JP3026217B1 - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ

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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

【要約】 【課題】 ロータの破壊が防止できる真空ポンプを提供
する。 【解決手段】 ロータ５に、ロータ５の表面のネジ溝５
ｂと、ガス吸引下流側端面の位置がロータ５のガス吸引
下流側端面の位置よりHだけ短くなる側にずらして形成
されている螺旋状のネジ山５ａと、ネジ山５ａの高さが
ネジ終端部５ｄにおいて、ネジ溝部５ｂとの高さの差が
０となるような傾斜５ｅを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバ内を
真空にする真空ポンプに関し、特にその内部のロータの
表面にネジ部を有する真空ポンプの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空ポンプは、例えば半導体製造装置の
チャンバー内の排気を行う真空装置として使用され、チ
ャンバー内に供給された半導体加工処理のためのプロセ
スガスを吸入・排出するものである。図５に真空ポンプ
の全体構成図を示す。図５において、符号１０１はケー
シングであり、このケーシング１０１には気体の吸入口
部１０２および排出口部１０３が形成されている。ケー
シング１０１内にはロータ１０４が収装され、このロー
タ１０４には、ケーシング１０１の内周壁面に向かって
半径外方に突出するロータ翼１０５と、螺旋状のネジ溝
を有するネジ部１０８が形成されている。
【０００３】これらロータ翼１０５およびネジ部１０８
のそれぞれに対向して、ステータ翼１０６およびステー
タ１０９がケーシング１０１の内周壁面に取り付けられ
ている。ロータ１０４はケーシング１０１内に収装され
たモータ１０７によって回転され、ロータ翼１０５およ
びネジ部１０８がそれぞれ、ステータ翼１０６およびス
テータ１０９に対して相対的に高速回転する。
【０００４】また、ロータ１０４にはロータ軸１１２が
固設され、ロータ軸１１２は軸方向電磁石１１３および
半径方向電磁石１１４によって回転自在に磁気浮上させ
られ、またロータ軸１１２が前記電磁石１１３、１１４
により磁気浮上させられて支持されない場合に、ロータ
軸１１２に接触してこれを回転自在に支持する保護軸受
１１５、１１６がロータ軸１１２の外側部材に設けられ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の真空ポンプにあっては、図６に示すように、
ネジ部１０８のネジ山１０８ａのガス吸引下流側の終端
面（図中下端面）は、ロータ１０４のガス吸引下流側の
端面（図中下端面）と同一面に一致するように形成され
ている。そして、互いに隣り合うネジ山１０８ａの軸方
向相互間にはネジ溝１０８ｂが形成され、このネジ溝１
０８ｂの底隅部は刃物のエッジにより鋭く抉り取られて
加工されているため、ロータ１０４の回転時の遠心力に
よりそのネジ溝１０８ｂの底隅部に応力が集中しやす
い。
【０００６】特に図６におけるネジ山１０８ａの終端部
Ｂにおける、ネジ溝１０８ｂの底隅部Ｃ（図７参照）は
加工終了時に刃物が抜ける場所であるため、加工抵抗の
偏りにより切れ込みが入りやすくなっている。このため
この底隅部Ｃから亀裂が入り易く、回転時の遠心力によ
りロータ１０４がこの亀裂から破壊することがあった。
【０００７】実用新案登録第２５４１２９１号は、この
ような問題点を解決するために、軸方向相互間にネジ溝
を形成する螺旋状のネジ山が表面に突出して設けられた
ロータを有する真空ポンプにおいて、前記ネジ山のガス
吸引下流側端面の位置を前記ロータのガス吸引下流側端
面の位置より短くなる側にずらし、前記ネジ山のガス吸
引下流側端面の根元部に凹Ｒ部を形成することを構成と
したものである。
【０００８】図８にロータ端部の側面図を示す。図８に
おいて、符号４は真空ポンプのロータであり、このロー
タ４の表面には、軸方向相互間にネジ溝４ｂを形成する
螺旋状のネジ山４ａが突出して設けられている。ロータ
４の図中下端部（ガス吸引下流側端部）において、ネジ
山４aのガス吸引下流側端面４０の位置は、ロータ４の
ガス吸引下流側端面４１の位置よりHだけ短くなる側に
ずらして形成されている。
【０００９】このため、ネジ山４ａのガス吸引下流側の
端部におけるネジ溝４ｂの底隅部において、加工終了時
に刃物が抜けて加工抵抗の偏りによりこの低隅部に切れ
込みが入ったとしても、その後、ネジ山４ａのガス吸引
下流側端面４０の位置がロータ４のガス吸引下流側端面
４１の位置より短くなる側にずらして形成されるよう
に、ネジ山４ａのガス吸引下流側の端部をＨだけ削り取
ることにより、前記加工抵抗の偏りによる切れ込みも一
緒に削り取ることができ、従来のように回転時の遠心力
により、その切れ込みからさらに亀裂が入ってロータが
この亀裂から破壊することを防止することができる。
【００１０】このような構成の真空ポンプによれば、ネ
ジ山のガス吸引下流側端面の位置をロータのガス吸引下
流側端面の位置より短くなる側にずらして形成するよう
に構成したため、ネジ山のガス吸引下流側の端部におけ
るネジ溝の底隅部において、加工終了時に刃物が抜けて
加工抵抗の偏りによりこの低隅部に切れ込みが入ったと
しても、その後、ネジ山のガス吸引下流側端面の位置が
ロータのガス吸引下流側端面の位置より短くなる側にず
らして形成されるように、ネジ山のガス吸引下流側の端
部を少し削り取ることにより、前記加工抵抗の偏りによ
る切れ込みも一緒に削り取ることができ、さらに、ネジ
山のガス吸引下流側端面の根元部に凹Ｒ部を設けるよう
に仕上げることによって、その根元部に応力が集中する
ことを防止することができるため、回転時の遠心力によ
り、上記切れ込みからさらに亀裂が入ってロータがこの
亀裂から破壊することを防止することができる。
【００１１】しかし、この考案では、なお終端付近にお
いてネジ山があるため、ネジがある部分とネジが無い部
分との厚みの差に起因する応力集中がネジ山根元部に発
生し、ネジ終端部において曲げ応力の集中がなお発生す
るという問題があった。そこで本発明は、このような問
題点を解決することを課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、上記
課題を解決するために、軸方向相互間にネジ溝を形成す
る螺旋状のネジ山が表面に突出して設けられたロータを
有する真空ポンプにおいて、前記ネジ山のガス吸引下流
側端面の位置を前記ロータのガス吸引下流側端面の位置
より短くなる側にずらし、前記ネジ山の終端部が、前記
ネジ溝面からのネジ山の高さが０となるように傾斜を付
けた構成としたものである。
【００１３】また、前記ネジ山のガス吸引下流側端面の
終端部と前記ネジ溝面との接合面は凹Ｒ部により形成さ
れている構成としたものである。このような構成の真空
ポンプによれば、特に曲げ応力の発生が集中するネジ終
端部において、ネジがある部分と無い部分の厚みの差が
起因となるネジ山根元部の応力の集中が緩和され、ロー
タが破壊することを防止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明による真空ポンプの
一実施例の要部を示す図であり、図２は図１におけるＡ
矢視図である。従来の真空ポンプと同様の構成の説明は
省略する。同図において、符号５は真空ポンプのロータ
であり、このロータ５の表面には、軸方向相互間にネジ
溝５ｂを形成する螺旋状のネジ山５ａが突出して設けら
れている。ロータ５の図中下端部（ガス吸引下流側端
部）において、ネジ山５aのガス吸引下流側端面の位置
は、ロータ５のガス吸引下流側端面の位置よりHだけ短
くなる側にずらして形成されている。
【００１５】さらに、ネジ山５ａの高さが、ネジ終端部
５ｄにおいてネジ溝部５ｂとの高さの差が０となるよう
に任意の位置５ｃを起点とした傾斜５ｅが付けられてい
る。
【００１６】このような構成の真空ポンプによれば、特
に曲げ応力の発生が集中するネジ山５ａのガス吸引下流
側のネジ終端部５ｄにおいて、ネジ溝部５ｂとの高さの
差が０となるように傾斜５ｅが形成されているため、ネ
ジがある部分と無い部分の厚みの差が起因となるネジ山
根元部の応力の集中が緩和され、亀裂によるロータの破
壊を防止することができる。
【００１７】また、図２に示すように、ネジ山５ａのガ
ス吸引下流側の終端部５ｄとネジ溝５ｂとの接合面に凹
Ｒ部５ｆを形成すれば、ネジ山５ａのガス吸引下流側の
終端部５ｄの応力集中をより確実に防止して強度を向上
させることができ、回転時の遠心力により亀裂が発生し
てロータが破壊することが防止できる。
【００１８】図３は、本発明による真空ポンプの他の実
施例の要部を示す図であり、図４は図３におけるＡ矢視
図である。これらは、図１及び図２における実施形態と
比べて、傾斜５ｅの方向を変えたものであり、傾斜５ｅ
の起点である５ｃは、ここではロータの軸方向に対して
直角に形成されている。
【００１９】なお上記実施例においては、凹Ｒ部５ｆを
ネジ山５ａのガス吸引下流側の終端部５ｄにだけ設けた
が、すべてのネジ山５ａの側面の根元部に凹Ｒ部を設け
るようにしてもよい。また本発明は、従来のような複合
型ターボ分子ポンプに限らず、翼の無い純粋なネジ溝型
真空ポンプにも適用することができることはもちろんで
ある。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ネ
ジ山のガス吸引下流側端面の位置をロータのガス吸引下
流側端面の位置より短くなる側にずらし、前記ネジ山の
終端部において前記ネジ溝面からのネジ山の高さが０と
なるように傾斜を付けた構成としたため、ロータ回転時
の遠心力により曲げ応力の集中が発生するネジ終端部に
おいて、ネジがある部分と無い部分の厚みの差に起因す
る曲げ応力の集中によるロータの破壊を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図
【図２】図１におけるＡ矢視図
【図３】本発明の第２の実施形態を示す図
【図４】図３におけるＡ矢視図
【図５】従来の真空ポンプの断面を示す図
【図６】従来の真空ポンプにおけるロータの一部断面側
面図
【図７】図４におけるＤ矢視図
【図８】従来の真空ポンプにおけるロータの一部断面側
面図
【符号の説明】
４、５ ロータ ４ａ、５ａ ネジ山 ４ｂ、５ｂ ネジ溝 ４ｃ 凹Ｒ部 ４ｄ 凸Ｒ部 ５ｃ 傾斜起点部 ５ｄ ネジ山終端部 ５ｅ 斜面 ５ｆ 凹Ｒ部 ４０ ネジ山のガス吸引下流側端面 ４１ ロータのガス吸引下流側端面

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 軸方向相互間にネジ溝を形成する螺旋状
    のネジ山が表面に突出して設けられたロータを有する真
    空ポンプにおいて、前記ネジ山のガス吸引下流側端面の
    位置を前記ロータのガス吸引下流側端面の位置より短く
    なる側にずらし、前記ネジ山の終端部が、前記ネジ溝面
    からのネジ山の高さが０となるようにネジ山に傾斜を付
    けたことを特徴とする真空ポンプ
  2. 【請求項２】 前記ネジ山のガス吸引下流側端面の終端
    部と前記ロータ面との接合面は凹Ｒ部により形成されて
    いることを特徴とする真空ポンプ
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