させて所望数の磁性体または誘電体で
なる絶縁層により積層体を形成すると共に、その積層体
でなるインダクタ部,コンデンサ部を単一体として複合
化するLCフィルターの製造方法に関するものである。
によるインダクタンス素子が知られている(特公昭60
ー50331号)。このインダクタンス素子は絶縁物塗
料を用いて第1の生シートを形成し、その生シートのシ
ート面にコイル形成用の導電パターンを導電性塗料で約
半パターン分形成し,次いで該導電パターンの一端部を
露出する開孔を設けることにより第2の生シートを絶縁
物塗料で形成し、更に、第2の生シートのシート面にコ
イル形成用の他の約半パターン分の導電パターンを導電
性塗料で形成し、この導電パターンの一端部を第2の生
シートに設けた開孔から露出する下層の導電パターンの
一端部と接続させ、以下同じ工程で第3,第4の生シー
トを反復させて積層印刷し、各シート毎に約半パターン
分形成する導電パターンの端部を互い違いの位置で開孔
を介して接続し、その後に積層された生シートを焼成す
ることにより連続コイルを内部に有する積層体として形
成されている。
ト法,即ち、所定の導電パターンをシート面に形成した
絶縁物材料の生シートを予め形成して置き、その生シー
トを積重ね且つ所定な導電パターン相互を電気的に接続
するという積層手段を適用すると、導電パターン相互の
接続が非常に困難であるとの背景の下に開発されたもの
である。
上下層の導電パターン相互を接続するには上層の生シー
トの印刷時に開孔を設けて下層の導電パターンの端末を
露出させ、その端部に生シートの厚みを介し、次に形成
する導電パターンの端末を接触させる如く印刷すること
により開孔にダレが生じ易い。
込ませて順次に接続する導電パターンを印刷しなければ
ならないため、導電パターン相互の接続は専ら印刷精度
如何によって保たれるものであり、更に、生シートのシ
ート面に形成する導電パターンの一般部分と生シートの
開孔位置に形成する端末部分との印刷厚み差を正確に管
理しなければ確実で望ましい電気的接続が図れない。
縮を図れて生産性を向上でき、画像処理技術,機械的制
御技術の進歩に伴ってシートの薄層化,積層精度の向上
を図れ、更には導電パターンを形成するときの滲みやか
すれ或いはピンホール等の発生を防げることを踏まえれ
ば、印刷法に比べて積層型の電子部品を製造するのに極
めて有効である。但し、各層毎の導電パターンを電気的
に確実に接続することがシート法の生産性を向上する大
きな妨げとなっている。
用し、各層毎に形成される電極となる導電部相互の電気
的接続を確実に取れるよう改良したLCフィルターの製
造方法を提供することを目的とする。
ターの製造方法においては、絶縁物材料の塗膜により絶
縁層を帯状フィルムのフィルム面に形成し、内部電極と
なる導電部を導電材料で絶縁層に形成し、その内部電極
となる導電部を層間に介在させて所望数の磁性体または
誘電体でなる絶縁層により積層体を形成し、この積層体
でなるインダクタ部,コンデンサ部を単一体として複合
化するべく、レーザ照射によるスルーホールを絶縁層に
形成すると共に、凹状の窪み部を帯状フィルムのフィル
ム面に形成し、そのスルーホールから凹状の窪み部に充
填する導電材料により絶縁層から露出する内部電極接続
用の導電部を形成し、この内部電極接続用の導電部によ
り内部電極となる導電層を互いに接続させてインダクタ
部,コンデンサ部を単一体として複合化するようにされ
ている。
スルーホールから凹状の窪み部に充填する導電材料によ
り絶縁層から露出する内部電極接続用の導電部を形成す
るため、その内部電極接続用の導電部を他の絶縁層の電
極となる導電部と位置的に一致させれば、インダクタ部
とコンデンサ部との電気的接続でも簡単にしかも確実に
取ることができる。
得られるLCフィルターの内部構造を模式的に示す。図
中、符号1はインダクタ部(L)で、10…はインダク
タ本体を積層形成する各絶縁層、11…は複数層の絶縁
層10…に形成された導電性材料の内部電極となる導電
部、12…は絶縁層10…の所定位置に貫通形成された
スルーホール、13…はスルーホール12の孔内に埋め
込まれて他層の内部電極となる導電部と接触固定される
導電性材料による接続用の導電部である。
上述したインダクタ部1のものと同様な構成を有する。
符号20…は絶縁層、21…は対向電極を形成する導電
部、22…はスルーホール、23…はインダクタ部1の
導電部またはコンデンサ部2の導電部相互を接続する導
電部である。
3…は、スルーホール12…,22…の孔内に埋め込ま
れて端部相互で接触固定されている。また、インダクタ
部1とコンデンサ部2とも、各部品本体1,2の下面ま
たは上面にスルーホール12,22を介して接続用の導
電部13,23を引き出すことにより各部1,2の電気
的接続が取られている。
の孔内を埋め込む接続用導電部13…,23…を備える
ところから取れる。この構成では、接続用導電部13
…,23…の端部相互を各絶縁層10…,20…の圧着
成形と共に機械的に接触固定することにより導電部相互
の電気的接続が確実に図られている。
ダクタ部1の製造工程を示し、磁性体または誘電体の絶
縁材料による生シートに施される作業内容を示す。これ
ら各図では、各部が積層焼成処理前のものとして、図1
で示すものと同じ符号で示されている。
プラスチックフィルム或いは紙の如き帯状フィルム3の
フィルム面に、絶縁物材料の塗膜により、生シート10
を形成する工程を示す。そのベースとなる帯状フィルム
3としては、連続した帯状のものが用いられている。こ
の帯状フィルム3は、生シート10の形成以後一連の工
程における略最終段階まで生シート10を担持搬送す
る。
は、部品機能に応じて磁性体,誘電体等の塗料が用いら
れる。その厚さは、5〜150μm程度に塗布するよう
にできる。この工程では、帯状フィルム3をアンワィン
ダー30から連続的に繰り出し、フィルム面にはドクタ
ーブレード等のコーター31で絶縁物塗料を塗布するこ
とができる。
て、スルーホール12…を生シート10に形成する工程
を示す。そのスルーホール12…は、回路構成の必要上
から、後述する導電部11の形成位置並びに導電部11
から外れた生シートのシート面に形成される。
り形成でき、レーザーの使用条件は生シート10の材質
に応じて異なるが、YAG−CWレーザー,YAGパル
スレーザー,エキシマレーザーを用いるようにできる。
このうち、YAG−CWレーザーとしてはQ−sw周波
数1〜30KHzを用いることができる。
2…は孔径0.1mm程度に形成でき、それは印刷法に
よるものと比べれば1/2〜1/4程度小さく形成でき
る。また、レーザ照射では光源から複数に分岐させれ
ば、10個/秒程度のスルーホール12…を同時に形成
するようにできる。
形成するとき、図4で示すように凹状の窪み部4を帯状
フィルム3のフィルム面にまで形成する。その窪み部4
は、後工程で接続用の導電部13を形成するのに用いら
れる。図中、符号40はレーザー照射機を示し、上述し
た生シート10に形成される印刷マークや透孔等の位置
決めマークを用いて照射点を画像処理による自動アライ
メントで位置決めすることができる。
よる所定形状の内部電極となる導電部11を生シート1
0のシート面に形成する工程を示す。その導電材料とし
ては、銀ペースト等の導電塗料あるいは薄膜電極を用い
ることができる。特に、RhレジネートをAgペースト
に添加したものを用いると燒結性を抑制でき、また、薄
膜でしかも所定の比抵抗を得られるところから好まし
い。
て形成でき、平面コイルを多層化する一層のパターンと
して最も効率的な3/4コイルパターンに形成するとよ
い。また、スクリーン印刷に代えて、画像処理による描
画方式あるいはジェット方式を適用すれば、多種の複雑
なコイルパターンにも即時対応できる。
6で示すようにスルーホール12から帯状フィルム3の
窪み部4にまで導電性材料を充填することにより、絶縁
層11から帯状フィルム3のフィルム面に露出する接続
用の導電部13を形成する。
導電部11と生シートとの段差を埋めるべく、磁性材塗
層14を形成する。この塗層14を設けると、後述する
熱プレスに伴うストレスが生シート10に加わるのを解
消できる。
印刷機を用いて行える。このスクリーン印刷でも、位置
決めマーク或いはスルーホールを画像処理装置で検出す
ることによりスクリーン製版を位置決め制御し、また、
導電性塗料乃至は磁性材塗料をスキージでスルーホール
12または導電部11の段差間に正確に充填するように
できる。
持した帯状フィルム3を剥離し、複数枚の生シート10
を積み重ねる。この工程は図8で示す積層機50を用い
て行え、一旦巻き取った生シート10をアンワィンダー
51から繰り出し、それと共に、帯状フィルム3をワイ
ンダー52で巻き取ることにより生シート10から帯状
フィルム3を剥ぎ取る。
でカード状に切断し、真空吸着機54で後工程に引き続
くプレス機のスタッカ台55まで順次搬送する。スタッ
カ台55は画像処理装置56でX,Y,θ方向に位置決
め制御し、真空吸着機54で積み重ね搬送される生シー
ト10を10μm以下の精度で位置合させて複数枚積層
できる。この積層時には一枚づつ順次に積層し、或いは
4〜10数枚を積層させて一旦プールした後各積層体単
位で積み重ねることもできる。
型57で仮プレスを加えた後、同様な加熱圧着で本プレ
ス処理を加える。このときの圧力,温度は生シート10
の材質で異なるが、仮プレスは圧力0.3Kg/cm2 ,
温度50〜100℃程度でよく、本プレスは圧力300
〜1000Kg/cm2 ,温度50〜100℃程度で行え
る。
…に充填された接続用導電部13は他の絶縁層に形成さ
れた導電部11と圧縮固定できる。また、各生シート1
0も導電パターン11を層間に挟み込んで緊密に面接触
することにより一体成形できる。
工程として説明したが、絶縁層10を形成する生シート
の材質を変え、また、対向電極となる導電部11(11
a,11b)のパターンを変えることによりコンデンサ
部2の成形にも適用できる。
毎に積層燒結した後、各部1,2の引出し電極を積層体
の周側面に形成する外部端子で接続することにより複合
化できる。これに代えて、上述したスルーホールを適用
し、インダクタ部1とコンデンサ部2とを接続用の導電
部で連結してもよく、これでは外部端子の形成数を少な
くできるところから好ましい。
とコンデンサ部2との各積層体を形成した後、相互を積
層させて燒結処理し、その燒結体をサイダー等でLCフ
ィルターの単位構成体として切断成形すればよい。
ーの製造方法によれば、内部電極となる導電部相互並び
に他の部品相互との電気的接続をスルーホールに充填形
成する接続用導電部で容易に且つ確実に取れるから、シ
ート法の有効活用で生産性を向上できるばかりでなく、
薄層化による製品設計の自由度増大,コストの低減等を
図れる。
ーの内部構造を模式的に示す断面図である。
図である。
す説明図である。
図である。
図である。
る。
トを示す断面図である。
するまでの工程で用いられる装置の斜視図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 絶縁物材料の塗膜により絶縁層を帯状フ
ィルムのフィルム面に形成し、内部電極となる導電部を
導電材料で絶縁層に形成し、その内部電極となる導電部
を層間に介在させて所望数の磁性体または誘電体でなる
絶縁層により積層体を形成し、この積層体でなるインダ
クタ部,コンデンサ部を単一体として複合化するLCフ
ィルターの製造方法において、 レーザ照射によるスルーホールを絶縁層に形成すると共
に、凹状の窪み部を帯状フィルムのフィルム面に形成
し、そのスルーホールから凹状の窪み部に充填する導電
材料により絶縁層から露出する内部電極接続用の導電部
を形成し、この内部電極接続用の導電部により内部電極
となる導電層を互いに接続させてインダクタ部,コンデ
ンサ部を単一体として複合化するようにしたことを特徴
とするLCフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03271964A JP3106153B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | Lcフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03271964A JP3106153B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | Lcフィルターの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0582344A JPH0582344A (ja) | 1993-04-02 |
JP3106153B2 true JP3106153B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=17507266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03271964A Expired - Fee Related JP3106153B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | Lcフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3106153B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07201592A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型lc複合部品 |
JPH08316766A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Murata Mfg Co Ltd | Lcフィルタ |
US5781081A (en) * | 1995-09-01 | 1998-07-14 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | LC-type dielectric filter having an inductor on the outermost layer and frequency adjusting method therefor |
JP2007059708A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Tdk Corp | 積層コンデンサの製造方法 |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP03271964A patent/JP3106153B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH0582344A (ja) | 1993-04-02 |
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