JP2903748B2 - レーザ顕微鏡による形状測定方法 - Google Patents
レーザ顕微鏡による形状測定方法Info
- Publication number
- JP2903748B2 JP2903748B2 JP3066220A JP6622091A JP2903748B2 JP 2903748 B2 JP2903748 B2 JP 2903748B2 JP 3066220 A JP3066220 A JP 3066220A JP 6622091 A JP6622091 A JP 6622091A JP 2903748 B2 JP2903748 B2 JP 2903748B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- laser microscope
- image
- connector
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバコネクタの
結合端面などの形状をレーザ顕微鏡によって測定するた
めの方法に関する。
結合端面などの形状をレーザ顕微鏡によって測定するた
めの方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバにて伝送路を構築する場合、
光ファイバを低損失で接続する技術が必要であり、この
低損失の接続のためには、光ファイバ自体の構造パラメ
ータ（外径、モードフィールド径、モードフィールド偏
心量）を安定高精度化させるのみならず、光ファイバを
位置決め固定する光コネクタの構造パラメータ（コアピ
ッチ、コア／ガイドピン穴の寸法、コア／内外径の偏心
量）を安定化することが必要である。すなわち、光コネ
クタの構造パラメータの高精度測定が必要となってく
る。
光ファイバを低損失で接続する技術が必要であり、この
低損失の接続のためには、光ファイバ自体の構造パラメ
ータ（外径、モードフィールド径、モードフィールド偏
心量）を安定高精度化させるのみならず、光ファイバを
位置決め固定する光コネクタの構造パラメータ（コアピ
ッチ、コア／ガイドピン穴の寸法、コア／内外径の偏心
量）を安定化することが必要である。すなわち、光コネ
クタの構造パラメータの高精度測定が必要となってく
る。
【０００３】かかる高精度測定にあって、図５に示すよ
うな光ファイバコネクタ１の結合端面の寸法を測定する
際には、図６にも示すように光ファイバコネクタ１の光
ファイバテープ２に可視光源３より照明光を励振し、光
ファイバ端面４でのコア端面位置に、照明光を励振した
状態で、光学顕微鏡５の顕微鏡焦点を合わせて観察して
いる。この場合、コアの端面位置以外に、コア端面と同
一平面に含まれる他の部分（例えば位置決め用ガイドピ
ン穴６）の測定をあわせて行なうことにより、光ファイ
バコネクタの寸法を測定することができる。なお、７は
光ファイバコネクタ１の固定用のステージである。
うな光ファイバコネクタ１の結合端面の寸法を測定する
際には、図６にも示すように光ファイバコネクタ１の光
ファイバテープ２に可視光源３より照明光を励振し、光
ファイバ端面４でのコア端面位置に、照明光を励振した
状態で、光学顕微鏡５の顕微鏡焦点を合わせて観察して
いる。この場合、コアの端面位置以外に、コア端面と同
一平面に含まれる他の部分（例えば位置決め用ガイドピ
ン穴６）の測定をあわせて行なうことにより、光ファイ
バコネクタの寸法を測定することができる。なお、７は
光ファイバコネクタ１の固定用のステージである。
【０００４】また、図７に示すように円柱状構造を有す
る光コネクタフェルール１０の構造パラメータ（内外径
偏心量）の測定、あるいはフェルールに光ファイバを固
定した場合におけるコア／外径偏心量の測定等におい
て、内径１１のコア１２と外縁体１３の外周それぞれを
観測できる位置が同一平面上に存在せず、光学的顕微鏡
の焦点を両方位置に同時に合わせて観察できない。この
ため、従来においては、内径１１やコア１２の位置は、
透過照明を行ないつつ撮像素子にてその透過画像を得
て、画像上方を処理して求めており、他方外縁体１２
は、接触式測長プローブ（図示省略）により測定してい
るのが現状である。
る光コネクタフェルール１０の構造パラメータ（内外径
偏心量）の測定、あるいはフェルールに光ファイバを固
定した場合におけるコア／外径偏心量の測定等におい
て、内径１１のコア１２と外縁体１３の外周それぞれを
観測できる位置が同一平面上に存在せず、光学的顕微鏡
の焦点を両方位置に同時に合わせて観察できない。この
ため、従来においては、内径１１やコア１２の位置は、
透過照明を行ないつつ撮像素子にてその透過画像を得
て、画像上方を処理して求めており、他方外縁体１２
は、接触式測長プローブ（図示省略）により測定してい
るのが現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバにおいて、
例えばシングルモードファイバにおいて、光は直径１０
μｍ程度のコア部分を通って伝送される。従って、光コ
ネクタ１どうしを結合させた際の結合損失を小さくする
ためには、光ファイバコネクタ１の結合端面上におい
て、コア或いはガイドピン穴６等が０．１μｍ単位の精
度で配置されている必要がある。このため、光ファイバ
コネクタの評価・検査には、このコア位置を０．１μｍ
以上の精度で測定する手段が必要である。しかし、図５
のような光ファイバコネクタの寸法測定を、従来の光学
式顕微鏡を用いて行った場合、図８のようにガイドピン
用穴６の断面のエッジ６ａが丸まっている場合があるた
め、ガイドピン穴６の中央位置を０．１μｍの精度で測
定することはできない。従って、それらを基準としたコ
ア位置の測定精度も０．１μｍよりも悪くなる。また、
図７のようなフェルール１０の寸法測定においては、内
径１１やコア１２と、外縁体１３の外周それぞれを観測
できる位置が同一平面上に存在しないために、光学顕微
鏡の焦点を両方に同時に合わせて観察することができな
い。そこで、内径１１やコア１２の位置と、外径とを別
々の手段で測定する方法が行われているが、異なる測定
手段の相互調整が難しく、十分な精度を確保することは
困難である。
例えばシングルモードファイバにおいて、光は直径１０
μｍ程度のコア部分を通って伝送される。従って、光コ
ネクタ１どうしを結合させた際の結合損失を小さくする
ためには、光ファイバコネクタ１の結合端面上におい
て、コア或いはガイドピン穴６等が０．１μｍ単位の精
度で配置されている必要がある。このため、光ファイバ
コネクタの評価・検査には、このコア位置を０．１μｍ
以上の精度で測定する手段が必要である。しかし、図５
のような光ファイバコネクタの寸法測定を、従来の光学
式顕微鏡を用いて行った場合、図８のようにガイドピン
用穴６の断面のエッジ６ａが丸まっている場合があるた
め、ガイドピン穴６の中央位置を０．１μｍの精度で測
定することはできない。従って、それらを基準としたコ
ア位置の測定精度も０．１μｍよりも悪くなる。また、
図７のようなフェルール１０の寸法測定においては、内
径１１やコア１２と、外縁体１３の外周それぞれを観測
できる位置が同一平面上に存在しないために、光学顕微
鏡の焦点を両方に同時に合わせて観察することができな
い。そこで、内径１１やコア１２の位置と、外径とを別
々の手段で測定する方法が行われているが、異なる測定
手段の相互調整が難しく、十分な精度を確保することは
困難である。
【０００６】本発明は、上述の問題に鑑み測定精度が高
くしかも別々の測定手段を用いることなく被検体の形状
を測定可能としたレーザ顕微鏡による形状測定方法の提
供を目的とする。
くしかも別々の測定手段を用いることなく被検体の形状
を測定可能としたレーザ顕微鏡による形状測定方法の提
供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、レーザ顕微鏡を用いた被検体の形状測定方法に
おいて、上記被検体の下部より照明光を照射し、上記被
検体の測定面上での上記照明光の光強度を、上記レーザ
顕微鏡によるレーザ光の走査によりその内部検出器が上
記被検体の像を検出する場合の光強度と同様なレベルに
調整した後、レーザ光による像と照明光による像との合
成画像をレーザ顕微鏡によって求め、上記被検体の測定
面での光学的組成を含めた形状を測定すること、を特徴
とする。
発明は、レーザ顕微鏡を用いた被検体の形状測定方法に
おいて、上記被検体の下部より照明光を照射し、上記被
検体の測定面上での上記照明光の光強度を、上記レーザ
顕微鏡によるレーザ光の走査によりその内部検出器が上
記被検体の像を検出する場合の光強度と同様なレベルに
調整した後、レーザ光による像と照明光による像との合
成画像をレーザ顕微鏡によって求め、上記被検体の測定
面での光学的組成を含めた形状を測定すること、を特徴
とする。
【０００８】
【作用】レーザ顕微鏡において、レーザ光の反射光強度
の差だけでは形状の識別ができない場合にあっては、本
来のレーザ顕微鏡のレーザ走査による像において反射光
強度差によって識別可能な形状情報に加えて、例えば光
ファイバコアでは照明光により励振することによりその
コアの像をレーザ顕微鏡の内部検出器で前者の像と同時
に撮像し、これら両者の画像を処理すれば被検体の高精
度測定ならびに３次元測定が可能となる。
の差だけでは形状の識別ができない場合にあっては、本
来のレーザ顕微鏡のレーザ走査による像において反射光
強度差によって識別可能な形状情報に加えて、例えば光
ファイバコアでは照明光により励振することによりその
コアの像をレーザ顕微鏡の内部検出器で前者の像と同時
に撮像し、これら両者の画像を処理すれば被検体の高精
度測定ならびに３次元測定が可能となる。
【０００９】より詳細に述べるに、コネクタ端部の寸法
測定を行う際には、通常の光学顕微鏡の替わりにレーザ
顕微鏡を用いて観察を行う。このレーザ顕微鏡は、０．
０１μｍの精度での３次元形状測定が可能であり、得ら
れる画像は測定面の全面に焦点があったものである。従
って、図５のような光ファイバコネクタ１の寸法測定に
おいて、ガイドピン穴６のエッジ６ａが図８のように丸
まっていても、その影響を受けることなくその中心位置
を求めることができる。また、図７のような円柱状構造
を有する光ファイバコネクタのフェルールの偏心量（内
径１１或いはコア１２の中心と外縁体１３の中心との
差）の測定において、内径１１或いはコア１２の位置、
外縁体１３の外周それぞれを観測できる位置が同一平面
上に存在しなくても、レーザ顕微鏡の焦点が両方に合っ
た画像を得ることができるため、寸法測定が可能であ
る。
測定を行う際には、通常の光学顕微鏡の替わりにレーザ
顕微鏡を用いて観察を行う。このレーザ顕微鏡は、０．
０１μｍの精度での３次元形状測定が可能であり、得ら
れる画像は測定面の全面に焦点があったものである。従
って、図５のような光ファイバコネクタ１の寸法測定に
おいて、ガイドピン穴６のエッジ６ａが図８のように丸
まっていても、その影響を受けることなくその中心位置
を求めることができる。また、図７のような円柱状構造
を有する光ファイバコネクタのフェルールの偏心量（内
径１１或いはコア１２の中心と外縁体１３の中心との
差）の測定において、内径１１或いはコア１２の位置、
外縁体１３の外周それぞれを観測できる位置が同一平面
上に存在しなくても、レーザ顕微鏡の焦点が両方に合っ
た画像を得ることができるため、寸法測定が可能であ
る。
【００１０】この場合、コア／クラッドの屈折率の差が
小さいため、レーザ顕微鏡の走査光の反射光強度の差か
ら、コネクタの結合端面上のコアの位置を識別できない
という現象があるので、コネクタ結合端面においてコア
の位置が識別できるようにするために、コネクタにつな
がる光ファイバに光源を接続し、コアを励振する。そし
て、コアからの光レーザ顕微鏡の検出器において、検出
可能な範囲にあるように光の強度を調整する。その状態
で、レーザ顕微鏡によってコネクタ端面の観察を行う
と、レーザ顕微鏡の走査光による像と、コアから発する
光の像とによる合成画像を得ることができる。この合成
画像を画像処理することによって、コネクタ結合端面
の、光学的構造（コア位置）を含めた３次元形状測定を
高精度に行うことができる。
小さいため、レーザ顕微鏡の走査光の反射光強度の差か
ら、コネクタの結合端面上のコアの位置を識別できない
という現象があるので、コネクタ結合端面においてコア
の位置が識別できるようにするために、コネクタにつな
がる光ファイバに光源を接続し、コアを励振する。そし
て、コアからの光レーザ顕微鏡の検出器において、検出
可能な範囲にあるように光の強度を調整する。その状態
で、レーザ顕微鏡によってコネクタ端面の観察を行う
と、レーザ顕微鏡の走査光による像と、コアから発する
光の像とによる合成画像を得ることができる。この合成
画像を画像処理することによって、コネクタ結合端面
の、光学的構造（コア位置）を含めた３次元形状測定を
高精度に行うことができる。
【００１１】
【実施例】ここで、図１〜図４を参照して本実施例を説
明する。まず、光ファイバコネクタ２１の結合端面が図
２に示すように設計された８心光ファイバコネクタの形
状測定をレーザ顕微鏡で行なう場合を説明する。図２は
全体としてプラスチックで作られたコネクタ２１にあっ
て、その端面両側にガイドピン穴６が形成され、このガ
イドピン穴６間にシリコンによる鏡面部６ｂが形成さ
れ、この鏡面部６ｂ内には直線とＶ溝にて形成されて間
に接着剤が充填されたファイバ固定部６ｃが存在し、こ
のファイバ固定部６ｃ内に例えば１２５μｍ、コア直径
１０μｍの光ファイバ４が固定される。そして、ここで
は例えばコアピッチ２５０μｍ、ガイドピン穴６ａと端
部コアとの距離１４２５μｍの構造パラメータが設定さ
れる。
明する。まず、光ファイバコネクタ２１の結合端面が図
２に示すように設計された８心光ファイバコネクタの形
状測定をレーザ顕微鏡で行なう場合を説明する。図２は
全体としてプラスチックで作られたコネクタ２１にあっ
て、その端面両側にガイドピン穴６が形成され、このガ
イドピン穴６間にシリコンによる鏡面部６ｂが形成さ
れ、この鏡面部６ｂ内には直線とＶ溝にて形成されて間
に接着剤が充填されたファイバ固定部６ｃが存在し、こ
のファイバ固定部６ｃ内に例えば１２５μｍ、コア直径
１０μｍの光ファイバ４が固定される。そして、ここで
は例えばコアピッチ２５０μｍ、ガイドピン穴６ａと端
部コアとの距離１４２５μｍの構造パラメータが設定さ
れる。
【００１２】図２に示す光ファイバコネクタの結合端面
をレーザ顕微鏡にて観察するに当り、図１に示す装置に
よって行なわれる。すなわち、ステージ２０に８心光コ
ネクタ２１を固定する。このステージ２０、例えばＸ，
Ｙ軸方向には０．０１μｍ、Ｚ軸方向には０．１μｍ単
位で移動可能なものを使用する。ステージ２０に固定さ
れた８心光コネクタ２１につながる光ファイバには、３
ｄＢカプラ２１、アッテネータ１２、及びＨｅ−Ｎｅレ
ーザ２４（波長６３２．８nm，出力２mw）が接続され、
このレーザ２４によってコネクタ結合端面上の各コアが
励振させられる。
をレーザ顕微鏡にて観察するに当り、図１に示す装置に
よって行なわれる。すなわち、ステージ２０に８心光コ
ネクタ２１を固定する。このステージ２０、例えばＸ，
Ｙ軸方向には０．０１μｍ、Ｚ軸方向には０．１μｍ単
位で移動可能なものを使用する。ステージ２０に固定さ
れた８心光コネクタ２１につながる光ファイバには、３
ｄＢカプラ２１、アッテネータ１２、及びＨｅ−Ｎｅレ
ーザ２４（波長６３２．８nm，出力２mw）が接続され、
このレーザ２４によってコネクタ結合端面上の各コアが
励振させられる。
【００１３】観察する側においては、光学式顕微鏡２５
及びレーザ顕微鏡２６及びモニタ２７を備え、５０倍の
対物レンズを取付けてコネクタ結合端面上に焦点を合わ
せる。そして、コネクタ結合端面上の第１のファイバ
（例えば図２の左端ファイバ）の端面が、図３に示すよ
うにレーザ顕微鏡２６による画像にてコアの位置が識別
できるよいうに、アッテネータ２３を用いてコアから発
するＨｅ−Ｎｅレーザ光の強度を調整する。
及びレーザ顕微鏡２６及びモニタ２７を備え、５０倍の
対物レンズを取付けてコネクタ結合端面上に焦点を合わ
せる。そして、コネクタ結合端面上の第１のファイバ
（例えば図２の左端ファイバ）の端面が、図３に示すよ
うにレーザ顕微鏡２６による画像にてコアの位置が識別
できるよいうに、アッテネータ２３を用いてコアから発
するＨｅ−Ｎｅレーザ光の強度を調整する。
【００１４】この状態の画像をコンピュータのフレーム
メモリに取り込み、適当な画像処理を行うことによって
第一のコアの中心位置を±０．０１μｍの精度で求める
ことができる次にステージをＸ軸方向に移動して、第二
（図２の左側より２番目）のファイバ端面が視野の中心
付近にくるようにする。そして、同様の操作によって第
二のコアの中心位置を求める。このような測定をすべて
のコアについて行い、それらの中心位置を求める。
メモリに取り込み、適当な画像処理を行うことによって
第一のコアの中心位置を±０．０１μｍの精度で求める
ことができる次にステージをＸ軸方向に移動して、第二
（図２の左側より２番目）のファイバ端面が視野の中心
付近にくるようにする。そして、同様の操作によって第
二のコアの中心位置を求める。このような測定をすべて
のコアについて行い、それらの中心位置を求める。
【００１５】更に、ガイドピン穴６の中心位置を求める
ため、図４に示すような穴のエッジ位置（図４Ｘ印）を
測定する。測定はレーザ顕微鏡２６の表面形状測定機能
を用いる。すなわち、顕微鏡２６の視野の中心付近にエ
ッジ部分がくるようにステージ２０を移動し、表面形状
測定によりエッジ位置６ａを求める。合計１０箇所のエ
ッジ位置６ａを求め、それらを通る近似円を最小自乗法
により計算して求める。その近似円の中心位置がガイド
ピン穴６の中心位置とすることにより、ガイドピン穴６
の中心位置を±０．０１μｍの精度で求めることができ
る。以上のようにして、図２に示したような光コネクタ
の結合端面におけるガイドピン穴及びコアの配置を±
０．０１μｍの精度で求めることができる。
ため、図４に示すような穴のエッジ位置（図４Ｘ印）を
測定する。測定はレーザ顕微鏡２６の表面形状測定機能
を用いる。すなわち、顕微鏡２６の視野の中心付近にエ
ッジ部分がくるようにステージ２０を移動し、表面形状
測定によりエッジ位置６ａを求める。合計１０箇所のエ
ッジ位置６ａを求め、それらを通る近似円を最小自乗法
により計算して求める。その近似円の中心位置がガイド
ピン穴６の中心位置とすることにより、ガイドピン穴６
の中心位置を±０．０１μｍの精度で求めることができ
る。以上のようにして、図２に示したような光コネクタ
の結合端面におけるガイドピン穴及びコアの配置を±
０．０１μｍの精度で求めることができる。
【００１６】図７のようなフェルール１０の寸法測定に
おいても、同様な方法を用いることにより、±０．０１
μｍの精度で測定できることが類推される。また、本発
明は他の光導波路の測定にも適用可能である。
おいても、同様な方法を用いることにより、±０．０１
μｍの精度で測定できることが類推される。また、本発
明は他の光導波路の測定にも適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
従来の如く光学的顕微鏡のみの測定における低精度や円
筒状フェルールにおける別々の測定手段の使用を除き、
光ファイバコネクタの結合端面におけるガイドピン穴、
コア等の配置を±０．０１μｍの精度で求めることが可
能である。それによって、光ファイバコネクタの評価・
検査を十分な精度で行うことができる。
従来の如く光学的顕微鏡のみの測定における低精度や円
筒状フェルールにおける別々の測定手段の使用を除き、
光ファイバコネクタの結合端面におけるガイドピン穴、
コア等の配置を±０．０１μｍの精度で求めることが可
能である。それによって、光ファイバコネクタの評価・
検査を十分な精度で行うことができる。
【図１】レーザ顕微鏡の測定方法のための構成図であ
る。
る。
【図２】光コネクタ端面の構成図である。
【図３】モニタされたコネクタ端面の画像の説明図であ
る。
る。
【図４】ガイドピン穴のエッジ測定位置の説明図であ
る。
る。
【図５】光コネクタの一例の斜視図である。
【図６】顕微鏡による測定方法のための構成図である。
【図７】単心フェルールの斜視図である。
【図８】ガイドピン穴の断面構成図である。
１，２１ 光コネクタ ４ 光ファイバ端面 ６ ガイドピン穴 ６ａ エッジ部 ２０ ステージ ２３ アッテネータ ２４ Ｈｅ−Ｎｅ レーザ ２６ レーザ顕微鏡
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 9/04 G01B 11/00 - 11/30 G01M 11/00 G02B 21/00
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ顕微鏡を用いた被検体の形状測定
方法において、上記被検体の下部より照明光を照射し、
上記被検体の測定面上での上記照明光の光強度を、上記
レーザ顕微鏡によるレーザ光の走査によりその内部検出
器が上記被検体の像を検出する場合の光強度と同様なレ
ベルに調整した後、レーザ光による像と照明光による像
との合成画像をレーザ顕微鏡によって求め、上記被検体
の測定面での光学的組成を含めた形状を測定すること、
を特徴とするレーザ顕微鏡による形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3066220A JP2903748B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | レーザ顕微鏡による形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3066220A JP2903748B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | レーザ顕微鏡による形状測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301508A JPH04301508A (ja) | 1992-10-26 |
| JP2903748B2 true JP2903748B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=13309535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3066220A Expired - Fee Related JP2903748B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | レーザ顕微鏡による形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903748B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3066220A patent/JP2903748B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04301508A (ja) | 1992-10-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3410469B2 (ja) | 光ファイバー束を用いる光モード混合器の改良 | |
| US6750967B2 (en) | Light scattering measuring probe | |
| EP0586964B1 (en) | Method of determining azimuthal position of transverse axes of optical fibers with elliptical cores | |
| CN110986836B (zh) | 基于环形芯光纤的高精度粗糙度测量装置 | |
| JP2903748B2 (ja) | レーザ顕微鏡による形状測定方法 | |
| JPH10507849A (ja) | ツインコアを有する光ファイバとシングルコアを有するファイバとの接続 | |
| JPH0357450B2 (ja) | ||
| EP1065489B1 (en) | Apparatus for optical time domain reflectometry on multi-mode optical fibers, a light source section thereof, and a process for producing the light source section | |
| JPH0815563A (ja) | 非軸対称屈折率分布を有する光ファイバと光導波路との結合部におけるアライメント方法、光ファイバ固定構造及び結合部 | |
| JP3343756B2 (ja) | 光回路用コリメータの製造方法 | |
| JPS58220111A (ja) | 光フアイバの接続方法 | |
| EP1565713A1 (de) | Optisches hydrophon für ein stosswellenfeld mit hoher lebensdauer | |
| Katagiri et al. | Optical microscope observation method of a single-mode optical-fiber core for precise core-axis alignment | |
| JP3609623B2 (ja) | 異径コアファイバ接続部の接続損失推定方法および異径コアファイバの接続方法 | |
| El-Diasty | Laser-scattering-based method for investigation of ultra-low-loss arc fusion-spliced single-mode optical fibers | |
| JP3418296B2 (ja) | 異径光ファイバの軸ずれ量検出方法 | |
| JPH06129838A (ja) | 傾斜端を有する光ファイバの角度パラメータの測定方法及び該方法の実施に使用する装置 | |
| JP3051327B2 (ja) | 光コネクタ上の偏波面保存光ファイバの偏波保存面の計測方法 | |
| JPS62130306A (ja) | 石英系光導波路の光学的測定方法 | |
| Fietkiewicz | Measuring the Mode Field Diameter of Single Mode Fibers Using the Knife-Edge Technique | |
| JPS62189409A (ja) | 光フアイバ軸ずれ測定方法 | |
| JPS61155933A (ja) | 光フアイバの構造パラメ−タ測定方法 | |
| JPS62299738A (ja) | 光フアイバの端面角度測定方法およびその装置 | |
| JP3571814B2 (ja) | 光コネクタの端面角度測定方法および光コネクタの端面角度測定装置 | |
| JPH0369060B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990223 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |