JP2910706B2

JP2910706B2 - Ｌｓｉ画像の位置合わせ方法

Info

Publication number: JP2910706B2
Application number: JP8316145A
Authority: JP
Inventors: 慎一和田
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-11-27
Filing date: 1996-11-27
Publication date: 1999-06-23
Anticipated expiration: 2016-11-27
Also published as: JPH10163283A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビームテスタ
等のＬＳＩ観測／測定用装置での、自動操作等のために
必要となるＬＳＩの２次元形状を表わす観測画像の位置
合わせ方法に関し、特にこれを低い誤り可能性で行う位
置合わせ方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子ビームテスタ等のＬＳＩ観測／測定
用装置において、指定の箇所に撮像位置を制御して観測
画像を取得した場合、正確に指定の位置に合った画像が
得られる保証はなく、一般には多少位置のずれた画像が
得られる。このために指定の箇所に正確に位置合わせを
するためには、観測画像とＬＳＩの指定位置のレイアウ
トデータとを比較して、どのような位置関係にあるかを
把握する必要がある。一般にＬＳＩの２次元形状を観察
した画像は、ノイズやゆがみ、ぼけ等の画質劣化が加わ
ったものであるため、観測画像とレイアウトデータとを
全体的、総合的に比較して最も一致度の高くなるような
相互の位置関係を把握する手法が必要とされる。

【０００３】この目的に合った初歩的な方法としては、
２つの画像の関係位置を少しずつずらしながら全体の一
致度を評価していき、一致度が最大となった場合のずれ
の量を必要な位置修正量として求めるという方法もある
が、２次元空間を少しずつずらしていくために、位置ず
れの起こり得る範囲が大きい場合には非常に大きな処理
時間がかかってしまう。

【０００４】このような位置合わせに関連し、ＬＳＩの
電子ビームテスタ画像とＬＳＩマスク図の位置合わせを
高速に行うための手法が文献（大窪他、“ＥＢテスタに
おけるＬＳＩ配線へのＥＢ自動位置決め方式の検討”，
学術振興会１３２委員会第１１７回研究会資料，ｐｐ．
１５３−１５８）に提案されている。その方法は、電子
ビームテスタ画像における配線等の輪郭線を方向別に調
ベ、Ｘ軸，Ｙ軸に対しそれと垂直方向の輪郭線の分布量
を投影し、各軸毎に２つの画像に対する投影量を比較す
ることにより位置ずれ量等を算出する方法である。この
方法は、配線等の輪郭線の分布をＸ，Ｙの各軸に方向別
に分解して１次元で位置ずれの算出を行うため、２次元
空間内で少しずつ位置をずらしながら一致度を調ベる方
法よりも高速に行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記の方法では、観測
画像が指定箇所から大きくずれた場合には誤った位置ず
れ量を導くことがある。前記の方法では配線等の輪郭を
方向別にＸ軸、Ｙ軸に投影した量を利用している。しか
し、集積回路素子の種類あるいはその中での観測箇所に
よっては、Ｘ軸あるいはＹ軸方向の配線が異なっている
にもかかわらず座標ではほぼ似通った分布量を示す場合
がある。観測画像が配線１〜２本程度の場合には問題な
いが、数本分以上ずれた場合には誤った位置ずれ量を算
出してしまう可能性があり、その一例を示す。

【０００６】図８は従来例の観測画像と輪郭線の分布を
示す模式図であり、（ａ）はＬＳＩの配線画像の模式
図、（ｂ）は（ａ）の配線のＹ軸方向輪郭線の分布図で
ある。

【０００７】図８では、上述の従来例の方法では、誤っ
た位置ずれ量を導いてしまう対象画像の例が示されてい
る。実際にＬＳＩを観察して得られる画像では画質劣化
があるがこの例ではそれは表現されず模式的に表現され
ている。図８（ａ）で示されているようにこの観測画像
では、上下方向に向う配線が中央より右側および左側に
それぞれ２本存在しており、これに対応して右側および
左側に各４本のＹ軸方向の輪郭線が存在する。図８
（ｂ）には、図８（ａ）の対象画像内のＹ軸方向の輪郭
線のＸ軸への投影量が示されているが、ここで図８
（ａ）の右側および左側のＹ軸方向の各４本の輪郭線に
対応する分布がとちらも似た分布になっており、図８
（ｂ）に基づいた判断ではＸ軸方向の位置ずれを誤まっ
て把握する可能性がある。

【０００８】本発明の目的は、電子ビームテスタ等のＬ
ＳＩ観測／測定用装置での、自動操作等のために必要な
観測画像の位置合わせが、低い誤り可能性で行うことの
できる位置合わせ方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のＬＳＩ画像の位
置合わせ方法は、ＬＳＩ上の所望の観測箇所に撮像位置
を移動させてＬＳＩの２次元形状を表わす観測画像を得
て、得られた観測画像およびＬＳＩのレイアウトデータ
から、対応するそれぞれの配線輪郭を抽出し、抽出され
た配線輪郭によって形成される２次元の閉領域を抽出
し、観測画像から抽出された閉領域およびレイアウトデ
ータから抽出された閉領域の間で形状の一致可能性を判
定し、一致可能性があると判定された閉領域の組み合わ
せに対しては、両者が重なり合う位置関係で、観測画像
の配線全体とレイアウトデータの配線全体とを重ね合わ
せた場合の一致度を評価し、配線全体の一致度が最も高
くなる位置関係を得る。

【００１０】観測画像からの配線輪郭の抽出の過程で、
２次元の配線輪郭の形状を所定の方法に従い線分の組み
合せにより近似させ、該線分を配線輪郭とみなして抽出
を行なってもよく、閉領域の抽出において、所定の大き
さ以上の閉領域のみを抽出し、抽出された閉領域を対象
に、形状の一致可能性の判定を行ってもよく、所定の大
きさ以上の閉領域のみを抽出する方法として、配線輪郭
の中で少なくとも一方の側において所定の長さ以上にわ
たって配線輪郭の交差や配線輪郭の折れ曲げのない配線
輪郭を求め、該当する配線輪郭を含む閉領域を抽出して
もよい。

【００１１】また、観測画像の閉領域とレイアウトデー
タの閉領域との間の形状の一致可能性の判定において、
それぞれの閉領域の縦寸法、横寸法および頂点の数のう
ち、少なくともいずれか一つを含む特徴量の対比によっ
て両者の形状の一致可能性を判定してもよく、それぞれ
の閉領域の縦寸法、横寸法および頂点の数のうち、少な
くともいずれか一つを含む特徴量の対比が所定の設定値
を満たすかを判定し、これを満たす組み合わせのみに対
して詳細に両者の形状の一致可能性を判定してもよく、
観測画像での位置ずれとして起こり得る範囲内に、それ
ぞれの位置の相違が含まれる閉領域の組み合わせについ
てのみ、閉領域の形状の一致可能性の判定やそれ以後の
操作を行ってもよい。

【００１２】さらに、配線全体の一致度が最も高くなる
位置関係を得る方法として、閉領域の形状の一致可能性
が判定された複数の組み合わせに対し、観測画像の閉領
域とレイアウトデータの閉領域とが重なり合う位置関係
として、各々の組み合わせから得られる複数の位置関係
の中から共通するものを優先して、各位置関係の下での
配線全体の位置関係の一致度を評価し、これを基に最も
一致度の高い位置関係を得てもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について詳細
に説明する。図１は、本発明のＬＳＩの位置合わせ方法
の実施の形態を説明するための流れ図であり、図中符号
１１は観測画像、１２は観測画像の配線輪郭の抽出過
程、１３は抽出された配線輪郭、１４は閉領域の抽出過
程、１５は抽出された閉領域、２１はレイアウトデー
タ、２２はレイアウトデータの配線輪郭の抽出過程、２
３は抽出された配線輪郭、２４は閉領域の抽出過程、２
５は抽出された閉領域、３６は閉領域の形状の一致可能
性判定過程、３７は判定された位置関係、３８は配線全
体の一致度評価過程、３９は評価された最適な位置関係
を示す。

【００１４】先ず、得られた観測画像１１から配線輪郭
の抽出１２を行なう。観測画像１１は、電子ビームテス
タ等の解析装置によって得られるＬＳＩの２次元形状の
画像であり、図２は本発明の実施の形態におけるＬＳＩ
の配線の観測画像の一例の電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写
真）である。画像の比較の対象となる配線輪郭の抽出
は、対象範囲内の各点の輝度の値のデータの解析に基づ
いて行なわれる。図３は本発明の画像データの解析方法
を示す模式図であり、（ａ）は画像の区分された各部分
の輝度を０（黒）から２５５（白）の範囲で表わした一
部の模式的な分布図であり、（ｂ）は（ａ）で区分され
た各部分の輝度を所定の基準で周辺と比較した輝度解析
値の分布図である。

【００１５】配線輪郭の抽出１２では、観測画像１１か
らの配線輪郭の抽出を行う。電子ビームテスタの観測画
像の場合、図２に見られるように配線輪郭では輝度が近
傍の他の部分より相対的に高い。図３（ａ）に示すよう
に観測画像を所定の大きさで区分し各区分の輝度を計測
する。ＬＳＩではほとんどの配線が縦方向または横方向
のものであることも踏まえて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向
別に輝度が他の前後の座標値の点より高く、かつその中
で極大の輝度を持つ点を抽出していくことにより、それ
ぞれ縦および横方向の配線に対する配線輪郭を表わす点
を抽出できる。輝度が他より相対的に高いか否か等につ
いては適宜閾値を設定して操作していけばよい。

【００１６】例えば、図３（ａ）のような観測画像（一
部）から抽出された輝度分布に対して、Ｘ軸方向に配線
輪郭を抽出していく場合について説明する。輝度の値が
他の前後の区画より３０以上高く、かつその中で最大の
輝度を持つ区画をＸ軸方向に抽出し、抽出された区画を
１、それ以外の区画を０と表示すると、図３（ｂ）のよ
うに抽出された区画が１として表示される。

【００１７】なお、配線輪郭のデータは図３（ｂ）のよ
うに２次元のビットマップにより表わすことができる
が、それ以後の配線輪郭に関連する操作をより高速化す
るため、各配線輪郭を所定の方法で１本ないし複数の線
分により近似して表わし、それ以後の操作でではこの線
分を輪郭とみなして用いるとよい。即ち、線分は始点と
終点の座標のみで表わされるため、これを用いることに
よりデータ量を少なくし、種々の操作を高速に行うこと
ができる。

【００１８】また、観測画像ではノイズや配線輪郭の途
切れが生じるため、一定の長さ以下の配線輪郭を除去し
たり、一定の長さ以下の配線輪郭の途切れを繋ぐ等の操
作も有効である。このようにして図２の画像に対して配
線輪郭を抽出し、さらに線分により近似したものを２次
元の像として表わした例が図４であり、図４は本発明の
図２の電子顕微鏡観測画像から配線輪郭を抽出して加工
しディスプレー上に表示した配線輪郭の中間調画像であ
り、図では配線輪郭部分が白く、他は黒く表わされてい
る。

【００１９】なお、図４のように縦方向および横方向の
配線輪郭の向きが直交線より多少傾いている場合には、
それらの平均的な傾きを基にして、その向きがより正確
に縦、横方向になるように補正することができる。図５
は図４の配線輪郭の縦方向と横方向とが直交するように
修正をおこなった後のディスプレー上に表示した配線輪
郭の中間調画像である。

【００２０】一方、比較の対象となるレイアウトデータ
２１からの配線輪郭の抽出２２も行なわれる。レイアウ
トデータ２１はＬＳＩに対するレイアウト設計のデータ
であり、データ内に各配線の形状が表わされている。レ
イアウトデータに対してはＬＳＩの観測画像に現れる上
の層に限定してデータから配線の輪郭を抽出すればよ
く、また、ＬＳＩの観測画像を取得する際に指定した位
置と位置ずれの起こる可能性のある最大の範囲を基にし
て、重なり合う可能性のある範囲を求め、その範囲内の
配線輪郭を抽出すると良い。

【００２１】次の閉領域の抽出１４、２４では、配線輪
郭１３、２３により囲まれた区間を抽出する。本来観測
画像１１またはレイアウトデータ２１には非常に多くの
閉領域が含まれるが、抽出する数を抑えるためにある大
きさ以上の閉領域のみを抽出することが望ましい。縦、
横方向の寸法の最小値、平均値、積等によりある大きさ
以上のものに限定して抽出するとよい。

【００２２】さらに、そのようなある大きさ以上の閉領
域のみを抽出するための方法として、配線輪郭の中でど
ちらかの側においてある長さ以上交差や折り曲げのない
部分を探し、該当する部分を含む閉領域を抽出すると良
い。概ねＬＳＩの中で大きな閉領域は、それを構成する
配線輪郭に長い直線区間を含むことが多い。そのような
部分はどちらかの側においてある長さ以上交差や折れ曲
げのない配線輪郭の部分として検出できる。そして検出
されたそのような配線輪郭の部分を起点として配線輪郭
を辿ることにより抽出される閉領域のみを得ることによ
り、ある大きさ以上の閉領域が得られる。図５の配線輪
郭に対してある大きさ以上の閉領域を抽出した例を図６
に示す。図６は図５の配線輪郭の縦方向と横方向とが直
交するように修正をおこなった後の配線輪郭から所定の
方法で抽出した閉領域をディスプレー上に表示した閉領
域を構成する配線輪郭の中間調画像である。

【００２３】次の閉領域の形状の一致可能性判定３６で
は、観測画像から抽出された閉領域１５とレイアウトデ
ータから抽出された閉領域１６の間で形状が一致する可
能性があるか否かを判定する。基本的には２つの閉領域
の間でその位置を合わせ、両者を重ね合わせた場合の各
配線輪郭の重なり具合を評価し、評価値により判定すれ
ばよい。

【００２４】位置の合わせ方としては、両者の最左端と
最右端の一方または両方および、最上端と最下端の一方
または両方の座標の相違を基に位置の相違を算出し、補
正すればよい。両者の最左端と最右端の一方、最上端と
最下端の一方の座標の相違を利用すれば両者の座標のず
れを補正でき、両者の最左端と最右端の両方および、最
上端と最下端の両方の座標の相違を利用すれば、座標の
ずれとともに、両者の形状が一致するとした場合のＸ座
標、Ｙ座標の倍率の相違も補正できる。

【００２５】図７は観測画像とレイアウトデータから抽
出された閉領域の模式図であり、（ａ）は観測画像から
抽出された閉領域の模式図、（ｂ）はレイアウトデータ
から抽出された（ａ）に対応する閉領域の模式図、
（ｃ）はレイアウトデータから抽出された類似の閉領域
の模式図である。

【００２６】例えば図７（ａ）のような観測画像からの
閉領域と、図７（ｂ）のようなレイアウトデータからの
閉領域に対しての形状の一致可能性の判定３６と相互の
位置関係３７の把握を行う場合には、観測画像からの閉
領域の最左端のＸ座標値５７とレイアウトデータからの
閉領域の最左端のＸ座標値−４００、および観測画像か
らの閉領域の最右端のＸ座標値６７とレイアウトデータ
からの閉領域の最左端のＸ座標値−３００が一致するも
のとして扱えば、各々の（最右端のＸ座標値）―（最左
端のＸ座標値）の値が、１０および１００となることか
ら、その比からＸ座標の倍率の相違は０．１倍であるこ
とが判り、両者が一致する場合の位置関係は次のように
なることが判る。

【００２７】（観測画像側のＸ座標）＝０．１×（レイ
アウト側のＸ座標）＋９７同様にＹ座標に関しては次のようになることが判る。

【００２８】（観測画像側のＹ座標）＝０．１×（レイ
アウト側のＹ座標）＋８９このようにして閉領域同士の位置を合わせることができ
る。

【００２９】閉領域を構成する配線輪郭の重なり具合の
評価の方法としては次のいずれかもしくは組み合わせに
よって総合することにより評価値を導くことができる。（ａ）観測画像からの配線輪郭に対し、対応する位置付
近にレイアウトデータからの配線輪郭が存在するか否か
で正か負の評価を与える。（ｂ）レイアウトデータからの配線輪郭が存在するのに
対して観測画像からの配線輪郭が対応する位置付近に存
在するか否かに応じて正か負の評価を与える。

【００３０】これらにより得られる評価値を、設定した
閾値により判定すれば、一致可能性を判定できる。

【００３１】例えば、図７（ａ）と図７（ｂ）の閉領域
に対しては、観測画像からの配線輪郭に対し、対応する
位置付近にレイアウトデータからの配線輪郭が存在し、
かつ、観測画像からの配線輪郭に対してすべて対応する
位置付近にレイアウトデータからの配線輪郭が存在して
いるため、高い評価値を導くことができる。また、図７
（ａ）と図７（ｃ）の閉領域に対しては、右下の部分
で、観測画像からの配線輪郭とレイアウトデータからの
配線輪郭の位置が異なるため、互いに対応する位置には
配線が存在せず、このために負の評価が与えられ、前者
の場合よりも低い評価値を導くことができる。

【００３２】このような閉領域を構成する配線輪郭の重
なり具合を評価し、判定するためには多少の時間を要す
る。このため、閉領域の縦横の寸法、または頂点の数な
どの特徴量により閉領域の形状が一致する可能性を持つ
か否かを判定してもよい。これにより、一致可能性の判
定を短い時間で行える。また、最初に閉領域の縦横の寸
法、または頂点の数などの特徴量により閉領域の形状が
一致する可能性を持つか否かを判定し、一致可能性が判
定された閉領域の組み合わせに対してのみ、閉領域を構
成する配線輪郭の重なり具合を評価し、判定する方法を
とってもよい。

【００３３】なお、形状の一致可能性を評価する閉領域
の組み合わせとして、観測画像での位置ずれとして起こ
り得る範囲に基づいて、両者の位置の相違がその範囲内
に含まれるような閉領域の組み合わせに限定し、そのよ
うな組み合わせについてのみ閉領域同士の形状の一致可
能性の比較を行うとよい。これにより一致可能性を評価
する閉領域の組の数を減らすことができる。

【００３４】次の配線全体の一致度評価３８では、一致
可能性を持つと判定された閉領域の組み合わせに対し
て、それらが重なり合うような位置関係の下で、配線全
体を重ね合わせ、一致度を評価する。

【００３５】位置関係を合わせる方法としては、閉領域
の形状の一致可能性判定のための基本的な方法として説
明した位置の合わせ方と同じ方法、すなわち、両者の最
左端と最右端の一方または両方および、最上端と最下端
の一方または両方の座標の相違を基に位置の相違を算出
し、補正する方法でよく、同じ位置関係で配線全体を重
ね合わせればよい。さらに、閉領域の配線輪郭の重なり
具合を評価する際に微妙なずれを調ベておき、これを基
にさらに位置関係を補正した上で配線全体を重ね合わせ
てもよい。

【００３６】配線全体の重なり具合の評価としては、閉
領域の形状一致可能性判定のための各配線輪郭の重なり
具合の評価と同様に、次のいずれかもしくは組み合わせ
によって総合することにより評価値を導くことができ
る。（ａ）観測画像からの配線輪郭に対し、対応する位置付
近にレイアウトデータからの配線輪郭が存在するか否か
で正か負の評価を与える。（ｂ）レイアウトデータからの配線輪郭が存在するのに
対して観測画像からの配線輪郭が対応する位置付近に存
在するか否かに応じて応じて正か負の評価を与える。

【００３７】複数の閉領域の組み合わせに対してこのよ
うな一致度評価を行い、最も良い評価値を導くような組
み合わせに対する位置関係を得れば、これによって観測
画像とレイアウトデータとの最適の位置関係３９が得ら
れたことになる。

【００３８】なお、２次元の閉領域の形状の一致可能性
が判定された組み合わせの１つ１つに対して、両者が重
なり合う位置関係の下で配線全体の一致度を評価してい
く必要はない。既に試みた位置関係と同じまたはそれに
近い位置関係については、配線全体の一致度の評価を省
略してよい。

【００３９】さらに、一致可能性が判定された複数の組
み合わせに対応する複数の位置関係のうち、最も共通す
る位置関係から優先してある数だけ各位置関係の下で配
線全体の一致度を許価し、これを基に最も一致度の高い
位置関係を得てもよい。このような方法をとることによ
り、さらに配線全体の一致度を評価する回数を減らし、
かつ誤り無く位置関係を導くことができる。

【００４０】以上のような方法により、低い誤り可能性
で観測画像とレイアウトデータの位置関係を導き出すこ
とができる。

【００４１】

【発明の効果】本発明の方法では、観測画像とレイアウ
トデータとから抽出されたそれぞれの配線輪郭から、さ
らに閉領域を抽出して、閉領域の形状の一致の可能性か
ら最適な位置関係を確定するので、観測画像が配線数本
分以上に位置ずれした場合でも、従来方法より低い誤り
の可能性で位置合わせを行うことができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＬＳＩの位置合わせ方法の実施の形態
を説明するための流れ図である。

【図２】本発明の実施の形態におけるＬＳＩの配線の観
測画像の一例の電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）である。

【図３】本発明の画像データの解析方法を示す模式図で
ある。（ａ）は画像の区分された各部分の輝度を０
（黒）から２５５（白）の範囲で表わした一部の模式的
な分布図である。（ｂ）は（ａ）で区分された各部分の
輝度を所定の基準で周辺と比較した輝度解析値の分布図
である。

【図４】本発明の図２の電子顕微鏡観測画像から配線輪
郭を抽出して加工しディスプレー上に表示した配線輪郭
の中間調画像である。

【図５】図４の配線輪郭の縦方向と横方向とが直交する
ように修正をおこなった後のディスプレー上に表示した
配線輪郭の中間調画像である。

【図６】図５の配線輪郭の縦方向と横方向とが直交する
ように修正をおこなった後の配線輪郭から所定の方法で
抽出した閉領域をディスプレー上に表示した閉領域を構
成する配線輪郭の中間調画像である。

【図７】観測画像とレイアウトデータから抽出された閉
領域の模式図である。（ａ）は観測画像から抽出された
閉領域の模式図である。（ｂ）はレイアウトデータから
抽出された（ａ）に対応する閉領域の模式図である。
（ｃ）はレイアウトデータから抽出された類似の閉領域
の模式図である。

【図８】従来例の観測画像と輪郭線の分布を示す模式図
である。（ａ）はＬＳＩの配線画像の模式図である。
（ｂ）は（ａ）の配線のＹ軸方向輪郭線の分布図であ
る。

【符号の説明】

１１観測画像１２観測画像の配線輪郭の抽出過程１３抽出された配線輪郭１４閉領域の抽出過程１５抽出された閉領域２１レイアウトデータ２２レイアウトデータの配線輪郭の抽出過程２３抽出された配線輪郭２４閉領域の抽出過程２５抽出された閉領域３６閉領域の形状の一致可能性判定過程３７判定された位置関係３８配線全体の一致度評価過程３９評価された最適な位置関係

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/66 G01B 11/00 G03F 9/00 G06T 7/00 - 7/60

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ＬＳＩ上の所望の観測箇所に撮像位置を
移動させて前記ＬＳＩの２次元形状を表わす観測画像を
得て、得られた前記観測画像および前記ＬＳＩのレイアウトデ
ータから、対応するそれぞれの配線輪郭を抽出し、抽出された前記配線輪郭によって形成される２次元の閉
領域を抽出し、前記観測画像から抽出された前記閉領域および前記レイ
アウトデータから抽出された前記閉領域の間で形状の一
致可能性を判定し、一致可能性があると判定された前記閉領域の組み合わせ
に対しては、両者が重なり合う位置関係で、観測画像の
配線全体とレイアウトデータの配線全体とを重ね合わせ
た場合の一致度を評価し、配線全体の一致度が最も高くなる位置関係を得る、こと
を特徴とするＬＳＩ画像の位置合わせ方法。
【請求項２】前記観測画像からの前記配線輪郭の抽出
の過程で、２次元の前記配線輪郭の形状を所定の方法に
従い線分の組み合せにより近似させ、該線分を配線輪郭
とみなして抽出を行なう、請求項１に記載のＬＳＩ画像
の位置合わせ方法。
【請求項３】前記閉領域の抽出において、所定の大き
さ以上の前記閉領域のみを抽出し、抽出された前記閉領
域を対象に、形状の一致可能性の前記判定を行う、請求
項１に記載のＬＳＩ画像の位置合わせ方法。
【請求項４】所定の大きさ以上の閉領域のみを抽出す
る方法として、前記配線輪郭の中で少なくとも一方の側
において所定の長さ以上にわたって配線輪郭の交差や配
線輪郭の折れ曲げのない配線輪郭を求め、該当する配線
輪郭を含む閉領域を抽出する、請求項３に記載のＬＳＩ
画像の位置合わせ方法。
【請求項５】前記観測画像の前記閉領域と前記レイア
ウトデータの前記閉領域との間の形状の一致可能性の前
記判定において、それぞれの閉領域の縦寸法、横寸法お
よび頂点の数のうち、少なくともいずれか一つを含む特
徴量の対比によって両者の形状の一致可能性を判定す
る、請求項１に記載のＬＳＩ画像の位置合わせ方法。
【請求項６】前記観測画像の前記閉領域と前記レイア
ウトデータの前記閉領域との間の形状の一致可能性の前
記判定において、それぞれの閉領域の縦寸法、横寸法お
よび頂点の数のうち、少なくともいずれか一つを含む特
徴量の対比が所定の設定値を満たすかを判定し、これを
満たす組み合わせのみに対して詳細に両者の形状の一致
可能性を判定する、請求項５に記載のＬＳＩ画像の位置
合わせ方法。
【請求項７】前記観測画像の前記閉領域と前記レイア
ウトデータの前記閉領域との間の形状の一致可能性の前
記判定において、前記観測画像での位置ずれとして起こ
り得る範囲内に、それぞれの位置の相違が含まれる前記
閉領域の組み合わせについてのみ、閉領域の形状の一致
可能性の前記判定やそれ以後の操作を行う、請求項１に
記載のＬＳＩ画像の位置合わせ方法。
【請求項８】配線全体の一致度が最も高くなる位置関
係を得る方法として、前記閉領域の形状の一致可能性が
判定された複数の組み合わせに対し、前記観測画像の前
記閉領域と前記レイアウトデータの前記閉領域とが重な
り合う位置関係として、各々の組み合わせから得られる
複数の位置関係の中から共通するものを優先して、各位
置関係の下での配線全体の位置関係の一致度を評価し、
これを基に最も一致度の高い位置関係を得る、請求項１
に記載のＬＳＩ画像の位置合わせ方法。