JP2976804B2 - Ｔｃｐデバイスのボンディング方法 - Google Patents
Ｔｃｐデバイスのボンディング方法Info
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- JP2976804B2 JP2976804B2 JP6091406A JP9140694A JP2976804B2 JP 2976804 B2 JP2976804 B2 JP 2976804B2 JP 6091406 A JP6091406 A JP 6091406A JP 9140694 A JP9140694 A JP 9140694A JP 2976804 B2 JP2976804 B2 JP 2976804B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴＣＰデバイスのボン
ディング方法に関するものである。
ディング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＴＣＰ（Ｔａｐｅ ｃａｒｒｉｅｒ ｐ
ａｃｋａｇｅ）デバイスはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏ
ｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）法により、微細かつ狭ピ
ッチのリード部が形成されたフィルムキャリアテープに
半導体チップがボンディングされ、このフィルムキャリ
アテープのリード部を打抜装置により打抜いて得られる
ものである。そして、ＴＣＰデバイスは薄いフィルムキ
ャリアテープにより支持されており、このフィルムキャ
リアテープは通常供給リールに巻回された状態で打抜装
置に供給される。したがってフィルムキャリアテープの
巻きぐせによって湾曲していることが多い。一方ＴＣＰ
デバイスは極めて狭ピッチのリード部を有しており、こ
のリード部を基板の電極形成面に位置精度よく正確にボ
ンディングされるものであり、吸着ノズルによりＴＣＰ
デバイスを吸着して基板の電極形成面に搭載する際に、
高い位置精度が必要となる。
ａｃｋａｇｅ）デバイスはＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏ
ｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）法により、微細かつ狭ピ
ッチのリード部が形成されたフィルムキャリアテープに
半導体チップがボンディングされ、このフィルムキャリ
アテープのリード部を打抜装置により打抜いて得られる
ものである。そして、ＴＣＰデバイスは薄いフィルムキ
ャリアテープにより支持されており、このフィルムキャ
リアテープは通常供給リールに巻回された状態で打抜装
置に供給される。したがってフィルムキャリアテープの
巻きぐせによって湾曲していることが多い。一方ＴＣＰ
デバイスは極めて狭ピッチのリード部を有しており、こ
のリード部を基板の電極形成面に位置精度よく正確にボ
ンディングされるものであり、吸着ノズルによりＴＣＰ
デバイスを吸着して基板の電極形成面に搭載する際に、
高い位置精度が必要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルでは、ＴＣＰデバイスの湾
曲を矯正できるものがなく、移載されたＴＣＰデバイス
の位置精度が低いという問題点があった。
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルでは、ＴＣＰデバイスの湾
曲を矯正できるものがなく、移載されたＴＣＰデバイス
の位置精度が低いという問題点があった。
【０００４】そこで本発明は、ＴＣＰデバイスを精度良
く移載できるＴＣＰデバイスのボンディング方法を提供
することを目的とする。
く移載できるＴＣＰデバイスのボンディング方法を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＴＣＰデバイ
スをデバイス下受部に押さえる押え部を有する基体と、
前記基体に設けられてＴＣＰデバイスを吸着する吸着部
とを備え、前記吸着部は弾性体により形成されている吸
着ノズルを用いたＴＣＰデバイスのボンディング方法で
あって、前記吸着部によりＴＣＰデバイスを吸着して吸
着ノズルを下降させ、ＴＣＰデバイスを基板の電極形成
面およびデバイス下受部に着地させ、その状態で前記押
え部と前記デバイス下受部によりＴＣＰデバイスを上下
から挟んでＴＣＰデバイスの湾曲を矯正し、その状態で
圧着ツールをＴＣＰデバイスに押しつけてＴＣＰデバイ
スを前記電極形成面に圧着するようにした。
スをデバイス下受部に押さえる押え部を有する基体と、
前記基体に設けられてＴＣＰデバイスを吸着する吸着部
とを備え、前記吸着部は弾性体により形成されている吸
着ノズルを用いたＴＣＰデバイスのボンディング方法で
あって、前記吸着部によりＴＣＰデバイスを吸着して吸
着ノズルを下降させ、ＴＣＰデバイスを基板の電極形成
面およびデバイス下受部に着地させ、その状態で前記押
え部と前記デバイス下受部によりＴＣＰデバイスを上下
から挟んでＴＣＰデバイスの湾曲を矯正し、その状態で
圧着ツールをＴＣＰデバイスに押しつけてＴＣＰデバイ
スを前記電極形成面に圧着するようにした。
【０００６】
【作用】上記構成により、ＴＣＰデバイスは吸着部によ
って吸着され、基板の電極形成面へ移載される。このと
き、押え部がＴＣＰデバイスを押さえ付け、ＴＣＰデバ
イスの湾曲が取除かれ、ＴＣＰデバイスはフラットな姿
勢となる。このため、ＴＣＰデバイスの湾曲による位置
精度低下を抑制することができる。
って吸着され、基板の電極形成面へ移載される。このと
き、押え部がＴＣＰデバイスを押さえ付け、ＴＣＰデバ
イスの湾曲が取除かれ、ＴＣＰデバイスはフラットな姿
勢となる。このため、ＴＣＰデバイスの湾曲による位置
精度低下を抑制することができる。
【０００７】
【実施例】次に図面を参照しながら本発明の第１の実施
例を説明する。図１は本発明の第１の実施例におけるＴ
ＣＰデバイスの吸着ノズルの斜視図、図２，図３は本発
明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノズル
の動作説明図である。図１中、１は断面逆Ｌ字状をなす
基体であり、このうち１ａは水平部、１ｂは水平部１ａ
の長手方向の一側縁から垂直下方に垂下する垂下部であ
り、垂下部１ｂの下端面は水平な押え部１ｃとなってい
る。即ち押え部１ｃは基体１の長手方向と平行に設けら
れている。また２は水平部１ａから上方に突出し、ノズ
ルホルダ３（図２参照）に着脱自在に挿入される挿入
部、２ａは挿入部２内を貫通し、吸引装置４に連通する
内筒である。また５，６は水平部１ａの下面から下方に
突設され、ゴムなどの弾性体から形成される円筒状の吸
着部であり、５ａ，６ａは吸着部５，６の吸引孔であっ
て、吸引孔５ａ，６ａは挿入部２の内筒２ａに連通す
る。また５ｂ，６ｂは吸着部５，６の下端に位置する吸
着面である。即ち、吸引装置４を駆動して吸着面５ｂ，
６ｂをＴＣＰデバイスＤ（図３参照）に接触させれば、
ＴＣＰデバイスＤを吸着すると共に押え部１ｃに押し当
てることができる。
例を説明する。図１は本発明の第１の実施例におけるＴ
ＣＰデバイスの吸着ノズルの斜視図、図２，図３は本発
明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノズル
の動作説明図である。図１中、１は断面逆Ｌ字状をなす
基体であり、このうち１ａは水平部、１ｂは水平部１ａ
の長手方向の一側縁から垂直下方に垂下する垂下部であ
り、垂下部１ｂの下端面は水平な押え部１ｃとなってい
る。即ち押え部１ｃは基体１の長手方向と平行に設けら
れている。また２は水平部１ａから上方に突出し、ノズ
ルホルダ３（図２参照）に着脱自在に挿入される挿入
部、２ａは挿入部２内を貫通し、吸引装置４に連通する
内筒である。また５，６は水平部１ａの下面から下方に
突設され、ゴムなどの弾性体から形成される円筒状の吸
着部であり、５ａ，６ａは吸着部５，６の吸引孔であっ
て、吸引孔５ａ，６ａは挿入部２の内筒２ａに連通す
る。また５ｂ，６ｂは吸着部５，６の下端に位置する吸
着面である。即ち、吸引装置４を駆動して吸着面５ｂ，
６ｂをＴＣＰデバイスＤ（図３参照）に接触させれば、
ＴＣＰデバイスＤを吸着すると共に押え部１ｃに押し当
てることができる。
【０００８】図２において、７は挿入部２をノズルホル
ダ３に着脱自在に係止する板ばね、８は液晶パネルなど
の基板９が載置される基板下受部、９ａは基板９の側部
に形成される電極形成面、１０は基板下受部８と対向
し、ＴＣＰデバイスＤを下受けするデバイス下受部、１
１はＴＣＰデバイスＤと電極形成面９ａとを圧着してボ
ンディングを行う圧着ツールである。したがって、図２
に示すようにＴＣＰデバイスＤを吸着部５，６により吸
着し、押え部１ｃに接触させた状態から、図３に示すよ
うにノズルホルダ３を下降させ、ＴＣＰデバイスＤをデ
バイス下受部１０上と電極形成面９ａ上に着地させる。
そして圧着ツール１１によりＴＣＰデバイスＤと電極形
成面９ａとを圧着するものである。
ダ３に着脱自在に係止する板ばね、８は液晶パネルなど
の基板９が載置される基板下受部、９ａは基板９の側部
に形成される電極形成面、１０は基板下受部８と対向
し、ＴＣＰデバイスＤを下受けするデバイス下受部、１
１はＴＣＰデバイスＤと電極形成面９ａとを圧着してボ
ンディングを行う圧着ツールである。したがって、図２
に示すようにＴＣＰデバイスＤを吸着部５，６により吸
着し、押え部１ｃに接触させた状態から、図３に示すよ
うにノズルホルダ３を下降させ、ＴＣＰデバイスＤをデ
バイス下受部１０上と電極形成面９ａ上に着地させる。
そして圧着ツール１１によりＴＣＰデバイスＤと電極形
成面９ａとを圧着するものである。
【０００９】さて図４は本発明の第１の実施例における
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルの正面図、図５，図６は本
発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノズ
ルの動作説明図である。ここで本実施例では、吸着部
５，６を弾性体（ゴムなど）により形成すると共に、図
４に示すように吸着面５ｂ，６ｂが押え部１ｃよりもわ
ずかに下方に突出するようにしている。このため、必ず
押え部１ｃよりも先に吸着面５ｂ，６ｂがＴＣＰデバイ
スＤに接触する。したがって図５に示すようにＴＣＰデ
バイスＤが湾曲していても、押え部１ｃのみがＴＣＰデ
バイスＤに接して吸着面５ｂ，６ｂが接触しないという
事態を生ずることはなく、吸着面５ｂ，６ｂによりＴＣ
ＰデバイスＤを確実に吸着することができる。そして図
６に示すように、デバイス下受部１０上にＴＣＰデバイ
スＤを着地させた際、吸着部５，６がその弾性により上
下方向に若干縮んで押え部１ｃとデバイス下受部１０に
より上下から面状に挟んで、ＴＣＰデバイスＤの湾曲を
矯正することができる。
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルの正面図、図５，図６は本
発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノズ
ルの動作説明図である。ここで本実施例では、吸着部
５，６を弾性体（ゴムなど）により形成すると共に、図
４に示すように吸着面５ｂ，６ｂが押え部１ｃよりもわ
ずかに下方に突出するようにしている。このため、必ず
押え部１ｃよりも先に吸着面５ｂ，６ｂがＴＣＰデバイ
スＤに接触する。したがって図５に示すようにＴＣＰデ
バイスＤが湾曲していても、押え部１ｃのみがＴＣＰデ
バイスＤに接して吸着面５ｂ，６ｂが接触しないという
事態を生ずることはなく、吸着面５ｂ，６ｂによりＴＣ
ＰデバイスＤを確実に吸着することができる。そして図
６に示すように、デバイス下受部１０上にＴＣＰデバイ
スＤを着地させた際、吸着部５，６がその弾性により上
下方向に若干縮んで押え部１ｃとデバイス下受部１０に
より上下から面状に挟んで、ＴＣＰデバイスＤの湾曲を
矯正することができる。
【００１０】次に第２の実施例について説明する。図７
は本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着
ノズルの斜視図、図８は本発明の第２の実施例における
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルの正面図、図９，図１０は
本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノ
ズルの動作説明図である。第２の実施例では、第１の実
施例に対し基体の構成が相違する。１２は略門形の基体
であり、１２ａはその水平部、１２ｂ，１２ｃは水平部
１２ａの長手方向の両端部から下方に垂下する一対の垂
下部であり、垂下部１２ｂ，１２ｃの下端面は、水平な
押え部１２ｅ，１２ｄとなっている。また図８に示すよ
うに、第１の実施例と同様、押え部１２ｅ，１２ｄより
も吸着面５ｂ，６ｂはわずかに下方に突出している。こ
のため、図９に示すように押え部１２ｅ，１２ｄより
も、必ず吸着面５ｂ，６ｂがＴＣＰデバイスＤに接触
し、吸着ミスを防止できる。ここで第２の実施例では、
図１０に示すように、押え部１２ｅ，１２ｄは、デバイ
ス下受部１０と共に、ＴＣＰデバイスＤを面状に挟み込
み、湾曲を矯正する。
は本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着
ノズルの斜視図、図８は本発明の第２の実施例における
ＴＣＰデバイスの吸着ノズルの正面図、図９，図１０は
本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイスの吸着ノ
ズルの動作説明図である。第２の実施例では、第１の実
施例に対し基体の構成が相違する。１２は略門形の基体
であり、１２ａはその水平部、１２ｂ，１２ｃは水平部
１２ａの長手方向の両端部から下方に垂下する一対の垂
下部であり、垂下部１２ｂ，１２ｃの下端面は、水平な
押え部１２ｅ，１２ｄとなっている。また図８に示すよ
うに、第１の実施例と同様、押え部１２ｅ，１２ｄより
も吸着面５ｂ，６ｂはわずかに下方に突出している。こ
のため、図９に示すように押え部１２ｅ，１２ｄより
も、必ず吸着面５ｂ，６ｂがＴＣＰデバイスＤに接触
し、吸着ミスを防止できる。ここで第２の実施例では、
図１０に示すように、押え部１２ｅ，１２ｄは、デバイ
ス下受部１０と共に、ＴＣＰデバイスＤを面状に挟み込
み、湾曲を矯正する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｔ
ＣＰデバイスの湾曲を矯正し、ＴＣＰデバイスを基板に
位置精度よく正確に圧着することができる。
ＣＰデバイスの湾曲を矯正し、ＴＣＰデバイスを基板に
位置精度よく正確に圧着することができる。
【図１】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの斜視図
の吸着ノズルの斜視図
【図２】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの動作説明図
の吸着ノズルの動作説明図
【図３】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの動作説明図
の吸着ノズルの動作説明図
【図４】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの正面図
の吸着ノズルの正面図
【図５】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの動作説明図
の吸着ノズルの動作説明図
【図６】本発明の第１の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの動作説明図
の吸着ノズルの動作説明図
【図７】本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの斜視図
の吸着ノズルの斜視図
【図８】本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの正面図
の吸着ノズルの正面図
【図９】本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイス
の吸着ノズルの動作説明図
の吸着ノズルの動作説明図
【図１０】本発明の第２の実施例におけるＴＣＰデバイ
スの吸着ノズルの動作説明図
スの吸着ノズルの動作説明図
１ 基体 １ｃ 押え部 ５ 吸着部 ６ 吸着部 １２ 基体 １２ｄ 押え部 １２ｅ 押え部 Ｄ ＴＣＰデバイス
Claims (1)
- 【請求項１】ＴＣＰデバイスをデバイス下受部に押さえ
る押え部を有する基体と、前記基体に設けられてＴＣＰ
デバイスを吸着する吸着部とを備え、前記吸着部は弾性
体により形成されている吸着ノズルを用いたＴＣＰデバ
イスのボンディング方法であって、前記吸着部によりＴ
ＣＰデバイスを吸着して吸着ノズルを下降させ、ＴＣＰ
デバイスを基板の電極形成面およびデバイス下受部に着
地させ、その状態で前記押え部と前記デバイス下受部に
よりＴＣＰデバイスを上下から挟んでＴＣＰデバイスの
湾曲を矯正し、その状態で圧着ツールをＴＣＰデバイス
に押しつけてＴＣＰデバイスを前記電極形成面に圧着す
るようにしたことを特徴とするＴＣＰデバイスのボンデ
ィング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6091406A JP2976804B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Ｔｃｐデバイスのボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6091406A JP2976804B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Ｔｃｐデバイスのボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07297595A JPH07297595A (ja) | 1995-11-10 |
| JP2976804B2 true JP2976804B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=14025507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6091406A Expired - Fee Related JP2976804B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | Ｔｃｐデバイスのボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2976804B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4889122B2 (ja) * | 2007-09-14 | 2012-03-07 | イビデンエンジニアリング株式会社 | 基板吸着搬送装置 |
| CN201115154Y (zh) * | 2007-09-21 | 2008-09-10 | 常州市亚细亚包装有限公司 | 电器定位安置软座 |
| JP5554671B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-07-23 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | ダイボンディング装置及びボンディング方法 |
| US10052705B2 (en) | 2012-08-30 | 2018-08-21 | Universal Instruments Corporation | 3D TSV assembly method for mass reflow |
| JP7322011B2 (ja) | 2017-11-02 | 2023-08-07 | ユニヴァーサル インストゥルメンツ コーポレイション | リフローの前後で部品を保持する固定具および方法関連出願の相互参照 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP6091406A patent/JP2976804B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07297595A (ja) | 1995-11-10 |
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Legal Events
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