JP2996264B2 - Icチップの除去エリアの消去方法 - Google Patents
Icチップの除去エリアの消去方法Info
- Publication number
- JP2996264B2 JP2996264B2 JP3228836A JP22883691A JP2996264B2 JP 2996264 B2 JP2996264 B2 JP 2996264B2 JP 3228836 A JP3228836 A JP 3228836A JP 22883691 A JP22883691 A JP 22883691A JP 2996264 B2 JP2996264 B2 JP 2996264B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- removal
- stored
- threshold
- pixel signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
置において、ICチップの除去エリアに対するマップ表
示を消去する方法に関する。
どの素材のウエハに対して、同一のパターンを有する多
数のICチップ(以下単にチップという)が形成され、
この段階で異物検査が行われる。異物検査はレーザビー
ムをウエハ面に投射し、その反射または散乱光を受光し
てなされるが、異物とともにパターンからも散乱光が散
乱されるので、これらを区別して異物のみを検出するこ
とが必要、かつ重要である。これに適応する方法には各
種のものが開発されているが、その一つとして互いに隣
接した2個のチップを相互に比較する方法がある。
略構成と隣接チップの比較による異物検出方法を示す。
(a) に示すようにウエハ1の表面には、同一パターンを
有する多数のチップ11がマトリックス状に形成されてい
る。(b) において、ウエハは移動ステージ2に載置さ
れ、これに対して検査光学系3の光源3a よりレーザビ
ームLx をウエハの表面に照射する。ウエハはX方向に
往復移動されてレーザビームが各チップ列を順次に走査
し、その散乱光が対物レンズ3b を経てCCDセンサ3
c (他の光センサでも可)に入力する。ここで、チップ
列中の隣接した任意の2個のチップを(c) の(イ) のよう
に11a,11b とし、チップ11b には図示の位置に異物p1,
p2 が付着しているとする。まずチップ11a の散乱光を
受光し、CCDセンサの各画素の出力信号(以下単に画
素信号という)は逐次に画素信号処理部4に入力し、A
/D変換器4a によりデジタル化され、メモリ(ME
M)4b に記憶される。ついでチップ11b の散乱光より
同様にえられる各画素信号が差分回路4c に入力し、M
EMに記憶されているチップ11a の各画素信号との差分
データが出力される。(c) の(ロ) は両チップのパターン
PT および異物p1,p2に対する各画素信号gn (nは
画素番号)よりなる画素データSa,Sb を示し、両チッ
プのパターンの無い基板面Kは値が低く、パターンPT
は反射率が大きいので値が大きい。また、異物p1,p2
の画素信号gはデータSb の上方に突出している。前記
したように両パターンPT は同一であるので、両画素デ
ータのパターン部分はほぼ同一となり、差分データ(S
b −Sa )ではこれがほぼ消去されて、(ハ) に例示した
残留パターンRと異物p1,p2 よりなる差分データがえ
られる。差分データは異物検出部4d において検出閾値
Vthと比較されて異物p1,p2 のみが検出される。な
お、チップ11a にある異物は差分データ(Sb −Sa)で
は負極となるので、絶対値をとることにより正極として
上記と同様に検出される。以上により検出された異物デ
ータはコンピュータ(CPU)4e により編集されて表
示器4f にマップ表示される。
ターンPT は、形成プロセスの段階が進行するに伴って
厚さが厚くなり、また単なる配線パターンのみでなく、
コンデンサなどの回路部品が付加して形成される。この
ような回路部品が形成されたパターン部分はマット部と
よばれているが、この部分は反射率が大きくて散乱光が
異常に強い場合があり、これに妨害されて異物の検出が
困難である。従ってそのマップ表示は無用であるばかり
でなく、他の部分のマップ表示の観察に支障する。そこ
で、反射率の強いマット部を除去エリアとしてマップ表
示を消去することが望ましい。その方法は、除去エリア
に対して値の大きい除去閾値を設定して除去し、他の部
分に対しては別途に定められた適切な検出閾値を設定し
て異物の検出を行うことが有効である。しかし、除去エ
リアがチップのどの位置にあるのか、また除去閾値はい
くらがよいのかについては、事前には的確に判明してい
ない。この発明は以上に鑑みてなされたもので、予めの
テストにより除去エリアを特定し、これを除去できる大
きさの除去閾値を作って各チップを検査し、除去エリア
のマップ表示を消去する方法を提供することを目的とす
る。
達成する除去エリアの消去方法であって、上記のウエハ
異物検査装置において、ウエハの任意のチップ列をテス
トチップ列とし、これに対してレーザビームを走査して
各隣接チップに対する各差分データを逐次に求める。各
チップの同一位置に対する各差分データの画素信号の絶
対値を、逐次に加算してマップメモリの各画素メモリに
それぞれ記憶する。記憶された中の一定値より大きい加
算データを、反射率が異常に大きい除去エリアに対する
除去閾値とし、この除去閾値とそのマップメモリのアド
レスをRAMに記憶する。各チップの検査においては、
記憶されたアドレスに対応する画素信号に対してこの除
去閾値を設定して除去し、除去エリアのマップ表示が消
去される。
る各差分データの、各チップの同一位置の画素信号の絶
対値が逐次に加算されてマップメモリの各画素メモリに
記憶される。一定値より大きい加算データが除去エリア
に対する除去閾値とされ、これがそのアドレスとともに
RAMに記憶される。各チップの検査においては、記憶
されたアドレスに対応する画素信号に対してこの除去閾
値を設定して除去し、そのマップ表示が消去されて他の
エリアの異物の観察が容易となるものである。
略のブロック構成図、(b) はマップメモリの図、(c) は
3次元に表現した加算データの分布図である。図1の
(a) において、前記した図2(b) の異物検査装置に対し
て、除去閾値設定部5とスイッチ6とを付加する。除去
閾値設定部5は、加算回路5a,マップメモリ5b,RAM
5c,および閾値選択回路5d よりなる。なお、図2(b)
と同一構成要素は同一番号で示す。
VD を求める。ウエハに形成されたX方向の任意のチッ
プ列 (A), (B), (C),……(N)をテストチップ列と
し、これに対してレーザビームLX を往復走査する。走
査による各チップの画素データSa,Sb,Sc ……Sn
は、逐次に差分回路4c に入力して各隣接チップに対す
る差分データ(Sb −Sa),(Sc −Sb)[以下便宜
上、これらをQab,Qbcで示す]などが出力され、絶対
値回路4g によりそれぞれの絶対値|Qab|,|Qbc|
などがえられる。各絶対値はスイッチ6を経て加算回路
5a に逐次に入力し、それぞれに対する前回値と加算さ
れて加算データΣ|Q|がえられ、マップメモリ5b に
記憶される。マップメモリは(b) に示すように、チップ
の各画素信号に対応したマトリックス状のメモリ素子M
(i,j)よりなり、(i,j)はアドレス番号を示す
ものとする。一方、ウエハを載置した移動ステージ2が
CPU4e に制御されて移動すると、その位置がXYエ
ンコーダ2a により検出され、その位置信号がマップメ
モリ5b のアドレスを指定し、上記の加算データが指定
されたアドレスに記憶される。(c) はマップメモリに記
憶された加算データを3次元で表示した例を示す。各メ
モリM(i,j)のデータはいわばランダムに起伏して
いるが、その中には山状に高い部分があり、その高さは
各画素信号の和であるから非常に高い。この高さをCP
U4e によりチェックし、これが一定値以上を示すエリ
アを除去エリアと特定し、その高さを除去閾値VD とす
る。除去エリアの位置はメモリ素子のアドレスより判明
する。以上によりえられた除去エリアのアドレスと除去
閾値VD は、テストの終了時点でRAM5c に転送され
て記憶される。
テージによりウエハが移動し、その全面がレーザビーム
により往復走査され、各隣接チップに対する差分データ
Qが差分回路4c より逐次に出力され、差分データの各
画素信号は絶対値回路4g により絶対値化され、スイッ
チ6の切り替えにより異物検出部4d に入力する。これ
に対して、RAMに記憶されたアドレスと、XYエンコ
ーダの位置信号の示すアドレスとが一致するとRAMよ
り除去閾値VD が読出され、閾値選択回路5dによりこ
れが選択されて異物検出部に与えられ、上記により入力
した除去エリアの画素信号が除去される。なお、除去エ
リア以外の他のエリアに対する検出閾値Vthは、予め閾
値選択回路などに設定され、他のエリアの画素信号に対
して異物検出部に与えられて異物が検出される。以上の
除去閾値設定部5の構成は一例であって、細部がこれと
異なるものであっても、これと同様な作用をなし同一の
目的の構成はこの発明に含まれるものである。
去エリアの消去方法においては、テストチップ列のテス
トによりえられる加算データが、一定値より大きいと
き、これを除去エリアと特定し、その値を除去閾値とし
て除去エリアの画素信号を除去してそのマップ表示を消
去するもので、除去エリアの位置が的確に特定され、ま
た適正な除去閾値により無益有害なマップ表示が消去さ
れるもので、他のエリアの異物の観察が容易となり、隣
接チップの比較方法による異物検査に寄与するところに
は大きいものがある。
ロック構成図、(b)はマップメモリの図、(c) は3次元
に表現した加算データの分布図である。
図、(b) は隣接チップの比較方法による異物検査装置の
概略の構成図、(c) は比較される隣接チップとそれぞれ
の画素データ、および差分データを示す図である。
チップ、2…移動ステージ、2a …XYエンコーダ、3
…検査光学系、3a …光源、3b …対物レンズ、3c …
CCDセンサ、4…画素信号処理部、4a …A/D変換
器、4b …コンピュータ(CPU)、4f …表示器、4
g …絶対値回路、5…除去閾値設定部、5a …加算回
路、5b …マップメモリ、5c …RAM、5d …閾値選
択回路、6…スイッチ、Sa,Sb,Sc …画素データ、Q
…差分データ、Σ|Q|…加算データ、M(i,j)…
マップメモリのメモリ素子、(i,j)…そのアドレ
ス、Vth…異物に対する検出閾値、VD …除去エリアに
対する除去閾値。
Claims (1)
- 【請求項1】 ウエハの表面に形成された同一パターン
を有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハに
対してレーザビームを走査し、互いに隣接した2個の前
記ICチップの反射光を光センサにより受光し、該光セ
ンサの出力した該隣接チップの対応する画素信号の差分
データを、検出閾値に比較して異物を検出してマップ表
示するウエハ異物検査装置において、前記ウエハの任意
のチップ列をテストチップ列とし、該テストチップ列に
対して前記レーザビームを走査して各隣接チップに対す
る各差分データを逐次に求め、前記ICチップの同一位
置に対する該各差分データの画素信号の絶対値を、逐次
に加算してマップメモリの各画素メモリにそれぞれ記憶
し、該記憶された中の一定値より大きい加算データを、
反射率が異常に大きい除去エリアに対する除去閾値と
し、該除去閾値とそのマップメモリのアドレスをRAM
に記憶し、前記各ICチップの検査において、該記憶さ
れたアドレスに対応する画素信号に対して該除去閾値を
設定して除去し、前記除去エリアのマップ表示を消去す
ることを特徴とする、ICチップの除去エリアの消去方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3228836A JP2996264B2 (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Icチップの除去エリアの消去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3228836A JP2996264B2 (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Icチップの除去エリアの消去方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0621179A JPH0621179A (ja) | 1994-01-28 |
JP2996264B2 true JP2996264B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=16882624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3228836A Expired - Fee Related JP2996264B2 (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Icチップの除去エリアの消去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2996264B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08156870A (ja) * | 1994-12-07 | 1996-06-18 | Tomizou Yoshikawa | 電動モータ付き自転車 |
JP2012251935A (ja) * | 2011-06-06 | 2012-12-20 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 検査装置及び検査方法 |
JP7153037B2 (ja) * | 2020-01-17 | 2022-10-13 | 矢崎総業株式会社 | ワイヤハーネス |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP3228836A patent/JP2996264B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0621179A (ja) | 1994-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7643668B2 (en) | Workpiece inspection apparatus, workpiece inspection method and computer-readable recording medium storing program | |
US20080175466A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
JPH07113966B2 (ja) | 二次元画像処理方法および装置 | |
KR960013357B1 (ko) | 화상데이타 검사방법 및 장치 | |
US20070165938A1 (en) | Pattern inspection apparatus and method and workpiece tested thereby | |
JP5372365B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2996264B2 (ja) | Icチップの除去エリアの消去方法 | |
JP2996263B2 (ja) | 異物検出用の最適閾値決定方法 | |
JP4594833B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP3944075B2 (ja) | 試料検査方法及び検査装置 | |
JP4074624B2 (ja) | パターン検査方法 | |
JP3135063B2 (ja) | 比較検査方法および装置 | |
US8208713B2 (en) | Method and system for inspecting a diced wafer | |
JP2000180377A (ja) | 欠陥・異物検査装置 | |
JP3219094B2 (ja) | チップサイズ検出方法およびチップピッチ検出方法およびチップ配列データ自動作成方法ならびにそれを用いた半導体基板の検査方法および装置 | |
JP3040014B2 (ja) | エリア別検出閾値の設定方法 | |
JPH05129397A (ja) | 異物検出方法及び装置 | |
JP3101773B2 (ja) | ウエハ異物検査装置 | |
JP2003057193A (ja) | 異物検査装置 | |
JP3621222B2 (ja) | 半導体基板のパターン配列認識方法 | |
JPH04279041A (ja) | パターン欠陥検出方法 | |
JPH0546737A (ja) | 異物検出閾値の設定方法 | |
JP3040013B2 (ja) | 浮動閾値による異物検出方式 | |
JP2002195955A (ja) | 半導体欠陥検査方法及び半導体欠陥検査装置 | |
JPH11274254A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071029 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081029 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091029 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091029 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101029 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |