JP3032739U - 薄板円盤の外径真空チャック - Google Patents
薄板円盤の外径真空チャックInfo
- Publication number
- JP3032739U JP3032739U JP1996004319U JP431996U JP3032739U JP 3032739 U JP3032739 U JP 3032739U JP 1996004319 U JP1996004319 U JP 1996004319U JP 431996 U JP431996 U JP 431996U JP 3032739 U JP3032739 U JP 3032739U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin disk
- outer diameter
- plate
- vacuum chuck
- disk outer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この考案は,V字形のチャンバ室の負圧状態
を利用した,薄板円盤の外径真空チャックに関するもの
である. 【構成】 ホース金具5を取り付けたプレート1または
プレート2の間に,シール材4をはさみ貼り合わせ,薄
板円盤3を軽く押しつけることで,V形状のチャンバ室
を形成し,ホース6から空気を吸い込み大気圧に対する
負圧状態をつくり,吸着力を発生する.
を利用した,薄板円盤の外径真空チャックに関するもの
である. 【構成】 ホース金具5を取り付けたプレート1または
プレート2の間に,シール材4をはさみ貼り合わせ,薄
板円盤3を軽く押しつけることで,V形状のチャンバ室
を形成し,ホース6から空気を吸い込み大気圧に対する
負圧状態をつくり,吸着力を発生する.
Description
【0001】
本考案は,大気圧に対して負圧となるV形状のチャンバ室を設けた,薄板円盤 の外径真空チャックに関するものである.
【0002】
従来,円盤形状の物体に用いるチャックには,円盤にあけられた穴を利用した 内径チャックや,円盤の平面を利用した真空チャックがあった.しかしそれらは ,円盤に穴がなければならないことや,平面にキズをつけることが許されないよ うな場合の使用には,不適切であった.
【0003】
本考案は,その欠点をのぞいて,穴のない円盤や,表面にキズをつけることが 許されない円盤に用いることができる,外径チャックを開発するものである.
【0004】
本考案を,図面を追って説明すれば (イ)プレート1またはプレート2にホース金具5,ホース6を取り付ける. (ロ)プレート1,プレート2の間にシール材4をはさみ貼り付ける. (ハ)薄板円盤3を,プレート1,プレート2およびシール材4に軽く押しつ け,V形状のチャンバ室を形成する.
【0005】
本考案の構成は,以上のようであるので,ホース6から空気を吸い込めば,チ ャンバ室内は,大気圧に比べて負圧となる.従って薄板円盤3とチャンバ室内の 空気がふれあう表面積に応じた,以下のような吸着力F(kg)が発生する.
【0006】
【数1】
【0007】 ただし,真空度H(mmHg),大気圧H0(mmHg) 薄板円盤3の外径D(cm),薄板円盤3の厚さt(cm) 薄板円盤3とシール材4の接点の角度θ(゜)
【0008】 従って,本考案は薄板円盤の表面をキズつけたり,穴がない場合にも利用でき る,外径チャックとして用いることができる.
【図1】本考案の三面図
【図2】本考案のA−A断面拡大図
【図3】本考案の斜面図
1および2はプレート 3は薄板円盤 4はシール材 5はホース金具 6はホース 7は六角穴付きボルト
Claims (1)
- 【請求項1】(イ)プレート1およびプレート2をV形
状に加工し貼り合わせる. (ロ)プレート1およびプレート2の中央に,凹部を加
工し真空経路とする. (ハ)プレート1およびプレート2の間に,シール材4
をはさむ. 以上の構成による,薄板円盤の外径真空チャック
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1996004319U JP3032739U (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 薄板円盤の外径真空チャック |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1996004319U JP3032739U (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 薄板円盤の外径真空チャック |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3032739U true JP3032739U (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=43167644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1996004319U Expired - Lifetime JP3032739U (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 薄板円盤の外径真空チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3032739U (ja) |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP1996004319U patent/JP3032739U/ja not_active Expired - Lifetime
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