JPH07106397A - ロット編成計画方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 正確なロット編成計画を自動的かつ安定して
実施する。 【構成】 着工計画データー１２の記憶装置２９Ａ、ロ
ット編成計画パラメーター１７の記憶装置２９Ｂ、工程
内仕掛データー９の記憶装置２９Ｃ、着工計画データー
１２を表示する表示手段３０、表示された着工計画デー
ターの中から計画範囲を指定する着工計画範囲指定手段
３１、ロット編成計画パラメーター１７を表示する表示
手段３２、表示されたパラメーターの中から使用される
パラメーターを選択する選択手段３３、指定された着工
計画データー１２と選択されたロット編成計画パラメー
ター１７とに基づき記憶された工程内仕掛データー９を
検索する工程内仕掛データー検索手段３４、検索に基づ
き指定された着工計画データーと選択されたロット編成
計画パラメーターとに該当する組み合わせを工程内仕掛
データーのうちから決定するロット編成計画決定手段３
５を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロット編成計画技術、
例えば、半導体装置の製造工程において、複数枚の半導
体ウエハ（以下、ウエハという。）によってロットを編
成するのに利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置の製造工程において
は、複数枚のウエハを１ロットとして編成し、ロット単
位で生産が進行されている。そして、このウエハのロッ
トを編成する場合において、従来は、次のような項目に
基づいて人が自分の頭の中で構想を立てそれをその場の
状況に合わせて、ロット編成作業を実施している。 （１） 着工計画を確認する。 （２） 工程内仕掛かりを確認する。 （３） その時の状態に合わせて思いついたパラメータ
ーを適用する。

【０００３】なお、ウエハのロット編成方法および装置
を述べてある例としては、特開平４−２３９１５２号公
報および特開平４−２７３１１５号公報、がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】最近、カスタム製品や
セミカスタム製品等の受注生産が実施されている半導体
装置の製造工程においては、その生産方式が多品種少量
生産になって来ている。そして、多品種少量生産が進ん
だ状況下において、人の頭脳によってロット編成作業を
正確かつ常に安定して実施することは殆ど不可能であ
る。

【０００５】本発明の目的は、正確なロット編成計画を
自動的に、かつ、常に安定して実施することができるロ
ット編成計画技術を提供することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、予め計画された着工計画データ
ーと、予め設定されたロット編成計画パラメーターとに
基づいて、予め収集された工程内仕掛データーを検索
し、着工計画データーに該当するロットの組み合わせを
工程内仕掛データーの中から割り当てることを特徴とす
る。

【０００９】前記した手段によれば、ロット編成計画に
おいて、着工計画データーとロット編成計画パラメータ
ーとに基づいて、膨大な工程仕掛データーを検索し、着
工計画データーに該当するロットの組合せを自動的に割
り当てることができるため、ロット編成計画時間を大幅
に短縮することができる。また、工程内仕掛データーを
全て計画対象としてロット編成計画を立案するため、正
確な計画を立案することができる。さらに、ロット編成
計画パラメーターを規定することで、常に安定した計画
を立案することができる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるロット編成計
画方法が実施されるウエハの生産方法を示す模式図であ
る。図２は本発明の一実施例であるロット編成計画装置
を示すブロック図である。図３（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）は本発明の一実施例であるロット編成計
画方法に用いるデーターを示す各模式図である。図４は
本発明の一実施例であるロット編成計画方法のシーケン
スを示すフローチャート図である。図５はそのアルゴリ
ズムを示すフローチャート図である。

【００１１】本実施例において、本発明に係るロット編
成計画方法は、セミカスタム製品を製造するウエハの生
産ライン（以下、セミカスタム生産ラインということが
ある。）に使用されている。そして、図１に示されてい
るように、このセミカスタム生産ラインは、ある程度の
受注を見込んで生産を行う所謂受注見込み生産ラインで
あるベースライン１と、受注に応じて生産を開始する所
謂受注生産ラインであるカスタムライン２とから構成さ
れている。

【００１２】このセミカスタム生産ラインには、工程内
仕掛管理棚６と、工程内仕掛管理装置８と、受注管理装
置１０と、着工計画装置１３と、ロット編成計画装置１
６と、ロット編成装置２１とが設備されており、これら
の装置は後述する作用を実行するように構成されてい
る。以下、セミカスタム生産ラインの生産工程について
これらの装置の構成および作用を説明することにより、
本実施例に係るロット編成計画方法を具体的に説明す
る。

【００１３】ベースライン１は見込み生産であるため、
ウエハのロット編成作業は通常の小品種大量生産方式と
同様に実施される。そして、ベースライン１において生
産されたウエハはロット毎に、ベースライン１の最終工
程で、例えば、第１仕掛ロット３、第２仕掛ロット４お
よび第３仕掛ロット５として、工程内仕掛管理棚６に保
管されて管理される。この管理棚６における各仕掛ロッ
ト３、４、５の仕掛量および収納場所は、工程内仕掛管
理装置８に工程内仕掛データー送信系７を介して送信さ
れ、工程内仕掛管理装置８の記憶装置に工程内仕掛デー
ター９として記憶されて逐次管理される。

【００１４】受注管理装置１０に受注品種およびその受
注量等の受注データーが送信されて来ると、その送信さ
れて来た受注データーが受注生産指示系１１を通じて着
工計画装置１３へ送信される。そして、その受注データ
ーに応じた着工計画データー１２が着工計画装置１３に
よって作成される。作成された着工計画データー１２は
記憶装置へ記憶され、後述するように、ロット編成計画
装置１６の呼び出し指令に従って着工計画データー送信
系１４を通じて適時送信される。

【００１５】ロット編成計画装置１６はロット編成計画
処理部１８において、受信した着工計画データー１２
と、ロット編成計画装置１６の記憶装置に予め記憶され
ているロット編成計画パラメーター１７とに基づいて、
工程内仕掛管理装置８に記憶された工程内仕掛データー
９を検索し、着工計画データー１２に該当するロットの
組み合わせを工程内仕掛データー９の中から割り当て
る。そして、ロット編成計画装置１６はその結果をロッ
ト編成計画結果１９として記憶装置に格納する。格納さ
れたロット編成計画結果１９はロット編成装置２１の呼
び出しに従って呼び出されて、ロット編成計画結果送信
系２０を通じてロット編成装置２１に適時送信される。

【００１６】ロット編成装置２１は呼び出したロット編
成計画結果１９に従って、例えば、第１仕掛ロット３を
工程内仕掛管理棚６から手元に取り寄せて、ロットの分
割作業２２を実施することにより、ロット編成計画結果
１９に対応した第１着工計画ロット２３、第２着工計画
ロット２４、第３着工計画ロット２５を編成する。そし
て、例えば、第１着工計画ロット２３はカスタムライン
２における第１仕様プロセス２６へ、第２着工計画ロッ
ト２４は第２仕様プロセス２７へ、第３着工計画ロット
２５は第３仕様プロセス２８へそれぞれ送給されて行
く。

【００１７】次に、図２によってロット編成計画装置１
６のロット編成計画処理の一実施例を説明する。

【００１８】ロット編成計画装置１６において、送信系
１４を通じて受信された着工計画データー１２は一端、
着工計画データー記憶装置２９Ａに記憶される。記憶さ
れた着工計画データー１２は着工計画データー表示手段
３０により、必要に応じて画面に表示される。また、表
示された着工計画データー１２はその中から計画範囲が
着工計画範囲指定手段３１により指定される。

【００１９】ロット編成計画装置１６はロット編成計画
パラメーター１７が予め記憶されるロット編成計画パラ
メーター記憶装置２９Ｂを備えている。この記憶装置２
９Ｂにはパーソナルコンピュータ等の入力装置によっ
て、必要なロット編成計画パラメーター１７が適宜入力
されるようになっている。このデーター記憶装置２９Ｂ
に記憶されたロット編成計画パラメーター１７はロット
編成計画パラメーター表示手段３２に必要に応じて表示
され、ロット編成計画に使用されるロット編成計画パラ
メーター１７がロット編成計画パラメーター選択手段３
３により選択される。

【００２０】また、ロット編成計画装置１６は工程内仕
掛データー送信系１５を通じて工程内仕掛管理装置８か
ら送られて来た工程内仕掛データー９を一時的に記憶す
る工程内仕掛データー記憶装置２９Ｃを備えている。

【００２１】ロット編成計画装置１６は工程内仕掛デー
ター検索手段３４を備えている。この検索手段３４によ
り、着工計画範囲指定手段３１によって指定された着工
計画データー１２と、パラメーター選択手段３３によっ
て選択されたロット編成計画パラメーター１７とに基づ
いて、工程内仕掛データー記憶装置２９Ｃに記憶された
工程内仕掛データー９が検索される。

【００２２】工程内仕掛データー検索手段３４にはロッ
ト編成計画決定手段３５が接続されており、このロット
編成計画決定手段３５は指定された着工計画データー１
２と選択されたロット編成計画パラメーター１７とに該
当する組み合わせを工程内仕掛データー９のうちから決
定する。決定されたロット編成計画結果１９としてのロ
ットの組み合わせは、ロット編成計画結果表示手段３６
に表示されるとともに、ロット編成計画結果格納手段３
７に格納される。

【００２３】ロット編成計画装置１６において、計画さ
れたロット編成計画結果１９はロット編成計画結果通信
範囲指定手段３８により表示されて、ロット編成装置２
１へ送信する範囲が所望に応じて指定される。そして、
指定された範囲のロット編成計画結果１９がロット編成
装置２１へロット編成計画結果通信手段３９によってロ
ット編成計画結果送信系２０を通じて送信される。

【００２４】図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はロ
ット編成計画に使用される各種データーの一実施例をそ
れぞれ示す各模式図である。

【００２５】図３（ａ）に示されている着工計画データ
ー１２は、範囲指定、着工日、着工モード、品名、ロッ
トＮＯ．、枚数、顧客名、指定歩留り、ワーキングサン
プルのデーターから構成されている。そして、着工計画
範囲指定手段３１は画面上の該当データーの範囲指定項
目をキーボードおよびマウスを使用して指定することに
より、着工計画範囲の指定を実行するようになってい
る。

【００２６】図３（ｂ）に示されているロット編成計画
パラメーター１７は、指定歩留り、着工優先、ファース
トイン・ファーストアウト、合成回避、ワーキングサン
プル小ロット、ワーキングサンプル低歩留り、合成ロッ
ト不可のデーターから構成されている。そして、各パラ
メーターパラメーターはキーボードおよびマウスが使用
されて、パラメーターの有効、無効が指定される。

【００２７】図３（ｃ）に示されている工程内仕掛デー
ター９は、入庫日、時刻、品名、ロットＮＯ．、枚数、
歩留り、ストックアドレスのデーターから構成されてい
る。

【００２８】図３（ｄ）に示されているロット編成計画
結果１９は、転送指定、着工日、着工モード、仕掛かり
品名、仕掛かりロットＮＯ．、仕掛かり枚数、仕掛かり
歩留り、計画品名、計画ロットＮＯ．、計画枚数、計画
歩留り、顧客名、ワーキングサンプルのデーターから構
成されている。

【００２９】ロット編成計画結果１９のロット編成装置
２１への転送範囲の指定は、画面上の該当データーの転
送指定項目にキーボードおよびマウスを使って、転送ま
たは未転送を指示することにより、実行される。

【００３０】図４に示されているように、ロット編成計
画処理シーケンスは、着工計画データーの表示から開始
され、計画結果表示によって計画結果が適否を確認して
終了とされる。計画結果が不適当である場合には、計画
範囲指定および計画パラメーター指定が変更された後
に、計画処理が再度実行される。

【００３１】また、図５に示されているように、ロット
編成計画アルゴリズムの実施例は、まず、指定範囲の計
画データーが読み出されることから始めて、最終的に該
当ロットの分割、合成の組合せが決定される。

【００３２】前記実施例によれば次の効果が得られる。 （１） ロット編成計画において、着工計画データーと
ロット編成計画パラメーターとに基づいて、膨大な工程
仕掛データーを検索し、着工計画データーに該当するロ
ットの組合せを自動的に割り当てることにより、ロット
編成計画時間を大幅に短縮することができるとともに、
工程内仕掛データーを全て計画対象として計画するた
め、正確な計画を立案することができ、ロット編成計画
パラメーターを規定することで常に安定した計画を立案
することができる。

【００３３】（２） 受注データーに基づいて計画され
た着工計画データーを記憶する着工計画データー記憶装
置と、ロット編成計画パラメーターを予め記憶するロッ
ト編成計画パラメーター記憶装置と、工程内仕掛データ
ーを一時的に記憶する工程内仕掛データー記憶装置とを
設けることにより、必要に応じてこれらのデーターを画
面に表示することができるため、これらのデーターを使
ってロット編成計画を簡単に立案することができる。

【００３４】（３） 着工計画に際して、着工計画デー
ター記憶装置に記憶された着工計画データーを着工計画
データー表示手段の画面に表示するとともに、この着工
計画データー表示手段に表示された着工計画データーの
中から計画範囲を着工計画範囲指定手段によって指定す
ることにより、計画範囲を自由かつ簡単に指定すること
ができるため、より一層柔軟なロット編成計画を立案す
ることができる。

【００３５】（４） ロット編成計画パラメーターの指
定に際して、ロット編成計画パラメーター記憶装置に記
憶されたロット編成計画パラメーターをロット編成計画
パラメーター表示手段に表示するとともに、このロット
編成計画パラメーター表示手段に表示されたロット編成
計画パラメーターの中からロット編成計画に使用される
ロット編成計画パラメーターをロット編成計画パラメー
ター選択手段によって選択することにより、パラメータ
ーの有効範囲を自由に指定することができるため、場合
に応じて多種多様のロット編成計画を立案することがで
きる。

【００３６】（５） ロット編成計画決定に際して、ロ
ット編成計画決定手段と工程内仕掛データー検索手段と
を設けるとともに、ロット編成計画決定手段によって決
定されたロット編成計画結果を表示するロット編成計画
結果表示手段と、ロット編成計画決定手段によって決定
されたロット編成計画結果を格納するロット編成計画結
果格納手段とを設けることにより、立案されたロット編
成計画決定を必要に応じて再考することができるため、
ロット編成計画をより一層細かく、かつ、正確に立案す
ることができる。

【００３７】（６） 立案されたロット編成計画結果を
ロット編成装置に指令するに際して、ロット編成計画決
定手段によって決定されたロット編成計画結果を表示す
るとともに、ロット編成装置へ送信する範囲を指定する
ロット編成計画結果通信範囲指定手段と、この指定され
た範囲のロット編成計画結果をロット編成装置へ送信す
るロット編成計画結果通信手段とを設けることにより、
ロット編成装置と連動した自動化を実現することができ
る。

【００３８】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００３９】例えば、ロット編成計画決定手段によって
決定されたロット編成計画結果を表示するロット編成計
画結果表示手段、ロット編成計画決定手段によって決定
されたロット編成計画結果を格納するロット編成計画結
果格納手段、ロット編成計画決定手段によって決定され
たロット編成計画結果を表示するとともにロット編成装
置へ送信する範囲を指定するロット編成計画結果通信範
囲指定手段、および、指定された範囲のロット編成計画
結果をロット編成装置へ送信するロット編成計画結果通
信手段は、適宜省略することができる。

【００４０】また、ロット編成計画装置における通信系
等の具体的構成は前記実施例に限定されるものではな
く、システム全体としての規模に応じて適宜選定するこ
とが望ましい。

【００４１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のロット編成計画技術に適用した場合について説明した
が、それに限定されるものではなく、他の製品について
のロット編成計画技術全般に適用することができる。特
に、本発明は、多品種少量生産製品の生産に際してのロ
ット編成計画に適用して優れた効果が得られる。

【００４２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４３】予め計画された着工計画データーと、予め
設定されたロット編成計画パラメーターとに基づいて、
予め収集された工程内仕掛データーを検索し、着工計画
データーに該当するロットの組み合わせを工程内仕掛デ
ーターの中から割り当てることにより、膨大な工程仕掛
データーを検索し、着工計画データーに該当するロット
の組合せを自動的に割り当てることができるため、ロッ
ト編成計画時間を大幅に短縮することができ、また、工
程内仕掛データーを全て計画対象として計画するため、
正確な計画を立案することができるとともに、ロット編
成計画パラメーターを規定することで常に安定した計画
を立案することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるロット編成計画方法が
実施されるウエハの生産方法を示す模式図である。

【図２】本発明の一実施例であるロット編成計画装置を
示すブロック図である。

【図３】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は本発明の一
実施例であるロット編成計画方法に用いるデーターを示
す各模式図である。

【図４】本発明の一実施例であるロット編成計画方法の
シーケンスを示すフローチャート図である。

【図５】そのアルゴリズムを示すフローチャート図であ
る。

【符合の説明】

１…ベースライン（受注見込み生産ライン）、２…カス
タム（受注生産ライン）、３…第１仕掛ロット、４…第
２仕掛ロット、５…第３仕掛ロット、６…工程内仕掛管
理棚、７…工程内仕掛データー送信系、８…工程内仕掛
管理装置、９…工程内仕掛データー、１０…受注管理装
置、１１…受注生産指示系、１２…着工計画データー、
１３…着工計画装置、１４…着工計画データー送信系、
１５…工程内仕掛データー送信系、１６…ロット編成計
画装置、１７…ロット編成計画パラメーター、１８…ロ
ット編成計画処理部、１９…ロット編成計画結果、２０
…ロット編成計画結果送信系、２１…ロット編成装置、
２２…分割作業、２３…第１着工計画ロット、２４…第
２着工計画ロット、２５…第３着工計画ロット、２６…
第１仕様プロセス、２７…第２仕様プロセス、２８…第
３仕様プロセス、２９Ａ…着工計画データー記憶装置、
２９Ｂ…ロット編成計画パラメーター記憶装置、２９Ｃ
…工程内仕掛データー記憶装置、３０…着工計画表示手
段、３１…着工計画範囲指定手段、３２…計画パラメー
ター表示手段、３３…パラメーター選択手段、３４…工
程内仕掛データー検索手段、３５…ロット編成計画手
段、３６…ロット編成計画結果表示手段、３７…ロット
編成計画結果格納手段、３８…ロット編成計画結果通信
範囲指定手段、３９…ロット編成計画結果通信手段。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め計画された着工計画データーと、予
   め設定されたロット編成計画パラメーターとに基づい
   て、予め収集された工程内仕掛データーを検索し、着工
   計画データーに該当するロットの組み合わせを工程内仕
   掛データーの中から割り当てることを特徴とするロット
   編成計画方法。
2. 【請求項２】 予め計画された着工計画データーと、予
   め設定されたロット編成計画パラメーターとに基づい
   て、予め収集された工程内仕掛データーを検索し、着工
   計画データーに該当するロットの組み合わせを工程内仕
   掛データーの中から割り当てるロット編成計画処理部を
   備えていることを特徴とするロット編成計画装置。
3. 【請求項３】 受注データーに基づいて計画された着工
   計画データーを記憶する着工計画データー記憶装置と、 ロット編成計画パラメーターを予め記憶するロット編成
   計画パラメーター記憶装置と、 工程内仕掛データーを一時的に記憶する工程内仕掛デー
   ター記憶装置と、 前記着工計画データー記憶装置に記憶された着工計画デ
   ーターを画面に表示する着工計画データー表示手段と、 この着工計画データー表示手段に表示された着工計画デ
   ーターの中から計画範囲を指定する着工計画範囲指定手
   段と、 前記ロット編成計画パラメーター記憶装置に記憶された
   ロット編成計画パラメーターを表示するロット編成計画
   パラメーター表示手段と、 このロット編成計画パラメーター表示手段に表示された
   ロット編成計画パラメーターの中からロット編成計画に
   使用されるロット編成計画パラメーターを選択するロッ
   ト編成計画パラメーター選択手段と、 前記着工計画範囲指定手段によって指定された着工計画
   データーと、前記パラメーター選択手段によって選択さ
   れたロット編成計画パラメーターとに基づき、前記工程
   内仕掛データー記憶装置に記憶された工程内仕掛データ
   ーを検索する工程内仕掛データー検索手段と、 この工程内仕掛データー検索手段の検索に基づいて、前
   記指定された着工計画データーと前記選択されたロット
   編成計画パラメーターとに該当する組み合わせを前記工
   程内仕掛データーのうちから決定するロット編成計画決
   定手段と、 このロット編成計画決定手段によって決定されたロット
   編成計画結果を表示するロット編成計画結果表示手段
   と、 前記ロット編成計画決定手段によって決定されたロット
   編成計画結果を格納するロット編成計画結果格納手段
   と、 前記ロット編成計画決定手段によって決定されたロット
   編成計画結果を表示するとともに、ロット編成装置へ送
   信する範囲を指定するロット編成計画結果通信範囲指定
   手段と、 この指定された範囲のロット編成計画結果をロット編成
   装置へ送信するロット編成計画結果通信手段と、 を備えていることを特徴とする請求項２に記載のロット
   編成計画装置。