JP2938493B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JP2938493B2 JP2938493B2 JP2018253A JP1825390A JP2938493B2 JP 2938493 B2 JP2938493 B2 JP 2938493B2 JP 2018253 A JP2018253 A JP 2018253A JP 1825390 A JP1825390 A JP 1825390A JP 2938493 B2 JP2938493 B2 JP 2938493B2
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- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、高密度なダイナミック・ランダム・アクセ
ス・メモリ(以下、DRAMという)等の半導体記憶装置、
特にそのセンスアンプからデータバスへの転送回路構成
及びそのパターン構成に関するものである。
ス・メモリ(以下、DRAMという)等の半導体記憶装置、
特にそのセンスアンプからデータバスへの転送回路構成
及びそのパターン構成に関するものである。
(従来の技術) 従来、この種の半導体記憶装置としては、特開昭63−
211198号公報に記載されるものがあり、複数のメモリア
レイに分割された半導体記憶装置において、各々のメモ
リアレイにスイッチ手段を介して接続された複数のデー
タバス対を有し、センスアンプからメインアンプへ、或
いはその逆方向へデータを転送する構成が知られてい
る。その構成例を第2図に示す。
211198号公報に記載されるものがあり、複数のメモリア
レイに分割された半導体記憶装置において、各々のメモ
リアレイにスイッチ手段を介して接続された複数のデー
タバス対を有し、センスアンプからメインアンプへ、或
いはその逆方向へデータを転送する構成が知られてい
る。その構成例を第2図に示す。
第2図は従来の半導体記憶装置におけるセンスアンプ
・データバス間の要部回路図、及び第3図は第2図中の
センスアンプの回路図である。
・データバス間の要部回路図、及び第3図は第2図中の
センスアンプの回路図である。
第2図はDRAMを示すもので、説明を簡単にするために
4個のセンスアンプ10m,10m+1,10m+2,10m+3とその付近
の回路配線が図示されている。
4個のセンスアンプ10m,10m+1,10m+2,10m+3とその付近
の回路配線が図示されている。
各センスアンプ10m〜10m+3は、第3図に示すように、
2個のNチャネルMOSトランジスタ(以下、NMOSとい
う)11,12で構成され、その各NMOS11,12のゲート及びド
レインがビット線対BL,▲▼にそれぞれ接続され、
さらにその各ソースがセンスアンプ活性化信号(以下
2という)の共通ノードに接続されている。
2個のNチャネルMOSトランジスタ(以下、NMOSとい
う)11,12で構成され、その各NMOS11,12のゲート及びド
レインがビット線対BL,▲▼にそれぞれ接続され、
さらにその各ソースがセンスアンプ活性化信号(以下
2という)の共通ノードに接続されている。
4個のセンスアンプ10m〜10m+3の両端のセンスアンプ
ノード対は、それぞれビット線対(BLm,▲▼m),
(BLm+1,▲▼m+1),(BLm+2,▲▼m+2),(BL
m+3,▲▼m+3)に接続され、s共通ノードが各ビ
ット線対(BLx,▲▼x;但し、x=m,…,m+3)を縦
断している。ビット線(BLm,▲▼m)と(BLm+1,▲
▼m+1)対間、及び(BLm+2,▲▼m+2)と(BL
m+3,▲▼m+3)対間に、それらと平行にコラムライ
ンCLn,CLn+1が配設されている。
ノード対は、それぞれビット線対(BLm,▲▼m),
(BLm+1,▲▼m+1),(BLm+2,▲▼m+2),(BL
m+3,▲▼m+3)に接続され、s共通ノードが各ビ
ット線対(BLx,▲▼x;但し、x=m,…,m+3)を縦
断している。ビット線(BLm,▲▼m)と(BLm+1,▲
▼m+1)対間、及び(BLm+2,▲▼m+2)と(BL
m+3,▲▼m+3)対間に、それらと平行にコラムライ
ンCLn,CLn+1が配設されている。
ビット線対(BLm,▲▼m)はスイッチ手段である
2個のNMOS20m,▲▼mの各ソース(またはドレイ
ン)に接続され、そのNMOS20m,▲▼mの各ゲートが
コラムラインCLnに共通接続され、さらに各ドレイン
(またはソース)が各接点(Pm,m)を介してデータ
バス対(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続されている。
同様に、ビット線対(BLm+1,▲▼m+1)は、NMOS20
m+1,▲▼m+1及び接点(Pm+1,m+1)を介してデー
タバス対(DB1,▲▼1)にそれぞれ接続されてい
る。ビット線対(BLm+2,▲▼m+2)は、NMOS20m+2,
▲▼m+2及び接点Pm+2,m+2を介してデータバス対
(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続されている。また、
ビット線対(BLm+3,▲▼m+3)は、NMOS20m+3,▲
▼m+3及び接点Pm+3,m+3を介してデータバス対(D
B1,▲▼1)にそれぞれ接続されている。
2個のNMOS20m,▲▼mの各ソース(またはドレイ
ン)に接続され、そのNMOS20m,▲▼mの各ゲートが
コラムラインCLnに共通接続され、さらに各ドレイン
(またはソース)が各接点(Pm,m)を介してデータ
バス対(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続されている。
同様に、ビット線対(BLm+1,▲▼m+1)は、NMOS20
m+1,▲▼m+1及び接点(Pm+1,m+1)を介してデー
タバス対(DB1,▲▼1)にそれぞれ接続されてい
る。ビット線対(BLm+2,▲▼m+2)は、NMOS20m+2,
▲▼m+2及び接点Pm+2,m+2を介してデータバス対
(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続されている。また、
ビット線対(BLm+3,▲▼m+3)は、NMOS20m+3,▲
▼m+3及び接点Pm+3,m+3を介してデータバス対(D
B1,▲▼1)にそれぞれ接続されている。
以上の構成において、データ読出し動作では、ビット
線対(BLm,▲▼m)〜(BLm+3,▲▼m+3)にそ
れぞれ接続された図示しないメモリセルの情報が、該セ
ンスアンプ10m〜10m+3にそれぞれ現われる。ビット線対
間のレベル差は、各センスアンプ10m〜10m+3でそれぞれ
増幅され、セル情報が読取られる。ここで、図示しない
列デコーダにより、例えばコラムラインCLnを選択状態
にし、コラムラインCLn+1を非選択状態にすれば、NMOS2
0m,▲▼m,20m+1,▲▼m+1が導通してセンスアン
プ10m〜10m+1がデータバス対(DB0,▲▼0),(DB
1,▲▼1)とそれぞれ導通し、該センスアンプ10m,
10m+1からデータバス対(DB0,▲▼0),(DB1,▲
▼1)へのデータ転送が行える。逆に、データ書込
み動作では、データバス対(DB0,▲▼0),(DB1,
▲▼1)からセンスアンプ10m,10m+1へのデータ転
送が行える。
線対(BLm,▲▼m)〜(BLm+3,▲▼m+3)にそ
れぞれ接続された図示しないメモリセルの情報が、該セ
ンスアンプ10m〜10m+3にそれぞれ現われる。ビット線対
間のレベル差は、各センスアンプ10m〜10m+3でそれぞれ
増幅され、セル情報が読取られる。ここで、図示しない
列デコーダにより、例えばコラムラインCLnを選択状態
にし、コラムラインCLn+1を非選択状態にすれば、NMOS2
0m,▲▼m,20m+1,▲▼m+1が導通してセンスアン
プ10m〜10m+1がデータバス対(DB0,▲▼0),(DB
1,▲▼1)とそれぞれ導通し、該センスアンプ10m,
10m+1からデータバス対(DB0,▲▼0),(DB1,▲
▼1)へのデータ転送が行える。逆に、データ書込
み動作では、データバス対(DB0,▲▼0),(DB1,
▲▼1)からセンスアンプ10m,10m+1へのデータ転
送が行える。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記構成の装置では、次のような課題
があった。
があった。
従来の半導体記憶装置を、例えば高密度なVLSI(very
large scale integrated circuit)等で構成する場
合、ビット線BLm,▲▼m,…,BLm+3,▲▼m+3の線
間ピッチが狭くなるが、線間ピッチが狭くなると、限ら
れた平面内でNMOS20m,▲▼m,…,20m+3,▲▼m+3
等をレイアウト出来なかったり、或いは無駄な面積を必
要とする等、不都合な回路方式になるという問題があっ
た。
large scale integrated circuit)等で構成する場
合、ビット線BLm,▲▼m,…,BLm+3,▲▼m+3の線
間ピッチが狭くなるが、線間ピッチが狭くなると、限ら
れた平面内でNMOS20m,▲▼m,…,20m+3,▲▼m+3
等をレイアウト出来なかったり、或いは無駄な面積を必
要とする等、不都合な回路方式になるという問題があっ
た。
例えば、平面のレイアウト面積を小さくしようとする
場合、1つの配線に2つ以上のノードがあるとき、これ
を共有化することが得策である。即ち、センスアンプ10
m+1と10m+2のsノードを第2図のように共通にして
s配線に接続すると、接点(Pm,m),(Pm+1,
m+1)及び(Pm+2,m+2),(Pm+3,m+3)は、s
ノードとは反対側に、各々センスアンプ10m,10m+1間、
及びセンスアンプ10m+2,10m+3間にレイアウトすること
が望ましい。ところが、そのようなレイアウトにしよう
とすると、接点(Pm,m)をデータバス対(DB0,▲
▼0)へ、接点(Pm+1,m+1)をデータバス対(DB1,
▲▼1)へセンスアンプ10m,10m+1の間で、及び接
点(Pm+2,m+2)をデータバス対(DB0,▲▼0)
へ、接点(Pm+3,m+3)をデータバス対(DB1,▲▼
1)へセンスアンプ10m+1,10m+3の間で、それぞれ接続
出来るようレイアウトしなければならない。しかし、セ
ンスアンプ10m,10m+1の間、センスアンプ10m+2,10m+3の
間では、共通ノードが1つもないので、面積低減化が極
めて困難であった。
場合、1つの配線に2つ以上のノードがあるとき、これ
を共有化することが得策である。即ち、センスアンプ10
m+1と10m+2のsノードを第2図のように共通にして
s配線に接続すると、接点(Pm,m),(Pm+1,
m+1)及び(Pm+2,m+2),(Pm+3,m+3)は、s
ノードとは反対側に、各々センスアンプ10m,10m+1間、
及びセンスアンプ10m+2,10m+3間にレイアウトすること
が望ましい。ところが、そのようなレイアウトにしよう
とすると、接点(Pm,m)をデータバス対(DB0,▲
▼0)へ、接点(Pm+1,m+1)をデータバス対(DB1,
▲▼1)へセンスアンプ10m,10m+1の間で、及び接
点(Pm+2,m+2)をデータバス対(DB0,▲▼0)
へ、接点(Pm+3,m+3)をデータバス対(DB1,▲▼
1)へセンスアンプ10m+1,10m+3の間で、それぞれ接続
出来るようレイアウトしなければならない。しかし、セ
ンスアンプ10m,10m+1の間、センスアンプ10m+2,10m+3の
間では、共通ノードが1つもないので、面積低減化が極
めて困難であった。
本発明は前記従来技術が持っていた課題として、各ビ
ット線の線間ピッチが狭くなった場合、ビット線とデー
タバスとを接続しようとするときに、共通ノードがない
ため、ピッチ内のレイアウトが出来ず、面積低減化が困
難であるという点について解決した半導体記憶装置を提
供するものである。
ット線の線間ピッチが狭くなった場合、ビット線とデー
タバスとを接続しようとするときに、共通ノードがない
ため、ピッチ内のレイアウトが出来ず、面積低減化が困
難であるという点について解決した半導体記憶装置を提
供するものである。
(課題を解決するための手段) 本発明は、前記課題を解決するために、半導体記憶装
置において、例えば、第1の方向に延在するデータバス
対(DB0,▲▼0)と、前記第1の方向に対して略垂
直な第2の方向に延在する第1のビット線対(BLm,▲
▼m)と、前記第1のビット線対(BLm,▲▼m)
に隣合うと共に略平行に延在する第2のビット線対(BL
m+2,▲▼m+2)と、前記第1のビット線対(BLm,▲
▼m)に接続される第1のセンスアンプ(30m)
と、前記第2のビット線対(BLm+2,▲▼m+2)に接
続される第2のセンスアンプ(30m+2)と、第1のコラ
ムライン(CLn)上の信号に応じて、前記第1のビット
線対(BLm,▲▼m)と前記データバス対(DB0,▲
▼0)との間を第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を介して接続する第1のスイ
ッチ手段対(40m,▲▼m)と、第2のコラムライン
(CLn+1)上の信号に応じて、前記第2のビット線対(B
Lm+2,▲▼m+2)と前記データバス対(DB0,▲▼
0)との間を前記第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を介して接続する第2のスイ
ッチ手段対(40m+2,▲▼m+2)とを備え、前記第
1、第2のスイッチ手段対(40m,▲▼m,40m+2,▲
▼m+2)及び前記第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を、前記第1のビット線対
(BLm,▲▼m)と前記第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)の間、かつ、前記データバス対(DB0,▲
▼0)のそれぞれのデータバス(DB0と▲▼0)
の間に配置している。
置において、例えば、第1の方向に延在するデータバス
対(DB0,▲▼0)と、前記第1の方向に対して略垂
直な第2の方向に延在する第1のビット線対(BLm,▲
▼m)と、前記第1のビット線対(BLm,▲▼m)
に隣合うと共に略平行に延在する第2のビット線対(BL
m+2,▲▼m+2)と、前記第1のビット線対(BLm,▲
▼m)に接続される第1のセンスアンプ(30m)
と、前記第2のビット線対(BLm+2,▲▼m+2)に接
続される第2のセンスアンプ(30m+2)と、第1のコラ
ムライン(CLn)上の信号に応じて、前記第1のビット
線対(BLm,▲▼m)と前記データバス対(DB0,▲
▼0)との間を第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を介して接続する第1のスイ
ッチ手段対(40m,▲▼m)と、第2のコラムライン
(CLn+1)上の信号に応じて、前記第2のビット線対(B
Lm+2,▲▼m+2)と前記データバス対(DB0,▲▼
0)との間を前記第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を介して接続する第2のスイ
ッチ手段対(40m+2,▲▼m+2)とを備え、前記第
1、第2のスイッチ手段対(40m,▲▼m,40m+2,▲
▼m+2)及び前記第1、第2の共通ノード
(Pm/m+2,m/m+2)を、前記第1のビット線対
(BLm,▲▼m)と前記第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)の間、かつ、前記データバス対(DB0,▲
▼0)のそれぞれのデータバス(DB0と▲▼0)
の間に配置している。
(作 用) 本発明によれば、以上のように半導体記憶装置を構成
したので、第1、第2のコラムライン上の信号によって
第1、第2のスイッチ手段対をオン、オフ動作させるこ
とにより、第1、第2の共通ノードを介して、第1、第
2のビット線対とデータバス対との間が接続、遮断さ
れ、該第1、第2のビット線対とデータバス対とのデー
タ転送制御が行える。これにより、従来のものと回路的
には等価的な動作が可能となる。
したので、第1、第2のコラムライン上の信号によって
第1、第2のスイッチ手段対をオン、オフ動作させるこ
とにより、第1、第2の共通ノードを介して、第1、第
2のビット線対とデータバス対との間が接続、遮断さ
れ、該第1、第2のビット線対とデータバス対とのデー
タ転送制御が行える。これにより、従来のものと回路的
には等価的な動作が可能となる。
(実施例) 第1図は本発明の実施例を示すもので、半導体記憶装
置におけるセンスアンプ・データバス間の要部回路図、
及び第4図は第1図中のセンスアンプの回路図である。
置におけるセンスアンプ・データバス間の要部回路図、
及び第4図は第1図中のセンスアンプの回路図である。
第1図はDRAMを示すもので、説明を簡単にするために
4個の第1のセンスアンプ30m、第1のセンスアンプ30
m+1、第2のセンサアンプ30m+2、及び第2のセンスアン
プ30m+3とその付近の回路配線が図示されている。
4個の第1のセンスアンプ30m、第1のセンスアンプ30
m+1、第2のセンサアンプ30m+2、及び第2のセンスアン
プ30m+3とその付近の回路配線が図示されている。
各センスアンプ30m〜30m+3は、第4図に示すように、
2個のNMOS31,32で構成され、一方のNMOS31のドレイン
がビット線BLに、ゲートがビット線▲▼にそれぞれ
接続され、他方のNMOS32のドレインがビット線▲▼
に、ゲートがビット線BLにそれぞれ接続されている。NM
OS31,32の各ソースは、sの共通ノードに接続されて
いる。
2個のNMOS31,32で構成され、一方のNMOS31のドレイン
がビット線BLに、ゲートがビット線▲▼にそれぞれ
接続され、他方のNMOS32のドレインがビット線▲▼
に、ゲートがビット線BLにそれぞれ接続されている。NM
OS31,32の各ソースは、sの共通ノードに接続されて
いる。
4個のセンスアンプ30m〜30m+3の両端のセンスアンプ
ノード対は、それぞれ第2の方向にかつ略平行に延在す
る第1のビット線対(BLm,▲▼m)、第2のビット
線対(BLm+2,▲▼m+2)、第1のビット線対(B
Lm+1,▲▼m+1)及び第2のビット線対(BLm+3,▲
▼m+3)に接続され、s共通ノードが各ビット線対
(BLx,▲▼x;但し、x=m,…,m+3)に対して直交
して縦断している。各ビット線対(BLx,▲▼x)に
は、図示しない行デコーダによって行方向のワード線が
選択され、そのワード線につながるメモリセルが選択さ
れるようにそれぞれ接続されている。第1のビット線対
(BLm,▲▼m)と第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)、及び第1のビット線対(BLm+1,▲▼m+1)
と第2のビット線対(BLm+3,▲▼m+3)との各対の
間に、それらと平行に第1のコウムラインCLnと第2の
コラムラインCLn+1が配設されている。
ノード対は、それぞれ第2の方向にかつ略平行に延在す
る第1のビット線対(BLm,▲▼m)、第2のビット
線対(BLm+2,▲▼m+2)、第1のビット線対(B
Lm+1,▲▼m+1)及び第2のビット線対(BLm+3,▲
▼m+3)に接続され、s共通ノードが各ビット線対
(BLx,▲▼x;但し、x=m,…,m+3)に対して直交
して縦断している。各ビット線対(BLx,▲▼x)に
は、図示しない行デコーダによって行方向のワード線が
選択され、そのワード線につながるメモリセルが選択さ
れるようにそれぞれ接続されている。第1のビット線対
(BLm,▲▼m)と第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)、及び第1のビット線対(BLm+1,▲▼m+1)
と第2のビット線対(BLm+3,▲▼m+3)との各対の
間に、それらと平行に第1のコウムラインCLnと第2の
コラムラインCLn+1が配設されている。
第1のビット線対(BLm,▲▼m)は、それと第2
のビット線対(BLm+2,▲▼m+2)との間に配置され
た第1のスイッチ手段である2個のNMOS40m,▲▼m
の各ソース(またはドレイン)に接続され、そのNMOS40
m,▲▼mの各ゲームがコラムラインCLnに共通接続
され、さらに各ドレイン(またはソース)が第1の共通
ノードである共通接点(Pm/m+2)と第2の共通ノー
ドである共通接点(m/m+2)を介して、前記第2の
方向に対して略垂直な第1の方向に延在するデータバス
対(DB0,▲▼0)に接続されている。同様に、第1
のビット線対(BLm+1,▲▼m+1)は、それと第2の
ビット線対(BLm+3,▲▼m+3)との間に配置された
第1のスイッチ手段対である2個のNMOS40m+1,▲▼
m+1の各ソース(またはドレイン)に接続され、そのNMO
S40m+1,▲▼m+1の各ゲートがコラムラインCLnに共
通接続され、各ドレイン(またはソース)が共通接点
(Pm+1/m+3,m+1/m+3)を介して、前記第1
の方向に延在するデータバス対(DB1,▲▼1)にそ
れぞれ接続されている。第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)は、それと第1のビット線対(BLm,▲▼
m)との間に配置された第2のスイッチ手段対である2
個のNMOS40m+2,▲▼m+2の各ソース(またはドレイ
ン)に接続され、そのNMOS40m+2,▲▼m+2の各ゲー
トがコラムラインCn+1に共通接続され、各ドレイン(ま
たはソース)が共通接点(Pm/m+2,m/m+2)を介
してデータバス対(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続さ
れている。また、第2のビット線対(BLm+3,▲▼
m+3)は、それと第1のビット線対(BLm+1,▲
▼m+1)との間に配置された第2のスイッチ手段対であ
る2個のNMOS40m+3,▲▼m+3の各ソース(またはド
レイン)に接続され、そのNMOS40m+3,▲▼m+3の各
ゲートがコラムラインCLn+1に共通接続され、各ドレイ
ン(またはソース)が共通接点(Pm+1/m+3,
m+1/m+3)を介してデータバス対(DB1,▲
▼1)にそれぞれ接続されている。
のビット線対(BLm+2,▲▼m+2)との間に配置され
た第1のスイッチ手段である2個のNMOS40m,▲▼m
の各ソース(またはドレイン)に接続され、そのNMOS40
m,▲▼mの各ゲームがコラムラインCLnに共通接続
され、さらに各ドレイン(またはソース)が第1の共通
ノードである共通接点(Pm/m+2)と第2の共通ノー
ドである共通接点(m/m+2)を介して、前記第2の
方向に対して略垂直な第1の方向に延在するデータバス
対(DB0,▲▼0)に接続されている。同様に、第1
のビット線対(BLm+1,▲▼m+1)は、それと第2の
ビット線対(BLm+3,▲▼m+3)との間に配置された
第1のスイッチ手段対である2個のNMOS40m+1,▲▼
m+1の各ソース(またはドレイン)に接続され、そのNMO
S40m+1,▲▼m+1の各ゲートがコラムラインCLnに共
通接続され、各ドレイン(またはソース)が共通接点
(Pm+1/m+3,m+1/m+3)を介して、前記第1
の方向に延在するデータバス対(DB1,▲▼1)にそ
れぞれ接続されている。第2のビット線対(BLm+2,▲
▼m+2)は、それと第1のビット線対(BLm,▲▼
m)との間に配置された第2のスイッチ手段対である2
個のNMOS40m+2,▲▼m+2の各ソース(またはドレイ
ン)に接続され、そのNMOS40m+2,▲▼m+2の各ゲー
トがコラムラインCn+1に共通接続され、各ドレイン(ま
たはソース)が共通接点(Pm/m+2,m/m+2)を介
してデータバス対(DB0,▲▼0)にそれぞれ接続さ
れている。また、第2のビット線対(BLm+3,▲▼
m+3)は、それと第1のビット線対(BLm+1,▲
▼m+1)との間に配置された第2のスイッチ手段対であ
る2個のNMOS40m+3,▲▼m+3の各ソース(またはド
レイン)に接続され、そのNMOS40m+3,▲▼m+3の各
ゲートがコラムラインCLn+1に共通接続され、各ドレイ
ン(またはソース)が共通接点(Pm+1/m+3,
m+1/m+3)を介してデータバス対(DB1,▲
▼1)にそれぞれ接続されている。
第5図は、第1図の半導体記憶装置をIC化する場合の
レイアウト例を示す図である。
レイアウト例を示す図である。
第5図において、符号50はアクティブ領域、51はジャ
ンクション・ポリSi・オーミック・コンタクト、52はポ
リSi領域、53はポリSi・メタル或いは接合・メタルコン
タクト、54はメタル領域である。
ンクション・ポリSi・オーミック・コンタクト、52はポ
リSi領域、53はポリSi・メタル或いは接合・メタルコン
タクト、54はメタル領域である。
なお、相補関係にあるビット線対(▲▼m,BLm)
と(▲▼m+1,BLm+1)は、第1図に対して互いに入
れ替っている。これは、センスアンプ30m,30m+1を構成
するトランジスタの形成上、そのトランジスタの電極を
逆配置せざるを得ず、センスアンプ構成をひねりが生じ
ているために発生したものであり、単なる製造上の問題
であって本実施例の作用、効果上、何ら問題となるもの
ではない。
と(▲▼m+1,BLm+1)は、第1図に対して互いに入
れ替っている。これは、センスアンプ30m,30m+1を構成
するトランジスタの形成上、そのトランジスタの電極を
逆配置せざるを得ず、センスアンプ構成をひねりが生じ
ているために発生したものであり、単なる製造上の問題
であって本実施例の作用、効果上、何ら問題となるもの
ではない。
以上の構成において、データ読出し動作では、図示し
ない行デコーダで選択されたメモリセルの情報が、セン
スアンプ30m〜30m+3に現われる。すると、ビット線対間
のレベル差は、各センスアンプ30m〜30m+3でそれぞれ増
幅され、セル情報が読取られる。ここで、図示しない列
デコーダにより、例えばコラムラインCLnを選択状態に
し、コラムラインCLn+1を非選択状態にすれば、NMOS4
0m,▲▼m,40m+1,▲▼m+1が導通してセンスアン
プ30m,30m+1が共通接点(Pm/m+2,m/m+2),
(Pm+1/m+3,m+1/m+3)を介してデータバス
対(DB0,▲▼0),(DB1,▲▼1)とそれぞれ
導通し、該センスアンプ30m,30m+1からデータバス対(D
B0,▲▼0),(DB1,▲▼1)へのデータ転送
が行える。
ない行デコーダで選択されたメモリセルの情報が、セン
スアンプ30m〜30m+3に現われる。すると、ビット線対間
のレベル差は、各センスアンプ30m〜30m+3でそれぞれ増
幅され、セル情報が読取られる。ここで、図示しない列
デコーダにより、例えばコラムラインCLnを選択状態に
し、コラムラインCLn+1を非選択状態にすれば、NMOS4
0m,▲▼m,40m+1,▲▼m+1が導通してセンスアン
プ30m,30m+1が共通接点(Pm/m+2,m/m+2),
(Pm+1/m+3,m+1/m+3)を介してデータバス
対(DB0,▲▼0),(DB1,▲▼1)とそれぞれ
導通し、該センスアンプ30m,30m+1からデータバス対(D
B0,▲▼0),(DB1,▲▼1)へのデータ転送
が行える。
逆に、データ書込み動作では、データバス対(DB0,▲
▼0),(DB1,▲▼1)から共通接点(P
m/m+2,m/m+2),(Pm+1/m+3,
m+1/m+3)及びNMOS40m,▲▼m,40m+1,▲▼
m+1を介して、センスアンプ30m,30m+1へのデータ転送が
それぞれ行える。転送されたデータは、ビット線対(BL
m,▲▼m),(BLm+1,▲▼m+1)を介して、図
示しない行デコーダで選択されたメモリセルへ書込まれ
る。
▼0),(DB1,▲▼1)から共通接点(P
m/m+2,m/m+2),(Pm+1/m+3,
m+1/m+3)及びNMOS40m,▲▼m,40m+1,▲▼
m+1を介して、センスアンプ30m,30m+1へのデータ転送が
それぞれ行える。転送されたデータは、ビット線対(BL
m,▲▼m),(BLm+1,▲▼m+1)を介して、図
示しない行デコーダで選択されたメモリセルへ書込まれ
る。
本実施例では、次のような利点を有している。
第5図のレイアウト例で示すように、センスアンプ部
パターンを挾んでsへの共通ノード(ジャンクション
・ポリSi・オーミック・コンタクト51)とは反対側に、
データバス対(DB0,▲▼0)或いは(DB1,▲▼
1)への共通ノード(共通接点Pm/m+2,m/m+2,P
m+1/m+3,m+1/m+3)で、NMOS40m,▲▼m,
40m+2,▲▼m+2,40m+1,▲▼m+1,40m+3,▲▼
m+3を介してデータバス対(DB0,▲▼0),(DB1,
▲▼1)とビット線対(BLm,▲▼m)〜(BL
m+3,▲▼m+3)とが接続されている。そのため、極
めて少ない面積で結線が行える。つかり、データバス対
(DB0,▲▼0),(DB1,▲▼1)への接続に要
するレイアウト面積を極小に抑えることができる。従っ
て、高密度なVLSIメモリ等のようなビット線ピッチが著
しく狭くなる回路でも、そのレイアウトが可能となる。
パターンを挾んでsへの共通ノード(ジャンクション
・ポリSi・オーミック・コンタクト51)とは反対側に、
データバス対(DB0,▲▼0)或いは(DB1,▲▼
1)への共通ノード(共通接点Pm/m+2,m/m+2,P
m+1/m+3,m+1/m+3)で、NMOS40m,▲▼m,
40m+2,▲▼m+2,40m+1,▲▼m+1,40m+3,▲▼
m+3を介してデータバス対(DB0,▲▼0),(DB1,
▲▼1)とビット線対(BLm,▲▼m)〜(BL
m+3,▲▼m+3)とが接続されている。そのため、極
めて少ない面積で結線が行える。つかり、データバス対
(DB0,▲▼0),(DB1,▲▼1)への接続に要
するレイアウト面積を極小に抑えることができる。従っ
て、高密度なVLSIメモリ等のようなビット線ピッチが著
しく狭くなる回路でも、そのレイアウトが可能となる。
なお、本発明は図示の実施例に限定されず、例えばセ
ンスアンプ30m〜30m+3を第4図の回路構成以外の回路で
構成したり、スイッチ手段をNMOS40m,▲▼m〜40
m+3,▲▼m+3以外のトランジスタで構成したり、セ
ンスアンプノードから直接スイッチ手段を接続したり、
あるいはビット線対数や第5図のレイアウト例等を図示
以外のものに変形したり、さらに本発明をスタテックRA
M等の他の半導体記憶装置に適用する等、種々の変形が
可能である。
ンスアンプ30m〜30m+3を第4図の回路構成以外の回路で
構成したり、スイッチ手段をNMOS40m,▲▼m〜40
m+3,▲▼m+3以外のトランジスタで構成したり、セ
ンスアンプノードから直接スイッチ手段を接続したり、
あるいはビット線対数や第5図のレイアウト例等を図示
以外のものに変形したり、さらに本発明をスタテックRA
M等の他の半導体記憶装置に適用する等、種々の変形が
可能である。
(発明の効果) 以上詳細に説明したように、本発明によれば、第1、
第2のスイッチ手段対及び第1、第2の共通ノードを、
第1のビット線対と第2のビット線対の間、かつ、デー
タバス対のそれぞれのデータバスの間に配置したので、
高密度なVLSIメモリ等のような各ビット線の線間ピッチ
が著しく狭くなる回路でも、ピッチ内のレイアウトが容
易になって面積の低減化が可能となる。
第2のスイッチ手段対及び第1、第2の共通ノードを、
第1のビット線対と第2のビット線対の間、かつ、デー
タバス対のそれぞれのデータバスの間に配置したので、
高密度なVLSIメモリ等のような各ビット線の線間ピッチ
が著しく狭くなる回路でも、ピッチ内のレイアウトが容
易になって面積の低減化が可能となる。
第1図は本発明の実施例を示す半導体記憶装置の要部回
路図、第2図は従来の半導体記憶装置の要部回路図、第
3図は第2図中のセンスアンプの回路図、第4図は第1
図中のセンスアンプの回路図、第5図は第1図のレイア
ウト例を示す図である。 30m〜30m+3……センスアンプ、40m,▲▼m〜40m+3,
▲▼m+3……NMOS、BLm,▲▼m〜BLm+3,▲
▼m+3……ビット線対、CLn,CLn+1……コラムライン、DB
0,▲▼0,DB1,▲▼1……データバス対、P
m/m+2,m/m+2,Pm+1/m+3,m+1/m+3……
共通接点、s……センスアンプ活性化信号。
路図、第2図は従来の半導体記憶装置の要部回路図、第
3図は第2図中のセンスアンプの回路図、第4図は第1
図中のセンスアンプの回路図、第5図は第1図のレイア
ウト例を示す図である。 30m〜30m+3……センスアンプ、40m,▲▼m〜40m+3,
▲▼m+3……NMOS、BLm,▲▼m〜BLm+3,▲
▼m+3……ビット線対、CLn,CLn+1……コラムライン、DB
0,▲▼0,DB1,▲▼1……データバス対、P
m/m+2,m/m+2,Pm+1/m+3,m+1/m+3……
共通接点、s……センスアンプ活性化信号。
Claims (1)
- 【請求項1】第1の方向に延在するデータバス対と、 前記第1の方向に対して略垂直な第2の方向に延在する
第1のビット線対と、 前記第1のビット線対に隣合うと共に略平行に延在する
第2のビット線対と、 前記第1のビット線対に接続される第1のセンスアンプ
と、 前記第2のビット線対に接続される第2のセンスアンプ
と、 第1のコラムライン上の信号に応じて、前記第1のビッ
ト線対と前記データバス対との間を第1、第2の共通ノ
ードを介して接続する第1のスイッチ手段対と、 第2のコラムライン上の信号に応じて、前記第2のビッ
ト線対と前記データバス対との間を前記第1、第2の共
通ノードを介して接続する第2のスイッチ手段とを備
え、 前記第1、第2のスイッチ手段対及び前記第1、第2の
共通ノードを、前記第1のビット線対と前記第2のビッ
ト線対の間、かつ、前記データバス対のそれぞれのデー
タバスの間に配置したことを特徴とする半導体記憶装
置。
Priority Applications (5)
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EP91101164A EP0441231B1 (en) | 1990-01-29 | 1991-01-29 | Semiconductor memory device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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JPH0973791A (ja) * | 1995-09-06 | 1997-03-18 | Fujitsu Ltd | 増幅器 |
US5831912A (en) * | 1997-09-26 | 1998-11-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Semiconductor memory having space-efficient layout |
US6504246B2 (en) * | 1999-10-12 | 2003-01-07 | Motorola, Inc. | Integrated circuit having a balanced twist for differential signal lines |
KR100525460B1 (ko) * | 2003-05-23 | 2005-10-31 | (주)실리콘세븐 | 2개의 메모리 블락 사이에 3개의 센스앰프를 가지며,인출과 기입 동작 구간이 분리되는 리프레쉬 동작을수행하는 에스램 호환 메모리 및 그 구동방법 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4239993A (en) * | 1978-09-22 | 1980-12-16 | Texas Instruments Incorporated | High performance dynamic sense amplifier with active loads |
JPS5755592A (en) * | 1980-09-18 | 1982-04-02 | Nec Corp | Memory device |
JPS57111061A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-10 | Fujitsu Ltd | Semiconductor memory unit |
JPH0664907B2 (ja) * | 1985-06-26 | 1994-08-22 | 株式会社日立製作所 | ダイナミツク型ram |
US4791616A (en) * | 1985-07-10 | 1988-12-13 | Fujitsu Limited | Semiconductor memory device |
EP0344752B1 (en) * | 1988-06-01 | 1993-03-10 | Nec Corporation | Semiconductor memory device with high speed sensing facility |
KR910001744A (ko) * | 1988-06-14 | 1991-01-31 | 미다 가쓰시게 | 반도체 기억장치 |
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1990
- 1990-01-29 JP JP2018253A patent/JP2938493B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-01-21 KR KR1019910000947A patent/KR100214436B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-01-29 US US07/647,441 patent/US5216634A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-29 EP EP91101164A patent/EP0441231B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-29 DE DE69119252T patent/DE69119252T2/de not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP0441231A3 (en) | 1992-11-19 |
US5216634A (en) | 1993-06-01 |
JPH03222188A (ja) | 1991-10-01 |
KR100214436B1 (ko) | 1999-08-02 |
EP0441231B1 (en) | 1996-05-08 |
DE69119252D1 (de) | 1996-06-13 |
EP0441231A2 (en) | 1991-08-14 |
KR910014941A (ko) | 1991-08-31 |
DE69119252T2 (de) | 1997-01-02 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |