JP3036283B2 - ヒータ付酸素濃度センサ - Google Patents
ヒータ付酸素濃度センサInfo
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- JP3036283B2 JP3036283B2 JP5021263A JP2126393A JP3036283B2 JP 3036283 B2 JP3036283 B2 JP 3036283B2 JP 5021263 A JP5021263 A JP 5021263A JP 2126393 A JP2126393 A JP 2126393A JP 3036283 B2 JP3036283 B2 JP 3036283B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2 ）固体電解質を利用した酸素濃度センサに関し、よ
り詳しくは、積層型のヒータ付酸素濃度センサに関す
る。
Ｏ2 ）固体電解質を利用した酸素濃度センサに関し、よ
り詳しくは、積層型のヒータ付酸素濃度センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ジルコニア酸素センサには従来の試験菅
状型構造から、小型化およびコスト低減を図るように、
積層シート法を応用した積層型構造のものが提案されて
いる。積層型酸素センサは小型化されて熱容量が小さく
なっているので、一般的には、エンジン始動後からセン
サが活性となるまでの時間「ライトオフタイム」が短縮
できる。しかしながら、実際の車両において、特に、寒
冷地での低温時の始動では、センサの熱容量が小さいた
めに、排気ガスへの熱逃げが大きく、コールドエミッシ
ョンの点で不利であり、ヒータによるセンサの付加加熱
がなされている（例えば、特開昭６３−１４９５５１号
公報、特開平４−１９４６６２号公報参照）。
状型構造から、小型化およびコスト低減を図るように、
積層シート法を応用した積層型構造のものが提案されて
いる。積層型酸素センサは小型化されて熱容量が小さく
なっているので、一般的には、エンジン始動後からセン
サが活性となるまでの時間「ライトオフタイム」が短縮
できる。しかしながら、実際の車両において、特に、寒
冷地での低温時の始動では、センサの熱容量が小さいた
めに、排気ガスへの熱逃げが大きく、コールドエミッシ
ョンの点で不利であり、ヒータによるセンサの付加加熱
がなされている（例えば、特開昭６３−１４９５５１号
公報、特開平４−１９４６６２号公報参照）。
【０００３】従来の積層型のヒータ付酸素濃度センサの
一例を図１の断面図に示す。このセンサは、両面に多孔
性の白金（Ｐｔ）電極２ａ、２ｂを配した酸素検知部で
あるジルコニア（固体電解質）層１と、大気につながっ
た空気空間３を有するセラミックス（アルミナ）ダクト
部４と、ヒータ５を有するセラミックス（アルミナ）基
板部６とからなる。まず、アルミナ基板部６のグリーン
シートの上にＰｔペーストをスクリーン印刷でヒータパ
ターンに塗布する。アルミナダクト部４のグリーンシー
トを射出成形法で内部にＬ字型貫通孔を有するように形
成する。また、ジルコニア層１のグリーンシートの両面
にＰｔペーストを電極形状にスクリーン印刷する。これ
らを図１に示すように、積層して全体を同時に焼成する
ことによって一体になった酸素濃度センサが得られる。
一例を図１の断面図に示す。このセンサは、両面に多孔
性の白金（Ｐｔ）電極２ａ、２ｂを配した酸素検知部で
あるジルコニア（固体電解質）層１と、大気につながっ
た空気空間３を有するセラミックス（アルミナ）ダクト
部４と、ヒータ５を有するセラミックス（アルミナ）基
板部６とからなる。まず、アルミナ基板部６のグリーン
シートの上にＰｔペーストをスクリーン印刷でヒータパ
ターンに塗布する。アルミナダクト部４のグリーンシー
トを射出成形法で内部にＬ字型貫通孔を有するように形
成する。また、ジルコニア層１のグリーンシートの両面
にＰｔペーストを電極形状にスクリーン印刷する。これ
らを図１に示すように、積層して全体を同時に焼成する
ことによって一体になった酸素濃度センサが得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ヒータ内蔵の積層型酸
素濃度センサでは、ヒータが外気につながった空気空間
を介してその上方のジルコニアセンサ部を加熱するよう
になっているので、ヒータからの発熱がジルコニア（固
体電解質）層の加熱に有効に利用されていない。そこ
で、ヒータの加熱効率を上げるために、ヒータパターン
の改良、ヒータ面積の拡大、ヒータ容量の増大などが考
えられているが、いずれも、信頼性の低下（例えば、ヒ
ータの断線など）やセンサ素子全体の大型化、消費電力
の増大を招きあまり実用的でない。
素濃度センサでは、ヒータが外気につながった空気空間
を介してその上方のジルコニアセンサ部を加熱するよう
になっているので、ヒータからの発熱がジルコニア（固
体電解質）層の加熱に有効に利用されていない。そこ
で、ヒータの加熱効率を上げるために、ヒータパターン
の改良、ヒータ面積の拡大、ヒータ容量の増大などが考
えられているが、いずれも、信頼性の低下（例えば、ヒ
ータの断線など）やセンサ素子全体の大型化、消費電力
の増大を招きあまり実用的でない。
【０００５】本発明の目的は、ヒータ付の積層型酸素濃
度センサでのヒータ発熱を効率よくジルコニア固体電解
質センサ部の加熱に利用できるようにした酸素濃度セン
サを提供することである。本発明の別の目的は、「ライ
トオフタイム」を短縮することのできる酸素濃度センサ
を提供することである。
度センサでのヒータ発熱を効率よくジルコニア固体電解
質センサ部の加熱に利用できるようにした酸素濃度セン
サを提供することである。本発明の別の目的は、「ライ
トオフタイム」を短縮することのできる酸素濃度センサ
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的が、ヒータを
有するセラミックス基板部および該基板部の上に一体的
に形成されかつ空気空間を有するセラミックスダクト部
からなるセラミックス基体と、該ダクト部の上に搭載さ
れかつ両面に外側電極および内側電極を備えたジルコニ
アセンサ部とからなるヒータ付酸素濃度センサにおい
て、前記ジルコニアセンサ部に対応する前記セラミック
ス基体の領域の上に、全赤外域で放射率が高い遠赤外線
輻射層を設けることを特徴とするヒータ付酸素濃度セン
サによって達成される。
有するセラミックス基板部および該基板部の上に一体的
に形成されかつ空気空間を有するセラミックスダクト部
からなるセラミックス基体と、該ダクト部の上に搭載さ
れかつ両面に外側電極および内側電極を備えたジルコニ
アセンサ部とからなるヒータ付酸素濃度センサにおい
て、前記ジルコニアセンサ部に対応する前記セラミック
ス基体の領域の上に、全赤外域で放射率が高い遠赤外線
輻射層を設けることを特徴とするヒータ付酸素濃度セン
サによって達成される。
【０００７】放射効率の高い遠赤外線輻射層には、全赤
外域で放射率が高く、黒体に近い放射特性を持つ遷移元
素酸化物、例えば、ＭｎＯ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＣｕＯ、Ｃ
ｏＯなどを一種または複数組み合わせたものをベースと
して、セラミックス（アルミナ）ダクト部との密着性お
よび耐熱衝撃性を確保するために、コージェライト（2M
gO・2Al2O3・5SiO2 ) 、β−スポジュメン（Li2O・Al2O
3 ・4SiO2)、チタン酸アルミニウム( Al2O3 ・TiO2) な
どの低膨張性でアルミナ（Al2O3 ）含有のセラミックス
を添加混合したものであるのが好ましい。ベースに添加
混合するセラミックスはアルミナをその組成中に含有し
ているので、セラミックスダクト部との強固な密着を達
成するのに寄与している。セラミックスダクト部がアル
ミナ以外のセラミックスである場合には、それに応じた
添加セラミックスを用いることになる。
外域で放射率が高く、黒体に近い放射特性を持つ遷移元
素酸化物、例えば、ＭｎＯ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＣｕＯ、Ｃ
ｏＯなどを一種または複数組み合わせたものをベースと
して、セラミックス（アルミナ）ダクト部との密着性お
よび耐熱衝撃性を確保するために、コージェライト（2M
gO・2Al2O3・5SiO2 ) 、β−スポジュメン（Li2O・Al2O
3 ・4SiO2)、チタン酸アルミニウム( Al2O3 ・TiO2) な
どの低膨張性でアルミナ（Al2O3 ）含有のセラミックス
を添加混合したものであるのが好ましい。ベースに添加
混合するセラミックスはアルミナをその組成中に含有し
ているので、セラミックスダクト部との強固な密着を達
成するのに寄与している。セラミックスダクト部がアル
ミナ以外のセラミックスである場合には、それに応じた
添加セラミックスを用いることになる。
【０００８】
【作用】本願発明では、図１に示したような従来の積層
型であるヒータ付酸素濃度センサにおいて、セラミック
ス基体（セラミックスダクト部）でのジルコニアセンサ
部に対応する領域の上に放射効率の高い遠赤外線輻射層
を付加形成してある。この遠赤外線輻射層によってヒー
タの熱が直接輻射で従来よりも効率良くジルコニアセン
サ部に伝達されて、加熱効果を高めることができる。
型であるヒータ付酸素濃度センサにおいて、セラミック
ス基体（セラミックスダクト部）でのジルコニアセンサ
部に対応する領域の上に放射効率の高い遠赤外線輻射層
を付加形成してある。この遠赤外線輻射層によってヒー
タの熱が直接輻射で従来よりも効率良くジルコニアセン
サ部に伝達されて、加熱効果を高めることができる。
【０００９】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施態
様例および比較例によって本発明を詳細に説明する。図
２に本発明に係るヒータ付酸素濃度センサを示す。この
センサの構造は基本的には図１での従来のヒータ付酸素
濃度センサと同じであり、遠赤外線輻射層７がジルコニ
ア（固体電解質）層１に面するセラミックスダクト４の
上に付加形成されている。さらに、セラミックス基板部
６およびセラミックスダクト４の外周に、熱逃げを抑制
するための保温層８を付加形成しても良い。この保温層
８は、熱輻射の低い物質（例えば、ＴｉＯ2 、ＣｅＯ2
など）を溶射法、浸漬ないし塗布後の焼成法によって配
設することができる。
様例および比較例によって本発明を詳細に説明する。図
２に本発明に係るヒータ付酸素濃度センサを示す。この
センサの構造は基本的には図１での従来のヒータ付酸素
濃度センサと同じであり、遠赤外線輻射層７がジルコニ
ア（固体電解質）層１に面するセラミックスダクト４の
上に付加形成されている。さらに、セラミックス基板部
６およびセラミックスダクト４の外周に、熱逃げを抑制
するための保温層８を付加形成しても良い。この保温層
８は、熱輻射の低い物質（例えば、ＴｉＯ2 、ＣｅＯ2
など）を溶射法、浸漬ないし塗布後の焼成法によって配
設することができる。
【００１０】本発明に係るヒータ付酸素濃度センサを製
造するには、従来例のセンサを製造して得た後で、下記
組成の遠赤外線輻射層７のスラリーを用意して、それを
マイクロディスペンサーなどでセラミックスダクト４の
開口から内側電極２ｂの下方に（対向位置に）まで入れ
て、セラミックスダクト４の底面の上に少なくともジル
コニア層１の表出面積程度で配置する。（また、該スラ
リーの粘度を低くして、セラミックスダクト４の底面の
全面に配置することもできる。） ＭｎＯ2 粉（６０wt％）、Ｆｅ2 Ｏ3 粉（２０wt％）、
ＣｕＯ粉（１０wt％）およびＣｏＯ粉（１０wt％）を混
合し、仮焼し、粉砕して仮焼粉を作り、この仮焼粉（３
０wt％）と、コージェライト粉（７０wt％）と、バイン
ダーと、溶剤とを混合して、スラリーとする。
造するには、従来例のセンサを製造して得た後で、下記
組成の遠赤外線輻射層７のスラリーを用意して、それを
マイクロディスペンサーなどでセラミックスダクト４の
開口から内側電極２ｂの下方に（対向位置に）まで入れ
て、セラミックスダクト４の底面の上に少なくともジル
コニア層１の表出面積程度で配置する。（また、該スラ
リーの粘度を低くして、セラミックスダクト４の底面の
全面に配置することもできる。） ＭｎＯ2 粉（６０wt％）、Ｆｅ2 Ｏ3 粉（２０wt％）、
ＣｕＯ粉（１０wt％）およびＣｏＯ粉（１０wt％）を混
合し、仮焼し、粉砕して仮焼粉を作り、この仮焼粉（３
０wt％）と、コージェライト粉（７０wt％）と、バイン
ダーと、溶剤とを混合して、スラリーとする。
【００１１】そして、遠赤外線輻射層７の焼成温度まで
加熱して、層７をしっかりとセラミックスダクト４に付
着させ、本発明のセンサが得られる。なお、アルミナの
焼成温度は１５００〜１６００℃であり、一方、この遠
赤外線輻射層用のセラミックスの焼成温度は１１００〜
１２００℃であり、２回焼成を行うわけである。このよ
うにして得たヒータ付酸素濃度センサは保温層８のない
ものであり、２０Ｗの電力印加でのヒータ５の加熱によ
る、ジルコニアセンサ部のジルコニア層１の表面温度上
昇を調べて、図３に示す結果（実線）が得られた。比較
例として、遠赤外線輻射層のない従来のヒータ付酸素濃
度センサ（図１）についても、ヒータ５の加熱によるジ
ルコニア層１の表面温度上昇を調べて、図３に示す結果
（破線）が得られた。本発明のセンサは従来のセンサよ
りも早くかつ高温にジルコニア層１を昇温できる。さら
に、酸素濃度センサとしての立ち上がり特性（ＬＡ＃４
モード）での到達時間は、図４に示すように、本発明の
センサで約１５秒と、従来のセンサの約４０秒よりもか
なり短くなった。このように、従来の積層型ヒータ付酸
素濃度センサに比較して、本発明のセンサではヒータの
加熱効率、低温時の立ち上がり特性が大幅に向上してい
る。
加熱して、層７をしっかりとセラミックスダクト４に付
着させ、本発明のセンサが得られる。なお、アルミナの
焼成温度は１５００〜１６００℃であり、一方、この遠
赤外線輻射層用のセラミックスの焼成温度は１１００〜
１２００℃であり、２回焼成を行うわけである。このよ
うにして得たヒータ付酸素濃度センサは保温層８のない
ものであり、２０Ｗの電力印加でのヒータ５の加熱によ
る、ジルコニアセンサ部のジルコニア層１の表面温度上
昇を調べて、図３に示す結果（実線）が得られた。比較
例として、遠赤外線輻射層のない従来のヒータ付酸素濃
度センサ（図１）についても、ヒータ５の加熱によるジ
ルコニア層１の表面温度上昇を調べて、図３に示す結果
（破線）が得られた。本発明のセンサは従来のセンサよ
りも早くかつ高温にジルコニア層１を昇温できる。さら
に、酸素濃度センサとしての立ち上がり特性（ＬＡ＃４
モード）での到達時間は、図４に示すように、本発明の
センサで約１５秒と、従来のセンサの約４０秒よりもか
なり短くなった。このように、従来の積層型ヒータ付酸
素濃度センサに比較して、本発明のセンサではヒータの
加熱効率、低温時の立ち上がり特性が大幅に向上してい
る。
【００１２】材質による赤外線放射率を、アルミナ焼
結板それ自身、アルミナ板の上にコージェライトをコ
ーティングしたもの、アルミナ板の上にＴｉＯ2 をコ
ーティングしたもの、そして、本発明のようにアルミ
ナ板の上に上述した組成の遠赤外線輻射層をコーティン
グしたもののそれぞれについて加熱して調べると、図５
に示す結果が得られる。図５から分かるように、本発明
にて用いる遠赤外線輻射層（コージェライト、Ｍｎ
Ｏ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＣｕＯおよびＣｏＯの混合物層）
では、全赤外域で極めて高い放射率を有する。一方、Ｔ
ｉＯ2 コーティング層では放射率が全般にわたって低
い。したがって、遠赤外線輻射層からは熱輻射が多く
発せられて、ジルコニアセンサ部を加熱することができ
る。そして、保温層８（図２）をＴｉＯ2 層で構成する
ならば、アルミナよりも熱放射を抑制して熱損失を減ら
す（保温効果をもたらす）ことになる。
結板それ自身、アルミナ板の上にコージェライトをコ
ーティングしたもの、アルミナ板の上にＴｉＯ2 をコ
ーティングしたもの、そして、本発明のようにアルミ
ナ板の上に上述した組成の遠赤外線輻射層をコーティン
グしたもののそれぞれについて加熱して調べると、図５
に示す結果が得られる。図５から分かるように、本発明
にて用いる遠赤外線輻射層（コージェライト、Ｍｎ
Ｏ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＣｕＯおよびＣｏＯの混合物層）
では、全赤外域で極めて高い放射率を有する。一方、Ｔ
ｉＯ2 コーティング層では放射率が全般にわたって低
い。したがって、遠赤外線輻射層からは熱輻射が多く
発せられて、ジルコニアセンサ部を加熱することができ
る。そして、保温層８（図２）をＴｉＯ2 層で構成する
ならば、アルミナよりも熱放射を抑制して熱損失を減ら
す（保温効果をもたらす）ことになる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るヒー
タ付酸素濃度センサは遠赤外線輻射層を備えて、直接熱
輻射によるジルコニアセンサ部の加熱効果によって、従
来よりも早く濃度センサが活性となり、正常に機能す
る。さらに、内蔵ヒータによる発熱のみならず、センサ
の置かれている雰囲気（排気ガス）からの熱を受けるこ
とによっても、遠赤外線輻射層が赤外線放射を行うの
で、排気ガスの温度がある程度高い（４００〜５００
℃）ときには、その熱輻射も加算されて、通常よりも少
ないヒータ電力でセンサの活性を維持することができ
る。これにより、ヒータの低消費電力化ないしヒータパ
ターンの簡素化が可能になり、濃度センサのコンパクト
化、高信頼性化に寄与する。
タ付酸素濃度センサは遠赤外線輻射層を備えて、直接熱
輻射によるジルコニアセンサ部の加熱効果によって、従
来よりも早く濃度センサが活性となり、正常に機能す
る。さらに、内蔵ヒータによる発熱のみならず、センサ
の置かれている雰囲気（排気ガス）からの熱を受けるこ
とによっても、遠赤外線輻射層が赤外線放射を行うの
で、排気ガスの温度がある程度高い（４００〜５００
℃）ときには、その熱輻射も加算されて、通常よりも少
ないヒータ電力でセンサの活性を維持することができ
る。これにより、ヒータの低消費電力化ないしヒータパ
ターンの簡素化が可能になり、濃度センサのコンパクト
化、高信頼性化に寄与する。
【図１】従来の積層型ヒータ付酸素濃度センサの概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明に係る積層型ヒータ付酸素濃度センサの
概略断面図である。
概略断面図である。
【図３】ヒータ付酸素濃度センサでのジルコニアセンサ
部の昇温グラフである。
部の昇温グラフである。
【図４】酸素濃度センサとしての立ち上がり特性（ＬＡ
＃４モード）での到達時間のグラフである。
＃４モード）での到達時間のグラフである。
【図５】アルミナ板、コーティング層の分光赤外線放射
率曲線のグラフである。
率曲線のグラフである。
１…ジルコニア（固体電解質）層 ２ａ、２ｂ…電極 ３…空気空間 ４…セラミックスダクト部 ５…ヒータ ６…セラミックス基板部 ７…遠赤外線輻射層 ８…保温層
Claims (1)
- 【請求項１】 ヒータを有するセラミックス基板部およ
び該基板部の上に一体的に形成されかつ空気空間を有す
るセラミックスダクト部からなるセラミックス基体と、
該ダクト部の上に搭載されかつ両面に外側電極および内
側電極を備えたジルコニアセンサ部とからなるヒータ付
酸素濃度センサにおいて、 前記ジルコニアセンサ部に対応する前記セラミックス基
体の領域の上に、全赤外域で放射率が高い遠赤外線輻射
層（７）を設けることを特徴とするヒータ付酸素濃度セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021263A JP3036283B2 (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021263A JP3036283B2 (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235713A JPH06235713A (ja) | 1994-08-23 |
| JP3036283B2 true JP3036283B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=12050219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5021263A Expired - Fee Related JP3036283B2 (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | ヒータ付酸素濃度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036283B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3525532B2 (ja) | 1994-09-01 | 2004-05-10 | 株式会社デンソー | 酸素濃度検出器 |
| JP4572486B2 (ja) * | 2001-05-17 | 2010-11-04 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びその製造方法 |
| CN113311050B (zh) * | 2021-05-18 | 2023-07-25 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种医用快速氧化锆氧气传感器 |
-
1993
- 1993-02-09 JP JP5021263A patent/JP3036283B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06235713A (ja) | 1994-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
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