JP3036918B2 - 半導体装置の製造支援装置 - Google Patents
半導体装置の製造支援装置Info
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- JP3036918B2 JP3036918B2 JP25745291A JP25745291A JP3036918B2 JP 3036918 B2 JP3036918 B2 JP 3036918B2 JP 25745291 A JP25745291 A JP 25745291A JP 25745291 A JP25745291 A JP 25745291A JP 3036918 B2 JP3036918 B2 JP 3036918B2
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造支援
装置に関し、特に作業計画、特急指示計画（作業着手順
位計画）の立案支援を行うシステムに関する。
装置に関し、特に作業計画、特急指示計画（作業着手順
位計画）の立案支援を行うシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の製造支援装置では、半導体装置の
仕掛状況を表示する機能と、製造計画を伝達する機能と
が主なものである。これら２つの機能は、互いに独立し
ており、仕掛状況をある人が調査して、それを基に他の
人がそれらの未来を予測し、この予測を基に製造計画を
伝達するというものである。
仕掛状況を表示する機能と、製造計画を伝達する機能と
が主なものである。これら２つの機能は、互いに独立し
ており、仕掛状況をある人が調査して、それを基に他の
人がそれらの未来を予測し、この予測を基に製造計画を
伝達するというものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の製造支援装
置では、仕掛状況からの未来予告を、人間が行っていた
ため、推測値と、実際の値との差が人によって非常に大
きく、また同時に複数の人が予測を行った場合には、そ
れぞれの予測結果が異なるケースがあるという問題点が
あった。そのため作業着手順位が統一されず、混乱を起
こすというような問題もあった。
置では、仕掛状況からの未来予告を、人間が行っていた
ため、推測値と、実際の値との差が人によって非常に大
きく、また同時に複数の人が予測を行った場合には、そ
れぞれの予測結果が異なるケースがあるという問題点が
あった。そのため作業着手順位が統一されず、混乱を起
こすというような問題もあった。
【０００４】本発明の目的は、それらの問題を解決し、
予測のばらつきをなくし、作業着手手順位を明確にした
半導体装置の製造支援装置を提供することにある。
予測のばらつきをなくし、作業着手手順位を明確にした
半導体装置の製造支援装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置の製
造支援装置の構成は、半導体装置の製造ロットの仕掛状
況、処理実績状況をデータとして整理し表示するデータ
ベース表示部と、このデータベース表示部からのデータ
により各製造工程に於ける前記製造ロットの処理時間と
半導体製造設備に仕掛っている半導体装置製造ロットの
処理を行う順番と前記半導体製造設備が稼働計画と稼働
率によって決まる単位あたりの稼働可能時間と半導体装
置の工程手順と投入計画とをもとに所定時点の製造ロッ
トの仕掛状況を起点とし単位時間経過した後の仕掛状況
を予測する予測部と、この予測部の結果により作業着手
順位を製造現場の各性自動半導体製造設備及び作業者に
伝達する指示部とを備えることを特徴とする。
造支援装置の構成は、半導体装置の製造ロットの仕掛状
況、処理実績状況をデータとして整理し表示するデータ
ベース表示部と、このデータベース表示部からのデータ
により各製造工程に於ける前記製造ロットの処理時間と
半導体製造設備に仕掛っている半導体装置製造ロットの
処理を行う順番と前記半導体製造設備が稼働計画と稼働
率によって決まる単位あたりの稼働可能時間と半導体装
置の工程手順と投入計画とをもとに所定時点の製造ロッ
トの仕掛状況を起点とし単位時間経過した後の仕掛状況
を予測する予測部と、この予測部の結果により作業着手
順位を製造現場の各性自動半導体製造設備及び作業者に
伝達する指示部とを備えることを特徴とする。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を半導体製造ライ
ンに適用した特の概略ブロック図である。図において、
１はデータを収集整理し、予測を行うホストコンピュー
タ、２は棚Ａと設備Ａが直結している製造設備、３は設
備Ｂに仕掛っている製品を保管する棚、４は製造設備の
設備Ｂ、５はデータの入出力用の端末を示す。
ンに適用した特の概略ブロック図である。図において、
１はデータを収集整理し、予測を行うホストコンピュー
タ、２は棚Ａと設備Ａが直結している製造設備、３は設
備Ｂに仕掛っている製品を保管する棚、４は製造設備の
設備Ｂ、５はデータの入出力用の端末を示す。
【０００７】また、ホストコンピュータ（以下ホストと
いう）１は、稼動状況、投入計画等の基礎データを統合
整理しているデータベース部と、それを解りやすい形に
表示する表示・データベース部６と、この表示・データ
ベース６のデータをもとに予測を行う予測部７と、作業
優先ランク等の作業指示を直接製造ラインへ伝達する指
示部８とから構成される。
いう）１は、稼動状況、投入計画等の基礎データを統合
整理しているデータベース部と、それを解りやすい形に
表示する表示・データベース部６と、この表示・データ
ベース６のデータをもとに予測を行う予測部７と、作業
優先ランク等の作業指示を直接製造ラインへ伝達する指
示部８とから構成される。
【０００８】製品の投入計画、工程手順等の基礎データ
は端末５から入力され、ロットの作業状況を設備２、設
備４からホスト１に自動的に報告させる。ホスト１で
は、予測を行うにあたり必要なデータを整理保存してお
く。端末５に製品の仕掛状況等を表示させ、ロットの作
業優先ランク等を変更して、その結果、例えば１週間後
またはその時から１週間分の作業状況をホスト１に予測
させそれを端末５に表示させる。
は端末５から入力され、ロットの作業状況を設備２、設
備４からホスト１に自動的に報告させる。ホスト１で
は、予測を行うにあたり必要なデータを整理保存してお
く。端末５に製品の仕掛状況等を表示させ、ロットの作
業優先ランク等を変更して、その結果、例えば１週間後
またはその時から１週間分の作業状況をホスト１に予測
させそれを端末５に表示させる。
【０００９】これは満足できる結果が得られるまで、投
入計画や作業優先ランク等を変更しながらその予測を繰
返す。満足できる結果が得られた場合、その結果に従っ
て投入を行ったり、また作業優先ランクを設備２の棚
Ａ、棚３と通して製造ラインに伝達する。
入計画や作業優先ランク等を変更しながらその予測を繰
返す。満足できる結果が得られた場合、その結果に従っ
て投入を行ったり、また作業優先ランクを設備２の棚
Ａ、棚３と通して製造ラインに伝達する。
【００１０】棚Ａは、棚と設備が連結されている例で、
処理が終る毎にその時に棚内にあるロットの中で最もラ
ンクの高いものから次の処理が自動的になされる。棚
３，設備４のケースでは、設備４の設備での製品作業が
終ると、次のロットをセットする為に、作業者が棚３の
所に行き、そこで最もランクの高いものを取出し、設備
４で作業に入る。
処理が終る毎にその時に棚内にあるロットの中で最もラ
ンクの高いものから次の処理が自動的になされる。棚
３，設備４のケースでは、設備４の設備での製品作業が
終ると、次のロットをセットする為に、作業者が棚３の
所に行き、そこで最もランクの高いものを取出し、設備
４で作業に入る。
【００１１】ホスト１の表示・データベース部６では、
製造設備の稼働状況、台数、稼働率、稼働計画及び半導
体装置の仕掛状況、投入計画、工程手順、処理条件、処
理時間、また作業着手順位の決め方のルール等のデータ
が、統合整理されて保存されており、それらを適切なか
たちで表示できるようになっている。
製造設備の稼働状況、台数、稼働率、稼働計画及び半導
体装置の仕掛状況、投入計画、工程手順、処理条件、処
理時間、また作業着手順位の決め方のルール等のデータ
が、統合整理されて保存されており、それらを適切なか
たちで表示できるようになっている。
【００１２】予測部７では、表示・データベース部６か
ら必要のデータを受けて、実際に予測を行うが、その予
測結果はデータベース部６に渡されて、そこで結果を表
示させて吟味される。必要に応じて各種計画等を変更し
て、再予測を行う。満足な結果が得られた場合、それを
指示部８へ渡して、その結果の出力を行う。実作業に於
いては、この出力結果を参照しながら、製品の処理を行
う。
ら必要のデータを受けて、実際に予測を行うが、その予
測結果はデータベース部６に渡されて、そこで結果を表
示させて吟味される。必要に応じて各種計画等を変更し
て、再予測を行う。満足な結果が得られた場合、それを
指示部８へ渡して、その結果の出力を行う。実作業に於
いては、この出力結果を参照しながら、製品の処理を行
う。
【００１３】図２は、図１の表示データベース部６が端
末５に製品の仕掛状況を表示出力させた表示図である。
表の縦割りが工程を示し、工程名ア，イ，ウ，エがあ
り、表の横割りが、品種を示し、品種名ＡＢＣ，ＤＥＦ
がある。該当品種の該当工程に仕掛っているロットの仕
掛量９が斜線で表されている。
末５に製品の仕掛状況を表示出力させた表示図である。
表の縦割りが工程を示し、工程名ア，イ，ウ，エがあ
り、表の横割りが、品種を示し、品種名ＡＢＣ，ＤＥＦ
がある。該当品種の該当工程に仕掛っているロットの仕
掛量９が斜線で表されている。
【００１４】この表示画面により、品種一工程毎に、ど
のくらいのロットが仕掛っているが把握できる。また、
作業着手順位は通常「同一優先ランク単位に先入れ先出
しのルール」で決定されている。この画面を見て、ある
工程の仕掛りロットを早く流す時は、それらのロットの
優先ランクを上げ、その上げたロットのデータを予測部
７で予測させ、その結果をまたこの表示画面に表示させ
て確認できる。
のくらいのロットが仕掛っているが把握できる。また、
作業着手順位は通常「同一優先ランク単位に先入れ先出
しのルール」で決定されている。この画面を見て、ある
工程の仕掛りロットを早く流す時は、それらのロットの
優先ランクを上げ、その上げたロットのデータを予測部
７で予測させ、その結果をまたこの表示画面に表示させ
て確認できる。
【００１５】図３は、図１の指示部８によって端末５か
ら出力される作業指示の帳票のレイアウト図である。図
２の品種ＡＢＣ，ＤＥＦと工程ア，イ，ウ，エとは、品
種ＡＢＣ，ＤＥＦと工程ア，イ，ウのように各列に配列
され、この帳票は、４月１０日に品種ＡＢＣが工程アで
は数量１０ロットの作業を行い、工程イはでは数量２０
ロットの作業を行なう指示をしていることを示してい
る。
ら出力される作業指示の帳票のレイアウト図である。図
２の品種ＡＢＣ，ＤＥＦと工程ア，イ，ウ，エとは、品
種ＡＢＣ，ＤＥＦと工程ア，イ，ウのように各列に配列
され、この帳票は、４月１０日に品種ＡＢＣが工程アで
は数量１０ロットの作業を行い、工程イはでは数量２０
ロットの作業を行なう指示をしていることを示してい
る。
【００１６】図４は予測部７の内部動作を説明するフロ
ー図であり、図５（ａ），（ｂ）は図４のステップ１０
１，１０２の詳細フロー図、図６は図４のステップ１０
３，１０４のの詳細フロー図である。まず、データ転送
ステップ１０１でデータベース部６より予測部７に必要
なデータを転送し、次に環境設定ステップ１０２で予測
を行う為のデータの設定を行う。次に、実行ステップ１
０３では、ステップ１０２で設定されたデータをもとに
予測行いながら、その結果を出力ステップ１０４として
出力する。ステップ１０４での出力が終了した時点で、
データ転送ステップ１０５によって出力結果データをデ
ータベース部６に転送する。
ー図であり、図５（ａ），（ｂ）は図４のステップ１０
１，１０２の詳細フロー図、図６は図４のステップ１０
３，１０４のの詳細フロー図である。まず、データ転送
ステップ１０１でデータベース部６より予測部７に必要
なデータを転送し、次に環境設定ステップ１０２で予測
を行う為のデータの設定を行う。次に、実行ステップ１
０３では、ステップ１０２で設定されたデータをもとに
予測行いながら、その結果を出力ステップ１０４として
出力する。ステップ１０４での出力が終了した時点で、
データ転送ステップ１０５によって出力結果データをデ
ータベース部６に転送する。
【００１７】図５は（ａ），（ｂ）は図４のデータ転送
ステップ１０１および環境設定ステップ１０２の詳細フ
ロー図である。
ステップ１０１および環境設定ステップ１０２の詳細フ
ロー図である。
【００１８】まず、図５（ａ）のステップ１１１で転送
する必要あるファイルを指定する。この場合、ファイル
は次の表１の中から、その時の予測の内容によって必要
なものを指定する。各ファイル名には番号３０〜３９が
付けられている。また各ファイル構造は、ツリー型デー
タベースであったり、多次元型リレーショナルデータベ
ースであったり、配列を用いたテーブルであったりして
用途に応じて使い分けている。
する必要あるファイルを指定する。この場合、ファイル
は次の表１の中から、その時の予測の内容によって必要
なものを指定する。各ファイル名には番号３０〜３９が
付けられている。また各ファイル構造は、ツリー型デー
タベースであったり、多次元型リレーショナルデータベ
ースであったり、配列を用いたテーブルであったりして
用途に応じて使い分けている。
【００１９】
【表１】
【００２０】次に、ステップ１１２で指定されたファイ
ル名データをデータベース部６に転送する。次のステッ
プ１１３では、データベース部６で指定のあったデータ
を抽出し、次のステップ１１４でファイル生成を行う。
このファイル生成が完了したら、ステップ１１５で予測
部７にファイルを転送する。
ル名データをデータベース部６に転送する。次のステッ
プ１１３では、データベース部６で指定のあったデータ
を抽出し、次のステップ１１４でファイル生成を行う。
このファイル生成が完了したら、ステップ１１５で予測
部７にファイルを転送する。
【００２１】次に、図５（ｂ）の各ステップでは、予測
を行うために必要な表１に示されるデータを設定する。
ステップ１０１でファイル生成した時は、通常ステップ
１２１では、ファイル変更の必要性の有無をチェックす
るので、、「無」としてそのまま使用する。しかし、色
々な環境（条件）で予測を行いたい時は、「有」として
ステップ１２２でそのファイルの変更を行う。この時の
ファイルは、事前にステップ１２１でファイル生成し、
その名前を変更して保存しておいてたものを使用する。
ここまでの処理が完了すると、予測の準備が終ったこと
になる。
を行うために必要な表１に示されるデータを設定する。
ステップ１０１でファイル生成した時は、通常ステップ
１２１では、ファイル変更の必要性の有無をチェックす
るので、、「無」としてそのまま使用する。しかし、色
々な環境（条件）で予測を行いたい時は、「有」として
ステップ１２２でそのファイルの変更を行う。この時の
ファイルは、事前にステップ１２１でファイル生成し、
その名前を変更して保存しておいてたものを使用する。
ここまでの処理が完了すると、予測の準備が終ったこと
になる。
【００２２】図６は、図４の実行出力ステップ１０３，
１０４の詳細フロー図である。まず、ステップ１３１で
予測の開始時刻Ｔを指定する。その時刻をもとに、ステ
ップ１３２では、表１の作業中ファイル３０から終了予
定時刻が等しいレコードを検索し、ロット番号、品名、
工程、設備名、状態フラグを得る。
１０４の詳細フロー図である。まず、ステップ１３１で
予測の開始時刻Ｔを指定する。その時刻をもとに、ステ
ップ１３２では、表１の作業中ファイル３０から終了予
定時刻が等しいレコードを検索し、ロット番号、品名、
工程、設備名、状態フラグを得る。
【００２３】次のステップ１３３ではステップ１１２で
得られた品名、工程から表１の工程順ファイル３５から
次工程の工程、設備名、条件を得る。次にステップ１３
４では、ステップ１３２で得られた設備名と、ステップ
１１３で得られた設備名とより、表１の搬送時間ファイ
ル３７からその搬送時間を得る。
得られた品名、工程から表１の工程順ファイル３５から
次工程の工程、設備名、条件を得る。次にステップ１３
４では、ステップ１３２で得られた設備名と、ステップ
１１３で得られた設備名とより、表１の搬送時間ファイ
ル３７からその搬送時間を得る。
【００２４】さらにステップ１３５では、ステップ１３
２での終了時刻にステップ１３４での搬送時間を加え
て、次工程に致着する予定時刻を算出する。ステップ１
３６では、ステップ１３２で得られたロット番号とステ
ップ１３３で得られた工程より表１の優先ランクファイ
ル３２から優先ランクを得る。
２での終了時刻にステップ１３４での搬送時間を加え
て、次工程に致着する予定時刻を算出する。ステップ１
３６では、ステップ１３２で得られたロット番号とステ
ップ１３３で得られた工程より表１の優先ランクファイ
ル３２から優先ランクを得る。
【００２５】次のステップ１３７は、ステップ１３２で
得られたロット番号、ステップ１３３で得られた工程、
設備名、ステップ１３５で得られた到着時刻、ステップ
１３６で得られた優先ランクとにより、表１の仕掛ファ
イル３１を更新する。ステップ１３８は、ステップ１３
２で得られた設備名、終了予定時刻より、表１の設備不
稼働ファイル３４を参照し、その時刻から不稼働になる
かどうかを検索する。そして、ステップ１３９で不稼働
の場合、表１の作業中ファイル３０の状態フラグを
「不」と更新し、稼働可能ならば「待」と更新する。
得られたロット番号、ステップ１３３で得られた工程、
設備名、ステップ１３５で得られた到着時刻、ステップ
１３６で得られた優先ランクとにより、表１の仕掛ファ
イル３１を更新する。ステップ１３８は、ステップ１３
２で得られた設備名、終了予定時刻より、表１の設備不
稼働ファイル３４を参照し、その時刻から不稼働になる
かどうかを検索する。そして、ステップ１３９で不稼働
の場合、表１の作業中ファイル３０の状態フラグを
「不」と更新し、稼働可能ならば「待」と更新する。
【００２６】ステップ１４０では、ステップ１３２で得
られたデータをもとに表１のロット履歴ファイル３８、
設備履歴ファイル３９を更新し、ステップ１４１では、
表１の作業中ファイル３０の他のレコードに対して終了
予定時刻が一致するものがあったらステップ１３２に戻
り、一致するものが無ければ次にステップ１４２に進
む。
られたデータをもとに表１のロット履歴ファイル３８、
設備履歴ファイル３９を更新し、ステップ１４１では、
表１の作業中ファイル３０の他のレコードに対して終了
予定時刻が一致するものがあったらステップ１３２に戻
り、一致するものが無ければ次にステップ１４２に進
む。
【００２７】ステップ１４２では表１の作業中ファイル
３０により状態フラグが「待」のレコードを検索し、そ
の設備名を得る。次のステップ１４３では、ステップ１
４２で得られた設備名をもとに表１の仕掛ファイル３１
から優先ランクが最も高くて到着時刻の最も古いものを
検索する。このステップ１４３で検索されたデータをも
とに、ステップ１４４で表１の作業中ファイル３０を更
新する。この時「状態フラグ」を「待」から「作」に変
更する。また、ステップ１４３で検索されたレコードを
ステップ１４５で削除する。
３０により状態フラグが「待」のレコードを検索し、そ
の設備名を得る。次のステップ１４３では、ステップ１
４２で得られた設備名をもとに表１の仕掛ファイル３１
から優先ランクが最も高くて到着時刻の最も古いものを
検索する。このステップ１４３で検索されたデータをも
とに、ステップ１４４で表１の作業中ファイル３０を更
新する。この時「状態フラグ」を「待」から「作」に変
更する。また、ステップ１４３で検索されたレコードを
ステップ１４５で削除する。
【００２８】ステップ１４６では、ステップ１４３で更
新された内容より表１のロット優先ファイル３８、設備
作業ファイル３９を更新する。次にステップ１４７で
は、表１の作業中ファイル３０より「状態フラグ」が
「待」のレコードが他にないか否かを検索し、「待」が
有ればステップ１４２に戻り、「待」無ければステップ
１４８に進む。
新された内容より表１のロット優先ファイル３８、設備
作業ファイル３９を更新する。次にステップ１４７で
は、表１の作業中ファイル３０より「状態フラグ」が
「待」のレコードが他にないか否かを検索し、「待」が
有ればステップ１４２に戻り、「待」無ければステップ
１４８に進む。
【００２９】ステップ１４８では、ステップ１３２で使
用された終了時刻が予測終了時刻と一致しているかどう
かをチェックする。予測終了時刻が一致していれば終了
となり、一致していなければステップ１４９に進む。
用された終了時刻が予測終了時刻と一致しているかどう
かをチェックする。予測終了時刻が一致していれば終了
となり、一致していなければステップ１４９に進む。
【００３０】ステップ１４９では、ステップ１３２で使
用された終了時刻に１単位分の時間（例えば１分間）を
加える。次のステップ１５０では、ステップ１４９で得
られた時刻をもとに表１の不稼働ファイル３４から稼働
となる設備名を検索する。次のステップ１５１では、ス
テップ１５０で得られた設備名をもとに、表１の作業中
ファイル３０の「状態フラグ」を「不」から「待」に変
更する。
用された終了時刻に１単位分の時間（例えば１分間）を
加える。次のステップ１５０では、ステップ１４９で得
られた時刻をもとに表１の不稼働ファイル３４から稼働
となる設備名を検索する。次のステップ１５１では、ス
テップ１５０で得られた設備名をもとに、表１の作業中
ファイル３０の「状態フラグ」を「不」から「待」に変
更する。
【００３１】次のステップ１５２では、表１の投入ファ
イル３３によりステップ１４９で設定された日時に投入
予定があれば、表１の工程手順ファイル３５の初めの工
程の設備名を取得し、その設備名の表１の仕掛ファイル
３１の内容を更新し、その後ステップ１３２に戻る。
イル３３によりステップ１４９で設定された日時に投入
予定があれば、表１の工程手順ファイル３５の初めの工
程の設備名を取得し、その設備名の表１の仕掛ファイル
３１の内容を更新し、その後ステップ１３２に戻る。
【００３２】図７は図１の予測部７の概要を示した模式
図である。この場合、製造設備２は、ロット１１の処理
中を示し、設備２の仕掛りとしてロット１２，１３があ
り、設備４の仕掛りとしてロット１４があるとし、ロッ
ト１１の処理が終ると設備４の仕掛りとなる。
図である。この場合、製造設備２は、ロット１１の処理
中を示し、設備２の仕掛りとしてロット１２，１３があ
り、設備４の仕掛りとしてロット１４があるとし、ロッ
ト１１の処理が終ると設備４の仕掛りとなる。
【００３３】設備２に仕掛っているロット１２，１３の
うち作業優先ランクの高いロットが設備２の次の作業ロ
ットとして処理が開始されたとする。該当ロットの予測
部７での処理時間が経過すれば、処理が終ったとし、ま
た仕掛りの中でもっとも高い優先ランクのものを作業開
始とする。
うち作業優先ランクの高いロットが設備２の次の作業ロ
ットとして処理が開始されたとする。該当ロットの予測
部７での処理時間が経過すれば、処理が終ったとし、ま
た仕掛りの中でもっとも高い優先ランクのものを作業開
始とする。
【００３４】設備４についても設備２と、同様で、設備
２で作業が終了したロット１１とロット１４で優先ラン
クの高いものから作業開始となる。予測部７では、独自
の時間単位に設備での作業の開始、終了を予測し、それ
でもって、例えば１週間後の仕掛り状況等を予測する。
２で作業が終了したロット１１とロット１４で優先ラン
クの高いものから作業開始となる。予測部７では、独自
の時間単位に設備での作業の開始、終了を予測し、それ
でもって、例えば１週間後の仕掛り状況等を予測する。
【００３５】図８は図１の棚Ａと設備（Ａ）２におい
て、棚と設備が連結された場合の模式図である。半導体
装置設備２が新たなロットを処理する毎に、その時棚Ａ
２１の中に保管してあるロットの中で最も優先ランクの
高いロットがアーム２２によって設備２の処理入口ＩＮ
に運ばれ、そこで処理が開始される。優先ランクが変更
されたら、その都度ホストコンピュータ１の指示部８か
らそのデータが転送されてくる。
て、棚と設備が連結された場合の模式図である。半導体
装置設備２が新たなロットを処理する毎に、その時棚Ａ
２１の中に保管してあるロットの中で最も優先ランクの
高いロットがアーム２２によって設備２の処理入口ＩＮ
に運ばれ、そこで処理が開始される。優先ランクが変更
されたら、その都度ホストコンピュータ１の指示部８か
らそのデータが転送されてくる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、人の勘
や経験による半導体装置の未来の仕掛予測をシステム化
することにより、常に均質で妥当な予測結果が得られ、
製造設備が有効活用でき、生産性が向上するという効果
を有する。
や経験による半導体装置の未来の仕掛予測をシステム化
することにより、常に均質で妥当な予測結果が得られ、
製造設備が有効活用でき、生産性が向上するという効果
を有する。
【図１】本発明の一実施例の半導体製造ラインのブロッ
ク図。
ク図。
【図２】図１の端末からの表示例を示す表示図。
【図３】図１の指示部８から出力される帳票のレイアウ
ト図。
ト図。
【図４】図１の予測部７の動作を説明するフロー図。
【図５】（ａ），（ｂ）は図４のステップ１０１，１０
２の詳細フロー図。
２の詳細フロー図。
【図６】図４のステップ１０３，１０４の詳細フロー
図。
図。
【図７】図１の予測部７の動作を説明する模式図。
【図８】図１の設備を棚とが連結された場合の模式的斜
視図。
視図。
１ ホストコンピュータ ２，４ 製造設備 ３ 製品の保管用棚 ５ データ出力用端末 ６ データベース部，表示部 ７ 予測部 ８ 指示部 ９ 仕掛量 １１，１２，１３，１４ ロット １５ 製品経路 ２１ 棚 ２２ アーム ３０〜３９ ファイル番号 １０１〜１０５ 処理ステップ １１１〜１１５，１２１，１２２ 処理ステップ １３１〜１５２ 処理ステップ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体装置の製造ロットの仕掛状況、
処理実績状況をデータとして整理し表示する表示データ
ベース部と、このデータベース表示部からの所定時の該
当製造ロットの各工程、搬送時間、優先ランクを含むデ
ータにより前記製造ロットの仕掛状態、稼働状態のデー
タを更新し、単位時間に達するまで前記所定時間に任意
の時間を加算して再度前記仕掛状態、稼働状態のデータ
を更新して前記単位時間の際の前記仕掛状態、稼働状態
のデータを予測する予測部と、前記予測部の結果により
作業着手順位を製造現場の各工程の自動半導体製造設備
及び作業者に伝達する指示部とを備えることを特徴とす
る半導体装置の製造支援装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25745291A JP3036918B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 半導体装置の製造支援装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25745291A JP3036918B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 半導体装置の製造支援装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05101999A JPH05101999A (ja) | 1993-04-23 |
| JP3036918B2 true JP3036918B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=17306540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25745291A Expired - Lifetime JP3036918B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 半導体装置の製造支援装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036918B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7348051B2 (ja) * | 2019-12-12 | 2023-09-20 | 株式会社日立製作所 | 作業指示システムおよび作業指示方法 |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP25745291A patent/JP3036918B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05101999A (ja) | 1993-04-23 |
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