JP2946090B2 - アンモニアガスセンサの製造方法 - Google Patents
アンモニアガスセンサの製造方法Info
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- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 3
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 51
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 9
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
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- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
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- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
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- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスセンサに関
し、特にアンモニアガスセンサとその製造方法及びアン
モニアガス感知方法に関する。
し、特にアンモニアガスセンサとその製造方法及びアン
モニアガス感知方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスセンサは、大気中の還元性
ガスがセンサの感知物質表面に吸着され、センサの表面
で酸化／還元反応が生じ、電子交換が行われる一連の過
程を経て動作する。すなわち、還元性ガスＲが、加熱さ
れたセンサの表面にすでに吸着されていた酸素イオンと
反応して、下式のように導電電子を発生させてセンサの
電気導電度（抵抗）が変化する。 Ｏー＋Ｒ→ＲＯ＋ｅ- 又は Ｏ2 -＋Ｒ→ＲＯ2＋２ｅ- このような反応は還元性ガス（Ｒ）の種類、センサの感
知物質の種類、添加触媒の種類と量、動作温度等により
変わる。このため、感知しようとするガスの種類に基づ
いてセンサの感知物質の種類、触媒の種類と量を適切に
調整しなければならない。更に、センサの表面を適当な
温度に加熱しなければならないので、ヒータをセンサに
装着する必要がある。そのため、これに対する経済性且
つ耐久性を顧慮しなければならない。
ガスがセンサの感知物質表面に吸着され、センサの表面
で酸化／還元反応が生じ、電子交換が行われる一連の過
程を経て動作する。すなわち、還元性ガスＲが、加熱さ
れたセンサの表面にすでに吸着されていた酸素イオンと
反応して、下式のように導電電子を発生させてセンサの
電気導電度（抵抗）が変化する。 Ｏー＋Ｒ→ＲＯ＋ｅ- 又は Ｏ2 -＋Ｒ→ＲＯ2＋２ｅ- このような反応は還元性ガス（Ｒ）の種類、センサの感
知物質の種類、添加触媒の種類と量、動作温度等により
変わる。このため、感知しようとするガスの種類に基づ
いてセンサの感知物質の種類、触媒の種類と量を適切に
調整しなければならない。更に、センサの表面を適当な
温度に加熱しなければならないので、ヒータをセンサに
装着する必要がある。そのため、これに対する経済性且
つ耐久性を顧慮しなければならない。
【０００３】現在アンモニアガスを選択的に感知可能な
ガスセンサが殆ど無い。従来は多種のガスにも反応し、
かつアンモニアガスをも感知可能なセンサはあった。以
下、添付図面に基づき従来の技術のガスセンサを説明す
る。図１は従来技術によるガスセンサを示す構造図であ
る。ガスセンサは、センサを加熱するためコイル状に巻
かれたヒータ２がセラミックチューブ１内に装着され、
チューブの外壁に電極３が形成され、リーダー線４が電
極３に連結され、電極３上に感知膜５が塗布された構造
である。この際、感知膜５は、酸化錫（ＳｎＯ2 ）にパ
ラジウム（Ｐｄ）触媒が添加されたもので、アンモニア
ガスの外に水素（Ｈ2 ）、アルコール類などの還元性ガ
スにも反応するため、低濃度のアンモニアを感知するに
は限界があった。
ガスセンサが殆ど無い。従来は多種のガスにも反応し、
かつアンモニアガスをも感知可能なセンサはあった。以
下、添付図面に基づき従来の技術のガスセンサを説明す
る。図１は従来技術によるガスセンサを示す構造図であ
る。ガスセンサは、センサを加熱するためコイル状に巻
かれたヒータ２がセラミックチューブ１内に装着され、
チューブの外壁に電極３が形成され、リーダー線４が電
極３に連結され、電極３上に感知膜５が塗布された構造
である。この際、感知膜５は、酸化錫（ＳｎＯ2 ）にパ
ラジウム（Ｐｄ）触媒が添加されたもので、アンモニア
ガスの外に水素（Ｈ2 ）、アルコール類などの還元性ガ
スにも反応するため、低濃度のアンモニアを感知するに
は限界があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来技術
ガスセンサは次の問題があった。 センサの感度（抵抗変化率）が低いため、低濃度（数
十ｐｐｍ以下）のアンモニアガスを感知しにくい。 アンモニアガスだけでなく還元性ガスによってもセン
サの抵抗が変化するため、アンモニアガスを選択的に感
知しにくい。
ガスセンサは次の問題があった。 センサの感度（抵抗変化率）が低いため、低濃度（数
十ｐｐｍ以下）のアンモニアガスを感知しにくい。 アンモニアガスだけでなく還元性ガスによってもセン
サの抵抗が変化するため、アンモニアガスを選択的に感
知しにくい。
【０００５】本発明は上記問題を解決するためになされ
たもので、その目的は、低濃度のアンモニアガスを感知
できる優れた感度を有するアンモニアガスセンサとその
製造方法及びアンモニアガス感知方法を提供することに
ある。本発明の他の目的は、アンモニアガスに対する選
択性を向上させたアンモニアガスセンサとその製造方法
及びアンモニアガス感知方法を提供することである。
たもので、その目的は、低濃度のアンモニアガスを感知
できる優れた感度を有するアンモニアガスセンサとその
製造方法及びアンモニアガス感知方法を提供することに
ある。本発明の他の目的は、アンモニアガスに対する選
択性を向上させたアンモニアガスセンサとその製造方法
及びアンモニアガス感知方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決しようとする手段】本発明に係るアンモニ
アガスセンサは、基板の下部に所定のパターンに形成さ
れるヒータ部と、基板の上部に所定のパターンに形成さ
れる第１、第２電極部と、第１電極部上の一定領域に形
成された、Ｆｅ酸化物を含む第１感知部と、第２電極部
上の一定領域に形成され、触媒物質が添加された第２感
知部とを備えることを特徴とする。
アガスセンサは、基板の下部に所定のパターンに形成さ
れるヒータ部と、基板の上部に所定のパターンに形成さ
れる第１、第２電極部と、第１電極部上の一定領域に形
成された、Ｆｅ酸化物を含む第１感知部と、第２電極部
上の一定領域に形成され、触媒物質が添加された第２感
知部とを備えることを特徴とする。
【０００７】本発明に係るアンモニアガスセンサの製造
方法は、基板の下部に所定の形状に発熱のためのヒータ
部を形成するステップと、基板の上部に所定の形状に第
１、第２電極部を形成するステップと、第１、第２電極
部を含む基板上の一定領域にＦｅ酸化物を含む第１感知
部と触媒物質が添加された第２感知部とを形成するステ
ップと、第１、第２電極部及びヒータ部にそれぞれワイ
ヤを連結するステップとを備えることを特徴とする。
方法は、基板の下部に所定の形状に発熱のためのヒータ
部を形成するステップと、基板の上部に所定の形状に第
１、第２電極部を形成するステップと、第１、第２電極
部を含む基板上の一定領域にＦｅ酸化物を含む第１感知
部と触媒物質が添加された第２感知部とを形成するステ
ップと、第１、第２電極部及びヒータ部にそれぞれワイ
ヤを連結するステップとを備えることを特徴とする。
【０００８】本発明に係るアンモニアガス感知方法は、
上記センサを使用し、ヒータに電圧を印加して基板を加
熱し、第１、第２感知部に電圧を印加して多種のガスに
対する第１感知部、第２感知部の抵抗値をそれぞれ測定
し、測定された各々の抵抗値を比較し、その比較値にて
アンモニアの存否を判断することを特徴とする。
上記センサを使用し、ヒータに電圧を印加して基板を加
熱し、第１、第２感知部に電圧を印加して多種のガスに
対する第１感知部、第２感知部の抵抗値をそれぞれ測定
し、測定された各々の抵抗値を比較し、その比較値にて
アンモニアの存否を判断することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明実施形態のアンモニ
アガスセンサとその製造方法及びアンモニアガス感知方
法を添付図面に基づき説明する。図２は本発明のアンモ
ニアガスセンサの一実施形態による製造工程流れ図であ
る。図２に示すように、まず、原料粉（ＳｎＯ2）に添
加物質（ＷＯ3）をボールミル等の装置又は手で混合及
び粉砕して平均粒度が数μｍ以下になるようにした後有
機バインダと混ぜ合わせてペースト状の第１感知物質を
作り、ＳｎＯ2 の酸化物半導体とＷＯ3 に有機バインダ
を混ぜ合わせてペースト状の第２感知物質を作る。そし
て、３ロールミルを利用して第１、第２感知物質をスク
リーン印刷（後工程で）するに適当な粘度を有するよう
調節する。このとき、第１、第２感知物質に添加された
有機バインダは後工程のスクリーン印刷後、熱処理工程
時に除去される。
アガスセンサとその製造方法及びアンモニアガス感知方
法を添付図面に基づき説明する。図２は本発明のアンモ
ニアガスセンサの一実施形態による製造工程流れ図であ
る。図２に示すように、まず、原料粉（ＳｎＯ2）に添
加物質（ＷＯ3）をボールミル等の装置又は手で混合及
び粉砕して平均粒度が数μｍ以下になるようにした後有
機バインダと混ぜ合わせてペースト状の第１感知物質を
作り、ＳｎＯ2 の酸化物半導体とＷＯ3 に有機バインダ
を混ぜ合わせてペースト状の第２感知物質を作る。そし
て、３ロールミルを利用して第１、第２感知物質をスク
リーン印刷（後工程で）するに適当な粘度を有するよう
調節する。このとき、第１、第２感知物質に添加された
有機バインダは後工程のスクリーン印刷後、熱処理工程
時に除去される。
【００１０】一方、基板はアルミナを使用し、適当な素
子のサイズにレーザでスクライビングして素子の製造工
程が終わってから個別素子に容易に分離できるように用
意する。そして、基板を洗浄した後、白金（Ｐｔ）ペー
ストを用いて基板の上部に第１、第２電極パターンを印
刷し、基板の下部にヒータパターンを印刷する。次い
で、第１、第２電極及びヒータパターンの形成された基
板を乾燥し、約１１００℃で熱処理した後、第１電極上
の一部分を含む基板の上部の一定領域に第１感知物質で
第１感知部を印刷し、第２電極上の一部分を含む基板の
上部の一定領域に第２感知物質で第２感知部を印刷す
る。その後、第１、第２感知部の形成された基板を約１
５０℃で３０分間乾燥し、空気中で約７００℃で１時間
程度焼結する。
子のサイズにレーザでスクライビングして素子の製造工
程が終わってから個別素子に容易に分離できるように用
意する。そして、基板を洗浄した後、白金（Ｐｔ）ペー
ストを用いて基板の上部に第１、第２電極パターンを印
刷し、基板の下部にヒータパターンを印刷する。次い
で、第１、第２電極及びヒータパターンの形成された基
板を乾燥し、約１１００℃で熱処理した後、第１電極上
の一部分を含む基板の上部の一定領域に第１感知物質で
第１感知部を印刷し、第２電極上の一部分を含む基板の
上部の一定領域に第２感知物質で第２感知部を印刷す
る。その後、第１、第２感知部の形成された基板を約１
５０℃で３０分間乾燥し、空気中で約７００℃で１時間
程度焼結する。
【００１１】そして、第１感知部の表面にＦｅＣｌ3 水
溶液をコーティングし、且つ第２感知部にＰｔ触媒を添
加してから熱処理すると、第１感知部にはＦｅが酸化さ
れてＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4）が残る。この
とき、第１感知部の表面にＦｅＣｌ3 水溶液をコーティ
ングする工程は選択的に後工程であるワイヤボンディン
グ工程後に行ってもよく、また、第２感知部にＰｔ触媒
を添加する工程は初期工程である第２感知物質を作る工
程の時に選択的に行ってもよい。次いで、第１、第２電
極及びヒータのパッド領域にそれぞれ白金（Ｐｔ）ワイ
ヤにてボンディングし、第１、第２電極及びヒータが形
成された基板の前裏面をパッケージングすることによ
り、アンモニアガスセンサを完成する。
溶液をコーティングし、且つ第２感知部にＰｔ触媒を添
加してから熱処理すると、第１感知部にはＦｅが酸化さ
れてＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4）が残る。この
とき、第１感知部の表面にＦｅＣｌ3 水溶液をコーティ
ングする工程は選択的に後工程であるワイヤボンディン
グ工程後に行ってもよく、また、第２感知部にＰｔ触媒
を添加する工程は初期工程である第２感知物質を作る工
程の時に選択的に行ってもよい。次いで、第１、第２電
極及びヒータのパッド領域にそれぞれ白金（Ｐｔ）ワイ
ヤにてボンディングし、第１、第２電極及びヒータが形
成された基板の前裏面をパッケージングすることによ
り、アンモニアガスセンサを完成する。
【００１２】図３ａは本発明実施形態のアンモニアガス
センサの表面を示す平面図であり、図３ｂは本アンモニ
アガスセンサの裏面を示す平面図である。その構造は、
図３ａに示すように、基板１１の表面の一定領域に第
１、第２電極１２、１３が形成され、基板１１の表面の
第１電極１２の一部分を含む一定領域に第１感知部１４
が形成され、第２電極１３の一部分を含む一定領域に第
２感知部１５が形成される。この第１感知部１４はＳｎ
Ｏ2、ＷＯ3、及びＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4）
で構成され、第２感知部はＳｎＯ2、ＷＯ3、及びＰｔで
構成される。すなわち、第１感知部１４は多種のガスの
うちアンモニアガスに敏感に反応する感知物質で構成さ
れ、第２感知部１５は一種の補償部であり、アンモニア
ガスには相対的に敏感でないがアンモニアガス以外のガ
スに対しては第１感知部１４と同じ程度に反応する感知
物質で構成される。そして、図３ｂに示すように、基板
１１の裏面の一定領域にはヒータ１６が形成されてい
る。
センサの表面を示す平面図であり、図３ｂは本アンモニ
アガスセンサの裏面を示す平面図である。その構造は、
図３ａに示すように、基板１１の表面の一定領域に第
１、第２電極１２、１３が形成され、基板１１の表面の
第１電極１２の一部分を含む一定領域に第１感知部１４
が形成され、第２電極１３の一部分を含む一定領域に第
２感知部１５が形成される。この第１感知部１４はＳｎ
Ｏ2、ＷＯ3、及びＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4）
で構成され、第２感知部はＳｎＯ2、ＷＯ3、及びＰｔで
構成される。すなわち、第１感知部１４は多種のガスの
うちアンモニアガスに敏感に反応する感知物質で構成さ
れ、第２感知部１５は一種の補償部であり、アンモニア
ガスには相対的に敏感でないがアンモニアガス以外のガ
スに対しては第１感知部１４と同じ程度に反応する感知
物質で構成される。そして、図３ｂに示すように、基板
１１の裏面の一定領域にはヒータ１６が形成されてい
る。
【００１３】次に、このような構造を有するアンモニア
ガスセンサにおける第１、第２感知部の抵抗変化の特性
について説明する。まず、ガスに対する第１感知部の抵
抗変化を考察してみる。図４は第１感知部でのアンモニ
ア１０ｐｐｍに対する抵抗変化を示すグラフである。同
図に示すようにアンモニアガスによって第１感知部の抵
抗が増加することが判る。一般に、ｎ型酸化物半導体感
知物質から構成されたガスセンサの場合は還元性ガスに
より感知物質の抵抗が減少するが、本発明に係る第１感
知部の感知物質は逆に抵抗が増加する。これは、添加さ
れたＷＯ3及びＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4 ）に
よってセンサの表面でアンモニアガスが窒素酸化物ガス
（ＮＯx ）のような酸化性ガス成分に分解されて、第１
感知部内の電子濃度を減少させるからである。
ガスセンサにおける第１、第２感知部の抵抗変化の特性
について説明する。まず、ガスに対する第１感知部の抵
抗変化を考察してみる。図４は第１感知部でのアンモニ
ア１０ｐｐｍに対する抵抗変化を示すグラフである。同
図に示すようにアンモニアガスによって第１感知部の抵
抗が増加することが判る。一般に、ｎ型酸化物半導体感
知物質から構成されたガスセンサの場合は還元性ガスに
より感知物質の抵抗が減少するが、本発明に係る第１感
知部の感知物質は逆に抵抗が増加する。これは、添加さ
れたＷＯ3及びＦｅ酸化物（Ｆｅ2Ｏ3又はＦｅ3Ｏ4 ）に
よってセンサの表面でアンモニアガスが窒素酸化物ガス
（ＮＯx ）のような酸化性ガス成分に分解されて、第１
感知部内の電子濃度を減少させるからである。
【００１４】又、図５はアンモニア濃度に応ずる第１感
知部の感度（抵抗変化率）を示すグラフである。同図に
示すように、アンモニアガスの一般環境許容値である５
０ｐｐｍ以下の濃度を充分に感知できるので、アンモニ
ア感知特性が優秀であることが判る。
知部の感度（抵抗変化率）を示すグラフである。同図に
示すように、アンモニアガスの一般環境許容値である５
０ｐｐｍ以下の濃度を充分に感知できるので、アンモニ
ア感知特性が優秀であることが判る。
【００１５】更に、図６は種々のガスによる第１感知部
の抵抗変化特性を示すグラフである。同図に示すように
アンモニアガス以外の還元性ガス類にも反応するが、一
般還元性ガス（アルコール、メタン、プロパン、一酸化
炭素など）には抵抗が減少し且つアンモニアガスには抵
抗が増加することが判る。一方、第２感知部の場合は、
アンモニアガスには抵抗が若干減少し、他の還元性ガス
には第１感知部以上に抵抗が減少する特徴がある。すな
わち、感知しようとする特定のガス（アンモニア）には
抵抗が互いに逆になるか（アンモニアガスに対して第１
感知部は抵抗増加、第２感知部は抵抗減少）又は変化率
が異なるよう示され、且つその以外のガスには抵抗変化
率が略同じに示される第１、第２感知部を用いると、ア
ンモニアガスを選択的に感知することができるものであ
る。
の抵抗変化特性を示すグラフである。同図に示すように
アンモニアガス以外の還元性ガス類にも反応するが、一
般還元性ガス（アルコール、メタン、プロパン、一酸化
炭素など）には抵抗が減少し且つアンモニアガスには抵
抗が増加することが判る。一方、第２感知部の場合は、
アンモニアガスには抵抗が若干減少し、他の還元性ガス
には第１感知部以上に抵抗が減少する特徴がある。すな
わち、感知しようとする特定のガス（アンモニア）には
抵抗が互いに逆になるか（アンモニアガスに対して第１
感知部は抵抗増加、第２感知部は抵抗減少）又は変化率
が異なるよう示され、且つその以外のガスには抵抗変化
率が略同じに示される第１、第２感知部を用いると、ア
ンモニアガスを選択的に感知することができるものであ
る。
【００１６】このような抵抗変化を有するアンモニアガ
スセンサを用いたアンモニアガス感知方法を以下に説明
する。図７は本発明のアンモニアガスセンサを回路的に
示す図である。同図に示すように、まず、ヒータに電圧
（ＶH ）を印加してアンモニアセンサを２００〜４００
℃に加熱する。次いで、第１、第２感知部に電圧
（ＶC ）を印加してガスに対する第１感知部の抵抗（Ｒ
S）と第２感知部の抵抗（ＲC）との比（Ｘ）により出力
値（Ｖout）を測定する。すなわち、出力値Ｖout ＝ＶC
（（１／（１＋Ｘ））、Ｘ＝ＲS／ＲCと表現できる。
スセンサを用いたアンモニアガス感知方法を以下に説明
する。図７は本発明のアンモニアガスセンサを回路的に
示す図である。同図に示すように、まず、ヒータに電圧
（ＶH ）を印加してアンモニアセンサを２００〜４００
℃に加熱する。次いで、第１、第２感知部に電圧
（ＶC ）を印加してガスに対する第１感知部の抵抗（Ｒ
S）と第２感知部の抵抗（ＲC）との比（Ｘ）により出力
値（Ｖout）を測定する。すなわち、出力値Ｖout ＝ＶC
（（１／（１＋Ｘ））、Ｘ＝ＲS／ＲCと表現できる。
【００１７】図８はＶCが５Ｖであるときの各ガスによ
る出力値を示すグラフである。同図に示すように、どん
なガスも存しない一般的な空気中での抵抗比は０．０７
Ωであり、出力電圧は４．６Ｖ程度である。他の還元性
ガスによる出力電圧は一般空気中での値と略同じであ
り、アンモニアガスの場合のみが約３Ｖ値に変化するた
め、アンモニアガスを選択的に感知可能である。すなわ
ち、第１、第２感知部は他の還元性ガスには抵抗値自体
は変わるが変化率は略同じである。しかしながら、アン
モニアガスには変化率が明確に異なることが判る。
る出力値を示すグラフである。同図に示すように、どん
なガスも存しない一般的な空気中での抵抗比は０．０７
Ωであり、出力電圧は４．６Ｖ程度である。他の還元性
ガスによる出力電圧は一般空気中での値と略同じであ
り、アンモニアガスの場合のみが約３Ｖ値に変化するた
め、アンモニアガスを選択的に感知可能である。すなわ
ち、第１、第２感知部は他の還元性ガスには抵抗値自体
は変わるが変化率は略同じである。しかしながら、アン
モニアガスには変化率が明確に異なることが判る。
【００１８】このようにして製造されるガスセンサ及び
ガス感知方法は、２つの感知部を選定し、２つの感知部
の抵抗変化の差を利用する。他の実施形態としてアンモ
ニアガス以外の他のガスの場合も選択的に感知できる。
すなわち、適当な感知素子及び補償素子が１つの素子上
に形成された構造を有するガスセンサは、周辺ガスのう
ち特定ガスのみを正確に分離して選択的に感知できるの
で、多様なガス感知システムに利用することができる。
例えば、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の漏洩警報機に応用すると、
既存の半導体式ガスセンサの短所である誤動作を防止す
ることができる。更に、自動車排気ガス分析器等の炭化
水素ガスの濃度を測定しようとするシステムにも応用し
得る。
ガス感知方法は、２つの感知部を選定し、２つの感知部
の抵抗変化の差を利用する。他の実施形態としてアンモ
ニアガス以外の他のガスの場合も選択的に感知できる。
すなわち、適当な感知素子及び補償素子が１つの素子上
に形成された構造を有するガスセンサは、周辺ガスのう
ち特定ガスのみを正確に分離して選択的に感知できるの
で、多様なガス感知システムに利用することができる。
例えば、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の漏洩警報機に応用すると、
既存の半導体式ガスセンサの短所である誤動作を防止す
ることができる。更に、自動車排気ガス分析器等の炭化
水素ガスの濃度を測定しようとするシステムにも応用し
得る。
【００１９】
【発明の効果】本発明のアンモニアガスセンサとその製
造方法及びアンモニアガス感知方法においては次の効果
がある。 センサの感度（抵抗変化率）が高いため、数十ｐｐｍ
以下の低濃度のアンモニアガスを充分に感知できるほど
感知特性が優秀である。 感知しようとする特定ガス以外のガスに影響を受けな
いため、ガスセンサの選択性が優秀である。
造方法及びアンモニアガス感知方法においては次の効果
がある。 センサの感度（抵抗変化率）が高いため、数十ｐｐｍ
以下の低濃度のアンモニアガスを充分に感知できるほど
感知特性が優秀である。 感知しようとする特定ガス以外のガスに影響を受けな
いため、ガスセンサの選択性が優秀である。
【図１】 従来の技術のガスセンサを示す構造図。
【図２】 本発明実施形態のアンモニアガスセンサの製
造工程流れ図。
造工程流れ図。
【図３】 ａは、実施形態のアンモニアガスセンサの表
面を示す平面図、ｂは、本発明のアンモニアガスセンサ
の裏面を示す平面図。
面を示す平面図、ｂは、本発明のアンモニアガスセンサ
の裏面を示す平面図。
【図４】 実施形態のアンモニアガスセンサにおけるア
ンモニア１０ｐｐｍに対する抵抗変化を示すグラフ。
ンモニア１０ｐｐｍに対する抵抗変化を示すグラフ。
【図５】 アンモニア濃度に応ずるアンモニアガスセン
サの感度（抵抗変化率）を示すグラフ。
サの感度（抵抗変化率）を示すグラフ。
【図６】 各種のガスによるアンモニアガスセンサの抵
抗変化の特性を示すグラフ。
抗変化の特性を示すグラフ。
【図７】 実施形態のアンモニアガスセンサを回路的に
示す図。
示す図。
【図８】 各種のガスによる出力値を示すグラフ。
１１ 基板、１２ 第１電極、 １３ 第２電極、１４
第１感知部、１５ 第２感知部
第１感知部、１５ 第２感知部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 チョル・ハン・コン 大韓民国・キョンギ−ド・ヨンイン− シ・スジ−ウプ・プンドクチュン−リ・ （番地なし）・ヒョンデ アパートメン ト 110−502 (72)発明者 ヒョン・キ・ホン 大韓民国・キョンギ−ド・ガチョン− シ・ブリム−ドン・41・ズゴン アパー トメント 903−105 (72)発明者 スン・ヨル・キム 大韓民国・ソウル・ガンアァ−ク・ボン チョン11−ドン・196−151 （202) (56)参考文献 特開 昭62−126341（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−304318（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−29049（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−271465（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−53600（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−140491（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−103925（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−58899（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−3310（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−3309（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−78404（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−25044（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 27/12
Claims (1)
- 【請求項１】 基板の下部に所定の形状に発熱のための
ヒータ部を形成するステップと、 前記基板の上部に所定の形状に第１、第２電極部を形成
するステップと、 前記基板上の第１電極部の所定の位置にＦｅ酸化物を包
含する第１感知部を形成し、第２電極部の所定の位置に
触媒物質が添加された第２感知部を形成するステップ
と、 前記第１、第２電極部及びヒータ部にそれぞれワイヤを
連結するステップとを備え、 前記第１感知部はＳｎＯ 2 、ＷＯ 3 、及び有機バインダを
混ぜ合わせてペースト状にしてスクリン印刷、乾燥、熱
処理を経た後その表面にＦｅ酸化物を形成し、前記第２
感知部はＳｎＯ 2 、ＷＯ 3 にＰｔを混ぜ合わせて形成する
ことを特徴とするアンモニアガスセンサの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970002253A KR100236334B1 (ko) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | 암모니아 가스센서 및 그의 제조방법과 암모니아 가스 감지방법 |
| KR2253/1997 | 1997-01-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221286A JPH10221286A (ja) | 1998-08-21 |
| JP2946090B2 true JP2946090B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=19495583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10011125A Expired - Fee Related JP2946090B2 (ja) | 1997-01-27 | 1998-01-23 | アンモニアガスセンサの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2946090B2 (ja) |
| KR (1) | KR100236334B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7341694B2 (en) | 2002-09-25 | 2008-03-11 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ammonia sensor |
| JP2015102414A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 後藤 利夫 | ヘリコバクター・ピロリの検出方法及び検出器具 |
| CN112553575B (zh) * | 2020-12-02 | 2022-12-02 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种多层复合二氧化氮气敏薄膜及其制备方法 |
-
1997
- 1997-01-27 KR KR1019970002253A patent/KR100236334B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-01-23 JP JP10011125A patent/JP2946090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10221286A (ja) | 1998-08-21 |
| KR100236334B1 (ko) | 1999-12-15 |
| KR19980066597A (ko) | 1998-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990518 |
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