CN105324578A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

提供抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生而在长期内维持泵性能的真空泵。真空泵(1)将在内周侧定子(80)的外周面(80a)沿着气体排气方向(D2)延伸设置的突条部(81)的排气侧端部(81b)比吸气侧端部(81a)朝向转子旋转方向(R)的前方加宽地形成，具备流入抑制壁(83)，流入抑制壁(83)抑制雕刻设置在突条部(81)之间的螺纹槽(82)的排气侧出口(82a)处的气体的滞留。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵，尤其涉及能够在中真空至超高真空的压力范围内利用的真空泵。

背景技术

在制造存储器或集成电路等半导体装置时，为了避免空气中的尘土等所造成的影响，有必要在高真空状态的室内对高纯度的半导体基板(晶圆)进行掺杂或蚀刻，在室内的排气中，例如，使用涡轮分子泵等真空泵。

作为这样的真空泵，已知如下的真空泵：具备螺纹槽泵机构，该机构由具有外筒转子和内筒转子的转子、具有交替地定位在外筒转子与内筒转子之间的外筒定子和内筒定子的定子、以及在定子的与转子对置的壁面雕刻设置的螺纹槽构成，气体在螺纹槽泵机构内沿上下方向以S字状升降而排气(例如，参照专利文献1)。

另外，作为另一真空泵，已知如下的真空泵：具备螺纹槽泵机构，该机构由大致圆筒状的壳体、配置在壳体的轴线部的大致圆筒状的定子、以转子轴能够旋转驱动的方式由定子的轴线部支撑且在壳体与定子之间具有大致圆筒状的筒部的转子、分别设置在壳体的与筒部对置的内周面和定子的与筒部对置的外周面的突条部、以及螺纹槽构成，气体在螺纹槽泵机构内从上下方向的上方排气至下方(例如，参照专利文献2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3961273号公报。

专利文献2：日本实开平5-38389号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在如上所述的前一真空泵中，如图7所示，内筒定子90的螺纹槽91的排气侧出口91a附近的气体越过突条部92的排气侧端部92a而流入内筒转子93的旋转方向R的前方的螺纹槽91(由图7中的箭头A表示流入的气流)，在气体流入的螺纹槽91的排气侧出口91a附近，气流紊乱而容易产生气体的滞留。

另外，在螺纹槽泵机构的排气部，例如内筒定子90的上端面90a附近，如图8中的箭头B所示，气体有时候不是输送至内筒定子90的内周侧，而是沿着内筒转子93的旋转方向R以环状回旋并滞留。如图8中的箭头C所示，这样的滞留于排气部的气体逆流至内筒定子90的外周侧，在气体逆流的螺纹槽91的排气侧出口91a附近，气流紊乱而容易产生气体的滞留。

另外，在如上所述的前一和后一真空泵中，在转子的筒部的下端面，压缩后的气体有时候沿着转子旋转方向以环状回旋并滞留。回旋并滞留的气体在螺纹槽泵机构内逆流至上方而使螺纹槽的排气侧出口处的气流紊乱，气体有时候滞留在螺纹槽的排气侧出口。

由于如果如上所述地气体滞留于螺纹槽的排气侧出口，则所滞留的气体在高压下固化而气体生成物堆积，螺纹槽的排气侧出口的流路变窄，因而有可能压缩比下降，泵性能下降。

于是，产生为了抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生并在长期内维持泵性能而应该解决的技术课题，本发明的目的在于解决该课题。

用于解决课题的方案

本发明是为了达成上述目的而提出的，权利要求1记载的发明提供一种真空泵，该真空泵具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与前述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与前述转子圆筒部对置的对置面或前述转子圆筒部的与前述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空泵将前述螺纹槽内的气体从前述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，具备抑制前述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置。

依据该构成，由于气体滞留抑制装置抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求2记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求1记载的发明的构成之外，前述气体滞留抑制装置是将前述突条部的前述气体排气方向的排气侧的排气侧端部比前述气体排气方向的吸气侧的吸气侧端部加宽而形成的流入抑制壁。

依据该构成，由于通过以在突条部的排气侧端部设置流入抑制壁的程度使突条部的密封长度变长，从而抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求3记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求2记载的发明的构成之外，前述流入抑制壁以沿着前述气体排气方向从吸气侧朝向排气侧逐渐加宽的锥状形成。

依据该构成，流入抑制壁以锥状形成，突条部的密封长度变长，由此，抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另外，流入抑制壁沿着气体排气方向以平滑的锥状形成，由此，螺纹槽内的气体顺利地排气，因而抑制螺纹槽的出口压力的增加，同时，能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求4记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求2记载的发明的构成之外，前述突条部具备与前述吸气侧端部同宽地形成的等宽区域、和与该等宽区域连续而加宽至前述排气侧端部并形成前述流入抑制壁的加宽区域。

依据该构成，通过以遍及突条部的加宽区域内而形成流入抑制壁的程度使突条部的密封长度变长，从而抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求5记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求1记载的发明的构成之外，前述气体滞留抑制装置是从前述突条部的前述气体排气方向的排气侧的前述排气侧端部朝向前述转子的前述旋转方向的前方延伸设置而形成的流入抑制叶片。

依据该构成，流入抑制叶片从排气侧端部延伸设置至转子的旋转方向前方，突条部的密封长度变长，由此，抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另外，流入抑制叶片仅局部地设置在螺纹槽的出口，由此，避免伴随着流入抑制叶片的设置而发生的流动于螺纹槽内的气体流量的过度下降，因而保持气体的流量，同时，能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求6记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求1记载的发明的构成之外，前述气体滞留抑制装置是竖立设置在前述转子圆筒部或前述定子的排气侧端面的回旋滞留抑制壁。

依据该构成，由于在转子圆筒部或定子的排气侧端面附近沿着转子的旋转方向回旋并滞留的气体与回旋滞留抑制壁碰撞，气体的滞留衰减，因而抑制气体从转子圆筒部或定子的排气侧端面附近逆流至螺纹槽内，因此，抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求7记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求6记载的发明的构成之外，前述回旋滞留抑制壁具备相对于朝向前述转子圆筒部或前述定子的轴心的法线方向而沿着前述转子的前述旋转方向倾斜的气体诱导面。

依据该构成，回旋滞留抑制壁的气体诱导面将容易滞留在转子圆筒部或定子的排气侧端面的气体朝向转子圆筒部或定子的轴心诱导，由此，进一步抑制滞留在转子圆筒部或定子的排气侧端面附近的气体的向螺纹槽内的逆流，因而能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求8记载的发明提供如下的真空泵：除了权利要求6或7记载的发明的构成之外，前述回旋滞留抑制壁与前述突条部一体地形成。

依据该构成，突条部从转子圆筒部或定子的排气侧端面延伸并与回旋滞留抑制壁一体地形成，由此，抑制气体越过突条部的气体排气方向的排气侧的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

发明的效果

权利要求1记载的发明，由于气体滞留抑制装置抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求2记载的发明，除了权利要求1记载的发明的效果之外，由于流入抑制壁抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求3记载的发明，除了权利要求2记载的发明的效果之外，由于流入抑制壁抑制气体越过排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另外，螺纹槽内的气体沿着突条部的以锥状形成的流入抑制壁顺利地排气，因而抑制螺纹槽的出口压力的增加，同时，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧而导致的气体生成物的堆积。

权利要求4记载的发明，除了权利要求2记载的发明的效果之外，由于遍及加宽区域内形成的流入抑制壁抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求5记载的发明，除了权利要求1记载的发明的效果之外，由于流入抑制壁抑制气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另外，避免伴随着流入抑制壁的设置而发生的流动于螺纹槽内的气体流量的过度下降，因而保持气体的流量，同时，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧而导致的气体生成物的堆积。

权利要求6记载的发明，除了权利要求1记载的发明的效果之外，由于回旋滞留抑制壁使气体的滞留衰减而抑制气体逆流至螺纹槽，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求7记载的发明，除了权利要求6记载的发明的效果之外，由于气体诱导面将容易滞留在转子圆筒部或定子的排气侧端面的气体从外周侧向内周侧诱导，因而抑制气体从转子圆筒部或定子的排气侧端面逆流至螺纹槽内而滞留在螺纹槽的排气侧出口，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

权利要求8记载的发明，除了权利要求6或7记载的发明的效果之外，由于抑制气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。

附图说明

图1是示出本发明的第1实施例所涉及的真空泵的剖视图。

图2是图1所示的外周侧定子的纵向剖视图。

图3是图1所示的内周侧定子的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。

图4是示出图3的内周侧定子的变形例的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。

图5是示出适用于本发明的第2实施例所涉及的真空泵的内周侧定子的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。

图6是示出图4的内周侧定子的变形例的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。

图7是示出适用于现有的真空泵的内筒定子的侧视图。

图8是图7所示的内筒定子的俯视图。

具体实施方式

本发明为了达成抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生并在长期内维持泵性能这一目的，通过如下的真空泵来实现：具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的2个定子，在转子圆筒部的内周面和外周面分别经由间隙而配置在与转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在2个定子的与转子圆筒部对置的对置面或转子圆筒部的内周面和外周面的任一方沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在多个突条部之间，真空泵将螺纹槽内的气体从气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，具备抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置。

实施例

以下，基于图1至图3，说明本发明的第1实施例所涉及的真空泵。

真空泵1是由容纳在大致圆筒状的壳体10内的涡轮分子泵机构PA和螺纹槽泵机构PB构成的复合泵。

真空泵1具备：大致圆筒状的壳体10；转子轴20，在壳体10内可旋转地被支撑；驱动电动机30，使转子轴20旋转；转子40，固定在转子轴20的上部，具备相对于转子轴20的轴心而以同心圆状并列设置的旋转叶片41；以及定子列50，容纳转子轴20的一部分和驱动电动机30。

壳体10以有底圆筒状形成。壳体10由如下的部件构成：底座11，在下部侧方形成有气体排气口11a；和圆筒部12，在上部形成有气体吸气口12a，并且以承载于底座11上的状态经由螺栓13而固定。此外，图1中的符号14是后盖。

壳体10经由圆筒部12的凸缘12b而安装在未图示的室等真空容器。气体吸气口12a连接至真空容器，气体排气口11a以与未图示的辅助泵连通的方式连接。

转子轴20由径向电磁铁21和轴向电磁铁22非接触支撑。径向电磁铁21和轴向电磁铁22连接至未图示的控制单元。

控制单元基于径向方向位移传感器21a和轴向方向位移传感器22a的检测值，控制径向电磁铁21、轴向电磁铁22的激磁电流，由此，转子轴20以在既定的位置浮起的状态被支撑。

转子轴20的上部和下部插入贯通于触地轴承23内。在转子轴20不能控制的情况下，以高速旋转的转子轴20与触地轴承23接触而防止真空泵1的损伤。

驱动电动机30由安装在转子轴20的外周的转子31和配置为包围转子31的定子32构成。定子31连接至上述的未图示的控制单元，由控制单元控制转子轴20和转子40的旋转。

在将转子轴20的上部插入贯通于毂孔42的状态下，将螺栓43插入贯通于转子凸缘44并螺纹固定于轴凸缘24，由此，转子40与转子轴20一体地安装。

定子列50在承载于底座11上的状态将下端部经由未图示的螺栓而固定于底座11。

接着，说明配置在真空泵1的大致上半部分的涡轮分子泵机构PA。

涡轮分子泵机构PA由转子40的旋转叶片41和在旋转叶片41之间隔开间隙而配置的固定叶片60构成。沿着上下方向H交替地排列有多级旋转叶片41和固定叶片60，在本实施例中，排列有5级旋转叶片41和4级固定叶片60。

旋转叶片41由以既定的角度倾斜的叶片构成，一体地形成于转子40的上部外周面。另外，围绕转子40的轴线以放射状设置多个旋转叶片41。

固定叶片60由沿与旋转叶片41相反的方向倾斜的叶片构成，由在圆筒部12的内壁面12a堆叠地设置的隔离物61沿上下方向夹持而定位。另外，固定叶片60也围绕转子40的轴线以放射状设置多个。

旋转叶片41与固定叶片60之间的间隙设定为从上下方向H的上方朝向下方徐徐地变窄。另外，旋转叶片41和固定叶片60的长度设定为从上下方向H的上方朝向下方徐徐地变短。

如上所述的涡轮分子泵机构PA通过旋转叶片41的旋转而将从气体吸气口12a吸入的气体从上下方向H的上方传送至下方。

接着，说明在真空泵1的大致下半部分配置的螺纹槽泵机构PB。

螺纹槽泵机构PB具备：转子圆筒部45，从转子40的下端延伸至上下方向H的下方；大致圆筒状的外周侧定子70，包围转子圆筒部45的外周面45a而配置；以及大致圆筒状的内周侧定子80，配置在转子圆筒部45内。

转子圆筒部45的外周面45a和内周面45b形成为平面的圆筒面。转子圆筒部45的外周面45a与内周面70a经由既定的间隙而对置，该内周面70a是外周侧定子70的与转子圆筒部45的外周面45a对置的对置面，转子圆筒部45的内周面45b与外周面80a经由既定的间隙而对置，该外周面80a是内周侧定子80的与转子圆筒部45的内周面45b对置的对置面。

外周侧定子70经由未图示的螺栓而固定在底座11。在外周侧定子70的内周面70a，沿着气体排气方向D1延伸设置有多个突条部71，在这些突条部71、71之间，雕刻设置有螺纹槽72。外周侧定子70的螺纹槽72的内径设定为，气体的排气侧比吸气侧更窄。

内周侧定子80经由未图示的螺栓而固定在底座11。在内周侧定子80的外周面80a，沿着气体排气方向D2延伸设置有多个突条部81，在这些突条部81、81之间，雕刻设置有螺纹槽82。内周侧定子80的螺纹槽82的外径设定为，气体的排气侧比吸气侧更窄。

由涡轮分子泵机构PA从气体吸气口12a传送至上下方向H的下方的气体在螺纹槽泵机构PB内以S字状折返而传送至排气口。即，转子圆筒部45相对于外周侧定子70和内周侧定子80而相对地高速旋转，由此，气体在外周侧定子70的螺纹槽72内压缩并输送至下方，在转子圆筒部45的排气侧端面45c折返至上方，在内周侧定子80的螺纹槽82内进一步压缩并输送至上方，在内周侧定子80的排气侧端面80b折返至下方，通过内周侧定子80的内周而从排气口11a排气至外部。

接着，基于图2，说明外周侧定子70的突条部71和螺纹槽72的具体的构成。

如图2所示，在外周侧定子70的从上下方向H的吸气侧至既定深度的等宽区域D，突条部71形成为与吸气侧端部71a大致相同的宽度尺寸。

另外，在与等宽区域D连续而到达排气侧的加宽区域E，突条部71将排气侧端部71b朝向转子旋转方向R的前方加宽地形成，具备作为抑制螺纹槽72的排气侧出口72a附近的气体的滞留的气体滞留抑制装置的流入抑制壁73。

吸气侧端部71a的导程角θ1设定为20°，流入抑制壁73的导程角θ2设定为15°。此外，导程角θ2可以根据排气的气体的成分或流量等而适当调整。

另外，流入抑制壁73也可以从排气侧端部71b朝向转子旋转方向R的后方加宽地形成，也可以从排气侧端部71b分别朝向转子旋转方向R的前方和后方加宽地形成。

流入抑制壁73在加宽区域E内从气体排气方向D1的吸气侧朝向排气侧逐渐加宽而以锥状形成。

由此，流入抑制壁73的密封长度比吸气侧端部71a的密封长度更长地设定。另外，由于螺纹槽72内的气体沿着锥状的突条部71顺利地传送，因而抑制螺纹槽72的出口压力的增加。

接着，基于图3，说明内周侧定子80的突条部81和螺纹槽82的具体的构成。

如图3(a)、(b)所示，在从内周侧定子80的上下方向H的吸气侧至既定深度的等宽区域F，突条部81以与吸气侧端部81a大致相同的宽度尺寸形成。

另外，在与等宽区域F连续而到达排气侧的加宽区域G，突条部81将排气侧端部81b朝向转子旋转方向R的前方加宽地形成，具备作为抑制螺纹槽82的排气侧出口82a附近的气体的滞留的气体滞留抑制装置的流入抑制壁83。

等宽部分81a的导程角θ3设定为20°，流入抑制壁83的导程角θ4设定为15°。此外，导程角θ4可以根据排气的气体的成分或流量等而适当调整。

另外，流入抑制壁83也可以从排气侧端部81b朝向转子旋转方向R的后方加宽地形成，也可以从排气侧端部81b分别朝向转子旋转方向R的前方和后方加宽地形成。

流入抑制壁83在加宽区域G内从气体排气方向D2的吸气侧朝向排气侧逐渐加宽而以锥状形成。

由此，流入抑制壁83的密封长度比吸气侧端部81a的密封长度更长地设定。另外，由于螺纹槽82内的气体沿着锥状的突条部81顺利地传送，因而抑制螺纹槽82的出口压力的增加。

这样，关于上述的真空泵1，由于流入抑制壁73抑制气体越过突条部71的排气侧端部71b而流入转子旋转方向R的前方的螺纹槽72，因而抑制在螺纹槽72的排气侧出口72a产生气体的滞留，能够抑制螺纹槽72的排气侧出口72a处的气体生成物的堆积。另外，由于流入抑制壁83抑制气体越过突条部81的排气侧端部81b而流入转子旋转方向R的前方的螺纹槽82，因而抑制在螺纹槽82的排气侧出口82a产生气体的滞留，能够抑制螺纹槽82的排气侧出口82a处的气体生成物的堆积。

此外，如图4所示，也可以将内周侧定子80的流入抑制壁83作为从突条部81的排气侧端部81b朝向转子旋转方向R的前方延伸设置的流入抑制叶片84。流入抑制叶片84的沿着转子旋转方向R的长度L只要能够限制欲超越突条部81的排气侧端部83而流入的气流即可，根据转子旋转速度等而设定。

由此，以流入抑制叶片84从排气侧端部81b延伸设置至转子旋转方向R的前方的程度确保突条部81的排气侧端部81b的密封长度较长。另外，由于流入抑制叶片84仅设置在排气侧端部81b，因而避免流动于螺纹槽82内的气体的流量的过度下降。

这样，适用上述的内周侧定子80的真空泵1确保流动于螺纹槽82内的气体的流量，同时，流入抑制叶片84抑制螺纹槽82的排气侧出口82a附近的气体越过突条部81的排气侧端部81b而流入转子旋转方向R的前方的螺纹槽82，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽82的排气侧出口82a而导致的气体生成物的堆积。

此外，外周侧定子70也同样地可以将流入抑制叶片从突条部71的排气侧端部71b朝向转子旋转方向R的前方延伸设置。

接着，基于图5，说明适用于本发明的第2实施例所涉及的真空泵的内周侧定子80。在此，上述的第1实施例所涉及的真空泵和本实施例所涉及的真空泵仅外周侧定子70和内周侧定子80的具体的构成不同，对同一部件标记同一符号，省略重复的说明。另外，由于外周侧定子70和内周侧定子80是同样的构成，因而以下说明内周侧定子80的具体的构成，省略关于外周侧定子70的说明。

在本实施例的内周侧定子80，如图5(a)、(b)所示，具备作为从排气侧端面80b竖立设置而抑制螺纹槽82的排气侧出口82a处的气体的滞留的气体滞留抑制装置的回旋滞留抑制壁85。

由此，容易滞留在气体的折返区域即内周侧定子80的排气侧端面80b附近的气体与回旋滞留抑制壁85碰撞而气体的滞留衰减，回旋滞留抑制壁85抑制滞留在内周侧定子80的排气侧端面80b附近的气体逆流至螺纹槽82。

回旋滞留抑制壁85由宽度较宽的回旋滞留抑制壁85A和宽度较窄的回旋滞留抑制壁85B构成，宽度较宽的回旋滞留抑制壁85A和宽度较窄的回旋滞留抑制壁85B沿转子旋转方向R交替地配置。以下，在区别宽度较宽的回旋滞留抑制壁85A和宽度较窄的回旋滞留抑制壁85B的情况下，在数字的末尾标记A、B而作为参照符号，在统称这些的情况下，仅以数字作为参照符号。

回旋滞留抑制壁85具备从内周侧定子80的外周侧朝向内周侧倾斜的气体诱导面85a。

由此，气体诱导面85a将容易滞留在内周侧定子80的排气侧端面80b的气体从外周侧向内周侧诱导，进一步抑制滞留在内周侧定子80的排气侧端面80b附近的气体逆流至螺纹槽82。

而且，回旋滞留抑制壁85A与突条部81一体地形成。

由此，突条部81也从内周侧定子80的排气侧端面80b延伸，抑制气体越过排气侧端部81b而流入转子旋转方向R的前方的螺纹槽82。

另外，如图6(a)、(b)所示，回旋滞留抑制壁85A也可以与具备在加宽区域E内从气体排气方向D2的吸气侧朝向排气侧逐渐加宽而以锥状形成的流入抑制壁83的突条部81一体地形成。

由此，突条部81的密封长度延长，抑制气体越过突条部81的排气侧端部81b而流入转子旋转方向D2的前方的螺纹槽82。

这样，由于上述的本实施例所涉及的真空泵抑制容易滞留在内周侧定子80的排气侧端面80b附近的气体逆流至螺纹槽82内而在螺纹槽82的排气侧出口82a滞留，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽82的排气侧出口82a而导致的气体生成物的堆积。

此外，在本实施例中，举例说明设置在内周侧定子80的回旋滞留抑制壁85，但回旋滞留抑制壁也可以设置在外周侧定子70的排气侧端面70b，也可以设置在转子圆筒部45的排气侧端面45c。

在上述的各实施例中，将突条部和螺纹槽分别设置在外周侧定子的内周面和内周侧定子的外周面，但也可以分别设置在转子圆筒部的内周面和外周面。

另外，上述的各实施例举例说明折返构造的螺纹槽泵机构，但也可以将本发明适用于气体在螺纹槽泵机构内从泵上下方向的上方排气至下方的平行构造的螺纹槽泵机构或仅在转子圆筒部的外周侧配置定子且将气体排气至转子圆筒部的外周侧的螺纹槽泵机构。

此外，关于本发明，只要不脱离本发明的精神，就能够作出各种改变，于是，本发明当然还扩及该改变后的技术方案。

符号说明

1……真空泵

10……壳体

11……底座

11a……气体排气口

12……圆筒部

12a……气体吸气口

12b……凸缘

13……螺栓

20……转子轴

21……径向电磁铁

22……轴向电磁铁

23……触地轴承

24……轴凸缘

30……驱动电动机

31……转子

32……定子

40……转子

41……旋转叶片

42……毂孔

43……螺栓

44……转子凸缘

45……转子圆筒部

45a……外周面

45b……内周面

45c……排气侧端面

50……定子列

60……固定叶片

61……隔离物

70……外周侧定子

70a……(外周侧定子的)内周面

70b……(外周侧定子的)排气侧端面

71……(外周侧定子的)突条部

71a……(外周侧定子的)吸气侧端部

71b……(外周侧定子的)排气侧端部

72……(外周侧定子的)螺纹槽

72a……(外周侧定子的)排气侧出口

73……(外周侧定子的)流入抑制壁

80……内周侧定子

80a……(内周侧定子的)外周面

80b……(内周侧定子的)排气侧端面

81……(内周侧定子的)突条部

81a……(内周侧定子的)吸气侧端部

81b……(内周侧定子的)排气侧端部

82……(内周侧定子的)螺纹槽

82a……(内周侧定子的)排气侧出口

83……(内周侧定子的)流入抑制壁

84……流入抑制叶片

85……回旋滞留抑制壁

R……转子旋转方向

PA……涡轮分子泵机构

PB……螺纹槽泵机构。

Claims (8)

1.一种真空泵，具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与所述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与所述转子圆筒部对置的对置面或所述转子圆筒部的与所述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空泵将所述螺纹槽内的气体从所述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，其特征在于，

具备抑制所述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体滞留抑制装置是将所述突条部的所述气体排气方向的排气侧的排气侧端部比所述气体排气方向的吸气侧的吸气侧端部加宽而形成的流入抑制壁。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述流入抑制壁以沿着所述气体排气方向从吸气侧朝向排气侧逐渐加宽的锥状形成。

4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述突条部具备与所述吸气侧端部同宽地形成的等宽区域、和与该等宽区域连续而加宽至所述排气侧端部并形成所述流入抑制壁的加宽区域。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体滞留抑制装置是从所述突条部的所述气体排气方向的排气侧的所述排气侧端部朝向所述转子的所述旋转方向的前方延伸设置而形成的流入抑制叶片。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体滞留抑制装置是竖立设置在所述转子圆筒部或所述定子的排气侧端面的回旋滞留抑制壁。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滞留抑制壁具备相对于朝向所述转子圆筒部或所述定子的轴心的法线方向而沿着所述转子的所述旋转方向倾斜的气体诱导面。

8.根据权利要求6或7所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滞留抑制壁与所述突条部一体地形成。