JP3086158B2 - 超音波ボンディング方法 - Google Patents

超音波ボンディング方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波ボンディング方
法に係り、特に、超大規模集積回路（超ＬＳＩ）等を構
成している半導体デバイス上の金属電極端子に、低い損
傷状態を維持しながら接続ワイヤを超音波ボンディング
する超音波ボンディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】超ＬＳＩ等の半導体装置においては、半
導体装置の基板の所要個所に設けられた多数の金属電極
端子にそれぞれ接続ワイヤをボンディングによって回路
接続する必要があり、このボンディングには、通常、超
音波ボンディング装置を用いた超音波ボンディング方法
が利用されている。かかる超音波ボンディング方法は、
半導体装置の基板の金属電極端子に接続ワイヤをボンデ
ィングする際に、主として、６０ｋＨｚの振動周波数の
超音波または１２０ｋＨｚの振動周波数の超音波を加え
ながら、ボールボンディングまたはウェッジボンディン
グを行う方法である。
【０００３】既知の超音波ボンディング方法における最
も汎用的なボンディング手段は、超音波ボンディング装
置によって６０ｋＨｚの振動周波数の超音波を加えなが
ら、接続ワイヤを金属電極端子にボールボンディングす
る手段である。かかる超音波ボンディングを行うときに
は、超音波ボンディング装置として、ボンディングツー
ル先端の振動振幅が最大５μｍ以上のものが用いられ
る。そして、この超音波ボンディング装置を使用する際
には、好ましくは、接続ワイヤとして線径２５μｍ乃至
３８μｍの金（Ａｕ）ワイヤが用いられ、接続部（ワー
ク）を温度２００℃以上に予備加熱した状態の基で超音
波ボンディングが行われるもので、高強度の超音波ボン
ディングを行うため、ボンディングツール先端の振動振
幅は２μｍ乃至３μｍ程度になるように選択される。
【０００４】また、既知の超音波ボンディング方法にお
ける他のボンディング手段は、超音波ボンディング装置
によって１２０ｋＨｚの振動周波数の超音波を加えなが
ら、接続ワイヤを金属電極端子にウェッジボンディング
する手段がある。かかる超音波ボンディングを行うとき
には、ボンディングツール先端の振動振幅が最大４μｍ
程度のものが用いられる。そして、この超音波ボンディ
ング装置を使用する際には、前述の汎用的なボンディン
グ手段と同様、高強度の超音波ボンディングを行うた
め、ボンディングツール先端の振動振幅は２μｍ乃至３
μｍ程度になるように選択される。
【０００５】ところで、既知の超音波ボンディング方法
における超音波ボンディングの原理は、固体状態にある
２つの接合材、即ち、接続ワイヤを構成する金属材料、
例えば、金（Ａｕ）ワイヤと、金属電極端子を構成する
金属材料、例えば、アルミニウム（Ａｌ）電極端子とを
接触させた後、金（Ａｕ）ワイヤとアルミニウム（Ａ
ｌ）電極端子とからなる２つの金属材料間を押圧しなが
ら摩擦振動を加え、これら２つの金属材料の表面接合部
分に付着している接合阻害物質や酸化被膜等を除去しな
がら、これら金属材料を原子間隔レベルになるように密
着させることにより、これらの金属材料間に金属結合を
生じさせ、所要のボンディングが行われるものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一般に、超ＬＳＩ等の
半導体装置に設けられる金属電極端子、即ち、アルミニ
ウム（Ａｌ）電極端子は、シリコン（Ｓｉ）製の半導体
基板上に数百Å乃至千数百Åの厚さの２酸化シリコン
（ＳｉＯ2 ）絶縁膜を設け、この２酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ2 ）絶縁膜上に数千Å乃至数μｍの厚さのアルミニウ
ム（Ａｌ）合金膜を設けた構造のものである。そして、
かかる構造のアルミニウム（Ａｌ）電極端子は、アルミ
ニウム（Ａｌ）合金の種類に応じて、アルミニウム（Ａ
ｌ）合金膜の中にシリコン（Ｓｉ）が析出することがあ
り、このシリコン（Ｓｉ）の析出によりアルミニウム
（Ａｌ）電極端子にシリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュー
ル）が形成されることがある。
【０００７】このアルミニウム（Ａｌ）電極端子に、接
続ワイヤである金（Ａｕ）ワイヤをボールボンディング
によって超音波ボンディングする場合は、超音波ボンデ
ィング装置により、金（Ａｕ）ワイヤの端部に形成した
ボール部をアルミニウム（Ａｌ）電極端子に押付け、ア
ルミニウム（Ａｌ）の電極端子の表面にこのボール部で
強く押圧しながら摩擦振動させ、超音波ボンディングを
行っている。そして、この超音波ボンディングの際に
は、ボール部が押圧されるアルミニウム（Ａｌ）合金膜
の内部部分や、アルミニウム（Ａｌ）合金膜と２酸化シ
リコン（ＳｉＯ2）絶縁膜との界面部分等に高い剪断応
力や内部歪が加えられるが、これらの剪断応力や内部歪
の大きさがそれぞれ一定の限界値を超えるようになる
と、２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜中にマイクロク
ラックが生じたり、極端な場合は、シリコン（Ｓｉ）製
半導体基板中にクラックが生じたりする。
【０００８】２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜やシリ
コン（Ｓｉ）製半導体基板中にクラックが生じるとき、
アルミニウム（Ａｌ）合金膜中にシリコン（Ｓｉ）の塊
（ノジュール）が形成されていたとすれば、金（Ａｕ）
製ボールでアルミニウム（Ａｌ）電極端子を押圧したと
きの剪断応力は、シリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）
の周辺部に集中し、摩擦振動を行うときの押圧力が比較
的小さくても、または、低荷重条件であったとしても、
２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜中に簡単に微小なク
ラックが生じるようになる。この他にも、２酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜の厚さが所定の厚さより薄かった
場合や、２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜の下に異種
材料層が形成された多層構造になっている場合等におい
ては、前述の場合と同様に、摩擦振動を行うときの押圧
力が小さくても、または、低い荷重条件であったとして
も、２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜中に簡単に微小
なクラックが生じるようになる。また、２酸化シリコン
（ＳｉＯ2 ）絶縁膜等に微小なクラックが生じた場合
は、この微小なクラックの発生に基づき、その後で、ボ
ールボンディングの剥がれを生じさせるような大きなク
ラックの発生を誘起することがある。さらに、半導体装
置の基板の構成材料が、ガリウム・砒素（ＧａＡｓ）や
燐・インジウム（ＩｎＰ）等の比較的脆い材料で構成さ
れる場合には、超音波ボンディング時において、摩擦振
動を行うときの押圧力を小さくしても、その直後に半導
体デバイス基板まで達するような大きなクラックを発生
させることがある。
【０００９】このように、既知の超音波ボンディング方
法は、超音波ボンディング装置を用いて、半導体装置の
基板上に設けられた金属電極端子に接続ワイヤを超音波
ボンディングする際に、前述のような理由により、２酸
化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜等にクラックが生じるこ
とがあり、半導体装置で必要とされる諸特性が損われ
て、半導体装置の信用性が欠如したり、その製造マージ
ンが低下したりする等の問題を有している。
【００１０】本発明は、かかる問題点を解決するもので
あって、その目的は、半導体基板上に設けられた金属電
極端子に接続ワイヤを超音波ボンディングする場合、金
属電極端子の下部に発生する物理的損傷を大きく低減さ
せるようにした超音波ボンディング方法を提供すること
にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、半導体基板上に設けられた金属電極端子
に、ボンディング装置を用いて接続ワイヤを超音波ボン
ディングする超音波ボンディング方法において、常温状
態または２００℃以下の加熱温度状態の基で、前記ボン
ディング装置のボンディングツール先端の振動振幅を前
記金属電極端子の膜厚以下になるように選択し、かつ、
ボンディングツールに０．４Ｎ以下の荷重をかけなが
ら、その振動周波数を７０ＫＨｚ以上になるように選択
して超音波ボンディングを行う第１の手段を備える。
【００１２】また、前記目的を達成するために、本発明
は、前記第１の手段において、超音波振動子が発生する
機械的振動をボンディングツールに加えながら超音波ボ
ンディングし、前記超音波振動子は圧電素子であって、
前記圧電素子への入力電力Ｅが０．００１（Ｗ）≦Ｅ≦
１．０（Ｗ）の範囲にあるとき、ツール先端の無負荷時
の振動振幅Ａ（μｍ）がＡ≦４Ｅ・ｅ（１６／３）乗の
関係を満たし、また、前記入力電力Ｅが１．０（μｍ）
≦Ｅ≦１０．０（μｍ）の範囲にあるとき、前記無負荷
時の振動振幅Ａ（μｍ）がＡ≦４（μｍ）の関係を満た
すように振動するものである第２の手段を備える。
【００１３】この場合、前記第２の手段において、前記
ボンディングツールの振動振幅を、無負荷時の振動振幅
Ａ（μｍ）の１／２以上に選択する補助手段を備える。
【００１４】また、前記第２の手段において、前記超音
波振動子が発生する機械的振動を１００ＫＨｚ以上の超
音波周波数に選び、前記ボンディングツール先端の振動
を、無負荷時の振動振幅Ａ（μｍ）と振動周波数ｆ（Ｋ
Ｈｚ）との間でｌｏｇＡ≧ー０・３１×ｌｏｇｆ2 ＋
１．４１４が満たされるように選択する他の補助手段を
備える。
【００１５】
【作用】前記第１の手段によれば、ボンディング装置を
用いて、半導体基板上に設けられた金属電極端子に接続
ワイヤを超音波ボンディングする場合、この超音波ボン
ディングは、常温状態または２００℃以下の加熱温度状
態の基において、ボンディング装置のボンディングツー
ル先端の振動振幅を金属電極端子の膜厚以下になるよう
な小振幅になるように選択し、しかも、ボンディングツ
ールに０．４Ｎ（ニュートン）以下の荷重をかけなが
ら、その振動周波数を既知の振動周波数６０ＫＨｚより
も高い７０ＫＨｚ以上になるように選択するようにして
いるので、超音波ボンディングが行われる際に、金属電
極端子だけでなく、その下側の絶縁膜や半導体基板等に
大きな剪断応力や圧力歪を与えることが少なくなり、金
属電極端子自体やその下側にある絶縁膜及び半導体基板
等に、マイクロクラックまたはクラック等の微小な物理
的損傷を生じさせることが大幅に低減され、超音波ボン
ディングした後の半導体装置の各種の特性の劣化を防ぐ
ことができる。この場合、ボンディングツール先端の振
動振幅を、好ましくは、金属電極端子の膜厚の１／２以
下になるようにすれば、金属電極端子自体やその下側に
ある絶縁膜及び半導体基板等に生じるマイクロクラック
またはクラック等の微小な物理的損傷をほぼ完全になく
すことができる。
【００１６】なお、超音波ボンディングを行う際に、ボ
ンディング装置のボンディングツール先端の振動振幅の
みを低減させれば、金属電極端子と金属ワイヤとの接合
を行うのに必要な摩擦エネルギーが不足し、ボールボン
ディング時に必要とされるボール部の剪断強度０．３Ｎ
（ニュートン）以下になるが、前記第１の手段において
は、振動振幅の低減に加えて、振動周波数を既知の周波
数よりも高くなるようにしているので、超音波ボンディ
ング時における投入エネルギーの不足が補われるように
なり、前述のように良好な状態で超音波ボンディングを
行うことができる。
【００１７】また、前記第２の手段によれば、半導体基
板上に設けられた金属電極端子に超音波振動子が発生す
る機械的振動を加えながら、接続ワイヤを超音波ボンデ
ィングする超音波ボンディング方法において、以下に挙
げる手段を採用すると、良好な超音波ボンディング特性
を得られることを実験的に確かめることができた。
【００１８】即ち、かかる超音波ボンディング方法にお
いて、ボンディング接合領域を常温状態または２００℃
以下の加熱温度状態の基で超音波ボンディングする際
に、圧電素子からなる超音波振動子への入力電力Ｅが、
０．００１≦Ｅ≦１．０（Ｗ）の範囲内にあるとき、ボ
ンディングツール先端の無負荷時の振動振幅Ａが、Ａ≦
４Ｅ・ｅ（１６／３）乗（μｍ）の関係を満たし、ま
た、入力電力Ｅが、１．０≦Ｅ≦１０．０（Ｗ）の範囲
内にあるとき、無負荷時の振動振幅Ａが、Ａ≦４（μ
ｍ）の関係を満たすように振動させれば、金属電極端子
やその下側の絶縁膜及び半導体基板等に大きな剪断応力
や圧力歪が加えられることがなく、金属電極端子自体や
その下側にある絶縁膜及び半導体基板等に、マイクロク
ラックまたはクラック等の微小な物理的損傷を生じさせ
ることが大幅に低減され、超音波ボンディングを行った
後の半導体装置の各種の特性の劣化を防ぐことができ
る。
【００１９】この場合、前記第２の手段において、ボン
ディングツール先端の振動振幅を無負荷時の振動振幅Ａ
（μｍ）の１／２以上に選択するか、または、超音波振
動子が発生する機械的振動を１００ＫＨｚ以上の超音波
周波数にし、ボンディングツール先端の振動を無負荷時
の振動振幅Ａ（μｍ）と振動周波数ｆ（ＫＨｚ）との間
でｌｏｇＡ≧ー０・３１×ｌｏｇｆ2 ＋１．４１４の関
係が満たされるようにすれば、前述の作用がより助成さ
れ、金属電極端子自体やその下側にある絶縁膜及び半導
体基板等に、マイクロクラックまたはクラック等の微小
な物理的損傷を生じさせることが大幅に低減させ、超音
波ボンディングした後の半導体デバイスにおける各種の
特性の劣化を大幅に防ぐことができる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
【００２１】図１は、本発明による超音波ボンディング
方法が実施される場合に、超音波ボンディング部分の要
部構成を示す断面図である。
【００２２】図１において、１はシリコン（Ｓｉ）基板
（半導体基板）、２は２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁
膜、３はアルミニウムーシリコンー銅（ＡｌーＳｉーＣ
ｕ）合金電極端子（金属電極端子、以下、これを合金電
極端子という）、４は保護用パッシベーション膜、５は
金（Ａｕ）製接続ワイヤ、５ａはワイヤ部、５ｂはボー
ル部、６は超音波ボンディング装置（図示なし）のキャ
ピラリツール（ボンディングツール）、６ａはワイヤ支
持孔である。
【００２３】そして、半導体装置のシリコン（Ｓｉ）基
板１は、上側に２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜２が
設けられる。２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜２は、
上側に合金電極端子３及び保護用パッシベーション膜４
がそれぞれ設けられる。この場合、保護用パッシベーシ
ョン膜４は、合金電極端子３の電極露出部を除き、シリ
コン（Ｓｉ）基板１全体を覆うように設けられる。ま
た、接続ワイヤ５は、径が一定のワイヤ部５ａと一端部
に設けられた大径のボール部５ｂとからなる。超音波ボ
ンディング装置のキャピラリツール６は、中央にワイヤ
支持孔６ａを有し、このワイヤ支持孔６ａに接続ワイヤ
５のワイヤ部５ａが挿通され、ボール部５ｂが合金電極
端子３側になるように支持される。
【００２４】前記構成において、超音波ボンディングを
行う場合には、始めに、常温状態または接合領域を２０
０℃の温度に加熱した状態において、接続ワイヤ５のワ
イヤ部５ａを支持したキャピラリツール６を、合金電極
端子３上に位置決めし、接続ワイヤ５のボール部５ｂを
合金電極端子３の表面に接触させる。次に、キャピラリ
ツール６に超音波振動を加えてキャピラリツール６先端
を振動させ、この超音波振動を加えた状態でキャピラリ
ツール６先端を合金電極端子３側に押し付け、ボール部
５ｂにより合金電極端子３の表面に荷重を加える。この
とき、合金電極端子３は、超音波振動しているボール５
ｂが押圧されることにより、合金電極端子３を構成する
アルミニウムーシリコンー銅（ＡｌーＳｉーＣｕ）合金
とボール５ｂを構成する金（Ａｕ）との間が金属的に接
合され、所要のボールボンディングが行われて、接続ワ
イヤ５が合金電極端子３に強固に超音波ボンディングさ
れるものである。
【００２５】ここで、本実施例の超音波ボンディング方
法に用いられる接続ワイヤ５は、例えば、ワイヤ部５ａ
の径が３０μｍで、ボール部５ｂの径が６５μｍのもの
である。また、キャピラリツール６先端に加える超音波
振動は、合金電極端子３の膜厚Ｈが、０．８μｍであっ
たとすれば、例えば、その振動周波数が１８０ｋＨｚ、
その振動出力電力が０．１Ｗであり、その振動振幅が
０．３μｍになるように選択される。
【００２６】このように、本実施例の超音波ボンディン
グ方法は、キャピラリツール６先端に加える超音波振動
の振動周波数や振動振幅を選択しているものであるが、
次にかかる選択を行っている技術的根拠について述べ
る。
【００２７】まず、既知の超音波ボンディング装置にお
いては、例えば、ワイヤ部５ａの径が３０μｍの金（Ａ
ｕ）製接続ワイヤ５を、ボンディング接合領域を加熱し
た状態にして合金電極端子３に超音波ボンディングする
場合、キャピラリツール６に加える超音波振動は、超音
波周波数を６０ｋＨｚに選択したとき、無負荷時の振幅
が２μｍ乃至３μｍになるように選択しており、また、
超音波周波数を１２０ｋＨｚに選択したとき、無負荷時
の振幅が１μｍ乃至２μｍ以上になるように選択してい
た。既知の超音波ボンディング装置がこのような選択を
行っている理由は、ボンディング時に、キャピラリツー
ル６の負荷が増大することによってキャピラリツール６
先端の振動振幅が減衰し、超音波ボンディングの際の接
続ワイヤ５の接合強度が低下するようになるが、かかる
接合強度の低下を防ぐため、超音波ボンディングが進行
してキャピラリツール６の負荷が増大したとき、キャピ
ラリツール６先端の振動振幅が所定値に維持できるよう
に、キャピラリツール６への入力条件が比較的大きな値
になるように選んでいることによる。ところが、キャピ
ラリツール６への入力条件を比較的大きな値にすると、
超音波ボンディングの初期段階においてはキャピラリツ
ール６の負荷が小さいため、キャピラリツール６先端の
振動振幅が大きくなり過ぎることになる。そして、超音
波ボンディング接合領域にかかる大きな振動振幅が加え
られると、ボンディング接合領域の下側に大きな力が加
わり、合金電極端子３や２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶
縁膜２及びシリコン（Ｓｉ）基板１に物理的損傷を与え
るようになり、しかも、合金電極端子３にシリコン（Ｓ
ｉ）の塊（ノジュール）が形成されていたとすれば、こ
のシリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）近傍部分に局所
的な大きな応力が加わり、前述のように物理的損傷を与
えることが大幅に増大することになる。
【００２８】図２は、超音波ボンディングの接合領域へ
の投入エネルギー（キャピラリツール６を超音波振動さ
せる超音波振動子への入力電力）と、キャピラリツール
６先端の振動振幅と、超音波ボンディング時の接合強度
との３者の関係を表した特性図である。
【００２９】図２において、縦軸はμｍで表したキャピ
ラリツール６先端の振動振幅であり、横軸は接合領域へ
の投入エネルギー（振動子への入力電力）である。ま
た、特性曲線イは接合状態の良否範囲を表す境界線、特
性曲線ロは合金電極端子３の下側に生じる物理的損傷等
の許容範囲を表す境界線、特性曲線ハは超音波ボンディ
ング装置Ａの振動特性を表す直線、特性曲線ニは超音波
ボンディング装置Ｂの振動特性を表す直線である。
【００３０】本発明者等の研究によれば、キャピラリツ
ール６先端の振動振幅と、ボンディング接合領域への投
入エネルギーと、ボンディング接合強度との関係を求め
たとき、理論上、図２に図示されるような関係であるこ
とが判明した。即ち、超音波ボンディングにおいて、必
要なボンディング接合強度が得られる条件は、特性曲線
イに示されるように、ボンディング接合領域への投入エ
ネルギーが大きくなる程、キャピラリツール６先端の振
動振幅は小さい値で足り（特性曲線イの上側領域）、ま
た、超音波ボンディングによる物理的損傷の発生は、特
性曲線ロに示されるように、キャピラリツール６先端の
振動振幅の大きさがある値を超えると、急激に増大する
（特性曲線ロの上側部分）。さらに、超音波振動の振動
周波数を異にしている２つの超音波ボンディング装置
Ａ、Ｂ（振動周波数の大小関係、Ａ＜Ｂ）間において、
周囲条件が一定である場合は、特性曲線ハ、ニに示され
るように、超音波振動子への入力電力（ボンディング接
合領域への投入エネルギー）は一定の相関を有してい
て、２つの超音波ボンディング装置Ａ、Ｂは、いずれ
も、超音波振動子への入力電力の増大に比例してキャピ
ラリツール６先端の振動振幅も平行して増大するように
なる。この場合、２つの超音波ボンディング装置Ａ、Ｂ
間において、良好なボンディング接合強度が得られる条
件領域は、特性曲線が図２の右側にある程広くなってい
ることから、振動周波数は高い方が好ましいことにな
る。
【００３１】以上の観点に基づいて、本発明者等は、本
実施例の超音波ボンディング方法を特定するに当たっ
て、超音波ボンディング装置の振動特性としては、キャ
ピラリツール６先端の振動振幅が既知の超音波ボンディ
ング装置におけるキャピラリツール６先端の振動振幅よ
りも数分の１乃至数１０分の１以下になるように選び、
かつ、超音波振動の振動周波数が既知の超音波ボンディ
ング装置における同振動周波数よりも高くなるように選
んでいるもので、具体的には、キャピラリツール６先端
の振動振幅が合金電極端子３の膜厚Ｈ以下になるように
選び、また、振動周波数が７０ＫＨｚ以上になるように
選んでいる。
【００３２】また、図３は、超音波ボンディング装置の
超音波振動子への入力電力とボンディングツール先端の
無負荷時の振動振幅Ａとの関係に基づき、既に述べた本
発明による超音波ボンディング方法において必要とする
条件領域を求めた特性図である。
【００３３】図３において、横軸はワット（Ｗ）で表し
た超音波振動子への入力電力Ｅ、縦軸はマイクロメータ
（μｍ）で表したボンディングツール先端の無負荷時の
振動振幅Ａであり、右下がりの平行斜線で表した領域Ｇ
は本発明による超音波ボンディング方法で必要とされる
条件領域、左下がりの平行斜線で表した領域Ｐは既知の
超音波ボンディング方法または装置における条件領域で
ある。
【００３４】図３に示されるように、本発明による超音
波ボンディング方法で必要とする条件領域Ｇは、超音波
振動子への入力電力Ｅが０．００１乃至１０（Ｗ）の範
囲のとき、ボンディングツール先端の無負荷時の振動振
幅Ａが０．０１乃至０．１（μｍ）の範囲で指定された
長方形の第１領域と、超音波振動子への入力電力Ｅが
０．００１乃至１．０（Ｗ）の範囲のとき、ボンディン
グツール先端の無負荷時の振動振幅Ａが０．１から４．
０（μｍ）まで直線的に増加する範囲で指定された直角
３角形の第２領域と、超音波振動子への入力電力Ｅが
１．０乃至１０．０（Ｗ）の範囲のとき、ボンディング
ツール先端の無負荷時の振動振幅Ａが０．１乃至４．０
（μｍ）の範囲で指定された長方形の第３領域とからな
っている。そして、条件領域Ｇ内において、超音波振動
子への入力電力Ｅとボンディングツール先端の無負荷時
の振動振幅Ａとの関係を見ると、超音波振動子の振動周
波数が７０ＫＨｚのときは特性曲線Ａで示され、超音波
振動子の振動周波数が１３０ＫＨｚのときは特性曲線Ｂ
で示され、超音波振動子の振動周波数が１７２ＫＨｚの
ときに特性曲線Ｃで示されるもので、これら３つの特性
曲線Ａ乃至Ｃは、前記入力電力Ｅと振動振幅Ａとの関係
を対数領域で表したとき、いずれも、傾斜がｌｏｇＥ／
ｌｏｇＡが略（１．６）／３、即ち、ｌｏｇＥ／ｌｏｇ
Ａ＝（１．６）／３の直線になる。このため、条件領域
Ｇの中の直角３角形の第２領域における直角に対面する
１辺の傾斜は、前記傾斜と同様に、略ｌｏｇＥ／ｌｏｇ
Ａ＝（１．６）／３の傾斜を持つ直線になる。
【００３５】ちなみに、既知の超音波ボンディング方法
または装置のように、超音波振動子の振動周波数が６０
ＫＨｚに選択されている場合は、図３に図示の楕円形の
条件領域Ｐからなっている。このとき、超音波振動子へ
の入力電力Ｅとボンディングツール先端の無負荷時の振
動振幅Ａとの関係は、特性曲線Ｄで示されるもので、こ
の特性曲線Ｄは、本発明の条件領域Ｇ内の３つの特性曲
線Ａ乃至Ｃと類似の傾斜を有しているものであるが、既
知の条件領域Ｐに含まれる超音波ボンディング装置の入
力電力Ｅの範囲は、本発明の条件領域Ｇに含まれる超音
波振動子への入力電力Ｅの範囲に比べてかなり狭く、し
かも、既知の条件領域Ｐに含まれるボンディングツール
先端の無負荷時の振動振幅Ａの範囲は、本発明の条件領
域Ｇに含まれるボンディングツール先端の無負荷時の振
動振幅Ａに比べて相当に狭くなっているだけでなく、振
動振幅Ａの大きさも、かなり高いレベルを必要とするも
のである。
【００３６】さらに、図４は、超音波ボンディングを行
う際に、ボンディングツールに加える荷重Ｍと、ボンデ
ィングツール先端の無負荷時の振動振幅Ａとの関係を示
す特性図であって、超音波振動子の振動周波数をパラメ
ータにして表しているものである。
【００３７】図４において、横軸はニュートン（Ｎ）で
表したボンディングツールに加える荷重Ｍであり、縦軸
はマイクロメータ（μｍ）で表したボンディングツール
先端の無負荷時の振動振幅Ａである。また、特性曲線Ａ
乃至Ｃは、本発明による超音波ボンディング方法におけ
る特性、特性曲線Ｄは既知の超音波ボンディング方法ま
たは装置における特性である。
【００３８】図４に示されるように、超音波振動子の振
動周波数が６０ＫＨｚである既知の超音波ボンディング
方法または装置は、ボンディングツールに加える荷重Ｍ
が比較的小さい間、ボンディングツール先端の無負荷時
の振動振幅Ａを相当大きくする必要がある（特性曲線
Ｄ）が、超音波振動子の振動周波数が７０ＫＨｚ、１３
０ＫＨｚ、１７２ＫＨｚである本発明の超音波ボンディ
ング方法は、いずれも、ボンディングツールに加える荷
重Ｍが比較的小さくても、ボンディングツール先端の無
負荷時の振動振幅Ａが小さくもので足り（特性曲線Ａ乃
至Ｃ）るもので、本発明の超音波ボンディング方法は、
負荷の大きさに係りなく振動振幅Ａの減衰が非常に小さ
くなっている。
【００３９】続く、図５は、超音波ボールボンディング
を行う際に、ボール部５ｂの剪断強度０．３ニュートン
（Ｎ）が得られる超音波振動子の振動周波数とボンディ
ングツール先端の無負荷時の振動振幅Ａとの関係を示す
特性図である。
【００４０】図５において、横軸はキロヘルツ（ＫＨ
ｚ）で表した超音波振動子の振動周波数、縦軸はマイク
ロメータ（μｍ）で表したボンディングツール先端の無
負荷時の振動振幅Ａである。なお、この特性は、シリコ
ン（Ｓｉ）基板上に設けられた膜厚８０００Å（０．８
μｍ）のアルミニウム−シリコン（Ａｌ−Ｓｉ）合金電
極端子３に金（Ａｕ）製接続ワイヤ５をボールボンディ
ングしたとき、ボール部５ｂの剪断強度０．３ニュート
ン（Ｎ）が得られるときのものである。
【００４１】図５に示されるように、超音波振動子の振
動周波数が６０ＫＨｚである既知の超音波ボンディング
方法または装置は、ボンディングツール先端の無負荷時
の振動振幅Ａが約２．０μｍであるのに対し、超音波振
動子の振動周波数が７０ＫＨｚ、１３０ＫＨｚ、１７２
ＫＨｚである本発明の超音波ボンディング方法は、いず
れも、ボンディングツール先端の無負荷時の振動振幅Ａ
が合金電極端子３の膜厚０．８μｍ以下の値である。即
ち、本発明の超音波ボンディング方法は、ボンディング
ツール先端の無負荷時の振動振幅Ａが合金電極端子３の
膜厚０．８μｍよりも小さくても、ボンディング接合に
必要な接合強度が得られることが判る。そして、超音波
振動子の振動周波数が７０ＫＨｚ、１３０ＫＨｚ、１７
２ＫＨｚである本発明の超音波ボンディング方法により
超音波ボンディングを行い、その後に、合金電極端子３
の下側にある２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜２にお
ける物理的損傷について、合金電極端子３を腐食除去し
た後でＳＥＭを用いて観察したが見つけることができ
ず、本発明の超音波ボンディング方法は、合金電極端子
３下側層の物理的損傷を防げることが判明した。
【００４２】以上のように、本実施例による超音波ボン
ディング方法によれば、既知の超音波ボンディング方法
に比べて、ボンディングツール先端の無負荷時の振動振
幅Ａを小さく、具体的には、合金電極端子（金属電極端
子）３の膜厚Ｈよりも小さくし、超音波振動子の振動周
波数を、既知の超音波ボンディング方法における超音波
振動子の振動周波数よりも高く、具体的には、７０ＫＨ
ｚ以上にすれば、ボール部５ｂの剪断強度０．３ニュー
トン（Ｎ）以上の充分な強度のボンディング接合を達成
することができ、しかも、このボンディング接合時に合
金電極端子（金属電極端子）３下側に物理的損傷を生じ
させることがないものである。
【００４３】続いて、図６は、本発明による超音波ボン
ディング方法を実施するのに用いられる超音波ボンディ
ング装置の第１構成例を示すもので、その基本的構成部
分を示す概要図である。
【００４４】図６において、７は振動周波数１８０ＫＨ
ｚの超音波振動を発生するランジュバン型圧電素子（振
動子）、８はチタン（Ｔｉ）製ホーン、９は回転治具、
９ａは軸心、１０は帰還制御回路、１１は支持アーム、
１２は磁性体、１３は電磁石、１４は圧力センサー、１
５は架台、１６はバランス錘、１７はスライド治具、１
８は超音波発生駆動回路であり、その他に、図１に図示
された構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付
けている。
【００４５】そして、回転治具９は、軸心９ａに対して
回動可能なもので、一方の側面にホーン８が取付けら
れ、他方の側面にランジュバン型圧電素子７が取付けら
れる。ホーン８は、細長い形状のもので、一端にキャピ
ラリツール（ボンディングツール）６が取り付けられ、
他端が回転治具９の取付部になっている。支持アーム１
１は、Ｌ字形状のもので、架台１５によって保持され、
一端部に回転治具９の軸心９ａが結合され、他端部にバ
ランス錘１６が取付けられる。回転治具９には超音波振
動子７の上側部分に配置されるように磁性体１２が取付
けられ、支持アーム１１には磁性体１２に対向するよう
に電磁石１３と圧力センサー１４とが重なり合って取付
けられる。帰還制御回路１０は、入力が圧力センサー１
４に、出力が電磁石１３にそれぞれ接続され、超音波発
生駆動回路１８はランジュバン型圧電素子７に接続され
る。
【００４６】前記構成による第１構成例の超音波ボンデ
ィング装置は、次のように動作する。
【００４７】この超音波ボンディング装置で超音波ボン
ディングを行う場合は、まず、ボンディング接合領域を
常温状態または２００℃に加熱した状態にし、キャピラ
リツール６のワイヤ支持孔６ａ（図示なし）に接続ワイ
ヤ５（同じく図示なし）を挿入支持させる。次に、接続
ワイヤ５をボンディングする合金電極端子３（同じく図
示なし）上までキャピラリツール６を移動させて位置決
めを行った後、キャピラリツール６をやや下降させて接
続ワイヤ５のボール部５ｂ（同じく図示なし）を合金電
極端子３上に接触させる。このキャピラリツール６の操
作時に、超音波発生駆動回路１８が駆動電力をランジュ
バン型圧電素子７に供給し、ランジュバン型圧電素子７
から振動周波数１８０ＫＨｚの超音波振動を発生させ
る。このとき発生された超音波振動は、回転治具９から
ホーン８を介してキャピラリツール６に伝達され、さら
に、合金電極端子３に接触しているボール部５ｂに伝達
され、ボール部５ｂが合金電極端子３上に接触した状態
で振動する。次に、帰還制御回路１０が電磁石１３に電
流を供給し、そのとき発生した電磁力によって磁性体１
２を電磁気吸引する。磁性体１２が電磁石１３方向に吸
引されると、回転治具９が軸心９ａを中心にして時計方
向に若干回動し、ホーン８とともにキャピラリツール６
が時計方向（合金電極端子方向）に移動して、キャピラ
リツール６を介してボール部５ｂが合金電極端子３に荷
重を加えた状態、即ち、キャピラリツール６に荷重が加
わる状態になる。このように、超音波振動が与えられ、
かつ、荷重が加えられたボール部５ｂが合金電極端子３
に強く接触することにより、ボール部５ｂと合金電極端
子３との間に金属的結合が行われ、合金電極端子３に接
続ワイヤ５がボンディングされる。
【００４８】一方、キャピラリツール６に加わる荷重
は、支持アーム１１に取付けられた圧力センサー１４に
よって検出され、このとき検出された荷重信号が帰還制
御回路１０に供給される。帰還制御回路１０は、入力さ
れた荷重信号の値と内部に設定している設定値とが一致
しているか否かを判定し、それらの値の間に偏差が生じ
ていれば、その偏差を打ち消すような値の電流を電磁石
１３に供給し、キャピラリツール６に加わる荷重が所定
値になるように制御調整している。
【００４９】この場合、第１構成例の超音波ボンディン
グ装置においては、図３に図示された条件領域Ｇにある
ように、即ち、ランジュバン型圧電素子７への入力電力
が０．００１乃至１０（Ｗ）の範囲のとき、キャピラリ
ツール６先端の無負荷時の振動振幅が０．０１乃至０．
１（μｍ）の範囲にあり、ランジュバン型圧電素子７へ
の入力電力が０．００１乃至１．０（Ｗ）の範囲のと
き、キャピラリツール６先端の無負荷時の振動振幅が
０．１から４．０（μｍ）まで直線的に増加し、ランジ
ュバン型圧電素子７への入力電力が１．０乃至１０．０
（Ｗ）の範囲のとき、キャピラリツール６先端の無負荷
時の振動振幅が０．１乃至４．０（μｍ）の範囲にある
ようにそれぞれ調整される。
【００５０】このように、第１構成例の超音波ボンディ
ング装置によれば、ランジュバン型圧電素子７への入力
電力の範囲を、既知の超音波ボンディング装置で用いら
れている同入力電力の範囲よりも大幅に拡張させるよう
にし、しかも、キャピラリツール６先端の無負荷時の振
動振幅を、既知の超音波ボンディング装置で用いられて
いる同無負荷時の振動振幅よりも相当に小さくさせるよ
うにしているので、ボンディング接合時前半において、
合金電極端子３の下側部分に加えられる物理的損傷をな
くすとともに、ボンディング接合時後半において、所定
の大きさの振動を加えることによって高強度のボンディ
ング接合を行うことができ、半導体基板の金属電極端子
へのワイヤボンディングを、低い物理的損傷、かつ、高
い強度で行うことが可能になる。その結果、半導体装置
製造の際に、後工程による半導体装置の歩留まりが増
し、半導体装置の生産コストを低減することが可能にな
る。
【００５１】次いで、図７は、本発明による超音波ボン
ディング方法を実行するのに用いられる超音波ボンディ
ング装置の第２構成例を示すもので、その基本的構成部
分を示す概要図である。
【００５２】図７において、１９は振動伝達部材、２０
はフランジ、２１は保持部材、２２は１２０ＫＨｚの第
１発振駆動回路、２３は６０ＫＨｚの第２発振駆動回
路、２４はスイッチ回路であり、その他、図６に示され
た構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付けて
いる。
【００５３】そして、振動伝達部材１９は、横長の構成
材で、側面に取付けられたフランジ２０を介して保持部
材２１に固定保持される。振動伝達部材１９は、一端に
ホーン８の一端が、他端にランジュバン型圧電素子（振
動子）７がそれぞれ取付けられる。ホーン８は、振動伝
達部材１９の反対側にキャピラリツール６が取付けられ
る。スイッチ回路２４の入力は、第１発振駆動回路２２
及び第２発振駆動回路２３に接続され、スイッチ回路２
４の出力は、ランジュバン型圧電素子７に接続される。
【００５４】前記構成において、超音波ボンディングの
際に、合金電極端子３の下側部分に物理的損傷を与える
度合いが比較的大きな超音波ボンディングの場合には、
スイッチ回路２４を第１発振発振駆動回路２２側に切換
え、第１発振発振駆動回路２２から供給される駆動電力
によってランジュバン型圧電素子７を駆動し、ランジュ
バン型圧電素子７から振動周波数１２０ＫＨｚの超音波
振動を発生させる。この超音波振動は、振動伝達部材１
９及びホーン８を介してキャピラリツール６に伝達さ
れ、次いで、キャピラリツール６に支持された接続ワイ
ヤ５のボール部５ａ（図示なし）に伝達される。このと
き、接続ワイヤ５ボール部５ｂは、超音波振動と荷重が
加えられた状態になり、前述のように接続ワイヤ５が合
金電極端子３等に超音波ボンディングされる。この場
合、ランジュバン型圧電素子７への入力電力は、例えば
０．１Ｗであり、キャピラリツール６先端の無負荷時の
振動振幅は、例えば、０．２μｍになるように調整され
る。
【００５５】一方、超音波ボンディングの際に、合金電
極端子３の下側部分に物理的損傷を与える度合いが小さ
い超音波ボンディングの場合には、スイッチ回路２４を
第２発振発振駆動回路２３側に切換え、第２発振発振駆
動回路２３から供給される駆動電力によってランジュバ
ン型圧電素子７を駆動し、ランジュバン型圧電素子７か
ら振動周波数６０ＫＨｚの超音波振動を発生させる。こ
の超音波振動は、前の場合と同様に、振動伝達部材１９
及びホーン８を介してキャピラリツール６に伝達され、
次いで、キャピラリツール６に支持された接続ワイヤ５
のボール部５ａに伝達される。このときも、接続ワイヤ
５ボール部５ｂは、超音波振動と荷重が加えられた状態
になって、前述のように接続ワイヤ５が合金電極端子３
等に超音波ボンディングされる。この場合は、ランジュ
バン型圧電素子７への入力電力は、例えば、０．１Ｗで
あって前のときと同じであるのに対し、キャピラリツー
ル６先端の無負荷時の振動振幅は、例えば、２．５μｍ
の大振幅になるように調整される。
【００５６】ここで、図８は、第２構成例の超音波ボン
ディング装置における動作時の一例を示す特性図であっ
て、（ａ）はランジュバン型圧電素子７が発生する振動
周波数、（ｂ）はランジュバン型圧電素子７への入力電
力、（ｃ）はキャピラリツール６に加わる荷重の各変化
状態を示すものである。なお、この動作特性は、例え
ば、シリコン（Ｓｉ）基板１上に形成した膜厚が６００
０Å（０．６μｍ）のアルミニウム−シリコン−銅（Ａ
ｌ−Ｓｉ−Ｃｕ）合金電極端子３に、径が３０μｍの金
（Ａｕ）製接続ワイヤ５をボールボンディングする際の
特性であって、ボンディング接合領域の温度を２００℃
にしたときの特性を示すものである。
【００５７】図８に示すように、合金電極端子３に接続
ワイヤ５をボールボンディングする場合に、ボンディン
グの初期段階である第１次ボンディング時には、キャピ
ラリツール６に加わる荷重を荷重Ｍ１を０．１ニュート
ン（Ｎ）に設定し、スイッチ回路２４を第２発振駆動回
路２３側に切換え、ランジュバン型圧電素子７を０．０
５ｍＷ以下の低入力電力Ｅ１で駆動し、ランジュバン型
圧電素子７から振動周波数６０ｋＨｚの比較的大振幅の
超音波振動を発生させて、前述のような超音波ボンディ
ングを行う。次に、ボンディングの後期段階である第２
次ボンディング時には、キャピラリツール６に加わる荷
重Ｍ２前記荷重Ｍ１より大きい０．３ニュートン（Ｎ）
に設定し、スイッチ回路２４を第１発振駆動回路２２側
に切換えて、ランジュバン型圧電素子７をやや大きな入
力電力Ｅ２で駆動し、ランジュバン型圧電素子７から振
動周波数１２０ｋＨｚの小振幅の超音波振動を発生さ
せ、同じく前述のように超音波ボンディングを行う。
【００５８】このような超音波ボンディングを行えば、
第１次ボンディングの際、キャピラリツール６に加わる
荷重Ｍ１を小さい状態にし、かつ、接合領域に振動周波
数６０ＫＨｚの大振幅の超音波を印加することによっ
て、合金電極端子３の表面に形成されている酸化皮膜を
ボール部５ｂによって破壊することができ、それに続く
第２次ボンディングの際、キャピラリツール６に加わる
荷重Ｍ２をやや大きい状態にし、かつ、振動周波数１２
０ｋＨｚの小振幅の超音波の印加することによって、合
金電極端子３の下側部分に物理的損傷を与えることな
く、超音波ボンディングを行うことができる。
【００５９】このように、第２構成例の超音波ボンディ
ング装置によれば、前述の第１構成例の超音波ボンディ
ング装置で得られる効果が同様に期待できるとともに、
第１次ボンディング時に合金電極端子３の表面に形成さ
れている酸化皮膜をボール部５ｂによって破壊除去し、
第２次ボンディング時に酸化皮膜の除去された状態で、
所定のボンディングを行っているので、合金電極端子３
とボール部５ｂとの間の金属密着が強固になり、信頼性
の高い高強度のボンディングを行うことが可能になる。
【００６０】ところで、前記第１構成例及び第２構成例
の超音波ボンディング装置において、ランジュバン型圧
電素子７への入力電力Ｅ及びキャピラリツール６先端の
振動振幅Ａの値は、第１構成例及び第２構成例の超音波
ボンディング装置で挙げた値だけでなく、図３に図示さ
れている条件領域Ｇの範囲内に入るように選ぶことがで
きる。即ち、ランジュバン型圧電素子７への入力電力Ｅ
が０．００１乃至１０（Ｗ）の範囲のとき、キャピラリ
ツール６先端の無負荷時の振動振幅Ａが０．０１乃至
０．１（μｍ）の範囲に、ランジュバン型圧電素子７へ
の入力電力Ｅが０．００１乃至１．０（Ｗ）の範囲のと
き、キャピラリツール６先端の無負荷時の振動振幅Ａが
０．１から４．０（μｍ）まで直線増加する範囲に、ラ
ンジュバン型圧電素子７への入力電力Ｅが１．０乃至１
０．０（Ｗ）の範囲のとき、キャピラリツール６先端の
無負荷時の振動振幅Ａが０．１乃至４．０（μｍ）の範
囲になるように選択することができる。そして、キャピ
ラリツール６先端の振動振幅Ａは、ボンディング時のキ
ャピラリツール６に加わる荷重が１０ニュートン（Ｎ）
以内のとき、キャピラリツール６先端の無負荷時の振動
振幅Ａの１／２以上になるように選択することが好まし
く、また、ランジュバン型圧電素子７から発生される超
音波振動の振動周波数が１００ＫＨｚ以上であり、か
つ、キャピラリツール６先端の振動は、無負荷時の振動
振幅Ａと振動周波数ｆ（ＫＨｚ）との間において、ｌｏ
ｇＡ≧ー０．３１×ｌｏｇｆ2 ＋１．４１４の関係を満
たしていることが好ましいものである。
【００６１】さらに、図９は、合金電極端子、例えば、
アルミニウム−シリコン（Ａｌ−Ｓｉ）合金電極端子の
中にシリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）が存在する場
合における超音波振動の減衰状態を示す説明図であっ
て、ボンディング接合領域の断面構造を示すものであ
る。
【００６２】図９において、３’はアルミニウム−シリ
コン（Ａｌ−Ｓｉ）合金電極端子、２５はシリコン（Ｓ
ｉ）の塊（ノジュール）であり、その他、図１に示され
た構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付けて
いる。
【００６３】図９に示されるように、金（Ａｕ）製ボー
ル部５ｂの頂上付近に供給された超音波振動は、若干減
衰しながらボール部５ｂ内を伝達し、ボール部５ｂと合
金電極端子３’との接合領域に達する。ここで、超音波
振動は、ボール部５ｂから合金電極端子３’内に伝達さ
れ、主として、シリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）２
５内またはその近傍を通り、減衰しながら合金電極端子
３’内を伝達し、合金電極端子３’と２酸化シリコン
（ＳｉＯ2 ）絶縁膜２との接合領域に達する。その後、
超音波振動は、合金電極端子３’から絶縁膜２内に伝達
され、若干減衰しながら絶縁膜２内を伝達し、絶縁膜２
とシリコン（Ｓｉ）基板１との接合領域に達し、以下同
様にして、基板１内を伝達する。
【００６４】本発明の超音波ボンディング方法それに第
１構成例及び第２構成例の超音波ボンディング装置にお
いては、キャピラリツール６から超音波振動がボール部
５ｂに伝達されたとき、超音波振動は、まず、ボール部
５ｂ内で減衰し、続いて、ボール部５ｂと合金電極端子
３’との接合領域で減衰する。この場合、ボール部５ｂ
の頂部における超音波振動振幅（初期の振動振幅）と合
金電極端子３’内における超音波振動振幅とを比べる
と、ボール部５ｂ内及びボール部５ｂと合金電極端子
３’との接合領域の各減衰によって、合金電極端子３’
内の超音波振動振幅は、初期の振動振幅に比べてかなり
減衰しており、実際、合金電極端子３’の膜厚の数分の
１以下になっている。
【００６５】このように、本発明の超音波ボンディング
方法の各実施例によれば、合金電極端子３’（３）内に
シリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）２５が存在してい
た場合に、超音波ボンディング時に、シリコン（Ｓｉ）
の塊（ノジュール）２５の周辺部分に応力が集中し、そ
の応力が高められたとしても、最大の応力は既知の超音
波ボンディング方法及び超音波ボンディング装置に生じ
る応力に比べて十分低くなり、合金電極端子３’（３）
の下側部分にある２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁膜２
等にクリックまたはマイクロクリックを生じさせる割合
を大幅に低下させることができ、合金電極端子３’
（３）の下側部分のダメージの発生を減少させることが
可能になる。
【００６６】
【発明の効果】以上詳しく述べたように、本発明による
超音波のボンディング方法によれば、ボンディング装置
を用い、半導体基板１上の金属電極端子３に接続ワイヤ
５を超音波ボンディングする場合、超音波ボンディング
は、常温状態または２００℃以下の加熱温度状態のと
き、ボンディング装置のボンディングツール６先端の振
動振幅を金属電極端子３の膜厚以下の小振幅になるよう
に選び、しかも、その振動周波数を既知の振動周波数６
０ＫＨｚよりも高い７０ＫＨｚ以上に選んでいるので、
超音波ボンディングが行われる際、金属電極端子３だけ
でなく、その下側の絶縁膜２や半導体基板１等に大きな
剪断応力や圧力歪を与えることがなくなり、金属電極端
子３やその下側の絶縁膜２及び半導体基板１等に、マイ
クロクラックまたはクラック等の微小な物理的損傷を生
じさせることが大幅に低減され、超音波ボンディングし
た後の半導体装置の各種の特性の劣化を防ぐことがで
き、半導体装置製造時のダメージに基づく製品不良の発
生を防止し、半導体装置の信頼性を長期にわたって維持
させることができるという効果がある。
【００６７】この場合、ボンディングツール６先端の振
動振幅を、金属電極端子３の膜厚の１／２以下になるよ
うにすれば、金属電極端子３やその下側にある絶縁膜２
及び半導体基板１等に生じるマイクロクラックまたはク
ラック等の微小な物理的損傷をほぼ完全になくすことが
できるという効果がある。
【００６８】また、本発明による超音波のボンディング
方法によれば、半導体基板１上の金属電極端子３に超音
波振動子７が発生する超音波振動を加えながら、接続ワ
イヤ５を超音波ボンディングする際に、ボンディング接
合領域を常温状態または２００℃以下の加熱温度状態に
し、超音波振動子７への入力電力Ｅが０．００１≦Ｅ≦
１．０（Ｗ）の範囲内のとき、ボンディングツール６先
端の無負荷時の振動振幅ＡがＡ≦４Ｅ・ｅ（１６／３）
乗（μｍ）であり、また、入力電力Ｅが１．０≦Ｅ≦１
０．０（Ｗ）の範囲内のとき、無負荷時の振動振幅Ａが
Ａ≦４（μｍ）であるように振動させているので、金属
電極端子３やその下側の絶縁膜２及び半導体基板１等に
大きな剪断応力や圧力歪が加わることがなく、金属電極
端子３やその下側にある絶縁膜２及び半導体基板１等
に、マイクロクラックまたはクラック等の微小な物理的
損傷を生じさせることが大幅に低減され、超音波ボンデ
ィングした後の半導体装置の各種の特性の劣化を防ぐこ
とができ、半導体装置製造時のダメージに基づく製品不
良の発生を防止し、半導体装置の信頼性を長期にわたっ
て維持させることができるという効果がある。
【００６９】この場合、ボンディング時の接合荷重が１
０Ｎ（ニュートン）以内のとき、ボンディングツール６
先端の振動振幅を無負荷時の振動振幅の１／２以上に選
ぶか、または、超音波振動子７が発生する超音波振動の
超音波周波数を１００ＫＨｚ以上とし、ボンディングツ
ール６先端の振動を無負荷時の振動振幅Ａと振動周波数
ｆとの間に、ｌｏｇＡ≧ー０・３１×ｌｏｇｆ2 ＋１．
４１４の関係を持たせるようにしているので、金属電極
端子３やその下側にある絶縁膜２及び半導体基板１等
に、マイクロクラックまたはクラック等の微小な物理的
損傷を生じさせることがさらに大きく低減され、超音波
ボンディングした後の半導体デバイスにおける各種の特
性の劣化を大幅に防ぐことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による超音波ボンディング方法が実施さ
れる場合に、超音波ボンディング部分の要部構成を示す
断面図である。
【図２】超音波ボンディングの接合領域への投入エネル
ギー（超音波振動子への入力電力）と、キャピラリツー
ル先端の振動振幅と、超音波ボンディング時の接合強度
との関係を示す特性図である。
【図３】ボンディング装置の超音波振動子への入力電力
とボンディングツール先端の無負荷時の振動振幅との関
係に基づき、本発明の超音波ボンディング装置で必要と
される条件領域を求めた特性図である。
【図４】ボンディングツールに加える荷重と、ボンディ
ングツール先端の無負荷時の振動振幅との関係を示す特
性図である。
【図５】超音波ボールボンディングを行う際に、ボール
部５ｂの剪断強度０．３ニュートン（Ｎ）が得られる超
音波振動子の振動周波数とボンディングツール先端の無
負荷時の振動振幅Ａとの関係を示す特性図である。
【図６】本発明による超音波ボンディング方法を実施す
るのに用いられる超音波ボンディング装置の第１構成例
を示すもので、その基本的構成部分を示す概要図であ
る。
【図７】本発明による超音波ボンディング方法を実施す
るのに用いられる超音波ボンディング装置の第２構成例
を示すもので、その基本的構成部分を示す概要図であ
る。
【図８】第２構成例の超音波ボンディング装置の動作時
の一例を示す特性図である。
【図９】合金電極端子、例えば、アルミニウム−シリコ
ン（Ａｌ−Ｓｉ）合金電極端子の中にシリコン（Ｓｉ）
の塊（ノジュール）が存在する場合における超音波振動
の減衰状態を示す説明図であって、ボンディング接合領
域の断面構造を示すものである。
【符号の説明】
１ シリコン（Ｓｉ）基板（半導体基板） ２ ２酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）絶縁層 ３ アルミニウム−シリコン−銅（Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ）
合金電極端子（金属電極端子） ３’ アルミニウムーシリコン（Ａｌ−Ｓｉ）合金電極
端子（金属電極端子） ４ 保護用パッシベーション膜 ５ 接続ワイヤ ５ａ ワイヤ部 ５ｂ ボール部 ６ キャピラリツール（ボンディングツール） ６ａ ワイヤ支持孔 ７ ランジュバン型圧電素子（超音波振動子） ８ ホーン ９ 回転治具 ９ａ 軸心 １０ 帰還制御回路 １１ 支持アーム １２ 磁性体 １３ 電磁石 １４ 圧力センサー １５ 架台 １６ バランス錘 １７ スライド治具 １８ 超音波発生駆動回路 １９ 振動伝達部材 ２０ フランジ ２１ 保持部材 ２２ 第１発振駆動回路 ２３ 第２発振駆動回路 ２４ スイッチ回路 ２５ シリコン（Ｓｉ）の塊（ノジュール）
フロントページの続き (72)発明者 小泉 正博 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (72)発明者 渡辺 宏 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株式会社 日立製作所 半導体事業部内 (72)発明者 秋山 雪治 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株式会社 日立製作所 半導体事業部内 (56)参考文献 特開 平６−204299（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−206196（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−167626（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−62043（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/607 H01L 21/60 301

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体基板上に設けられた金属電極端子
    に、ボンディング装置を用いて接続ワイヤを超音波ボン
    ディングする超音波ボンディング方法において、常温状
    態または２００℃以下の加熱温度状態の基で、前記ボン
    ディング装置のボンディングツール先端の振動振幅を前
    記金属電極端子の膜厚以下になるように選択し、かつ、
    前記ボンディングツールに０．４Ｎ以下の荷重をかけな
    がら、その振動周波数を７０ＫＨｚ以上になるように選
    択して超音波ボンディングを行うことを特徴とする超音
    波ボンディング方法。
  2. 【請求項２】 請求項１において、前記ボンディングツ
    ール先端の振動を、最大速度が０．０３乃至０．５ｍ／
    ｓの範囲内になるように制御選択したことを特徴とする
    超音波ボンディング方法。
  3. 【請求項３】 請求項１において、超音波振動子が発生
    する機械的振動を前記ボンディングツールに加えながら
    超音波ボンディングし、前記超音波振動子は圧電素子で
    あって、前記ボンディングツール先端の振動は、前記圧
    電素子への入力電力Ｅが０．００１（Ｗ）≦Ｅ≦１．０
    （Ｗ）の範囲にあるときに、無負荷時の振動振幅Ａ（μ
    ｍ）がＡ≦４Ｅ・ｅ（１６／３乗）の関係を満たし、前
    記入力電力Ｅが１．０（μｍ）≦Ｅ≦１０．０（μｍ）
    の範囲にあるときに、前記無負荷時の振動振幅Ａ（μ
    ｍ）がＡ≦４（μｍ）の関係を満たすものであることを
    特徴とする超音波ボンディング方法。
  4. 【請求項４】 請求項３において、前記ボンディングツ
    ールの振動振幅を、無負荷時の振動振幅Ａ（μｍ）の１
    ／２以上になるように選択していることを特徴とする超
    音波ボンディング方法。
  5. 【請求項５】 請求項３において、前記超音波振動子が
    発生する機械的振動は、１００ＫＨｚ以上の超音波周波
    数であり、前記ボンディングツール先端の振動は、無負
    荷時の振動振幅Ａ（μｍ）と振動周波数ｆ（ＫＨｚ）と
    の間でｌｏｇＡ≧ー０・３１×ｌｏｇｆ2 ＋１．４１４
    を満たすものであることを特徴とする超音波ボンディン
    グ方法。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかにおいて、前
    記半導体基板はシリコン半導体基板であり、前記金属電
    極端子はアルミニウム電極端子であることを特徴とする
    超音波ボンディング方法。
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