JP3694625B2 - ヒータ一体型酸素センサ素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における空気と燃料の比率を制御するためのヒータ一体型酸素センサ素子に関するものであり、具体的には発熱体とセンシング部が一体化されてなり、熱衝撃性に優れた活性化時間の短いヒータ一体型酸素センサ素子に関する。
【0002】
【従来技術】
現在、自動車等の内燃機関においては、排出ガス中の酸素濃度を検出して、その検出値に基づいて内燃機関に供給する空気および燃料供給量を制御することにより、内燃機関からの有害物質、例えばCO、HC、NOxを低減させる方法が採用されている。
【0003】
この検出素子として、主として酸素イオン伝導性を有するジルコニアを主分とする固体電解質からなり、一端が封止された円筒管の外面および内面にそれぞれ一対の電極層が形成された固体電解質型の酸素センサが用いられている。この酸素センサの代表的なものとしては、図6に示すように、ZrO2固体電解質からなり、先端が封止された円筒管21の内面には、白金からなり空気などの基準ガスと接触する基準電極22が、また円筒管21の外面には排気ガスなどの被測定ガスと接触される測定電極23が形成されている。また、測定電極23の表面には種々のセラミック多孔質層24が形成されている。
【0004】
このような酸素センサにおいて、一般に、空気と燃料の比率が1付近の制御に用いられている、いわゆる理論空燃比センサ(λセンサ)としては、測定電極23の表面に、保護層となる多孔質層24が設けられており、所定温度で円筒管両側に発生する酸素濃度差を検出し、エンジン吸気系の空燃比の制御が行われている。
【0005】
一方、広範囲の空燃比を制御するために用いられている、いわゆる広域空燃比センサ(A/Fセンサ)は、測定電極23の表面に微細な細孔を有するガス拡散律速層となるセラミック多孔質層24を設け、固体電解質からなる円筒管21に一対の電極22、23を通じて印加電圧を加え、その際得られる限界電流値を測定して希薄燃焼領域の空燃比を制御するものである。
【0006】
上記理論空燃比センサおよび広域空燃比センサともセンシング部を約700℃付近の作動温度までに加熱する必要があり、そのために、円筒管の内側には、センシング部を作動温度まで加熱するため棒状ヒータ25が挿入されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年排気ガス規制の強化傾向が強まり、エンジン始動直後からのCO、HC、NOxの検出が必要になってきた。このような要求に対して、上述のように、ヒータ25を円筒管21内に挿入してなる間接加熱方式の円筒型酸素センサでは、センシング部が活性化温度に達するまでに要する時間(以下、活性化時間という。)が遅いために排気ガス規制に充分対応できないという問題があった。
【0008】
その問題を回避する方法として、固体電解質からなる円筒管の内面および外面に基準電極、測定電極が設けられ、測定電極の表面に、ガス透過性の多孔性の絶縁層を設け、さらにその中のガス透過性の低いガス非透過層中に白金発熱体を設けた円筒型のヒータ一体型酸素センサ素子が特開平10−206380号公報に記載されている。
【0009】
一方、本出願人は、先にセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管の内面および外面に基準電極および測定電極を形成してなるセンサ素子と、測定電極が露出するように前記円筒管の外面に測定電極形成部に開口を設けたセラミック絶縁層を積層形成し、測定電極がその開口部から露出するようにし、その少なくとも露出している前記測定電極の周囲のセラミック絶縁層内に発熱体を埋設したヒータ一体型酸素センサ素子を提案した。
【0010】
しかしながら、このヒータ一体型酸素センサは、従来の間接加熱方式と異なり、直接加熱方式であるために急速昇温が可能ではあるが、測定電極を形成するための開口部を設けるため開口部の周囲に熱応力が発生し、急速昇温により開口部に沿って素子にクラックが発生しやすく耐久性に劣るという問題があった。
【0011】
従って、本発明は、円筒型酸素センサ素子に対してヒータが一体化されてなるとともに、急速昇温などの熱衝撃性に優れたヒータ一体型酸素センサ素子を提供することを目的とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の問題について検討した結果、酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管に対して、該円筒管の内面および外面の対向する位置にそれぞれ形成された基準電極および測定電極と、前記円筒管の外面に被着形成され前記測定電極の一部または全部が露出するように開口部が形成された緻密質のセラミック絶縁層と、該セラミック絶縁層の前記開口部の周囲に埋設された発熱体とを具備する酸素濃度測定のためのセンシング部を2つ、前記円筒管の相対向する位置にそれぞれ形成し、前記センシング部における前記開口部の前記円筒管の中心からの広がり角度をそれぞれ40〜90度とすることによって、上記目的を達成できることを見いだし、本発明に到達した。
【0013】
この際、前記センシング部における前記開口部の前記円筒管の中心からの広がり角度がそれぞれ40〜90度であることが耐久性を向上し、発熱体による過熱効率を高める上で重要である。
【0014】
本発明のヒータ一体型酸素センサ素子によれば、セラミック固体電解質からなる円筒管の外面に測定電極を形成し、開口部の周囲に発熱体を内蔵したセラミック絶縁層を測定電極が露出するように配置したことによって、発熱体によるセンシング部の加熱効率を高め、急速昇温を行うことができる結果、センサ活性化時間を短縮することができる。
【0015】
そして、本発明では、上記センシング部を円筒管の相対向する位置にそれぞれ形成することによって、センシング部におけるセラミック絶縁層の開口部の周囲に発生する急速昇温時のセンサ素子内の温度勾配に起因する熱応力を互いに相殺させることによって緩和することができ、その結果、センサ素子の熱衝撃性を向上させることができる。
【0016】
なお、本発明のヒータ一体型酸素センサ素子は、製造にあたって、固体電解質からなる円筒管を具備するセンサ素体の表面に、セラミック絶縁層内に発熱体を埋設したヒータ素体を巻き付け、ヒータ素体とセンサ素体とを同時焼成して作製できるため、従来のように、酸素センサとヒータとをそれぞれ個別に作製した後、酸素センサ内にヒータを勘合して使用する酸素センサ素子に比べて製造コストが極めて安価になり、経済性の観点からも優れている。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の酸素センサ素子の一例を図1の(a)概略斜視図および(b)(a)におけるX1−X1断面図をもとに説明する。
【0018】
図1の酸素センサ素子1は、酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなり、先端が封止された、即ち断面がU字状の円筒管2の内面に、第1の電極として、空気などの基準ガスと接触される基準電極3が被着形成され、また、円筒管2の基準電極3と対向する外面には、第2の電極として、排気ガスなどの被測定ガスと接触する測定電極4が形成されている。
【0019】
また、本発明によれば、先端が封止された円筒管2の外面に形成された測定電極4の表面またはその周囲にはセラミック絶縁層5が被着形成されている。そして、このセラミック絶縁層5には、測定電極4が露出するように第一の開口部6が形成されており、開口部6の周囲のセラミック絶縁層5中には発熱体7が埋設されている。また、発熱体7は、リード電極8を経由して端子電極9と接続されており、これらを通じて発熱体7に電流を流すことにより発熱体7が加熱され、円筒管2、基準電極3および測定電極4とからなる素子部を発熱体を埋設したセラミック絶縁層5からなる加熱部によって加熱する仕組みとなっている。上記の検知部と加熱部とによって1つのセンシング部Aが形成されている。
【0020】
本発明によれば、円筒管2の上記センシング部Aの形成位置に対して、円筒管2の相対向する位置に、同様の構造からなるセンシング部Bが形成されている。
【0021】
即ち、センシング部Bは、円筒管2の相対向する内面および外面に、基準電極3’、測定電極4’が形成されており、測定電極4’の表面またはその周囲にはセラミック絶縁層5が被着形成されている。そして、このセラミック絶縁層5には、測定電極4’が露出するように第2の開口部6’が形成されており、開口部6’の周囲のセラミック絶縁層5中には発熱体7’が埋設されている。また、発熱体7’は、リード電極8’を経由して端子電極9と接続されており、これらを通じて発熱体7’に電流を流すことにより発熱体7’が加熱され、円筒管2、基準電極3’および測定電極4’とからなる検知部を発熱体7’を埋設したセラミック絶縁層5からなる加熱部によって加熱される。
【0022】
本発明によれば、このようにセンシング部を相対向する位置に形成することによって、円筒状の酸素センサ素子において外的な熱衝撃等が加わった場合においても、センシング部が1つしか存在しない場合に比較して応力の集中を抑制するとともに、発生する熱応力を相殺して応力を低減することができる結果、とりわけ、開口部付近でのクラックの発生などを防止することができる。
【0023】
また、酸素センサ素子全体の大きさとしては、外径を3〜6mm、特に3〜4mmとすることにより、消費電力を低減するとともに、センシング性能を高めることができる。
(固体電解質材質)
本発明において用いられるセラミック固体電解質は、ZrO2を含有するセラミックスからなり、具体的には、Y2O3およびYb2O3、Sc2O3、Sm2O3、Nd2O3、Dy2O3等の希土類酸化物を酸化物換算で1〜30モル%、好ましくは3〜15モル%含有する部分安定化ZrO2あるいは安定化ZrO2が用いられている。
【0024】
また、ZrO2中のZrを1〜20原子%をCeで置換したZrO2を用いることにより、酸素イオン伝導性が大きくなり、応答性がさらに改善されるといった効果がある。
【0025】
さらに、焼結性を改善する目的で、上記ZrO2に対して、Al2O3やSiO2を添加含有させることができるが、多量に含有させると、高温におけるクリープ特性が悪くなることから、Al2O3およびSiO2の添加量は総量で5重量%以下、特に2重量%以下であることが望ましい。
(セラミック絶縁層)
一方、発熱体7、7’を埋設するセラミック絶縁層5としては、アルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック材料が好適に用いられる。この時、セラミック絶縁層としてジルコニアを用いる場合には、ジルコニア自体が固体電解質であり、発熱体7からのもれ電流が酸素濃度検知に影響を及ぼすことがないように、円筒管2との間に、アルミナ、スピネル、フォルステライトなどの中間層を形成することが望ましい。さらに、セラミック絶縁層5としてガラス絶縁層にはガラスを用いることができるが、この場合は耐熱性の観点から、BaO、PbO、SrO、CaO、CdOのうちの少なくとも1種を5重量%以上含有するガラス、特に、結晶化ガラスであることが望ましい。
【0026】
また、このセラミック絶縁層5は、相対密度が80%以上、開気孔率が5%以下の緻密質なセラミックスによって構成されていることが重要である。これは、セラミック絶縁層5が緻密質であることにより絶縁層の強度が高くなる結果、酸素センサ素子自体の機械的な強度を高めることができるためである。
(発熱体)また、上記セラミック絶縁層5の内部に埋設される発熱体7,7’としては、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムの群から選ばれる1種の金属、または2種以上の合金からなることが望ましく、特に、セラミック絶縁層5との同時焼結性の点で、そのセラミック絶縁層5の焼成温度よりも融点の高い金属または合金を選択することが望ましい。
【0027】
また、発熱体7中には上記の金属の他に焼結防止と絶縁層との接着力を高める観点からアルミナ、スピネル、アルミナ/シリカの化合物、フォルステライトあるいは上述の電解質となり得るジルコニア等を体積比率で10〜80%、特に30〜50%の範囲で混合することが望ましい。
(ヒータ部構造)
セラミック絶縁層5の内部に発熱体7,7’を埋設してなる発熱部の構造は、図1(b)の概略断面図に示すように、固体電解質からなる円筒管2の表面に内部に発熱体7,7’が埋設されたセラミック絶縁層5を積層した構造の他に、図2の要部拡大断面図(a)〜(c)に示すように、円筒管2の外面に、内部に発熱体7,7’が埋設されたアルミナ、スピネル、フォルステライト等のセラミック絶縁層5を形成し、さらにそのセラミック絶縁層5の外面に、ジルコニア層10を形成することができる。このジルコニア層10は、固体電解質とセラミック絶縁層5間の熱膨張差や焼成収縮差等に起因する応力を緩和させ、熱応力をできる限り小さくするためのものである。
【0028】
なお、かかる構成において、発熱体7,7’は、図2(a)のように、セラミック絶縁層5内部に埋設できる他、図2(b)に示すように、ジルコニア層10中に埋設したり、図2(c)に示すように、セラミック絶縁層5とジルコニア層10との間に配設することもできる。
【0029】
いずれの場合においても、発熱体7,7’は、円筒管2や電極に対して直接接することなく、アルミナなどの固体電解質性能を有さないセラミック絶縁層5を介して配設されていることが必要であって、円筒管2と発熱体7,7’の間のセラミック絶縁層5の厚みは少なくとも2μm以上であることが望ましい。
(電極)
円筒管2の表面に被着形成される基準電極3,3’、測定電極4,4’は、いずれも白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび金の群から選ばれる1種、または2種以上の合金が用いられる。また、センサ動作時の電極中の金属の粒成長を防止する目的と、応答性に係わる金属粒子と固体電解質と気体との、いわゆる3相界面の接点を増大する目的で、上述のセラミック固体電解質成分を1〜50体積%、特に10〜30体積%の割合で上記電極中に混合してもよい。
【0030】
また、本発明においては、この開口部6,6’に露出している測定電極4,4’の形状としては、図1(a)に示すような縦長の長方形状、または図3に示すように、楕円形状から構成されていることが望ましい。
【0031】
一方、固体電解質からなる円筒管2の内面に形成される基準電極3,3’は、測定電極4,4’の前記開口部6,6’より露出する部分に対向する内面部分に形成されていればよく、測定電極4,4’の露出部面積よりも大きい面積、例えば、円筒管2の内面全面に形成されていてもよい。
(開口部)
開口部6,6’の形状としては、上述のように長方形状あるいは楕円形状でもよいが、セラミック絶縁層5の第1および第2開口部6,6’とも形状が長方形状の場合は、その開口部角部は緩やかな曲線とするかc面をとった構造とすることが、開口部6,6’の角部への熱応力の集中を緩和する観点から好ましい。
【0032】
また、第1の開口部6と第2の開口部6’の形状とは同じ形状であることが望ましいが、異なる形状であってもよい。その場合、第2開口部の大きさとしては、第1開口部の面積の50%以上、150%以下であることが望ましい。
【0033】
開口部の広がりとしては、測定電極4、4’が形成されている第1の開口部6,および第2の開口部6’とも、図1(b)に示すように、円筒管2中心xからの広がり角度θ1、θ2は40〜90度の範囲である必要がある。広がり角度が40度より小さいと開口部6、6’の周囲への熱応力が発生しやすく、広がり角度が90度を越えると、加熱部による検知部の加熱効率が低くなり、検知部を均一に加熱するためのヒータ容量を大きくする必要がある。この開口部の広がり角度としては40〜70度の範囲が最適である。
【0034】
また、センシング部A,Bの第1および第2の開口部6、6’は、相対向する位置に形成されているが、第1および第2の開口部6、6’の開口部の円筒間中心xを結ぶ線分が、円筒管2の中心軸を通過することが最も望ましいが、その開口部のずれ角度が10度以内であれば、特に問題はない。
【0035】
(多孔質層)
本発明の酸素センサ素子においては、図3の要部拡大断面図に示すように、セラミック絶縁層5の開口部6内にて露出している測定電極4の表面に、セラミック多孔質層11を形成することができる。このセラミック多孔質層11は、以下の2つの目的で形成される。
【0036】
第1に、排気ガスによって測定電極4が被毒して出力電圧が低下するのを防止することを目的として設けるものであり、露出した測定電極4の表面にジルコニア、アルミナ、マグネシアあるいはスピネル等のポーラスな保護層として形成される。このような保護層を設けた酸素センサは、一般的には理論空燃比センサ(λセンサ)素子として用いることができる。この場合に、セラミック保護層11としては開気孔率が10〜40%の多孔質体からなることが望ましい。
【0037】
第2に、露出した測定電極4の表面に微細な細孔を有するジルコニア、アルミナ、スピネル、マグネシアまたはγ−アルミナの群から選ばれる少なくとも1種のガス拡散律速層として形成する。このようなガス拡散律速層11としては、開気孔率が5〜30%の多孔質体が望ましい。また、このガス拡散律速層11の表面には、さらに排気ガスの被毒を防止する観点から、前述したアルミナあるいはスピネルからなる前記セラミック保護層を設けることが望ましい。この様なヒーター体化酸素センサ素子は、広域空燃比センサ素子(A/Fセンサ)として応用することが可能である。
(製造方法)
次に、本発明の酸素センサ素子の製造方法について、図1のヒータ一体型酸素センサ素子の製造方法を例にして図4をもとに説明する。
【0038】
(1)まず図4(a)に示すような一端が封止された中空の円筒管12を作製する。この円筒管12は、ジルコニア等の酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質粉末に対して、適宜、成形用有機バインダーを添加して押出成形や、静水圧成形(ラバープレス)あるいはプレス形成などの周知の方法により作製される。
【0039】
この時、用いられる固体電解質粉末としては、ジルコニア粉末に対して、安定化剤としてY2O3およびYb2O3、Sc2O3、Sm2O3、Nd2O3、Dy2O3等の希土類酸化物粉末を酸化物換算で1〜30モル%、好ましくは3〜15モル%の割合で添加した混合粉末、あるいはジルコニアと上記安定化剤との共沈原料粉末が用いられる。また、ZrO2中のZrを1〜20原子%をCeで置換したZrO2粉末、または共沈原料を用いることもできる。さらに、焼結性を改善する目的で、上記固体電解質粉末に、Al2O3やSiO2を5重量%以下、特に2重量%以下の割合で添加することも可能である。
【0040】
(2)そして、上記固体電解質からなる円筒管12の相対向する内面および外面に、基準電極および測定電極となるパターン13、13’、14、14’を、例えば、白金を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で形成する。この時、円筒管12内面への基準電極の印刷は、導体ペーストを充填して排出して、内面全面に塗布形成することが効率がよい。このようにしてセンサ素体Xを作製する。
【0041】
(3)次に、図4(b)に示すようなヒータ素体Yを形成する。ヒータ素体Yは、まず、アルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック粉末を用いて、適宜成形用有機バインダーを添加してスラリーを調製し、このスラリーを用いてドクターブレード法、押し出し成形法、プレス法などにより所定厚さのセラミック絶縁層を形成するためのグリーンシート15を作製する。グリーンシート1枚の厚みは、シートの取り扱いの観点から50〜500μm、特に100〜300μmの範囲が特に好ましい。
【0042】
その後、成形したグリーンシート15表面の後述するセンサ素体Xへの巻き付けによって相対向する位置に白金粉末を含む導電性ペーストをスクリーン印刷法、パット印刷法、ロール転写法等により印刷して発熱体パターン16、16’を塗布した後、その上にさらにもう1枚の上記グリーンシート15を積層するか、またはセラミック粉末のスラリーを印刷法あるいは転写法で塗布して、発熱体を埋設したシート状の積層体を得る。その後、適宜、第1および第2の開口部17,17’をパンチングなどによって形成することにより作製される。
【0043】
(4)次に、図4(c)に示すように、上記円筒状のセンサ素体Xの表面に、ヒータ素体Yを巻き付けて円筒状積層体を作製する。この際、ヒータ素体Yをセンサ素体Xに巻き付けるには、ヒータ素体Yとセンサ素体Xとの間にアクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤を介在させて接着させたり、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着することができる。この時、巻き付けされたヒータ素体Bの合わせ目は、焼成時の収縮を考慮し、シート端部同志を重ねるか、あるいは所定の間隔をおいて接着してもよい。
【0044】
(5)そして、上記の円筒状積層体をセンサ素体Xを構成する固体電解質からなる円筒管12およびヒータ素体Yにおけるセラミック絶縁層を形成するグリーンシート15が同時に焼成可能な温度で焼成することにより、センサ素体Xとセンサ素体Yとを一体化するすることができる。例えば、固体電解質としてジルコニアを用いた場合には、アルゴンガス等の不活性雰囲気中あるいは大気中1300〜1700℃で1〜10時間程度焼成することによりヒータ素体Yとセンサ素体Xとを同時焼成することができる。
(他の製造方法)
なお、他の製造方法としては、電極を有しない円筒管12の表面に上記(3)によって形成したヒータ素体Yを巻き付けて円筒状積層体を作製した後、円筒状積層体に対して、電極ペーストをスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写法あるいは浸漬法によって円筒管12の内面およびヒータ素体Yにおける開口部17,17’内の円筒管表面に塗布した後、上記(5)のようにして同時焼成することもできる。
【0045】
また、他の方法としては、電極を有しない円筒管12の表面に上記(3)によって形成したヒータ素体Yを巻き付けて円筒状積層体を作製した後、これを円筒管12の内面およびヒータ素体Yにおける開口部17内に電極ペーストを印刷して焼き付け処理するか、またはスパッタ法やメッキ法にて形成することもできる。
(多孔質層の形成法)
なお、前述の理論空燃比センサや広域空燃比酸素センサを作製する場合には、円筒状積層体を焼成後、測定電極の表面に、アルミナ、スピネル、ジルコニア等の粉末をゾルゲル法、スラリーディップ法、印刷法などによって印刷塗布し、焼き付け処理したり、上記セラミックスをスパッタ法あるいはプラズマ溶射法により被覆してセラミック保護層やガス拡散律速層を形成する。また、他の方法としては、円筒状積層体を作製する際に予め測定電極表面にセラミック保護層やガス拡散律速層を形成し円筒状積層体と同時に焼成し形成することも可能である。
【0046】
【実施例】
(実施例1)
市販のアルミナ粉末と、5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末と、白金粉末をそれぞれ準備した。まず、5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を添加して坏土を作製し、押出成形により焼結後外径が約4mm、内径が1mmになるように一端が封じた円筒状成形体を作製し、その相対向する位置の表面に、白金ペーストからなる長方形状の測定電極パターンおよびリードパターンを印刷塗布するとともに、成形体の内部全面にも白金ペーストを塗布して基準電極を形成した。なお、測定電極および基準電極の厚みは焼成後に約5μmとなるように調整した。
【0047】
また、5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を加えてスラリーを作製し、厚みが約200μmのグリーンシートを作製した。このグリーンシートに前記測定電極の形状と一致する長方形状の種々の大きさを有する第1開口部と反対側に位置するように同じ大きさと同じ形状の第2開口部をパンチングによってそれぞれ開けた。
【0048】
その後、開口部以外の部分にアルミナ粉末を約10μmの厚みに塗布した後、白金粉末を含む導体ペーストを第1および第2の開口部の周囲に発熱体パターンを厚みが約10μmになるようにスクリーン印刷し、さらにその上にアルミナ粉末を約10μmとなるように塗布し発熱体を埋設した図4(b)に示す構造のヒータ素体を作製した。
【0049】
次に、上記円筒状のセンサ素体の表面に、接着剤としてアクリル系樹脂を用いて上記ヒータ素体を巻き付け円筒状積層体を作製した。その後、この円筒状積層体を大気中にて、1500℃で2時間焼成し、焼成一体化してヒータ一体型酸素センサ素子を作製した。
【0050】
その後、開口部内の測定電極の表面に、プラズマ溶射によりスピネルからなる気孔率が30%のセラミック保護層を約100μmの厚みで形成して図1に示すような理論空燃比センサを作製した。
【0051】
作製した酸素センサ素子の評価は、室温から1000℃まで20秒で昇温し、1000℃で60秒保持した後、室温まで冷却する温度サイクルを1サイクルとし、これを繰り返し素子が破壊するサイクル数を求めた。また、開口部の円筒管中心からの広がり角度は、素子断面から開口部の最も広がりの大きな角度を測定し決定した。この際、試料はそれぞれ10個とし、破壊に至るサイクルの数および中心角とも10個の平均値を用いた。結果を表1に示す。
【0052】
【表1】
【0053】
表1より、第1開口部および第2開口部を具備する2つのセンシング部を形成した本発明の試料はセンシング部を1つしか持たない試料No.1に比べて破壊に至る回数が長いことが分かる。
【0054】
また、開口部が90°を越える試料No.9では、破壊に至るまでの回数は長いがヒータの十分の抵抗部が形成できずセンシング部の温度が1000℃まで上がるのに長時間を要した。開口部の中心角としては、本発明の範囲内である40〜90度が破壊に至るまでのサイクル数20万回以上を達成し、優れた熱衝撃性を示すことがわかる。特に、40〜70度がより優れるものであった。
(実施例2)実施例1における試料No.4について、測定電極の表面へのスピネルの溶射により約500μmのガス拡散律速層を形成し、700℃において空燃比に対するポンピング電流を測定した。その結果を図5に示す。
【0055】
この図5よりポンピング電流と空燃比が単一の曲線で表わされることがわかる。これにより本発明の酸素センサは広範囲の燃焼領域においても空気と燃料の比率を検出する充分な機能を有することが分かる。
【0056】
【発明の効果】
以上、詳述した通り、本発明のヒータ一体化酸素センサ素子によれば、セラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管の内面に基準電極を、また外面に発熱体を埋設したセラミック絶縁層を形成し、そのセラミック絶縁層に第一の開口部を設け、その開口部内に測定電極を一部または全部が露出するように形成すると同時に、第一の開口部の反対側(対照の位置)のセラミック絶縁層に、さらに熱応力を緩和する目的で第二の開口部を設けることにより、優れた熱衝撃性を付与することができるばかりでなく、発熱体によるセンシング部の加熱効率を高め、急速昇温を行うことができる結果、センサ活性化時間を短縮することもできることは明らかである。
【0057】
しかも、本発明のセンサ素子は発熱体を内蔵するセラミック絶縁層とを同時焼成して作製できるため、製造コストが極めて安価になり、経済性の観点からも優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のヒータ一体型酸素センサ素子の構造を説明するための(a)概略斜視図と(b)(a)におけるx1−x1概略断面図である。
【図2】本発明のヒータ一体型酸素センサ素子の発熱体の配置を説明するための要部拡大断面図である。
【図3】本発明のヒータ一体型酸素センサ素子の他の例を説明するための断面図である。
【図4】本発明のヒータ一体型酸素センサ素子の製造方法の一例として、図1のセンサ素子を製造する方法を説明するための工程図である。
【図5】実施例2の広域空燃比センサ素子の700℃における限界電流値と空燃比との関係を示す図である。
【図6】従来のヒータ一体型酸素センサ素子の概略断面図である。
【符号の説明】
1 酸素センサ素子
2 円筒管
3,3’ 基準電極
4,4’ 測定電極
5 セラミック絶縁層
6,6’ 開口部
7,7’ 発熱体
11 多孔質層
A,B センシング部
θ1、θ2 広がり角度
Claims (1)
- 酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管に対して、該円筒管の内面および外面の対向する位置にそれぞれ形成された基準電極および測定電極と、前記円筒管の外面に被着形成され前記測定電極の一部または全部が露出するように開口部が形成された緻密質のセラミック絶縁層と、該セラミック絶縁層の前記開口部の周囲に埋設された発熱体とを具備する酸素濃度測定のためのセンシング部を2つ、前記円筒管の相対向する位置にそれぞれ形成し、前記センシング部における前記開口部の前記円筒管の中心からの広がり角度をそれぞれ40〜90度としたことを特徴とするヒータ一体型酸素センサ素子。
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