JP2890872B2 - レーザトリミング装置 - Google Patents
レーザトリミング装置Info
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- JP2890872B2 JP2890872B2 JP3058288A JP5828891A JP2890872B2 JP 2890872 B2 JP2890872 B2 JP 2890872B2 JP 3058288 A JP3058288 A JP 3058288A JP 5828891 A JP5828891 A JP 5828891A JP 2890872 B2 JP2890872 B2 JP 2890872B2
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- Japan
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- trimming
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザトリミング装置に
関し、特にチップ抵抗用トリミング装置に関する。
関し、特にチップ抵抗用トリミング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のレーザトリミング装置と
しては、それぞれ３個の基準ピンと２個以上の押えピン
を利用して、被トリミング基準の位置決め，固定を行う
２組の載物台と、この２組の載物台を搭載し、被トリミ
ング基板のローディング位置とトリミング位置とを交互
に入れ換える２インデックスのターンテーブル機構とを
有するものがある。
しては、それぞれ３個の基準ピンと２個以上の押えピン
を利用して、被トリミング基準の位置決め，固定を行う
２組の載物台と、この２組の載物台を搭載し、被トリミ
ング基板のローディング位置とトリミング位置とを交互
に入れ換える２インデックスのターンテーブル機構とを
有するものがある。
【０００３】但し、上記従来の装置において、被トリミ
ング基板の位置決め用の３個の基準ピンは、トリミング
位置において、一般に長方形である被トリミング基板の
Ｘ方向，Ｙ方向の各辺が、ビームポジショナによるレー
ザビームのＸＹ平面内の走査軸と一致するように調整し
た後固定されたままであった。
ング基板の位置決め用の３個の基準ピンは、トリミング
位置において、一般に長方形である被トリミング基板の
Ｘ方向，Ｙ方向の各辺が、ビームポジショナによるレー
ザビームのＸＹ平面内の走査軸と一致するように調整し
た後固定されたままであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のこの種の構造を
持つトリミング装置は、チップ抵抗基板のトリミングに
最適である。チップ抵抗の呼称は、その外形の大きさで
表わされ、３２１６（３．２×１．６ｍｍ），２１２５
（２．０×１．２５ｍｍ），１６０８（１．６×０．８
ｍｍ）と次第に小さくなり、１００５（１．０×０．５
ｍｍ）の生産も始まっている。
持つトリミング装置は、チップ抵抗基板のトリミングに
最適である。チップ抵抗の呼称は、その外形の大きさで
表わされ、３２１６（３．２×１．６ｍｍ），２１２５
（２．０×１．２５ｍｍ），１６０８（１．６×０．８
ｍｍ）と次第に小さくなり、１００５（１．０×０．５
ｍｍ）の生産も始まっている。
【０００５】ところが、チップ抵抗の大きさが小さくな
るにつれ、従来の被トリミング基板の外形辺を利用した
３個の基準ピンによる位置決めでは、プローブ列の方向
と基板上にスクリーン印刷により形成される電極パッド
の列の方向とに生じる基板毎の角度ズレのため、一部で
プローブが電極パッドから外れて抵抗値の測定ができな
い不都合が発生する確立が大きくなる問題点があった。
また、切る抵抗体の大きさが小さいため、基板上にスク
リーン印刷により形成される抵抗体の行列軸とレーザビ
ームのＸＹ平面内の走査軸との微少な角度ズレにより、
右端では抵抗体の真中を切っていても、左端では抵抗体
を外れ、電極上を切るといった不都合を生じ、歩留りが
下がる問題点があった。
るにつれ、従来の被トリミング基板の外形辺を利用した
３個の基準ピンによる位置決めでは、プローブ列の方向
と基板上にスクリーン印刷により形成される電極パッド
の列の方向とに生じる基板毎の角度ズレのため、一部で
プローブが電極パッドから外れて抵抗値の測定ができな
い不都合が発生する確立が大きくなる問題点があった。
また、切る抵抗体の大きさが小さいため、基板上にスク
リーン印刷により形成される抵抗体の行列軸とレーザビ
ームのＸＹ平面内の走査軸との微少な角度ズレにより、
右端では抵抗体の真中を切っていても、左端では抵抗体
を外れ、電極上を切るといった不都合を生じ、歩留りが
下がる問題点があった。
【０００６】本発明の目的は、前記課題を解決したレー
ザトリミング装置を提供することにある。
ザトリミング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るレーザトリミング装置においては、絶
縁基板上に印刷などにより形成された抵抗体の一部をレ
ーザ光線によって切断することにより、抵抗値を所定の
値に自動調整するレーザトリミング装置において、それ
ぞれ３個の基準ピンと２個以上の押えピンを利用して、
被トリミング基板の位置決め，固定を行う２組の載物台
と、２組の載物台を搭載し被トリミング基板のローディ
ング位置とトリミング位置とを交互に入れ換える２イン
デックスのターンテーブル機構と、ローディング位置で
２台のテレビカメラにより被トリミング基板上の印刷マ
ークをパターン認識し、基板位置決めの角度ズレを検出
する機構と、前記載物台の３個の基準ピンの中で基板の
１辺に接する２個の基準ピンの片方を、検出された角度
ズレに応じて移動させる角度補正機構とを含むものであ
る。
め、本発明に係るレーザトリミング装置においては、絶
縁基板上に印刷などにより形成された抵抗体の一部をレ
ーザ光線によって切断することにより、抵抗値を所定の
値に自動調整するレーザトリミング装置において、それ
ぞれ３個の基準ピンと２個以上の押えピンを利用して、
被トリミング基板の位置決め，固定を行う２組の載物台
と、２組の載物台を搭載し被トリミング基板のローディ
ング位置とトリミング位置とを交互に入れ換える２イン
デックスのターンテーブル機構と、ローディング位置で
２台のテレビカメラにより被トリミング基板上の印刷マ
ークをパターン認識し、基板位置決めの角度ズレを検出
する機構と、前記載物台の３個の基準ピンの中で基板の
１辺に接する２個の基準ピンの片方を、検出された角度
ズレに応じて移動させる角度補正機構とを含むものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明のトリミング装置は、２組の載物台を搭
載し、被トリミング基板のローディング位置とトリミン
グ位置とを交互に入れ変え、ローディング位置で２台の
テレビカメラにより被トリミング基板上の印刷マークを
パターン認識し、基板位置決めの角度ズレを検出し、前
記載物台の各々３個の基準ピンの中で基板の１辺に接す
る２個の基準ピンの片方を検出された角度ズレに応じて
移動させて角度補正を行うものである。
載し、被トリミング基板のローディング位置とトリミン
グ位置とを交互に入れ変え、ローディング位置で２台の
テレビカメラにより被トリミング基板上の印刷マークを
パターン認識し、基板位置決めの角度ズレを検出し、前
記載物台の各々３個の基準ピンの中で基板の１辺に接す
る２個の基準ピンの片方を検出された角度ズレに応じて
移動させて角度補正を行うものである。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示す平面図である。図
において、被トリミング基板１は、ローディング位置で
ターンテーブル２上の載物台３に載せられ、位置決め固
定されている。被トリミング基板１の位置決めは、３個
の基準ピン４，５，６に２辺を押し当てることによっ
て、行われる。基準ピン４，５，６に体する押し当て
は、バネの力などを利用した押えピン７，８，９で行わ
れる。
る。図１は、本発明の一実施例を示す平面図である。図
において、被トリミング基板１は、ローディング位置で
ターンテーブル２上の載物台３に載せられ、位置決め固
定されている。被トリミング基板１の位置決めは、３個
の基準ピン４，５，６に２辺を押し当てることによっ
て、行われる。基準ピン４，５，６に体する押し当て
は、バネの力などを利用した押えピン７，８，９で行わ
れる。
【００１０】被トリミング基板１の印刷の角度ズレの検
出は、被トリミング基板１上に印刷で作成されたパター
ン認識用マーク１０，１１を利用する。本発明の構成要
素である２台のパターン認識用カメラ２台は、パターン
認識用マーク１０，１１の上方に、この認識用マークを
とらえるように設置される。被トリミング基板１の角度
ズレは、あらかじめ基準となる基板を被トリミング基板
１の位置に置き、２台のパターン認識用カメラによる２
つの位置における基準基板のパターン認識マーク画像を
記録しておき、実際の被トリミング基板の場合にこれと
比較し、計算することで求められる。即ち、基準基板に
おけるパターン認識用マーク１０と１１との距離をｄ、
それぞれの位置におけるパターン認識装置による位置の
ずれ検出量を（Δｘ10，Δｙ10）と（Δｘ11，Δｙ11）
とすれば、
出は、被トリミング基板１上に印刷で作成されたパター
ン認識用マーク１０，１１を利用する。本発明の構成要
素である２台のパターン認識用カメラ２台は、パターン
認識用マーク１０，１１の上方に、この認識用マークを
とらえるように設置される。被トリミング基板１の角度
ズレは、あらかじめ基準となる基板を被トリミング基板
１の位置に置き、２台のパターン認識用カメラによる２
つの位置における基準基板のパターン認識マーク画像を
記録しておき、実際の被トリミング基板の場合にこれと
比較し、計算することで求められる。即ち、基準基板に
おけるパターン認識用マーク１０と１１との距離をｄ、
それぞれの位置におけるパターン認識装置による位置の
ずれ検出量を（Δｘ10，Δｙ10）と（Δｘ11，Δｙ11）
とすれば、
【００１１】
【数１】
【００１２】となる。このずれ角度を、基準ピン４を動
かして補正する。動かすための駆動用ステッピングモー
タ１２は、ロード位置でターンテーブル２の外部に設置
される。ステッピングモータ１２の回転は、運動変換機
構１３を通して、基準ピン取付部１４の左右の移動に変
換される。ガイド１５は左右の運動用ガイドの役目をし
ており、引張りばね１６は基準ピン取付部を運動変換機
構１３の先端に押し付ける役目をしている。ストッパー
１７は、上述したようにロード位置で角度ズレの補正を
基準ピン４の左右に移動させて行った後に固定するため
のものである。
かして補正する。動かすための駆動用ステッピングモー
タ１２は、ロード位置でターンテーブル２の外部に設置
される。ステッピングモータ１２の回転は、運動変換機
構１３を通して、基準ピン取付部１４の左右の移動に変
換される。ガイド１５は左右の運動用ガイドの役目をし
ており、引張りばね１６は基準ピン取付部を運動変換機
構１３の先端に押し付ける役目をしている。ストッパー
１７は、上述したようにロード位置で角度ズレの補正を
基準ピン４の左右に移動させて行った後に固定するため
のものである。
【００１３】載物台１８は、トリミング位置にある載物
台で、被トリミング基板１はロード位置にある載物台３
で搭載され、角度補正を含む位置決め，固定された後、
ターンテーブルル１２とステッピングモータを切り離
し、２インデックステーブルによって回転し、この位置
に運ばれる。この位置でトリミング後、被トリミング基
板は、ターンテーブルで再びロード位置に運ばれ取り出
せる。
台で、被トリミング基板１はロード位置にある載物台３
で搭載され、角度補正を含む位置決め，固定された後、
ターンテーブルル１２とステッピングモータを切り離
し、２インデックステーブルによって回転し、この位置
に運ばれる。この位置でトリミング後、被トリミング基
板は、ターンテーブルで再びロード位置に運ばれ取り出
せる。
【００１４】図２（ａ）は本発明のトリミング位置での
被トリミング基板２１，３１の実施前の状態、（ｂ）は
実施後の状態を示す。実施前では、角度ズレのため、プ
ローブ２５，２６と印刷電極２７，２８と一部では合っ
ているが、次第にずれて、プローブが電極から外れ測定
できず、トリミングしない状態になってしまう。
被トリミング基板２１，３１の実施前の状態、（ｂ）は
実施後の状態を示す。実施前では、角度ズレのため、プ
ローブ２５，２６と印刷電極２７，２８と一部では合っ
ているが、次第にずれて、プローブが電極から外れ測定
できず、トリミングしない状態になってしまう。
【００１５】また抵抗体２９内のトリミング位置は、端
では真中になっているが、次第にずれ、遂には電極上を
切るようになってしまう。この図で２２〜２４は基準ピ
ンで、パターン認識用マーク３０は使用していない。
では真中になっているが、次第にずれ、遂には電極上を
切るようになってしまう。この図で２２〜２４は基準ピ
ンで、パターン認識用マーク３０は使用していない。
【００１６】図２（ｂ）は、本発明の実施後の状態を示
したもので、パターン認識マーク４０をパターン認識
し、角度ズレを計算し、基準ピン３２〜３４の内、被ト
リミング基板３１の１辺に接する２個の基準ピン３２，
３３の片方３２を左右に移動し、電極３７，３８や、抵
抗体３９の列の方向をプローブ３５，６や、レーザビー
ムの走査軸に最大限一致させるように補正した結果、プ
ローブ３５，３６が電極３７，３８上に常にあるように
なり、また、抵抗体３９内のトリミングのカットも抵抗
体のほぼ真中に位置するようなった。本発明により、前
述の１００５チップ抵抗の歩留りが、従来は４０％以下
であったが、本発明の実施により９０％以上で生産可能
になった。
したもので、パターン認識マーク４０をパターン認識
し、角度ズレを計算し、基準ピン３２〜３４の内、被ト
リミング基板３１の１辺に接する２個の基準ピン３２，
３３の片方３２を左右に移動し、電極３７，３８や、抵
抗体３９の列の方向をプローブ３５，６や、レーザビー
ムの走査軸に最大限一致させるように補正した結果、プ
ローブ３５，３６が電極３７，３８上に常にあるように
なり、また、抵抗体３９内のトリミングのカットも抵抗
体のほぼ真中に位置するようなった。本発明により、前
述の１００５チップ抵抗の歩留りが、従来は４０％以下
であったが、本発明の実施により９０％以上で生産可能
になった。
【００１７】なお、図１の実施例では、基準ピン４の駆
動にステッピングモータ１２や、引張りばね１６などを
用いた例を示したが、基準ピンの必要移動量は微小であ
り、積層タイプの圧電トランスジューサを用いて、基準
ピンを移動することも効果的な手段である。この場合、
基準ピンの補正時間が短縮でき、生産効率が向上する。
動にステッピングモータ１２や、引張りばね１６などを
用いた例を示したが、基準ピンの必要移動量は微小であ
り、積層タイプの圧電トランスジューサを用いて、基準
ピンを移動することも効果的な手段である。この場合、
基準ピンの補正時間が短縮でき、生産効率が向上する。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明のトリミング
装置は、２組の載物台を搭載し、被トリミング基板のロ
ーディング位置とトリミング位置とを交互に入れ変え、
ローディング位置で２台のテレビカメラにより被トリミ
ング基板上の印刷マークをパターン認識し、基板位置決
めの角度ズレを検出し、前記載物台の各々３個の基準ピ
ンの中で基板の１辺に接する２個の基準ピンの片方を検
出された角度ズレに応じて移動させて角度補正を行うよ
うにしたため、トリミング位置での測定用プローブ列と
電極列とがずれるという不都合、及び抵抗体の上を切る
という不都合が減少し、生産歩留りが向上するという効
果を有する。
装置は、２組の載物台を搭載し、被トリミング基板のロ
ーディング位置とトリミング位置とを交互に入れ変え、
ローディング位置で２台のテレビカメラにより被トリミ
ング基板上の印刷マークをパターン認識し、基板位置決
めの角度ズレを検出し、前記載物台の各々３個の基準ピ
ンの中で基板の１辺に接する２個の基準ピンの片方を検
出された角度ズレに応じて移動させて角度補正を行うよ
うにしたため、トリミング位置での測定用プローブ列と
電極列とがずれるという不都合、及び抵抗体の上を切る
という不都合が減少し、生産歩留りが向上するという効
果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は本発明による実施前の状態を示す図、
（ｂ）は実施後の状態を示す図である。
（ｂ）は実施後の状態を示す図である。
１，２１，３１ 被トリミング基板 ２ ターンテーブル ３，１８ 載物台 ４，５，６，２２，２３，２４，３２，３３，３４ 基
準ピン ７，８，９ 押えピン １０，１１，３０，４０ パターン認識用マーク １２ ステッピングモータ １３ 運動変換機構 １４ 基準ピン取付部 １５ ガイド １６ 引張りばね １７ ストッパー ２７，２８，３７，３８ 電極 ２９，３９ 抵抗体
準ピン ７，８，９ 押えピン １０，１１，３０，４０ パターン認識用マーク １２ ステッピングモータ １３ 運動変換機構 １４ 基準ピン取付部 １５ ガイド １６ 引張りばね １７ ストッパー ２７，２８，３７，３８ 電極 ２９，３９ 抵抗体
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上に印刷などにより形成された
抵抗体の一部をレーザ光線によって切断することによ
り、抵抗値を所定の値に自動調整するレーザトリミング
装置において、それぞれ３個の基準ピンと２個以上の押
えピンを利用して、被トリミング基板の位置決め，固定
を行う２組の載物台と、２組の載物台を搭載し被トリミ
ング基板のローディング位置とトリミング位置とを交互
に入れ換える２インデックスのターンテーブル機構と、
ローディング位置で２台のテレビカメラにより被トリミ
ング基板上の印刷マークをパターン認識し、基板位置決
めの角度ズレを検出する機構と、前記載物台の３個の基
準ピンの中で基板の１辺に接する２個の基準ピンの片方
を、検出された角度ズレに応じて移動させる角度補正機
構とを含むことを特徴とするレーザトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058288A JP2890872B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | レーザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058288A JP2890872B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | レーザトリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04273404A JPH04273404A (ja) | 1992-09-29 |
| JP2890872B2 true JP2890872B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=13080018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3058288A Expired - Fee Related JP2890872B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | レーザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2890872B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3058288A patent/JP2890872B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04273404A (ja) | 1992-09-29 |
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Legal Events
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