JP2993479B2 - レーザパワーモニタ装置 - Google Patents
レーザパワーモニタ装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザパワーモニ
タ装置に係り、特に、レーザ加工用に使用されるレーザ
装置に併設されて使用されるレーザパワーモニタ装置に
関する。
タ装置に係り、特に、レーザ加工用に使用されるレーザ
装置に併設されて使用されるレーザパワーモニタ装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来例を示す。この図３に示す従
来例は、レーザ発振器１０１から加工物１０２に向けて
出力されるレーザ光Ａの光軸上に配置され当該レーザ光
の一部を反射するビームスプリッタ６１と、このビーム
スプリッタ６１で反射されるレーザ光を検出する出力光
検出器６２と、この出力光検出器６２で検出されたレー
ザ光に基づいて前述したレーザ発振器１０１から出力さ
れるレーザ光の出力レベルを算定し表示するパワー表示
器６３とを備えている。符号６４は、前述した出力光検
出器６２の出力信号を増幅する増幅器を示す。これによ
り、レーザ発振器１０１からのレーザ光は、パワー表示
器６３にて比較的良好にパワーモニタされるようになっ
ている。
来例は、レーザ発振器１０１から加工物１０２に向けて
出力されるレーザ光Ａの光軸上に配置され当該レーザ光
の一部を反射するビームスプリッタ６１と、このビーム
スプリッタ６１で反射されるレーザ光を検出する出力光
検出器６２と、この出力光検出器６２で検出されたレー
ザ光に基づいて前述したレーザ発振器１０１から出力さ
れるレーザ光の出力レベルを算定し表示するパワー表示
器６３とを備えている。符号６４は、前述した出力光検
出器６２の出力信号を増幅する増幅器を示す。これによ
り、レーザ発振器１０１からのレーザ光は、パワー表示
器６３にて比較的良好にパワーモニタされるようになっ
ている。
【０００３】ここで、符号６５はレーザ光Ａを加工物に
向けて案内する固定光学系を示す。この固定光学系６５
は、前述したビームスプリッタ６１の透過レーザ光をと
りこむファイバー入射レンズ６５Ａと，このレーザ光を
所定の下降箇所まで案内する光ファイバ６５Ｂと，この
光ファイバ６５Ｂによって案内されたレーザ光を所定の
加工物１０２に向けて出力する集光レンズ６５Ｃとによ
り構成されている。
向けて案内する固定光学系を示す。この固定光学系６５
は、前述したビームスプリッタ６１の透過レーザ光をと
りこむファイバー入射レンズ６５Ａと，このレーザ光を
所定の下降箇所まで案内する光ファイバ６５Ｂと，この
光ファイバ６５Ｂによって案内されたレーザ光を所定の
加工物１０２に向けて出力する集光レンズ６５Ｃとによ
り構成されている。
【０００４】更に、レーザパワーモニタ装置の他の例と
しては、例えば、実開昭６２−０６００６２号公報，お
よび特開昭５９−０５８８８５号公報がある。
しては、例えば、実開昭６２−０６００６２号公報，お
よび特開昭５９−０５８８８５号公報がある。
【０００５】この内、実開昭６２−０６００６２号公報
記載のレーザパワーモニタ装置は、ビームスプリッター
に無反射コート板を用いてパワーモニタを行うという手
法を採用している。
記載のレーザパワーモニタ装置は、ビームスプリッター
に無反射コート板を用いてパワーモニタを行うという手
法を採用している。
【０００６】又、特開昭５９−０５８８８５号公報記載
のレーザパワーモニタ装置では、レーザ光の偏光が直線
偏光でなく、Ｐ偏光，Ｓ偏光のいずれの偏光であっても
出力に比例したパワー情報を得ることができるように、
これに対応する二つのビームスプリッターを用いてい
る。そして、第１のビームスプリッターと第２のビーム
スプリッターでは当該各ビームスプリッターへの入射角
を同じとし、入射面は直交させておき、この各ビームス
プリッターを介して光検出器によりパワーモニタを行う
という手法を採用している。
のレーザパワーモニタ装置では、レーザ光の偏光が直線
偏光でなく、Ｐ偏光，Ｓ偏光のいずれの偏光であっても
出力に比例したパワー情報を得ることができるように、
これに対応する二つのビームスプリッターを用いてい
る。そして、第１のビームスプリッターと第２のビーム
スプリッターでは当該各ビームスプリッターへの入射角
を同じとし、入射面は直交させておき、この各ビームス
プリッターを介して光検出器によりパワーモニタを行う
という手法を採用している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
従来例にあっては、加工物から光軸上に反射されてレー
ザ装置に戻ってくる反射光が、レーザ発振器の出力反射
鏡で反射され出力光と共に再出力され、更に、ビームス
プリッタにより反射されて出力光に混入して検出される
という構成上の本質的な不都合が常に存在していた。こ
のため、上記各従来例にあっては、レーザ加工時と非加
工時とでは、レーザ出力が一定であるにもかかわらずパ
ワーモニター値が変動するという不都合があった。
従来例にあっては、加工物から光軸上に反射されてレー
ザ装置に戻ってくる反射光が、レーザ発振器の出力反射
鏡で反射され出力光と共に再出力され、更に、ビームス
プリッタにより反射されて出力光に混入して検出される
という構成上の本質的な不都合が常に存在していた。こ
のため、上記各従来例にあっては、レーザ加工時と非加
工時とでは、レーザ出力が一定であるにもかかわらずパ
ワーモニター値が変動するという不都合があった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、レーザ加工物より光軸上に反射されて戻って
くる反射戻り光の影響を排除し、これによってレーザパ
ワーモニターを高精度に成し得る信頼性の高いレーザパ
ワーモニタ装置を提供することを、その目的とする。
を改善し、レーザ加工物より光軸上に反射されて戻って
くる反射戻り光の影響を排除し、これによってレーザパ
ワーモニターを高精度に成し得る信頼性の高いレーザパ
ワーモニタ装置を提供することを、その目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、レーザ発振器から加工物
に向けて出力されるレーザ光の光軸上に配置され当該レ
ーザ光の一部を反射するビームスプリッタと、このビー
ムスプリッタで反射される前記レーザ光を検出する出力
光検出器と、この出力光検出器で検出されたレーザ光に
基づいて前述したレーザ発振器から出力されるレーザ光
の出力レベルを表示するパワー表示器とを備えたレーザ
パワーモニタ装置において、前述したビームスプリッタ
により反射される加工物からの反射戻り光の一部を検出
する戻り光検出器を、前述したビームスプリッタに併設
する。
め、請求項１記載の発明では、レーザ発振器から加工物
に向けて出力されるレーザ光の光軸上に配置され当該レ
ーザ光の一部を反射するビームスプリッタと、このビー
ムスプリッタで反射される前記レーザ光を検出する出力
光検出器と、この出力光検出器で検出されたレーザ光に
基づいて前述したレーザ発振器から出力されるレーザ光
の出力レベルを表示するパワー表示器とを備えたレーザ
パワーモニタ装置において、前述したビームスプリッタ
により反射される加工物からの反射戻り光の一部を検出
する戻り光検出器を、前述したビームスプリッタに併設
する。
【００１０】そして、出力光検出器によって検出される
出射光信号を戻り光検出器によって検出される反射戻り
光信号によって補正しレーザ発振器出力のパワー表示を
行うようにする、という構成を採っている。
出射光信号を戻り光検出器によって検出される反射戻り
光信号によって補正しレーザ発振器出力のパワー表示を
行うようにする、という構成を採っている。
【００１１】この請求項１記載の発明では、まず、レー
ザ発振器１０１より出力されたレーザ光は、ビームスプ
リッタ１１でその一部が反射され出力光検出器１２でモ
ニターされる。ビームスプリッタ１１を通過したレーザ
光Ａは、加工物１０２まで導かれて当該加工物１０２を
加工するが、この際、加工物１０２よりレーザ光の一部
が反射されてレーザ発振器１０１まで戻ってくる。反射
戻り光Ｂの一部は、ビームスプリッタ１１で取り出され
て戻り光検出器２２でモニターされる。
ザ発振器１０１より出力されたレーザ光は、ビームスプ
リッタ１１でその一部が反射され出力光検出器１２でモ
ニターされる。ビームスプリッタ１１を通過したレーザ
光Ａは、加工物１０２まで導かれて当該加工物１０２を
加工するが、この際、加工物１０２よりレーザ光の一部
が反射されてレーザ発振器１０１まで戻ってくる。反射
戻り光Ｂの一部は、ビームスプリッタ１１で取り出され
て戻り光検出器２２でモニターされる。
【００１２】この場合、前述した反射戻り光Ｂの残りの
部分は、ビームスプリッタ１１を通過してレーザ発振器
１０１内に入り、レーザ出力反射鏡１０１Ａで再び反射
され、これがレーザ出力光と同じく出力されてビームス
プリッタ１１により反射されてレーザパワー検出器であ
る出力光検出器１２に入り、その出力信号をドリフトさ
せる。が、これに対し、前述した反射戻り光Ｂをモニタ
ーしている戻り光検出器２２の信号を、例えば前述した
ドリフトしたレーザ出力のモニター信号より差し引く等
の補正を行う。
部分は、ビームスプリッタ１１を通過してレーザ発振器
１０１内に入り、レーザ出力反射鏡１０１Ａで再び反射
され、これがレーザ出力光と同じく出力されてビームス
プリッタ１１により反射されてレーザパワー検出器であ
る出力光検出器１２に入り、その出力信号をドリフトさ
せる。が、これに対し、前述した反射戻り光Ｂをモニタ
ーしている戻り光検出器２２の信号を、例えば前述した
ドリフトしたレーザ出力のモニター信号より差し引く等
の補正を行う。
【００１３】これにより、レーザ加工中でも反射戻り光
の影響を受けない正確で且つ安定したレーザパワーモニ
タが可能となる。
の影響を受けない正確で且つ安定したレーザパワーモニ
タが可能となる。
【００１４】請求項２乃至５記載の各発明では、まず、
レーザ発振器から加工物に向けて出力されるレーザ光の
光軸上に配置されて当該レーザ光の一部を反射するビー
ムスプリッタと、このビームスプリッタで反射されるレ
ーザ光を検出する出力光検出器と、この出力光検出器で
検出されたレーザ光に基づいて前述したレーザ発振器か
ら出力されるレーザ光の出力レベルを表示するパワー表
示器とを備えたレーザパワーモニタ装置において、ビー
ムスプリッタにより反射される加工物からの反射戻り光
の一部を検出する戻り光検出器を、前述したビームスプ
リッタに併設する。
レーザ発振器から加工物に向けて出力されるレーザ光の
光軸上に配置されて当該レーザ光の一部を反射するビー
ムスプリッタと、このビームスプリッタで反射されるレ
ーザ光を検出する出力光検出器と、この出力光検出器で
検出されたレーザ光に基づいて前述したレーザ発振器か
ら出力されるレーザ光の出力レベルを表示するパワー表
示器とを備えたレーザパワーモニタ装置において、ビー
ムスプリッタにより反射される加工物からの反射戻り光
の一部を検出する戻り光検出器を、前述したビームスプ
リッタに併設する。
【００１５】そして、前述した出力光検出器および戻り
光検出器の各出力を入力すると共に，前述した出力光検
出器の出力を前述した戻り光検出器の出力によって補正
する光検出器補正手段を、前述した各パワー表示器と出
力光検出器との間に装備する、という構成を、共通の基
本構成として採用している。ここで、前述した光検出器
補正手段を差動増幅器にて構成してもよい。また、出力
光検出器および戻り光検出器の各出力段には、当該各検
出器出力を個別に補正する系数調整器を装備してもよ
い。更に、パワー表示器については、ディジタル表示し
たものであってもよい。
光検出器の各出力を入力すると共に，前述した出力光検
出器の出力を前述した戻り光検出器の出力によって補正
する光検出器補正手段を、前述した各パワー表示器と出
力光検出器との間に装備する、という構成を、共通の基
本構成として採用している。ここで、前述した光検出器
補正手段を差動増幅器にて構成してもよい。また、出力
光検出器および戻り光検出器の各出力段には、当該各検
出器出力を個別に補正する系数調整器を装備してもよ
い。更に、パワー表示器については、ディジタル表示し
たものであってもよい。
【００１６】このため、この請求項２乃至５記載の各発
明では、前述した請求項１記載の発明と同等に機能する
ほか、特に光検出器補正手段を装備したので、ドリフト
したレーザ出力のモニター信号からそのドリフト成分を
確実に且つ高精度に差し引くことができる。これによ
り、レーザ加工中でも反射戻り光の影響を受けない正確
で且つ安定したレーザパワーモニタが可能となる。
明では、前述した請求項１記載の発明と同等に機能する
ほか、特に光検出器補正手段を装備したので、ドリフト
したレーザ出力のモニター信号からそのドリフト成分を
確実に且つ高精度に差し引くことができる。これによ
り、レーザ加工中でも反射戻り光の影響を受けない正確
で且つ安定したレーザパワーモニタが可能となる。
【００１７】このように、本発明では、反射戻り光の一
部をビームスプリッターにて検出しているため、反射も
どり光がどのくらいあるかを測定できる。更に、この反
射もどり光の信号と、パワーモニターの信号との差分を
とって表示することにより、反射もどり光があっても正
確かつ安定したパワーモニターが可能となる。
部をビームスプリッターにて検出しているため、反射も
どり光がどのくらいあるかを測定できる。更に、この反
射もどり光の信号と、パワーモニターの信号との差分を
とって表示することにより、反射もどり光があっても正
確かつ安定したパワーモニターが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図２に基づいて説明する。図１において、符号１０
１はレーザ発振器を示す。このレーザ発振器１０１は、
本実施形態では、前述した図３に示す従来例の場合と同
様に、波長１．０６〔μｍ〕で発振するＹＡＧレーザ発
振器が使用されている。
乃至図２に基づいて説明する。図１において、符号１０
１はレーザ発振器を示す。このレーザ発振器１０１は、
本実施形態では、前述した図３に示す従来例の場合と同
様に、波長１．０６〔μｍ〕で発振するＹＡＧレーザ発
振器が使用されている。
【００１９】又、符号１１はビームスプリッタを示す。
このビームスプリッタ１１は、ガラス基板上に波長１．
０６〔μｍ〕のＹＡＧレーザを約１〔％〕反射する誘電
体多層膜コートが両面に施されている。このビームスプ
リッタ１１は、レーザ発振器１０１から加工物１０２に
向けて出力されるレーザ光Ａ0 の光軸上に配置され且つ
当該レーザ光の一部を反射する機能を備えている。
このビームスプリッタ１１は、ガラス基板上に波長１．
０６〔μｍ〕のＹＡＧレーザを約１〔％〕反射する誘電
体多層膜コートが両面に施されている。このビームスプ
リッタ１１は、レーザ発振器１０１から加工物１０２に
向けて出力されるレーザ光Ａ0 の光軸上に配置され且つ
当該レーザ光の一部を反射する機能を備えている。
【００２０】このビームスプリッタ１１で反射されるレ
ーザ光ａは、シリコン・フォトダイオードを備えた出力
光検出器１２で検出される。そして、この出力光検出器
１２で検出されるレーザ光ａを後述するように所定の補
正をした後、レーザ発振器１０１の真の出力レベルとし
てパワー表示器１３にてデジタル表示するようになって
いる。
ーザ光ａは、シリコン・フォトダイオードを備えた出力
光検出器１２で検出される。そして、この出力光検出器
１２で検出されるレーザ光ａを後述するように所定の補
正をした後、レーザ発振器１０１の真の出力レベルとし
てパワー表示器１３にてデジタル表示するようになって
いる。
【００２１】前述したビームスプリッタ１１を通過した
通過レーザ光Ａは、固定光学系２０によって加工物１０
２まで導かれて当該加工物１０２を加工する。ここで、
この固定光学系２０は、前述したビームスプリッタ１１
の透過レーザ光Ａ1 をとりこむファイバー入射レンズ２
０Ａと，このレーザ光を所定の下降箇所まで案内する光
ファイバ２０Ｂと，この光ファイバ２０Ｂによって案内
されたレーザ光を所定の加工物１０２に向けて出力する
集光レンズ２０Ｃとを備えた構成となっている。
通過レーザ光Ａは、固定光学系２０によって加工物１０
２まで導かれて当該加工物１０２を加工する。ここで、
この固定光学系２０は、前述したビームスプリッタ１１
の透過レーザ光Ａ1 をとりこむファイバー入射レンズ２
０Ａと，このレーザ光を所定の下降箇所まで案内する光
ファイバ２０Ｂと，この光ファイバ２０Ｂによって案内
されたレーザ光を所定の加工物１０２に向けて出力する
集光レンズ２０Ｃとを備えた構成となっている。
【００２２】上記ファイバー入射レンズ２０Ａとして
は、焦点距離２０〔ｍｍ〕のものが使用されている。
又、光ファイバ２０Ｂとしては、コア径６００〔μ
ｍ〕，ＮＡ０．２，長さ５〔ｍ〕のものが使用されてい
る。そして、例えばワークディスタンス１００〔ｍｍ〕
を隔てて、集光レンズ２０Ｃより加工物１０２に対して
集光され、これによって当該加工物がレーザ加工され
る。
は、焦点距離２０〔ｍｍ〕のものが使用されている。
又、光ファイバ２０Ｂとしては、コア径６００〔μ
ｍ〕，ＮＡ０．２，長さ５〔ｍ〕のものが使用されてい
る。そして、例えばワークディスタンス１００〔ｍｍ〕
を隔てて、集光レンズ２０Ｃより加工物１０２に対して
集光され、これによって当該加工物がレーザ加工され
る。
【００２３】一方、ビームスプリッタ１１には、前述し
た加工物１０２からの反射戻り光の一部を検出する戻り
光検出器２２が併設されている。そして、本実施形態に
あっては、この戻り光検出器２２によって検出された反
射戻り光信号にて前述した出力光検出器１２で検出され
る出射光信号を補正し（実際には差をとる）、これをパ
ワー表示器１３にパワー表示するようになっている。
た加工物１０２からの反射戻り光の一部を検出する戻り
光検出器２２が併設されている。そして、本実施形態に
あっては、この戻り光検出器２２によって検出された反
射戻り光信号にて前述した出力光検出器１２で検出され
る出射光信号を補正し（実際には差をとる）、これをパ
ワー表示器１３にパワー表示するようになっている。
【００２４】これを更に詳述する。図１において、符号
１６は光検出器補正手段としての差動増幅器を示す。こ
の差動増幅器１６は、前述した出力光検出器１２および
戻り光検出器２２の各出力側とパワー表示器１３との間
に装備されている。そして、この差動増幅器１６は、前
述した出力光検出器１２および戻り光検出器２２の各出
力を入力すると共に，当該出力光検出器１２の出力を前
述した戻り光検出器２２の出力によって補正する機能を
備えている。
１６は光検出器補正手段としての差動増幅器を示す。こ
の差動増幅器１６は、前述した出力光検出器１２および
戻り光検出器２２の各出力側とパワー表示器１３との間
に装備されている。そして、この差動増幅器１６は、前
述した出力光検出器１２および戻り光検出器２２の各出
力を入力すると共に，当該出力光検出器１２の出力を前
述した戻り光検出器２２の出力によって補正する機能を
備えている。
【００２５】又、前述した出力光検出器１２および戻り
光検出器２２の各出力段には、図１に示すように、当該
各検出器１２，２２の出力を個別に増幅する第１，第２
の増幅器１２Ａ，２２Ａと、この増幅された各検出器出
力１２，２２の出力を個別に補正する第１，第２の系数
調整器１２Ｂ，２２Ｂとが装備されている。
光検出器２２の各出力段には、図１に示すように、当該
各検出器１２，２２の出力を個別に増幅する第１，第２
の増幅器１２Ａ，２２Ａと、この増幅された各検出器出
力１２，２２の出力を個別に補正する第１，第２の系数
調整器１２Ｂ，２２Ｂとが装備されている。
【００２６】次に、上記実施形態の動作について説明す
る。
る。
【００２７】ＹＡＧレーザ発振器１０１より出力された
レーザ光Ａ0 は、図１乃至図２に示すように、ビームス
プリッタ１１によってその一部が反射される。この反射
された部分の出力光ａは、レーザパワー検出器としての
出力光検出器１２に捕捉され、出力に比例した電気信号
に変換される。この出力光検出器１２の出力信号１２ａ
は、第１の増幅器１２Ａ，第１の系数調整器１２Ｂを通
って差動増幅器１６に入力する。ここで、出力信号１２
ａは、実際には、後述するように反射戻り光Ｂ1 によっ
てドリフトされている（図２参照）。
レーザ光Ａ0 は、図１乃至図２に示すように、ビームス
プリッタ１１によってその一部が反射される。この反射
された部分の出力光ａは、レーザパワー検出器としての
出力光検出器１２に捕捉され、出力に比例した電気信号
に変換される。この出力光検出器１２の出力信号１２ａ
は、第１の増幅器１２Ａ，第１の系数調整器１２Ｂを通
って差動増幅器１６に入力する。ここで、出力信号１２
ａは、実際には、後述するように反射戻り光Ｂ1 によっ
てドリフトされている（図２参照）。
【００２８】一方、ビームスプリッタ１１を透過したレ
ーザ出力光Ａは、ファイバー入射レンズ２０Ａにより光
ファイバ２０Ｂに入射される。光ファイバ２０Ｂより出
力したレーザ光は、集光レンズ２０Ｃにより加工物１０
２上に集光され、当該加工物１０２をレーザ加工する。
ーザ出力光Ａは、ファイバー入射レンズ２０Ａにより光
ファイバ２０Ｂに入射される。光ファイバ２０Ｂより出
力したレーザ光は、集光レンズ２０Ｃにより加工物１０
２上に集光され、当該加工物１０２をレーザ加工する。
【００２９】ここで、レーザ加工時には、加工物１０２
より反射されるレーザ光が存在する。この反射レーザ光
は、光軸上に反射され、集光レンズ２０Ｃによって再び
光ファイバ２０Ｂに入射され、そのまま、反射戻り光Ｂ
としてビームスプリッタ１１に到達する。この反射戻り
光Ｂ0 は、ビームスプリッタ１１にて一部は反射され
る。このビームスプリッタ１１にて反射された部分の反
射戻り光ｂは、戻り光検出器２２で反射光量に比例した
電気信号に変換される。その後、上記戻り光検出器２２
の出力信号２２ｂは、第２の増幅器２２Ａ，第２の系数
調整器２２Ｂを通って差動増幅器１６に入力する。
より反射されるレーザ光が存在する。この反射レーザ光
は、光軸上に反射され、集光レンズ２０Ｃによって再び
光ファイバ２０Ｂに入射され、そのまま、反射戻り光Ｂ
としてビームスプリッタ１１に到達する。この反射戻り
光Ｂ0 は、ビームスプリッタ１１にて一部は反射され
る。このビームスプリッタ１１にて反射された部分の反
射戻り光ｂは、戻り光検出器２２で反射光量に比例した
電気信号に変換される。その後、上記戻り光検出器２２
の出力信号２２ｂは、第２の増幅器２２Ａ，第２の系数
調整器２２Ｂを通って差動増幅器１６に入力する。
【００３０】他方、ビームスプリッター１１を透過した
成分の反射戻り光Ｂ1 は、レーザ発振器１０１まで戻っ
てきてレーザ出力反射鏡１０１Ａにて前述したレーザ出
力光Ａ0 と同軸に反射される。この反射出力された反射
戻り光Ｂ1 は、その一部がビームスプリッタ１１にて反
射され、その結果、前述したレーザ出力光Ａ0 のモニタ
ー光ａと同じく出力光検出器１２に再び入射し、出力信
号ａをその分だけドリフトさせることになる。
成分の反射戻り光Ｂ1 は、レーザ発振器１０１まで戻っ
てきてレーザ出力反射鏡１０１Ａにて前述したレーザ出
力光Ａ0 と同軸に反射される。この反射出力された反射
戻り光Ｂ1 は、その一部がビームスプリッタ１１にて反
射され、その結果、前述したレーザ出力光Ａ0 のモニタ
ー光ａと同じく出力光検出器１２に再び入射し、出力信
号ａをその分だけドリフトさせることになる。
【００３１】この反射戻り光Ｂ1 によってドリフトされ
ビームスプリッター１１にて反射検出された後、所定の
係数が掛け合わされたモニター信号１２ａは、図１乃至
図２に示すように、差動増幅器１６に入力されるが、予
め前述した戻り光検出器２２によって検出され且つ第２
の系数調整器２２Ｂによってドリフト量と同じレベルに
なるよう調整された反射戻り光信号２２ｂとの差分をと
ることにより、このドリフト分が相殺される。これによ
って、正しいモニター信号ａ0 が出力されることとな
る。
ビームスプリッター１１にて反射検出された後、所定の
係数が掛け合わされたモニター信号１２ａは、図１乃至
図２に示すように、差動増幅器１６に入力されるが、予
め前述した戻り光検出器２２によって検出され且つ第２
の系数調整器２２Ｂによってドリフト量と同じレベルに
なるよう調整された反射戻り光信号２２ｂとの差分をと
ることにより、このドリフト分が相殺される。これによ
って、正しいモニター信号ａ0 が出力されることとな
る。
【００３２】即ち、反射戻り光Ｂをモニターしている戻
り光検出器２２の信号を系数調整器２２Ｂを通して適当
な系数を掛けた後、これを、前述したドリフトしたレー
ザ出力モニタ信号（出力光検出器１２の出力）より差し
引く。かかる演算は前述した差動増幅器１６で行われ
る。これにより、レーザ加工中でも反射戻り光の影響を
受けない正確で且つ安定したレーザパワーモニタが可能
となる。
り光検出器２２の信号を系数調整器２２Ｂを通して適当
な系数を掛けた後、これを、前述したドリフトしたレー
ザ出力モニタ信号（出力光検出器１２の出力）より差し
引く。かかる演算は前述した差動増幅器１６で行われ
る。これにより、レーザ加工中でも反射戻り光の影響を
受けない正確で且つ安定したレーザパワーモニタが可能
となる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明によると、レーザ加
工物からの反射戻り光でドリフトされたレーザ出力光の
モニター信号から、予め別に捕捉した反射戻り光のモニ
ター信号を差し引くことによってそのドリフト量を相殺
するようにしたので、レーザ加工物からの反射戻り光が
あっても、正確なパワーモニターができるという従来に
ない優れたレーザパワーモニタ装置を提供することがで
きる。
工物からの反射戻り光でドリフトされたレーザ出力光の
モニター信号から、予め別に捕捉した反射戻り光のモニ
ター信号を差し引くことによってそのドリフト量を相殺
するようにしたので、レーザ加工物からの反射戻り光が
あっても、正確なパワーモニターができるという従来に
ない優れたレーザパワーモニタ装置を提供することがで
きる。
【図１】本発明の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１に開示した装置による出射光信号の補正例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】従来例を示す説明図である。
１１ ビームスプリッタ １２ 出力光検出器 １２Ｂ 第１の系数調整器 １３ パワー表示器 １６ 差動増幅器 ２２ 戻り光検出器 ２２Ｂ 第２の系数調整器 １０１ レーザ発振器 １０２ 加工物 Ａ0 レーザ出力光 Ｂ0 反射もどり光 ａ 出力光の一部 ｂ 戻り光の一部 ａ0 出力光のモニター信号
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ発振器から加工物に向けて出力さ
れるレーザ光の光軸上に配置され当該レーザ光の一部を
反射するビームスプリッタと、このビームスプリッタで
反射されるレーザ光を検出する出力光検出器と、この出
力光検出器で検出されたレーザ光に基づいて前記レーザ
発振器から出力されるレーザ光の出力レベルを表示する
パワー表示器とを備えたレーザパワーモニタ装置におい
て、 前記ビームスプリッタにより反射される前記加工物から
の反射戻り光の一部を検出する戻り光検出器を、前記ビ
ームスプリッタに併設すると共に、 前記出力光検出器によって検出された出射光信号を前記
戻り光検出器によって検出された反射戻り光信号により
補正して前記レーザ発振器の出力のパワー表示を行うよ
うにしたことを特徴とするレーザパワーモニタ装置。 - 【請求項２】 レーザ発振器から加工物に向けて出力さ
れるレーザ光の光軸上に配置され当該レーザ光の一部を
反射するビームスプリッタと、このビームスプリッタで
反射されるレーザ光を検出する出力光検出器と、この出
力光検出器で検出されたレーザ光に基づいて前記レーザ
発振器から出力されるレーザ光の出力レベルを表示する
パワー表示器とを備えたレーザパワーモニタ装置におい
て、 前記ビームスプリッタにより反射される前記加工物から
の反射戻り光の一部を検出する戻り光検出器を、前記ビ
ームスプリッタに併設し、 前記出力光検出器および前記戻り光検出器の各出力を入
力すると共に，前記出力光検出器の出力を前記戻り光検
出器の出力によって補正する光検出器補正手段を、前記
出力光検出器および戻り光検出器の出力側と前記パワー
表示器との間に装備したことを特徴とするレーザパワー
モニタ装置。 - 【請求項３】 前記光検出器補正手段を、差動増幅器に
より構成したことを特徴とする請求項２記載のレーザパ
ワーモニタ装置。 - 【請求項４】 前記出力光検出器および戻り光検出器の
各出力段に、当該各検出器出力を個別に補正する系数調
整器を装備したことを特徴とする請求項１，２又は３記
載のレーザパワーモニタ装置。 - 【請求項５】 前記前記パワー表示器としてディジタル
表示方式を採用したことを特徴とする請求項２，３又は
４記載のレーザパワーモニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9277679A JP2993479B2 (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | レーザパワーモニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9277679A JP2993479B2 (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | レーザパワーモニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11121834A JPH11121834A (ja) | 1999-04-30 |
| JP2993479B2 true JP2993479B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=17586802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9277679A Expired - Fee Related JP2993479B2 (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | レーザパワーモニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2993479B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041406A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加熱設備 |
| JP5118866B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2013-01-16 | 株式会社キーエンス | レーザマーカ及びレーザパワーの表示調整方法 |
| DE102014108259A1 (de) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | Scanlab Ag | Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung |
| CN104483102A (zh) * | 2014-12-06 | 2015-04-01 | 温州市质量技术监督检测院 | 二氧化碳激光器功率特性智能在线测试装置 |
-
1997
- 1997-10-09 JP JP9277679A patent/JP2993479B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11121834A (ja) | 1999-04-30 |
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