JP2999421B2 - 容量性スイッチ装置 - Google Patents
容量性スイッチ装置Info
- Publication number
- JP2999421B2 JP2999421B2 JP25666496A JP25666496A JP2999421B2 JP 2999421 B2 JP2999421 B2 JP 2999421B2 JP 25666496 A JP25666496 A JP 25666496A JP 25666496 A JP25666496 A JP 25666496A JP 2999421 B2 JP2999421 B2 JP 2999421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- operational amplifier
- oscillator
- amplifier
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
- H03K17/945—Proximity switches
- H03K17/955—Proximity switches using a capacitive detector
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサ電極とガー
ド電極とを有する容量性センサ及び電子回路とを有し、
該電子回路は２つのアンプの帰還（フィードバック）系
により形成された発振器を有し、前記センサ電極はアン
プのうちの１つと接続されており、ここで、振動の開始
（スタート）と終了がセンサ電極の容量の変化により定
まるように当該の１つのアンプと接続されており、ま
た、ガード電極は次のようにアンプ出力側に接続されて
いる、即ち、ガード電極に加わる交流電圧が、振幅及び
位相の点で、センサ電極に加わる交流電圧と一致するよ
うに出力側に接続されている容量性スイッチ装置に関す
る。
ド電極とを有する容量性センサ及び電子回路とを有し、
該電子回路は２つのアンプの帰還（フィードバック）系
により形成された発振器を有し、前記センサ電極はアン
プのうちの１つと接続されており、ここで、振動の開始
（スタート）と終了がセンサ電極の容量の変化により定
まるように当該の１つのアンプと接続されており、ま
た、ガード電極は次のようにアンプ出力側に接続されて
いる、即ち、ガード電極に加わる交流電圧が、振幅及び
位相の点で、センサ電極に加わる交流電圧と一致するよ
うに出力側に接続されている容量性スイッチ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】その種の容量性センサ装置は、例えば近
接スイッチとして使用されるか、又は容器における所定
の充填位（レベル）の監視のためのリミットスイッチと
して使用される。近接スイッチの場合、センサ電極の、
振動スタート及び終了を規定する容量は、容量性センサ
に接近（近接）する物体から影響を受ける。容量性充填
位（レベル）ーリミットスイッチの場合、センサ電極の
容量は、当該センサが容器における充填物により覆われ
ているか否かに依存する。発振器は次のように調整セッ
ティングされ、即ち、センサの付近に物体が存在しない
場合振動せず、ないしセンサが充填物により覆われない
場合、振動をせず、これに対して（反して）、物体の接
近に基づき、又は充填物で覆われる状態に基づき、セン
サ電極の容量が所定の値を越えて上昇する場合、振動が
スタート（開始）され、そして、センサ電極の容量が再
び所定値以下に低下する場合振動が終了されるように調
整セッティングされる。振動の開始（スタート）と終了
は、評価回路により検出され、そして、指示又はスイッ
チング過程のトリガのため利用される。
接スイッチとして使用されるか、又は容器における所定
の充填位（レベル）の監視のためのリミットスイッチと
して使用される。近接スイッチの場合、センサ電極の、
振動スタート及び終了を規定する容量は、容量性センサ
に接近（近接）する物体から影響を受ける。容量性充填
位（レベル）ーリミットスイッチの場合、センサ電極の
容量は、当該センサが容器における充填物により覆われ
ているか否かに依存する。発振器は次のように調整セッ
ティングされ、即ち、センサの付近に物体が存在しない
場合振動せず、ないしセンサが充填物により覆われない
場合、振動をせず、これに対して（反して）、物体の接
近に基づき、又は充填物で覆われる状態に基づき、セン
サ電極の容量が所定の値を越えて上昇する場合、振動が
スタート（開始）され、そして、センサ電極の容量が再
び所定値以下に低下する場合振動が終了されるように調
整セッティングされる。振動の開始（スタート）と終了
は、評価回路により検出され、そして、指示又はスイッ
チング過程のトリガのため利用される。
【０００３】常に、センサ電極と同じ交流電圧電位にお
かれるガード電極によっては汚れとか発生付着物のよう
な障害の影響がセンサ電極の容量に、もって、発振器の
振動開始（スタート）又は振動終了に影響を及ぼすこと
のないようにされる。
かれるガード電極によっては汚れとか発生付着物のよう
な障害の影響がセンサ電極の容量に、もって、発振器の
振動開始（スタート）又は振動終了に影響を及ぼすこと
のないようにされる。
【０００４】ＤＥ２７４４７８５Ｂ２から知られている
その種の容量性スイッチ装置の場合、発振器を形成する
２つのアンプは簡単なトランジスタ段であり、ここでセ
ンサ電極は、第１トランジスタ段のトランジスタのベー
スに接続されている。ガード電極へ加えられる電圧を得
るため、第３のトランジスタ段が追加されており、該第
３トランジスタはエミッタフォロアとして構成されてお
り、そして、発振器に次のように接続されている、即ち
それの低オームのエミッタ出力側にはセンサ電極に加わ
る交流電圧と同じ位相及び振幅を有する交流電圧を送出
するように発振器に接続されている。当該の低オームの
エミッタ出力側にはガード電極が接続されている。
その種の容量性スイッチ装置の場合、発振器を形成する
２つのアンプは簡単なトランジスタ段であり、ここでセ
ンサ電極は、第１トランジスタ段のトランジスタのベー
スに接続されている。ガード電極へ加えられる電圧を得
るため、第３のトランジスタ段が追加されており、該第
３トランジスタはエミッタフォロアとして構成されてお
り、そして、発振器に次のように接続されている、即ち
それの低オームのエミッタ出力側にはセンサ電極に加わ
る交流電圧と同じ位相及び振幅を有する交流電圧を送出
するように発振器に接続されている。当該の低オームの
エミッタ出力側にはガード電極が接続されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的ないし課
題とするところは、著しく小さい容量変化に敏感であっ
て、極めて、精確に調整セッティングできる応答点を有
する容量性スイッチ装置であって、ガード電極が直接的
に発振器の低オーム出力側に接続され得る容量性スイッ
チ装置を提供することにある。
題とするところは、著しく小さい容量変化に敏感であっ
て、極めて、精確に調整セッティングできる応答点を有
する容量性スイッチ装置であって、ガード電極が直接的
に発振器の低オーム出力側に接続され得る容量性スイッ
チ装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決のため、
本発明によれば、センサ電極とガード電極とを有する容
量性センサ及び電子回路とを有し、該電子回路は２つの
アンプの帰還（フィードバック）系により形成された発
振器を有し、前記センサ電極はアンプのうちの１つと接
続されており、ここで、振動の開始（スタート）と終了
がセンサ電極の容量の変化により定まるように当該の１
つのアンプと接続されており、また、ガード電極は次の
ようにアンプ出力側に接続されている、即ち、ガード電
極に加わる交流電圧の振幅及び位相が、センサ電極に加
わる交流電圧の振幅及び位相と一致するようにアンプ
（増幅器）出力側に接続されている容量性スイッチ装置
において、発振器（オシレータ）は、２つのオペアンプ
によって形成されており、第１のオペアンプは差動アン
プとして接続構成されており、該差動アンプの反転入力
側はセンサ電極と接続されており、そして、前記差動ア
ンプの出力側から反転入力側へ達する帰還（フィードバ
ック）回路が、高オーム抵抗に対して並列的に設けられ
たコンデンサを有し、第２オペアンプは電力フォロアと
して接続構成されており、そしてそれの非反転入力側に
て、第１のオペアンプの出力電圧の所定部分を受信する
ように構成され、当該の所定出力電圧部分は調整セッテ
ィングされた分圧器を用いて調整セッティングされるも
のであり、第２オペアンプの出力側は第１オペアンプの
非反転入力側と接続されており、ガード電極は第２オペ
アンプの出力側と第１オペアンプの非反転入力側との接
続（路）に、コンデンサを介して接続されているのであ
る。
本発明によれば、センサ電極とガード電極とを有する容
量性センサ及び電子回路とを有し、該電子回路は２つの
アンプの帰還（フィードバック）系により形成された発
振器を有し、前記センサ電極はアンプのうちの１つと接
続されており、ここで、振動の開始（スタート）と終了
がセンサ電極の容量の変化により定まるように当該の１
つのアンプと接続されており、また、ガード電極は次の
ようにアンプ出力側に接続されている、即ち、ガード電
極に加わる交流電圧の振幅及び位相が、センサ電極に加
わる交流電圧の振幅及び位相と一致するようにアンプ
（増幅器）出力側に接続されている容量性スイッチ装置
において、発振器（オシレータ）は、２つのオペアンプ
によって形成されており、第１のオペアンプは差動アン
プとして接続構成されており、該差動アンプの反転入力
側はセンサ電極と接続されており、そして、前記差動ア
ンプの出力側から反転入力側へ達する帰還（フィードバ
ック）回路が、高オーム抵抗に対して並列的に設けられ
たコンデンサを有し、第２オペアンプは電力フォロアと
して接続構成されており、そしてそれの非反転入力側に
て、第１のオペアンプの出力電圧の所定部分を受信する
ように構成され、当該の所定出力電圧部分は調整セッテ
ィングされた分圧器を用いて調整セッティングされるも
のであり、第２オペアンプの出力側は第１オペアンプの
非反転入力側と接続されており、ガード電極は第２オペ
アンプの出力側と第１オペアンプの非反転入力側との接
続（路）に、コンデンサを介して接続されているのであ
る。
【０００７】本発明の容量性スイッチ装置ではガード電
極はオペアンプの非反転入力側に接続されており、上記
オペアンプの反転入力にはセンサ電極が接続されてい
る。オペアンプはそれの両入力側を常に同じ電位におこ
うとするので、ガード電極に加わる交流電圧の振幅及び
位相が、センサ電極に加わる交流電圧の振幅及び位相と
一致することが確保される。更に、電圧フォロアとして
接続構成された第２オペアンプ（これはガード電極へ交
流電圧を送出する）の出力側は低オーム性であるので、
ガード電極に対する理想的ドライバを形成し、それによ
り、優れたガード作用が得られる。それと同時に、２つ
のオペアンプから発振器（オシレータ）を形成すること
により、著しく敏感な容量性スイッチ装置が得られ、該
容量性スイッチ装置はセンサ容量の著しく小さい変化
（これは１０分の数ｐＦであり得る）を評価し得る。当
該の高い敏感性にも拘わらず、容量性スイッチ装置は良
好なガード作用により、汚れ発生付着物、又は類似の障
害要因、作用により及ぼされる悪影響が極めて僅かであ
る。
極はオペアンプの非反転入力側に接続されており、上記
オペアンプの反転入力にはセンサ電極が接続されてい
る。オペアンプはそれの両入力側を常に同じ電位におこ
うとするので、ガード電極に加わる交流電圧の振幅及び
位相が、センサ電極に加わる交流電圧の振幅及び位相と
一致することが確保される。更に、電圧フォロアとして
接続構成された第２オペアンプ（これはガード電極へ交
流電圧を送出する）の出力側は低オーム性であるので、
ガード電極に対する理想的ドライバを形成し、それによ
り、優れたガード作用が得られる。それと同時に、２つ
のオペアンプから発振器（オシレータ）を形成すること
により、著しく敏感な容量性スイッチ装置が得られ、該
容量性スイッチ装置はセンサ容量の著しく小さい変化
（これは１０分の数ｐＦであり得る）を評価し得る。当
該の高い敏感性にも拘わらず、容量性スイッチ装置は良
好なガード作用により、汚れ発生付着物、又は類似の障
害要因、作用により及ぼされる悪影響が極めて僅かであ
る。
【０００８】更に、本発明の容量性スイッチ装置は良好
な温度安定性を有する。それというのは、当該の良好な
温度安定性は実質的に帰還（フィードバック）回路にお
けるコンデンサの容量の安定性、センサ電極の容量及び
分圧器の分圧係数の安定性にのみ依存するからである。
な温度安定性を有する。それというのは、当該の良好な
温度安定性は実質的に帰還（フィードバック）回路にお
けるコンデンサの容量の安定性、センサ電極の容量及び
分圧器の分圧係数の安定性にのみ依存するからである。
【０００９】本発明の容量性スイッチ装置の有利な構成
によれば、発振器の出力側に評価回路が接続されてお
り、該評価回路は発振器が振動しない場合には第１信号
値を有する出力信号を送出し、そして、発振器が振動す
る場合には第２信号値を送出するように構成されている
のである。
によれば、発振器の出力側に評価回路が接続されてお
り、該評価回路は発振器が振動しない場合には第１信号
値を有する出力信号を送出し、そして、発振器が振動す
る場合には第２信号値を送出するように構成されている
のである。
【００１０】而して、発振器（オシレータ）の振動の開
始（スタート）と終了がセンサ電極の容量の変化により
規定され、そして、ガード電極は、常に精確にセンサ電
極と同じ交流電圧の印加状態に保持され得る。
始（スタート）と終了がセンサ電極の容量の変化により
規定され、そして、ガード電極は、常に精確にセンサ電
極と同じ交流電圧の印加状態に保持され得る。
【００１１】本発明の容量性スイッチ装置の更なる利点
とするところは、当該のスイッチ装置に簡単にスイッチ
ングヒステリシスが付与され得ることである。。このこ
とは本発明の発展形態によれば、次のようにして達成さ
れる、即ち、 分圧器はそれにスイッチの並列接続され
た抵抗を有し、前記スイッチは評価回路の出力信号によ
り制御せしめられ、ここで、分圧器が振動した場合抵抗
を短絡するように制御せしめられ、ここで、分圧器の分
圧係数の減少によりスイッチングヒステリシス特性を生
ぜしめるように構成されているのである。
とするところは、当該のスイッチ装置に簡単にスイッチ
ングヒステリシスが付与され得ることである。。このこ
とは本発明の発展形態によれば、次のようにして達成さ
れる、即ち、 分圧器はそれにスイッチの並列接続され
た抵抗を有し、前記スイッチは評価回路の出力信号によ
り制御せしめられ、ここで、分圧器が振動した場合抵抗
を短絡するように制御せしめられ、ここで、分圧器の分
圧係数の減少によりスイッチングヒステリシス特性を生
ぜしめるように構成されているのである。
【００１２】更なる特徴事項、構成要件および利点は図
示の実施例の以降の説明から明らかである。
示の実施例の以降の説明から明らかである。
【００１３】
【実施例】次に図示の実施例を用いて本発明を説明す
る。
る。
【００１４】図１に略示する容量性センサ１０はセンサ
電極１１及びガード電極１２を有する。両電極１１、１
２は電子回路１３と接続されており、該電子回路はセン
サ電極１１の容量に依存してスイッチング動作をトリガ
する役割を有する。例として以下仮定してあるのは、セ
ンサ１０は、容器中の所定の充填状態レベルを監視する
ために使用され、その結果センサ電極１１の電圧はセン
サ１０が充填物により覆われているか否かに依存すると
いうことである。。
電極１１及びガード電極１２を有する。両電極１１、１
２は電子回路１３と接続されており、該電子回路はセン
サ電極１１の容量に依存してスイッチング動作をトリガ
する役割を有する。例として以下仮定してあるのは、セ
ンサ１０は、容器中の所定の充填状態レベルを監視する
ために使用され、その結果センサ電極１１の電圧はセン
サ１０が充填物により覆われているか否かに依存すると
いうことである。。
【００１５】電子回路１３は発振器１４を有し、該発振
器は、２つのオペアンプ１５、１６から成る。第１オペ
アンプは差動アンプとして接続構成されている。このオ
ペアンプ１５は、それらの出力側から反転入力側へ達す
る帰還（フィードバック）回路中にコンデンサ１８に並
列に、抵抗１７を有する。センサ電極１１は、第１オペ
アンプ１５の反転入力側に接続されている。更に、第１
オペアンプ１５の出力側と、動作電圧の負極ーＵB（回
路点ゼロ、又はアース）に接続された線路１９との間に
分圧器２０が設けられており、該分圧器は、抵抗２１、
ポテンシオメータ２２、抵抗２３、抵抗２４の直列接続
によって形成されている。
器は、２つのオペアンプ１５、１６から成る。第１オペ
アンプは差動アンプとして接続構成されている。このオ
ペアンプ１５は、それらの出力側から反転入力側へ達す
る帰還（フィードバック）回路中にコンデンサ１８に並
列に、抵抗１７を有する。センサ電極１１は、第１オペ
アンプ１５の反転入力側に接続されている。更に、第１
オペアンプ１５の出力側と、動作電圧の負極ーＵB（回
路点ゼロ、又はアース）に接続された線路１９との間に
分圧器２０が設けられており、該分圧器は、抵抗２１、
ポテンシオメータ２２、抵抗２３、抵抗２４の直列接続
によって形成されている。
【００１６】第２オペアンプ１６は電圧フォロア（イン
ピーダンス変換器）として接続構成されており、ここ
で、上記電圧フォロアの出力側は直接それの反転入力側
に接続されている。第２オペアンプ１６の出力側は第１
オペアンプ２５の非反転入力側と接続されている。当該
の接続（路）にはガード電極１２がコンデンサ２５を介
して接続されている。
ピーダンス変換器）として接続構成されており、ここ
で、上記電圧フォロアの出力側は直接それの反転入力側
に接続されている。第２オペアンプ１６の出力側は第１
オペアンプ２５の非反転入力側と接続されている。当該
の接続（路）にはガード電極１２がコンデンサ２５を介
して接続されている。
【００１７】第１オペアンプ１５の出力側にはコンデン
サ２６と抵抗２７を介して整流器回路３０が接続されて
おり、該整流器回路はダイオード３１と抵抗３２の直接
接続体によって形成されている。ダイオード３１と抵抗
３２のそれぞれの一方の端子は線路１９に接続され、他
方の端子はトランジスタ３３のベースに接続されてい
る。トランジスタ３３のエミッタは、線路１９に接続さ
れ、そして、それのコレクタは、抵抗１４を介して、電
池電圧の正極＋ＵＢに接続されている。トランジスタ３
３のコレクタと線路１９との間に積分ＲＣ素子３５が接
続されており、該素子は抵抗３６と、コンデンサ３７と
から成る。積分ＲＣ素子の出力側３６にはシュミットト
リガ３９の入力側に接続されている。
サ２６と抵抗２７を介して整流器回路３０が接続されて
おり、該整流器回路はダイオード３１と抵抗３２の直接
接続体によって形成されている。ダイオード３１と抵抗
３２のそれぞれの一方の端子は線路１９に接続され、他
方の端子はトランジスタ３３のベースに接続されてい
る。トランジスタ３３のエミッタは、線路１９に接続さ
れ、そして、それのコレクタは、抵抗１４を介して、電
池電圧の正極＋ＵＢに接続されている。トランジスタ３
３のコレクタと線路１９との間に積分ＲＣ素子３５が接
続されており、該素子は抵抗３６と、コンデンサ３７と
から成る。積分ＲＣ素子の出力側３６にはシュミットト
リガ３９の入力側に接続されている。
【００１８】更に、ＲＣ素子３５の出力側３８と、線路
１９との間に分圧器４０が設けられており、該分圧器は
抵抗４１、４２から成る。分圧器４０のタップ４３には
トランジスタ４４のベースが接続されており、該トラン
ジスタのコレクターエミッタ間は分圧器２０の抵抗２４
に並列接続されている。
１９との間に分圧器４０が設けられており、該分圧器は
抵抗４１、４２から成る。分圧器４０のタップ４３には
トランジスタ４４のベースが接続されており、該トラン
ジスタのコレクターエミッタ間は分圧器２０の抵抗２４
に並列接続されている。
【００１９】両オペアンプ１５、１６は帰還（フィード
バック）系を形成し、該帰還（フィードバック）系は閉
ループの交流電圧増幅度Ｖｓが自励条件Ｖｓ＞１を充足
する場合は発振器として振動する。ループ増幅度は第１
オペアンプ１５の交流電圧増幅度Ｖ１と、第２オペアン
プ１５の交流電圧増幅度Ｖ２と、分圧係数Ｋとの積に等
しい： Ｖｓ＝Ｖ１・Ｖ２・Ｋ 次にコンデンサ１８の容量をＣ18で示し、そして、線路
１９の電位（回路点ゼロ又はアース）におかれている対
向電極に対してセンサ電極が有する容量はＣ１１で示
す。容器における所定充填位（レベル）の監視の仮定し
た場合では対向電圧は金属製の容器壁であり得る。容量
Ｃ１１は基本値Ｃｏを有するセンサ１０が容器における
充填物によって覆われていない場合、基本値Ｃｏをと
り、そして、センサ１０が充填物により覆われている場
合には比較的大きな値をとる。
バック）系を形成し、該帰還（フィードバック）系は閉
ループの交流電圧増幅度Ｖｓが自励条件Ｖｓ＞１を充足
する場合は発振器として振動する。ループ増幅度は第１
オペアンプ１５の交流電圧増幅度Ｖ１と、第２オペアン
プ１５の交流電圧増幅度Ｖ２と、分圧係数Ｋとの積に等
しい： Ｖｓ＝Ｖ１・Ｖ２・Ｋ 次にコンデンサ１８の容量をＣ18で示し、そして、線路
１９の電位（回路点ゼロ又はアース）におかれている対
向電極に対してセンサ電極が有する容量はＣ１１で示
す。容器における所定充填位（レベル）の監視の仮定し
た場合では対向電圧は金属製の容器壁であり得る。容量
Ｃ１１は基本値Ｃｏを有するセンサ１０が容器における
充填物によって覆われていない場合、基本値Ｃｏをと
り、そして、センサ１０が充填物により覆われている場
合には比較的大きな値をとる。
【００２０】抵抗１７の抵抗値Ｒ１７によっては第１オ
ペアンプ１５の直流電圧負帰還（フィードバック）が実
現される。第１オペアンプ１５の直流電圧増幅度は値１
を有する。抵抗１７は次式が成立つように選定される。
ペアンプ１５の直流電圧負帰還（フィードバック）が実
現される。第１オペアンプ１５の直流電圧増幅度は値１
を有する。抵抗１７は次式が成立つように選定される。
【００２１】Ｒ１７＞＞１／ωＣ１８ 但し、その場合ωはそれへ帰還（フィードバック）系が
励振される振動の角周波数である。
励振される振動の角周波数である。
【００２２】容量Ｃ１１及びＣ１８は、次のように、第
１オペアンプ１５の交流電圧増幅度Ｖ１を規定する。
１オペアンプ１５の交流電圧増幅度Ｖ１を規定する。
【００２３】Ｖ１＝１＋Ｃ１１／Ｃ１８ 第２オペアンプの交流電圧増幅度はつぎのようになる。
【００２４】Ｖ２＝１従って分圧器２０の分圧係数をＫ
とすると、閉ループの交流電圧増幅度Ｖｓは次のように
なる。
とすると、閉ループの交流電圧増幅度Ｖｓは次のように
なる。
【００２５】Ｖｓ＝Ｋ・（１＋Ｃ１１／Ｃ１８） コンデンサ１８の容量Ｃ１８に対してセンサ容量の基本
値Ｃｏを選定すればＣ１８＝Ｃｏそして、分圧器２０の
分圧係数に対してＫを選定すれば、ループ増幅度Ｖｓは
下記値をとる。
値Ｃｏを選定すればＣ１８＝Ｃｏそして、分圧器２０の
分圧係数に対してＫを選定すれば、ループ増幅度Ｖｓは
下記値をとる。
【００２６】Ｖｓ＝０.９８ 但し、そのようになるのは、センサ容量Ｃ１１は基本値
Ｃｏをとり、要するにセンサ１０は充填物により覆われ
ていない場合である。従って自励条件が充足されていな
いので発振器１４は振動せず、第１オペアンプ１５の出
力側には交流電圧が現れていない。従って、トランジス
タ３３のベースには直流電圧が加わらず、トランジスタ
３３は継続的に阻止状態におかれる。従って、ＲＣ−素
子３５の出力側に接続された、シュミットトリガ３９の
入力側は、永続的に差動電圧の電位＋ＵBをとり、そし
て、シュミットトリガ３９の出力側から送出される２進
信号はセンサ１０の当該の状態を表す第１信号値を有す
る。
Ｃｏをとり、要するにセンサ１０は充填物により覆われ
ていない場合である。従って自励条件が充足されていな
いので発振器１４は振動せず、第１オペアンプ１５の出
力側には交流電圧が現れていない。従って、トランジス
タ３３のベースには直流電圧が加わらず、トランジスタ
３３は継続的に阻止状態におかれる。従って、ＲＣ−素
子３５の出力側に接続された、シュミットトリガ３９の
入力側は、永続的に差動電圧の電位＋ＵBをとり、そし
て、シュミットトリガ３９の出力側から送出される２進
信号はセンサ１０の当該の状態を表す第１信号値を有す
る。
【００２７】電子回路の前述の調整セッティングの基
で、充填物で覆われていることに基づき、センサ電極１
１の容量の僅かな増大が現れただけでも既に値１を越え
るループ増幅度が生ぜしめられる： Ｖｓ＞１ それにより、発振器１４は振動し始める。その際第１オ
ペアンプ１５の出力側には交流電圧が現れ、該交流電圧
は、コンデンサ２６と抵抗２７を介して整流器３０に供
給される。ダイオード３１の整流器作用に基づき、抵抗
３２には正の整流された電圧が生じ、該電圧によりトラ
ンジスタ３３が動作せしめられる。トランジスタ３３を
介してコレクタ電流が流れるので、ＲＣ素子３５にて現
れるコレクタ電圧、従って、また、シュミットトリガ３
９の入力側に加わる、コンデンサ３７により平滑化され
た直流電圧は抵抗３４における電圧降下分だけ低下す
る。従ってシュミットトリガ３０は、それの他方の状態
に移行し、そして、それの出力側から送出される信号
は、それの第２の信号値をとり、該第２信号値はセンサ
１０は充填物により覆われていることを指示する。
で、充填物で覆われていることに基づき、センサ電極１
１の容量の僅かな増大が現れただけでも既に値１を越え
るループ増幅度が生ぜしめられる： Ｖｓ＞１ それにより、発振器１４は振動し始める。その際第１オ
ペアンプ１５の出力側には交流電圧が現れ、該交流電圧
は、コンデンサ２６と抵抗２７を介して整流器３０に供
給される。ダイオード３１の整流器作用に基づき、抵抗
３２には正の整流された電圧が生じ、該電圧によりトラ
ンジスタ３３が動作せしめられる。トランジスタ３３を
介してコレクタ電流が流れるので、ＲＣ素子３５にて現
れるコレクタ電圧、従って、また、シュミットトリガ３
９の入力側に加わる、コンデンサ３７により平滑化され
た直流電圧は抵抗３４における電圧降下分だけ低下す
る。従ってシュミットトリガ３０は、それの他方の状態
に移行し、そして、それの出力側から送出される信号
は、それの第２の信号値をとり、該第２信号値はセンサ
１０は充填物により覆われていることを指示する。
【００２８】積分素子３５の出力側３８に現れ、シュミ
ットトリガ３９の入力側に加わる電圧は分圧器４０にも
現れる。発振器が振動しない場合には、当該の電圧は、
高く、それにより（その結果）分圧器４０のタップ４３
に接続された、トランジスタ４４のベースには次のよう
な電圧が加えられる、即ち、トランジスタ44を導通さ
せ、それにより、抵抗24を短絡する電圧が加えられる。
分圧器２０の分圧係数Ｋは、当該の状態では抵抗２１、
２３により、及びポテンシオメータ２２の調整セッティ
ングにより規定される。発振器１４が振動し始め、従っ
て、出力側３８における電圧が低い値へ達すると直ちに
分圧器４０のタップ４３に現れる電圧ではトランジスタ
４４を動作させ得るにはもはや十分でない。従って、ト
ランジスタ４４は、阻止状態におかれ、今や抵抗２４は
分圧器２０における抵抗２３と直列に接続される。それ
により分圧係数Ｋは、抵抗２４の短絡状態におけるより
高い値を有する。その結果、センサ電極１１の容量Ｃ１
１が、発振開始をトリガさせた値より小さい値へ低下す
るとはじめて発振器の振動は止むようになる。従って、
トランジスタ４４は発振器（オシレータ）１４の安定し
た特性を確保するスイッチングヒステリシスを次のよう
に生じさせる、即ち、容量性センサＣ１１が臨界的（ク
リティカル）な値だけ変動すると振動が繰り返して開始
及び停止するのが阻止されるようにするのである。
ットトリガ３９の入力側に加わる電圧は分圧器４０にも
現れる。発振器が振動しない場合には、当該の電圧は、
高く、それにより（その結果）分圧器４０のタップ４３
に接続された、トランジスタ４４のベースには次のよう
な電圧が加えられる、即ち、トランジスタ44を導通さ
せ、それにより、抵抗24を短絡する電圧が加えられる。
分圧器２０の分圧係数Ｋは、当該の状態では抵抗２１、
２３により、及びポテンシオメータ２２の調整セッティ
ングにより規定される。発振器１４が振動し始め、従っ
て、出力側３８における電圧が低い値へ達すると直ちに
分圧器４０のタップ４３に現れる電圧ではトランジスタ
４４を動作させ得るにはもはや十分でない。従って、ト
ランジスタ４４は、阻止状態におかれ、今や抵抗２４は
分圧器２０における抵抗２３と直列に接続される。それ
により分圧係数Ｋは、抵抗２４の短絡状態におけるより
高い値を有する。その結果、センサ電極１１の容量Ｃ１
１が、発振開始をトリガさせた値より小さい値へ低下す
るとはじめて発振器の振動は止むようになる。従って、
トランジスタ４４は発振器（オシレータ）１４の安定し
た特性を確保するスイッチングヒステリシスを次のよう
に生じさせる、即ち、容量性センサＣ１１が臨界的（ク
リティカル）な値だけ変動すると振動が繰り返して開始
及び停止するのが阻止されるようにするのである。
【００２９】発振器１４の振動のトリガ点、換言すれば
そこで抵抗２４が短絡した時発振器１４が振動し始める
際の容量性センサＣ１１の値は、ポテンシオメータ２２
を用いて精確に調整セッティングされ得る。当該調整セ
ッティングは製造上の変動及び著しく異なる組込条件を
考慮するため、各センサに対して個別に行われなければ
なならない。勿論分圧器２０の分周係数はスイッチング
ヒステリシスの考慮下で次のように調整セッティングさ
れなければならない、即ち振動が再び停止（ストップ）
する際のセンサ容量Ｃ１１は覆われていないセンサ状態
に相応する基本容量性Ｃｏより大であるように調整セッ
ティングされねばならない。
そこで抵抗２４が短絡した時発振器１４が振動し始める
際の容量性センサＣ１１の値は、ポテンシオメータ２２
を用いて精確に調整セッティングされ得る。当該調整セ
ッティングは製造上の変動及び著しく異なる組込条件を
考慮するため、各センサに対して個別に行われなければ
なならない。勿論分圧器２０の分周係数はスイッチング
ヒステリシスの考慮下で次のように調整セッティングさ
れなければならない、即ち振動が再び停止（ストップ）
する際のセンサ容量Ｃ１１は覆われていないセンサ状態
に相応する基本容量性Ｃｏより大であるように調整セッ
ティングされねばならない。
【００３０】ガード電極12は、第１オペアンプ１５の非
反転入力側が接続されており、上記第１オペアンプの反
転入力側は、センサ電極１１に接続されている。オペア
ンプ１２それの両入力側における電圧を精確に同じもの
にしようとするので、両電極１１、１２には常に振幅及
び位相の点で全く等しい交流電圧が現れる。従って、セ
ンサ電極１１とガード電極１２との間には交流電圧電位
差は生じない。それによりガード電極の容量に影響を及
ぼす障害量はセンサ電極１１の容量には何等影響を与え
ない。電圧フォロアとして接続構成された第２オペアン
プの出力側（これは、ガード電極１２へ電圧を送出す
る）が著しく低オーム性であるので、それはガード電極
に対する理想的ドライバを形成する。ガード電極１２の
当該の接続構成により優れたガード作用が達成される。
反転入力側が接続されており、上記第１オペアンプの反
転入力側は、センサ電極１１に接続されている。オペア
ンプ１２それの両入力側における電圧を精確に同じもの
にしようとするので、両電極１１、１２には常に振幅及
び位相の点で全く等しい交流電圧が現れる。従って、セ
ンサ電極１１とガード電極１２との間には交流電圧電位
差は生じない。それによりガード電極の容量に影響を及
ぼす障害量はセンサ電極１１の容量には何等影響を与え
ない。電圧フォロアとして接続構成された第２オペアン
プの出力側（これは、ガード電極１２へ電圧を送出す
る）が著しく低オーム性であるので、それはガード電極
に対する理想的ドライバを形成する。ガード電極１２の
当該の接続構成により優れたガード作用が達成される。
【００３１】トランジスタ４４は発振器１４の出力信号
により制御されるスイッチを形成する。上記トランジス
タは公知形式の他の電気的に制御可能なスイッチ（これ
は有利には高速の電子スイッチである）で置換されても
よい。
により制御されるスイッチを形成する。上記トランジス
タは公知形式の他の電気的に制御可能なスイッチ（これ
は有利には高速の電子スイッチである）で置換されても
よい。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、著しく小さい容量変化
に敏感であって、極めて、精確に調整セッティングでき
る応答点を有する容量性スイッチ装置であって、ガード
電極が直接的に発振器の低オーム出力側に接続され得る
容量性スイッチ装置を実現したという効果が奏される。
に敏感であって、極めて、精確に調整セッティングでき
る応答点を有する容量性スイッチ装置であって、ガード
電極が直接的に発振器の低オーム出力側に接続され得る
容量性スイッチ装置を実現したという効果が奏される。
【図１】センサ電極及びガード電極を有する容量性スイ
ッチ装置の実施例の回路図である
ッチ装置の実施例の回路図である
【符号の説明】 １０ 容量性センサ １１ センサ電極 １２ ガード電極 １３ 電子回路 １４ 発振器 １５ オペアンプ １６ オペアンプ １７ 抵抗 １８ コンデンサ １９ 線路 ２０ 分圧器 ２１ 抵抗 ２２ ポテンシオメータ ２３ 抵抗 ２４ 抵抗 ２５ コンデンサ ２６ コンデンサ ２７ 抵抗 ３０ 整流器回路 ３１ ダイオード ３２ 抵抗 ３３ トランジスタ ３５ 積分ＲＣ素子 ３６ 出力側 ３７ コンデンサ ３８ コンデンサ ３９ シュミットトリガ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03K 17/955
Claims (3)
- 【請求項１】 センサ電極とガード電極とを有する容量
性センサ及び電子回路とを有し、該電子回路は２つのア
ンプの帰還（フィードバック）系により形成された発振
器を有し、前記センサ電極はアンプのうちの１つと接続
されており、ここで、振動の開始（スタート）と終了が
センサ電極の容量の変化により定まるように当該の１つ
のアンプと接続されており、また、ガード電極は次のよ
うにアンプ出力側に接続されている、即ち、ガード電極
に加わる交流電圧の振幅及び位相が、センサ電極に加わ
る交流電圧の振幅及び位相と一致するようにアンプ（増
幅器）出力側に接続されている容量性スイッチ装置にお
いて、 発振器（オシレータ）は、２つのオペアンプによって形
成されており、第１のオペアンプは差動アンプとして接
続構成されており、該差動アンプの反転入力側はセンサ
電極と接続されており、そして、前記差動アンプの出力
側から反転入力側へ達する帰還（フィードバック）回路
が、高オーム抵抗に対して並列的に設けられたコンデン
サを有し、第２オペアンプは電力フォロアとして接続構
成されており、そしてそれの非反転入力側にて、第１の
オペアンプの出力電圧の所定部分を受信するように構成
され、当該の所定出力電圧部分は調整セッティングされ
た分圧器を用いて調整セッティングされるものであり、
第２オペアンプの出力側は第１オペアンプの非反転入力
側と接続されており、ガード電極は第２オペアンプの出
力側と第１オペアンプの非反転入力側との接続（路）
に、コンデンサを介して接続されていることを特徴とす
る容量性スイッチ装置。 - 【請求項２】 発振器の出力側に評価回路が接続されて
おり、該評価回路は発振器が振動しない場合には第１信
号値を有する出力信号を送出し、そして、発振器が振動
する場合には第２信号値を送出するように構成されてい
ることを特徴とする請求項１記載のスイッチ装置。 - 【請求項３】 分圧器はそれにスイッチの並列接続され
た抵抗を有し、前記スイッチは評価回路の出力信号によ
り次のように制御せしめられ、即ち、発振器（オシレー
タ）が振動した場合抵抗を短絡するように制御せしめら
れ、ここで、分圧器の分圧係数の減少によりスイッチン
グヒステリシス特性を生ぜしめるように構成されている
請求項２記載のスイッチ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19536198A DE19536198B4 (de) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Kapazitiver Schalter |
| DE19536198.9 | 1995-09-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09153783A JPH09153783A (ja) | 1997-06-10 |
| JP2999421B2 true JP2999421B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=7773501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25666496A Expired - Fee Related JP2999421B2 (ja) | 1995-09-28 | 1996-09-27 | 容量性スイッチ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5757196A (ja) |
| EP (1) | EP0766398A1 (ja) |
| JP (1) | JP2999421B2 (ja) |
| DE (1) | DE19536198B4 (ja) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3767075B2 (ja) * | 1997-03-24 | 2006-04-19 | ソニー株式会社 | フィルム位置検出装置およびフィルム位置検出方法並びに映像フィルム投影装置 |
| DE19727220C2 (de) * | 1997-06-26 | 1999-08-26 | Captron Elect Gmbh | Schaltungsanordnung für einen kapazitiven Schalter |
| DE19756161B4 (de) * | 1997-12-17 | 2010-08-05 | Hiss, Eckart, Dr. | Auswertungsverfahren |
| EP0926474B1 (de) * | 1997-12-24 | 2010-12-08 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG | Probe |
| DE19836054A1 (de) * | 1998-08-10 | 2000-02-17 | Bosch Gmbh Robert | Meßschaltung |
| DE29915014U1 (de) | 1999-08-28 | 2000-04-06 | Pepperl & Fuchs GmbH, 68307 Mannheim | Kapazitiver Näherungsschalter |
| DE19945330C2 (de) * | 1999-09-22 | 2002-10-31 | Sie Sensorik Ind Elektronik Gm | Verfahren zur Detektion und Auswertung kleiner Kapazitätsänderungen zur Umsetzung in ein Schaltsignal und kapazitiver Sensor hierzu |
| US20040115625A1 (en) * | 2000-10-02 | 2004-06-17 | Reinhard Ebner | Cancer gene determination and therapeutic screening using signature gene sets |
| DE10131243C1 (de) * | 2001-06-28 | 2002-11-07 | Luer Luetkens | Kapazitiver Näherungsschalter |
| US7005864B2 (en) * | 2002-10-21 | 2006-02-28 | Synchrony, Inc. | Capacitive position sensing system with resonant amplification |
| US6998829B2 (en) * | 2003-05-14 | 2006-02-14 | Intersil Americas Inc. | Soft start precharge circuit for DC power supply |
| DE102004018578B4 (de) * | 2004-04-16 | 2007-02-22 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung eines Verschmutzungsgrades eines betriebenen Umrichtergerätes |
| JP4531469B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2010-08-25 | 株式会社フジクラ | 静電容量式近接センサ |
| DE102004036324A1 (de) * | 2004-07-27 | 2006-02-16 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Schalter |
| US7323886B2 (en) * | 2004-08-16 | 2008-01-29 | Ying Lau Lee | Linear capacitance measurement and touchless switch |
| US7498822B2 (en) * | 2004-08-16 | 2009-03-03 | Ying Lau Lee | Linear capacitance measurement and touchless switch |
| US20070018509A1 (en) * | 2005-07-20 | 2007-01-25 | Ewig Industries Macao Commercial Offshore Limited | Device having multiple conductive contact switches |
| DE102005041114A1 (de) * | 2005-08-30 | 2007-03-01 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Kapazitiver Stellstreifen und Haushaltsgerät mit einem solchen |
| DE102005041113A1 (de) * | 2005-08-30 | 2007-03-01 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Kapazitiver Annäherungsschalter und Haushaltsgerät mit einem solchen |
| US7662648B2 (en) * | 2005-08-31 | 2010-02-16 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit inspection system |
| DE102006047780A1 (de) * | 2006-10-06 | 2008-04-10 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozeßgröße |
| GB2448821A (en) * | 2007-04-24 | 2008-10-29 | Seiko Instr Inc | Differential capacitive proximity detector |
| JP2008292446A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-12-04 | Seiko Instruments Inc | 近接検出装置及び近接検出方法 |
| DE102007025947B4 (de) | 2007-06-04 | 2009-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Integrierter kapazitiver Sensor |
| JP5643991B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2014-12-24 | シンクロニー, インコーポレイテッドSynchrony, Inc. | 高速永久磁石モータおよび低損失メタルロータ付発電機 |
| US8330311B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-12-11 | Dresser-Rand Company | Magnetic thrust bearing with integrated electronics |
| US7986153B2 (en) * | 2009-03-02 | 2011-07-26 | Atmel Corporation | Method and apparatus for sensing |
| US9583991B2 (en) * | 2009-06-24 | 2017-02-28 | Synchrony, Inc. | Systems, devices, and/or methods for managing magnetic bearings |
| EP2586121B1 (en) | 2010-06-23 | 2019-12-11 | Synchrony, Inc. | Split magnetic thrust bearing |
| DE102012012864A1 (de) * | 2012-06-28 | 2014-01-02 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Hallstadt | Kapazitiver Sensor für eine Kollisionsschutzvorrichtung |
| FR3005763B1 (fr) | 2013-05-17 | 2016-10-14 | Fogale Nanotech | Dispositif et procede d'interface de commande capacitive adapte a la mise en œuvre d'electrodes de mesures fortement resistives |
| DE102014216247B4 (de) * | 2014-08-15 | 2019-06-13 | Mayser Gmbh & Co. Kg | Sensorsystem und Verfahren zur kapazitiven Erfassung von Hindernissen |
| FR3028061B1 (fr) * | 2014-10-29 | 2016-12-30 | Fogale Nanotech | Dispositif capteur capacitif comprenant des electrodes ajourees |
| FR3032287B1 (fr) | 2015-02-04 | 2018-03-09 | Quickstep Technologies Llc | Dispositif de detection capacitif multicouches, et appareil comprenant le dispositif |
| US10524592B2 (en) | 2015-12-01 | 2020-01-07 | Black & Decker Inc. | Picture hanging device |
| US10365775B2 (en) * | 2016-01-21 | 2019-07-30 | Microchip Technology Incorporated | Method and system for sensing impedance change in the local space between electrodes |
| CN108627218B (zh) * | 2017-03-20 | 2021-10-08 | 安普泰科电子韩国有限公司 | 产生输出信号的液体检测传感器以及连接至液体检测传感器的传感器诊断装置 |
| US10635228B2 (en) * | 2018-02-22 | 2020-04-28 | Samsung Display Co., Ltd. | System and method for mutual capacitance sensing |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH548698A (de) * | 1971-03-16 | 1974-04-30 | Mueller Harro | Schaltungsanordnung zur abgabe eines annaeherungssignals bei annaeherung eines menschlichen koerperteiles. |
| US3743865A (en) * | 1971-12-29 | 1973-07-03 | W Riechmann | Proximity switch |
| US3870948A (en) * | 1972-09-05 | 1975-03-11 | Acme Cleveland Corp | Proximity circuit with active device feedback |
| DE2744785B2 (de) * | 1977-10-05 | 1981-05-21 | Robert 7995 Neukirch Buck | Elektronischer Annäherungsschalter |
| US4219740A (en) * | 1979-01-12 | 1980-08-26 | Eldec Corporation | Proximity sensing system and inductance measuring technique |
| DE3038692A1 (de) * | 1980-10-14 | 1982-05-06 | Ifm Electronic Gmbh, 4300 Essen | Elektronisches, beruehrungslos arbeitendes schaltgeraet |
| DE3722334A1 (de) * | 1987-07-07 | 1989-02-09 | Ifm Electronic Gmbh | Elektronisches, beruehrungslos arbeitendes schaltgeraet |
| EP0461550B1 (de) * | 1990-06-11 | 1996-09-04 | i f m electronic gmbh | Elektronisches Schaltgerät mit Zustandsindikator |
| US5367198A (en) * | 1990-06-11 | 1994-11-22 | I F M Electronic Gmbh | Proximity detector with error-preventing ambient condition compensation |
| DE4238992C2 (de) * | 1992-11-19 | 1996-03-21 | Ifm Electronic Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Nachweis der Annäherung eines Ansprechkörpers |
| DE9414164U1 (de) * | 1994-09-01 | 1994-11-17 | Zabel GmbH, 47800 Krefeld | Sitzkontaktschalter |
-
1995
- 1995-09-28 DE DE19536198A patent/DE19536198B4/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-09-24 EP EP96115296A patent/EP0766398A1/de not_active Withdrawn
- 1996-09-26 US US08/721,217 patent/US5757196A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-09-27 JP JP25666496A patent/JP2999421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0766398A1 (de) | 1997-04-02 |
| DE19536198A1 (de) | 1997-04-03 |
| DE19536198B4 (de) | 2006-03-30 |
| JPH09153783A (ja) | 1997-06-10 |
| US5757196A (en) | 1998-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2999421B2 (ja) | 容量性スイッチ装置 | |
| US5317274A (en) | Humidity meter | |
| EP0044434B1 (en) | Capacitive level sensor and method of controlling a capacitive level sensor | |
| EP0601515B1 (en) | Oscillation circuit | |
| KR950022036A (ko) | 동기 비디오 검출기용 제어발진기 | |
| EP0535883B1 (en) | Voltage controlled oscillator employing negative resistance | |
| US4803444A (en) | Proximity switch | |
| JP3067010B2 (ja) | 絶対湿度センサ | |
| JPH0130086B2 (ja) | ||
| US4994764A (en) | Single-pin oscillator | |
| JPS58501400A (ja) | 精密差動型弛張発振器回路 | |
| JP3307032B2 (ja) | 静電センサ | |
| JPH0139246B2 (ja) | ||
| JPH039650B2 (ja) | ||
| JPH0129852Y2 (ja) | ||
| JP2721749B2 (ja) | インピーダンス二値化回路 | |
| JPH04166723A (ja) | インピーダンス二値化回路 | |
| JP3353361B2 (ja) | 近接スイッチ | |
| JP2635959B2 (ja) | 高周波発振型近接センサ | |
| JPH0139247B2 (ja) | ||
| JPS6374205A (ja) | 周波数制御回路 | |
| JP3239077B2 (ja) | 発振回路 | |
| KR830002165B1 (ko) | 초음파 가공장치용 진동자의 제어방법 | |
| JP2508623B2 (ja) | 近接スイツチ | |
| JPH04150521A (ja) | インピーダンス二値化回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |