JP2919047B2 - 蒸着フィルム及びその製造方法並びに前記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルム - Google Patents
蒸着フィルム及びその製造方法並びに前記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルムInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蒸着フィルム及びその製造方法並びに上記
蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルムに
関するものである。
蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルムに
関するものである。
食品、医薬品、化学薬品などの包装材料に用いられる
プラスチックフィルムやその成形品には、包装された内
容物の変質を防ぐために、水蒸気や酸素などのガスを透
過させないガスバリヤ性材料が用いられている。そし
て、高度なガスバリヤ性が必要な包装では、ガスバリヤ
性材料にアルミニウムなどの金属箔を貼り合わせたり、
アルミニウムなどの金属を蒸着させたものが用いられて
いる また、ガスバリヤ性を備えた包装材料としては、ポリ
塩化ビニリデン又は塩化ビニリデンを主成分とし、これ
と共重合可能な他のモノマー、例えば、塩化ビニル、メ
チルアクリレート、メチルメタクリレート、アクリロニ
トリル等との共重合体よりなる塩化ビニリデン系フィル
ム若しくはこれらのフィルムにポリプロピレン、ポリエ
ステル、ポリアミド等よりなるフィルムを積層した塩化
ビニリデン系積層フィルムが知られている。
プラスチックフィルムやその成形品には、包装された内
容物の変質を防ぐために、水蒸気や酸素などのガスを透
過させないガスバリヤ性材料が用いられている。そし
て、高度なガスバリヤ性が必要な包装では、ガスバリヤ
性材料にアルミニウムなどの金属箔を貼り合わせたり、
アルミニウムなどの金属を蒸着させたものが用いられて
いる また、ガスバリヤ性を備えた包装材料としては、ポリ
塩化ビニリデン又は塩化ビニリデンを主成分とし、これ
と共重合可能な他のモノマー、例えば、塩化ビニル、メ
チルアクリレート、メチルメタクリレート、アクリロニ
トリル等との共重合体よりなる塩化ビニリデン系フィル
ム若しくはこれらのフィルムにポリプロピレン、ポリエ
ステル、ポリアミド等よりなるフィルムを積層した塩化
ビニリデン系積層フィルムが知られている。
また、ポリビニルアルコールやエチレン−ビニルアル
コール共重合体よりなるポリビニルアルコール系フィル
ムも、酸素バリヤー性に優れている。そして、ポリビニ
ルアルコール系フィルムは、水蒸気バリヤ性に劣り、高
湿度下では酸素バリヤ性も劣化するため、包装材料とし
て用いる場合には、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポ
リエステルよりなる水蒸気バリヤ性の優れたフィルムを
積層し、積層フィルムとして用いられている。
コール共重合体よりなるポリビニルアルコール系フィル
ムも、酸素バリヤー性に優れている。そして、ポリビニ
ルアルコール系フィルムは、水蒸気バリヤ性に劣り、高
湿度下では酸素バリヤ性も劣化するため、包装材料とし
て用いる場合には、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポ
リエステルよりなる水蒸気バリヤ性の優れたフィルムを
積層し、積層フィルムとして用いられている。
更に、機械的強度の優れたプラスチックフィルムに金
属酸化物の薄膜を蒸着させてガスバリヤ性を付与するこ
とが提案されている。例えば、二軸延伸ナイロンフィル
ムや二軸延伸ポリエステルフィルムなどにケイ素酸化物
を蒸着させたフィルム（特公昭53−12953号公報）、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムや二軸延伸ポリプロ
ピレンフィルムなどにマグネシウム酸化物を蒸着させた
フィルム（特開昭60−27532号公報）などがある。
属酸化物の薄膜を蒸着させてガスバリヤ性を付与するこ
とが提案されている。例えば、二軸延伸ナイロンフィル
ムや二軸延伸ポリエステルフィルムなどにケイ素酸化物
を蒸着させたフィルム（特公昭53−12953号公報）、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムや二軸延伸ポリプロ
ピレンフィルムなどにマグネシウム酸化物を蒸着させた
フィルム（特開昭60−27532号公報）などがある。
しかしながら、金属箔や金属蒸着膜を用いた包装材料
は、水蒸気や酸素に対するガスバリヤ性に優れている
が、金属が積層されているのために、常に不透明となら
ざる得ず、従って、内容物を外から見ることができずに
包装材料としての用途が極めて狭く限定される。
は、水蒸気や酸素に対するガスバリヤ性に優れている
が、金属が積層されているのために、常に不透明となら
ざる得ず、従って、内容物を外から見ることができずに
包装材料としての用途が極めて狭く限定される。
これに対して、前記の塩化ビニリデン系フィルムやポ
リビニルアルコール系積層フィルムよりなる包装材料
は、透明ではあるが、水蒸気や酸素に対するガスバリヤ
性が十分ではなく、高度のガスバリヤ性が要求される包
装材料に使用する場合は、フィルムを厚くせねばなら
ず、その結果、透明性や柔軟性が損なわれ、高度のガス
バリヤ性が要求される包装材料には不適当である。
リビニルアルコール系積層フィルムよりなる包装材料
は、透明ではあるが、水蒸気や酸素に対するガスバリヤ
性が十分ではなく、高度のガスバリヤ性が要求される包
装材料に使用する場合は、フィルムを厚くせねばなら
ず、その結果、透明性や柔軟性が損なわれ、高度のガス
バリヤ性が要求される包装材料には不適当である。
また、プラスチックフィルムに酸化物膜を蒸着させて
ガスバリヤ性を付与した包装材料も、水蒸気や酸素に対
するガスバリヤ性が十分ではないばかりか、ガスバリヤ
性能の振れが大きいため、歩留りが悪くてコスト高のも
のにならざるを得ない。
ガスバリヤ性を付与した包装材料も、水蒸気や酸素に対
するガスバリヤ性が十分ではないばかりか、ガスバリヤ
性能の振れが大きいため、歩留りが悪くてコスト高のも
のにならざるを得ない。
本発明は、上述の背景に基づきなされたものであり、
その目的とすることころは、ガスバリヤ性フィルムとし
て有用な新規な蒸着フィルム及びその製造方法ならびに
上記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィル
ムを提供することにある。
その目的とすることころは、ガスバリヤ性フィルムとし
て有用な新規な蒸着フィルム及びその製造方法ならびに
上記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィル
ムを提供することにある。
本発明者らは、上述の課題を解決すべく種々の試験研
究を行った結果、透明プラスチックフィルムの表面にあ
る特定の条件下でケイ素酸化物よりなる薄膜を蒸着して
得られる蒸着フィルムは、高度のガスバリヤ性を有して
おり、しかも、斯かるガスバリヤ性と蒸着薄膜のケイ素
単結晶に対するESCA法によるエッチング速度の比との間
には一定の関係があるとの知見を得、本発明の完成に到
った。
究を行った結果、透明プラスチックフィルムの表面にあ
る特定の条件下でケイ素酸化物よりなる薄膜を蒸着して
得られる蒸着フィルムは、高度のガスバリヤ性を有して
おり、しかも、斯かるガスバリヤ性と蒸着薄膜のケイ素
単結晶に対するESCA法によるエッチング速度の比との間
には一定の関係があるとの知見を得、本発明の完成に到
った。
すなわち、 本発明の第１の要旨は、透明プラスチックフィルムの
少なくとも片面に厚さ100〜5000Åのケイ素酸化物より
なる蒸着薄膜を有する蒸着フィルムおいて、蒸着薄膜の
ケイ素単結晶に対するESCA法によるエッチング速度の比
が30倍以下であることを特徴とする蒸着フィルムに存す
る。
少なくとも片面に厚さ100〜5000Åのケイ素酸化物より
なる蒸着薄膜を有する蒸着フィルムおいて、蒸着薄膜の
ケイ素単結晶に対するESCA法によるエッチング速度の比
が30倍以下であることを特徴とする蒸着フィルムに存す
る。
本発明の第２の要旨は、透明プラスチックフィルムの
少なくとも片面にケイ素酸化物の薄膜を蒸着して蒸着フ
ィルムを製造するに当り、５×10-4Torr以下の真空下に
おいて、次の（Ｉ）式で定義される蒸着速度Ｖ（Å/se
c）が1000〜5000Å/secの範囲の条件下で真空蒸着する
ことを特徴とする前記蒸着フィルムの製造方法に存す
る。
少なくとも片面にケイ素酸化物の薄膜を蒸着して蒸着フ
ィルムを製造するに当り、５×10-4Torr以下の真空下に
おいて、次の（Ｉ）式で定義される蒸着速度Ｖ（Å/se
c）が1000〜5000Å/secの範囲の条件下で真空蒸着する
ことを特徴とする前記蒸着フィルムの製造方法に存す
る。
上記（Ｉ）式において、ｔは蒸着されたケイ素酸化物
薄膜の厚さ（Å）、ｖは蒸着中のフィルムの走行速度
（m/sec）、ｌは蒸着有効長さ（ｍ）、を意味する。
薄膜の厚さ（Å）、ｖは蒸着中のフィルムの走行速度
（m/sec）、ｌは蒸着有効長さ（ｍ）、を意味する。
本発明の第３の要旨は、前記の蒸着フィルムをガスバ
リヤ性フィルムとして少なくとも１層含む透明な積層フ
ィルムからなることを特徴とする透明ガスバリヤ性積層
フィルムに存する。
リヤ性フィルムとして少なくとも１層含む透明な積層フ
ィルムからなることを特徴とする透明ガスバリヤ性積層
フィルムに存する。
以下、本発明を詳細に説明する。
先ず、本発明の蒸着フィルムについて説明する。
本発明の蒸着フィルムは、透明プラスチックフィルム
の少なくとも片面に厚さ100〜5000Åのケイ素酸化物よ
りなる蒸着薄膜を有する。
の少なくとも片面に厚さ100〜5000Åのケイ素酸化物よ
りなる蒸着薄膜を有する。
透明プラスチックフィルムとしては、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリビ
ニルアルコール、ポリアミド、ポリカーボネート及びこ
れらの共重合物などのフィルムが使用可能である。そし
て、未延伸フィルムまたは一軸もしくは二軸延伸フィル
ムのいずれであってよいが、強度や寸法安定性などの点
から二軸延伸フィルムが好適に使用される。
ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリビ
ニルアルコール、ポリアミド、ポリカーボネート及びこ
れらの共重合物などのフィルムが使用可能である。そし
て、未延伸フィルムまたは一軸もしくは二軸延伸フィル
ムのいずれであってよいが、強度や寸法安定性などの点
から二軸延伸フィルムが好適に使用される。
本発明の蒸着フィルムは、上記の透明プラスチックフ
ィルム表面にケイ素酸化物よりなる蒸着薄膜を形成した
ものであるが、当該蒸着薄膜のケイ素単結晶に対するES
CA法によるエッチング速度の比が30倍以下であることに
より特徴付けられる。
ィルム表面にケイ素酸化物よりなる蒸着薄膜を形成した
ものであるが、当該蒸着薄膜のケイ素単結晶に対するES
CA法によるエッチング速度の比が30倍以下であることに
より特徴付けられる。
なお、上記の「ESCA法でのエッチング速度」とは、後
記の実施例に記載の測定方法により求められる値を意味
する。
記の実施例に記載の測定方法により求められる値を意味
する。
本発明の蒸着フィルムは、上記のようなパラメータで
特徴付けられるが、斯かる特徴故に高度のガスバリヤ性
を発揮する。
特徴付けられるが、斯かる特徴故に高度のガスバリヤ性
を発揮する。
次に、本発明の蒸着フィルムの製造方法について説明
する。
する。
本発明の蒸着フィルムは、一酸化ケイ素を主成分とす
るケイ素酸化物を蒸発材料として高周波誘導加熱による
真空蒸着法により、透明プラスチックフィルムの少なく
とも片面にケイ素酸化物の薄膜を設けることにより製造
される。
るケイ素酸化物を蒸発材料として高周波誘導加熱による
真空蒸着法により、透明プラスチックフィルムの少なく
とも片面にケイ素酸化物の薄膜を設けることにより製造
される。
第１図は、本発明の蒸着フィルムの製造方法において
使用される真空蒸着装置の概念図である。
使用される真空蒸着装置の概念図である。
透明プラスチックフィルム（Ａ）は、真空チャンバー
（１）内に配置されたフィルム供給ロール（２）から冷
却ロール（３）を経てフィルム巻取りロール（４）に巻
き取られる。そして、冷却ロール（３）の下方には、高
周波誘導加熱炉を備え、ケイ素酸化物を収容したルツボ
（５）が配置されており、透明プラスチックフィルム
（Ａ）は、冷却ロール（３）を通過する際にケイ素酸化
物の蒸着を受ける。
（１）内に配置されたフィルム供給ロール（２）から冷
却ロール（３）を経てフィルム巻取りロール（４）に巻
き取られる。そして、冷却ロール（３）の下方には、高
周波誘導加熱炉を備え、ケイ素酸化物を収容したルツボ
（５）が配置されており、透明プラスチックフィルム
（Ａ）は、冷却ロール（３）を通過する際にケイ素酸化
物の蒸着を受ける。
高周波誘導加熱炉は、炉材（６）とその周囲に配置さ
れた高周波誘導加熱コイル（７）より主として構成さ
れ、第１図においては、冷却コイルなどの細部構造は図
示を省略してある。
れた高周波誘導加熱コイル（７）より主として構成さ
れ、第１図においては、冷却コイルなどの細部構造は図
示を省略してある。
なお、第１図中、（８）は隔板、（９）は支持台、
（10）は案内ロール、（11）は覗き窓、（12）は真空ポ
ンプに連結された吸引口である。
（10）は案内ロール、（11）は覗き窓、（12）は真空ポ
ンプに連結された吸引口である。
本発明の製造方法においては、真空チャンバー（１）
内の圧力を５×10-4Torr以下とし、そして、次の（Ｉ）
式で定義されるケイ素酸化物の蒸着速度（Ｖ）を1000〜
5000（Å/sec）の範囲にすることが重要である。
内の圧力を５×10-4Torr以下とし、そして、次の（Ｉ）
式で定義されるケイ素酸化物の蒸着速度（Ｖ）を1000〜
5000（Å/sec）の範囲にすることが重要である。
上記（１）式において、ｔは蒸着されたケイ素酸化物
薄膜の厚さ（Å）、ｖは蒸着中のフィルムの走行速度
（m/sec）、ｌは蒸着有効長さ（ｍ）を意味する。
薄膜の厚さ（Å）、ｖは蒸着中のフィルムの走行速度
（m/sec）、ｌは蒸着有効長さ（ｍ）を意味する。
なお、上記の蒸着有効長さは、第１図中の２つの隔板
（８）の間の長さである。
（８）の間の長さである。
そして、上記のような特定の蒸着速度条件下の真空蒸
着は、５×10-4Torr以下の真空条件下において、次の
（II）式で定義される蒸着源収納ルツボに対する加熱用
供給電力比（ｗ）が0.01〜0.05kw/cm2の範囲の条件下で
真空蒸着することにより達成される。
着は、５×10-4Torr以下の真空条件下において、次の
（II）式で定義される蒸着源収納ルツボに対する加熱用
供給電力比（ｗ）が0.01〜0.05kw/cm2の範囲の条件下で
真空蒸着することにより達成される。
上記（II）式において、Ｗは高周波誘導加熱コイル
（７）よりルツボ（５）に与えられる加熱用全供給電力
（kw）、ｓはルツボ（５）の全表面積（全側面積と全開
口部面積の和）（cm2）を意味する。
（７）よりルツボ（５）に与えられる加熱用全供給電力
（kw）、ｓはルツボ（５）の全表面積（全側面積と全開
口部面積の和）（cm2）を意味する。
本発明の製造方法において、好ましい圧力（真空度）
は、１×10-4Torr以下であり、また、好ましい加熱用供
給電力比（ｗ）は、0.015〜0.04kw/cm2の範囲である。
は、１×10-4Torr以下であり、また、好ましい加熱用供
給電力比（ｗ）は、0.015〜0.04kw/cm2の範囲である。
圧力が５×10-4Torr以上（低真空側）の場合、また
は、加熱用供給電力比（ｗ）が0.01kw/cm2以下（低加熱
電圧）の条件では、上記の（Ｉ）式で定義される蒸着速
度（Ｖ）が1000Å/sec未満となり、このような条件下で
得られたケイ素酸化物蒸着薄膜のESCAでのエッチング速
度は、ケイ素単結晶のエッチング速度の30倍以上とな
り、極めてエッチングされ易い。
は、加熱用供給電力比（ｗ）が0.01kw/cm2以下（低加熱
電圧）の条件では、上記の（Ｉ）式で定義される蒸着速
度（Ｖ）が1000Å/sec未満となり、このような条件下で
得られたケイ素酸化物蒸着薄膜のESCAでのエッチング速
度は、ケイ素単結晶のエッチング速度の30倍以上とな
り、極めてエッチングされ易い。
圧力が５×10-4Torr以下（高真空側）の場合、また
は、加熱用供給電力比（ｗ）が0.01kw/cm2以上（高加熱
電圧）の条件では、得られたケイ素酸化物蒸着薄膜のES
CAでのエッチング速度は、ケイ素単結晶のエッチング速
度の30倍以下となるが、上記の（Ｉ）式で定義される蒸
着速度（Ｖ）が5000（Å/sec）を超え、その結果、ルツ
ボが破壊されたり、蒸発材料が粒子に飛散してフィルム
面にピンホールが発生する。
は、加熱用供給電力比（ｗ）が0.01kw/cm2以上（高加熱
電圧）の条件では、得られたケイ素酸化物蒸着薄膜のES
CAでのエッチング速度は、ケイ素単結晶のエッチング速
度の30倍以下となるが、上記の（Ｉ）式で定義される蒸
着速度（Ｖ）が5000（Å/sec）を超え、その結果、ルツ
ボが破壊されたり、蒸発材料が粒子に飛散してフィルム
面にピンホールが発生する。
本発明において、上記の（II）式で定義される蒸着速
度（Ｖ）が1000〜5000Å/secの範囲の条件下において、
高度なガスバリヤ性の蒸着薄膜が得られる理由は、必ず
しも、明らかにされていないが、次のように推定され
る。
度（Ｖ）が1000〜5000Å/secの範囲の条件下において、
高度なガスバリヤ性の蒸着薄膜が得られる理由は、必ず
しも、明らかにされていないが、次のように推定され
る。
すなわち、上記の蒸着速度（Ｖ）により、得られる蒸
着薄膜の緻密構造が異なり、蒸着薄膜のケイ素単結晶に
対するESCA法によるエッチング速度の比が30倍以下の蒸
着薄膜は、緻密構造を有し、これがために、酸素ガス、
水蒸気などのガス分子を実質的に通り難くして優れたガ
スバリヤ性を発揮するものと推定される。
着薄膜の緻密構造が異なり、蒸着薄膜のケイ素単結晶に
対するESCA法によるエッチング速度の比が30倍以下の蒸
着薄膜は、緻密構造を有し、これがために、酸素ガス、
水蒸気などのガス分子を実質的に通り難くして優れたガ
スバリヤ性を発揮するものと推定される。
本発明で使用する蒸発材料は、一酸化ケイ素が90重量
％以上含有されていればよく、その限りでは、二酸化ケ
イ素、カルシュウム、マグネシュウム等の酸化物を混入
していてもよい。
％以上含有されていればよく、その限りでは、二酸化ケ
イ素、カルシュウム、マグネシュウム等の酸化物を混入
していてもよい。
また、一般には、一酸化ケイ素から析出させた蒸着薄
膜は、ややコハク色を有しているが、圧力が１×10-4To
rr以上にならない範囲内において、蒸着中に酸素ガスを
供給しながら行う反応蒸着法を採用することにより、薄
膜のコハク色を無色に近ずけることも可能である。
膜は、ややコハク色を有しているが、圧力が１×10-4To
rr以上にならない範囲内において、蒸着中に酸素ガスを
供給しながら行う反応蒸着法を採用することにより、薄
膜のコハク色を無色に近ずけることも可能である。
そして、透明プラスチックフィルム表面に形成される
ケイ素酸化物の蒸着薄膜の厚さは、100〜5000Å、好ま
しくは200〜3000Åである。これは、蒸着薄膜の厚さが1
00Å未満ではガスバリヤ性が不充分であり、また、5000
Åを超えるとフィルムに反りが生じたり、蒸着薄膜に亀
裂や剥離などが生じて可撓性が損なわれるからである。
ケイ素酸化物の蒸着薄膜の厚さは、100〜5000Å、好ま
しくは200〜3000Åである。これは、蒸着薄膜の厚さが1
00Å未満ではガスバリヤ性が不充分であり、また、5000
Åを超えるとフィルムに反りが生じたり、蒸着薄膜に亀
裂や剥離などが生じて可撓性が損なわれるからである。
次に、上記の蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性
積層フィルムについて説明する。
積層フィルムについて説明する。
本発明の透明ガスバリヤ性積層フィルムは、上記の蒸
着フィルムをガスバリヤ性フィルムとして少なくとも１
層含む透明な積層フィルムからなる。
着フィルムをガスバリヤ性フィルムとして少なくとも１
層含む透明な積層フィルムからなる。
透明ガスバリヤ性積層フィルムは、蒸着フィルムの片
面にヒートシール可能なLDPE、EVA、PP、アイオノマー
などの透明なシーラント層を積層して構成することがで
きる。この積層においては、蒸着フィルムのケイ素酸価
物薄膜面がシーラント層に向くように積層することが望
ましい。そして、シーラント層と反対面に蒸着フィルム
と同種もしくは異種の透明プラスチックフィルムを積層
し、ガスバリヤ性や強度のより高い透明ガスバリヤ性積
層フィルムにすることも可能である。
面にヒートシール可能なLDPE、EVA、PP、アイオノマー
などの透明なシーラント層を積層して構成することがで
きる。この積層においては、蒸着フィルムのケイ素酸価
物薄膜面がシーラント層に向くように積層することが望
ましい。そして、シーラント層と反対面に蒸着フィルム
と同種もしくは異種の透明プラスチックフィルムを積層
し、ガスバリヤ性や強度のより高い透明ガスバリヤ性積
層フィルムにすることも可能である。
プラスチックフィルムを積層する場合は、ウレタン系
接着剤、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤など
を用いるドライラミネート法や押出しラミネート法など
の公知の方法を採用することができる。
接着剤、アクリル系接着剤、ポリエステル系接着剤など
を用いるドライラミネート法や押出しラミネート法など
の公知の方法を採用することができる。
以下、本発明を実施例に基づいて、また、比較例と対
照させながら具体的に説明するが、本発明は、その要旨
を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではな
い。
照させながら具体的に説明するが、本発明は、その要旨
を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではな
い。
以下の例において、ケイ素酸化物蒸着薄膜のESCAによ
るエッチング速度、得られた蒸着フィルムの透湿度、酸
素透過度、透明性は、次の方法により測定又は判定し
た。また、ケイ素酸化物の透明な薄膜層及び、金属ケイ
素の薄膜の厚さは、水晶式膜厚計により測定した。
るエッチング速度、得られた蒸着フィルムの透湿度、酸
素透過度、透明性は、次の方法により測定又は判定し
た。また、ケイ素酸化物の透明な薄膜層及び、金属ケイ
素の薄膜の厚さは、水晶式膜厚計により測定した。
＜ESCAによるエッチング速度＞ エッチングは、Ｘ線光電子分光装置（島津製作所製、
ESCA850型、を使用し、装置内の真空度が２×10-5から
４×10-4Paになるまでアルゴンガスを導入し、導入され
たアルゴンガスを高電圧（2KV、25mA）でイオン化し、
そのAr+イオンを試料に照射することによって行った。
ESCA850型、を使用し、装置内の真空度が２×10-5から
４×10-4Paになるまでアルゴンガスを導入し、導入され
たアルゴンガスを高電圧（2KV、25mA）でイオン化し、
そのAr+イオンを試料に照射することによって行った。
また、上記のエッチングは、同時に、電子シャワー
（50V、2.5A）により、試料の表面の帯電を中和しつつ
行った。
（50V、2.5A）により、試料の表面の帯電を中和しつつ
行った。
そして、ケイ素単結晶のエッチング速度は、所定厚み
のケイ素単結晶ウエハーの半分をマスクしてエッチング
されないようにして上記のエッチング処理を12時間行
い、その後、マスクを取外し、エッチング面と非エッチ
ング面の段差を触針式表面粗さ計を用いて測定し、その
結果より算出した。
のケイ素単結晶ウエハーの半分をマスクしてエッチング
されないようにして上記のエッチング処理を12時間行
い、その後、マスクを取外し、エッチング面と非エッチ
ング面の段差を触針式表面粗さ計を用いて測定し、その
結果より算出した。
一方、透明プラスチックフィルム上に形成したケイ素
酸化物蒸着薄膜のエッチング速度は、水晶式膜厚計を用
いて蒸着薄膜の厚さを測定した後、蒸着薄膜が完全にエ
ッチングされてフィルム表面が露出するまで上記のエッ
チング処理を行い、それに要した時間と予め測定してい
た蒸着薄膜の厚さから算出した。
酸化物蒸着薄膜のエッチング速度は、水晶式膜厚計を用
いて蒸着薄膜の厚さを測定した後、蒸着薄膜が完全にエ
ッチングされてフィルム表面が露出するまで上記のエッ
チング処理を行い、それに要した時間と予め測定してい
た蒸着薄膜の厚さから算出した。
＜透湿度＞ ASTMF−372に準拠し、温度40℃、相対湿度90％の条件
で測定した。
で測定した。
＜酸素透過度＞ 酸素透過度測定装置（モダンコントロール社製、OX−
TRAN100型）を使用し、温度30℃、相対湿度80％の条件
で測定した。
TRAN100型）を使用し、温度30℃、相対湿度80％の条件
で測定した。
＜透明性＞ 肉眼で評価し、良好な透明度を示すものには◎印で結
果に表示した。
果に表示した。
実施例１ 第１図に示すような真空蒸着装置を使用して行った。
ルツボ（５）は、口径3.5cmφ、高さ5.3cm、のルツボ
（表面積68cm2）のものを使用した。
（表面積68cm2）のものを使用した。
二軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム
（延伸倍率３×３倍、厚さ25μ）をフィルム供給ロール
（２）から冷却ロール（３）を経てフィルム巻取りロー
ル（４）に巻き取った。
（延伸倍率３×３倍、厚さ25μ）をフィルム供給ロール
（２）から冷却ロール（３）を経てフィルム巻取りロー
ル（４）に巻き取った。
そして、真空チャンバー（１）内を１×10-4Torrの圧
力下に維持し、高周波誘導加熱コイル（７）に2.5kwの
電力（加熱電力ｗ＝0.037）を供給し、ルツボ（５）内
の一酸化ケイ素（純度99.9％）を加熱蒸発させ、フィル
ムの片面に1000Åのケイ素酸化物の透明な蒸着薄膜層を
形成させた。得られた蒸着フィルムのケイ素酸化物蒸着
薄膜側にシーラント層としてウレタン系接着剤によりポ
リプロピレンの未延伸フィルム（厚さ50μ）を積層する
ことにより２層構成の透明積層フィルムを得た。
力下に維持し、高周波誘導加熱コイル（７）に2.5kwの
電力（加熱電力ｗ＝0.037）を供給し、ルツボ（５）内
の一酸化ケイ素（純度99.9％）を加熱蒸発させ、フィル
ムの片面に1000Åのケイ素酸化物の透明な蒸着薄膜層を
形成させた。得られた蒸着フィルムのケイ素酸化物蒸着
薄膜側にシーラント層としてウレタン系接着剤によりポ
リプロピレンの未延伸フィルム（厚さ50μ）を積層する
ことにより２層構成の透明積層フィルムを得た。
上記の積層フィルムの各物性等を測定し、その結果を
表−１に示した。
表−１に示した。
実施例２〜10及び比較例１〜３ 表−１に示した条件に従って実施例1.と同様の方法に
より、蒸着フィルムを得、その各物性等を測定し、結果
を表−１に示した。
より、蒸着フィルムを得、その各物性等を測定し、結果
を表−１に示した。
なお、表−１中、PET及びCPPは、各々、上記の二軸延
伸ポリエチレンテレフタレートフィルム及び未延伸ポリ
プロピレンフィルムを表し、また、OPPは二軸延伸され
たポリプロピレンフィルム（延伸倍率３×３倍、厚さ25
μ）を表す。
伸ポリエチレンテレフタレートフィルム及び未延伸ポリ
プロピレンフィルムを表し、また、OPPは二軸延伸され
たポリプロピレンフィルム（延伸倍率３×３倍、厚さ25
μ）を表す。
〔発明の効果〕 以上説明した本発明によれば、ガスバリヤ性、透明
性、柔軟性、強度に優れた蒸着フィルムが提供され、そ
して、斯かる蒸着フィルムは、食品、医薬品、化学薬品
などの包装材料として好適に使用することができると共
に高度なガスバリヤ性が必要な包装にも適用できる等の
広範囲の用途に使用することができる。
性、柔軟性、強度に優れた蒸着フィルムが提供され、そ
して、斯かる蒸着フィルムは、食品、医薬品、化学薬品
などの包装材料として好適に使用することができると共
に高度なガスバリヤ性が必要な包装にも適用できる等の
広範囲の用途に使用することができる。
よって、本発明の工業的価値は極めて大である。
第１図は、本発明の蒸着フィルムの製造方法において使
用される真空蒸着装置の概念図である。 図中、（Ａ）は透明プラスチックフィルム、（１）は真
空チャンバー、（２）はフィルム供給ロール、（３）は
冷却ロール、（４）はフィルム巻取りロール、（５）ル
ツボ、（６）は炉材、（７）は高周波誘導加熱コイル、
（８）は隔板、（９）は支持台、（10）は案内ロール、
（11）は覗き窓、（12）は真空ポンプに連結された吸引
口である。
用される真空蒸着装置の概念図である。 図中、（Ａ）は透明プラスチックフィルム、（１）は真
空チャンバー、（２）はフィルム供給ロール、（３）は
冷却ロール、（４）はフィルム巻取りロール、（５）ル
ツボ、（６）は炉材、（７）は高周波誘導加熱コイル、
（８）は隔板、（９）は支持台、（10）は案内ロール、
（11）は覗き窓、（12）は真空ポンプに連結された吸引
口である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B32B 7/02 B32B 9/00 B65B 1/00 C23C 14/06 C23C 14/54
Claims (4)
- 【請求項１】透明プラスチックフィルムの少なくとも片
面に厚さ100〜5000Åのケイ素酸化物よりなる蒸着薄膜
を有する蒸着フィルムにおいて、蒸着薄膜のケイ素単結
晶に対するESCA法によるエッチング速度の比が30倍以下
であることを特徴とする蒸着フィルム。 - 【請求項２】透明プラスチックフィルムの少なくとも片
面にケイ素酸化物の薄膜を蒸着して蒸着フィルムを製造
するに当り、５×10-4Torr以下の真空下において、次の
（Ｉ）式で定義される蒸着速度Ｖ（Å/sec）が1000〜50
00Å/secの範囲の条件下で真空蒸着することを特徴とす
る請求項第１項記載の蒸着フィルムの製造方法。 上記（１）式において、ｔは蒸着されたケイ素酸化物薄
膜の厚さ（Å）、ｖは蒸着中のフィルムの走行速度（m/
sec）、ｌは蒸着有効長さ（ｍ）を意味する。 - 【請求項３】請求項第１項記載の蒸着フィルムをガスバ
リヤ性フィルムとして少なくとも１層含む透明な積層フ
ィルムからなることを特徴とする透明ガスバリヤ性積層
フィルム。 - 【請求項４】少なくとも一方の外表面にヒートシール可
能なシーラント層が積層されていることを特徴とする請
求項第３項記載の透明ガスバリヤ性積層フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29418190A JP2919047B2 (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 蒸着フィルム及びその製造方法並びに前記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29418190A JP2919047B2 (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 蒸着フィルム及びその製造方法並びに前記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04168041A JPH04168041A (ja) | 1992-06-16 |
| JP2919047B2 true JP2919047B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=17804361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29418190A Expired - Lifetime JP2919047B2 (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 蒸着フィルム及びその製造方法並びに前記蒸着フィルムを用いた透明ガスバリヤ性積層フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2919047B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06166135A (ja) * | 1991-09-06 | 1994-06-14 | Fujimori Kogyo Kk | 包装材料 |
| JP2002187231A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | バリア性フィルムおよびその製造法 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP29418190A patent/JP2919047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04168041A (ja) | 1992-06-16 |
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