JP2847977B2 - 光学記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

光学記録媒体およびその製造方法

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JP2847977B2
JP2847977B2 JP3023632A JP2363291A JP2847977B2 JP 2847977 B2 JP2847977 B2 JP 2847977B2 JP 3023632 A JP3023632 A JP 3023632A JP 2363291 A JP2363291 A JP 2363291A JP 2847977 B2 JP2847977 B2 JP 2847977B2
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雅樹 伊藤
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Nippon Electric Co Ltd
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  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学記録媒体およびそ
の製造方法、特に、レーザービーム等により情報を高密
度・大容量で記録・再生できる光ディスク等の光学記録
媒体およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、レーザービーム等により情報を
媒体に記録しかつ再生する光ディスク等の光学記録メモ
リーは、記録密度が高いことから大容量記録装置として
優れた特徴を有している。この光学記録媒体としては最
初にタンタルと鉛が使用された{サイエンス(Scie
nce)154,1550,(1966)}。その後、
種々の材料,種々の構成の光学記録媒体が開発された。
その代表的な媒体の概略断面図が図3である。
【0003】すなわち、基板31の上に透明干渉膜3
2,相変化膜33,透明干渉膜34,反射膜35からな
る記録膜が積層され、記録再生用光ビームの光源として
は通常波長830nm前後の半導体レーザーが用いられ
光ヘッドにより基板31を通して記録膜におよそφ1.
4μmに絞られて照射される。
【0004】基板31としては、フォトポリマーのつい
たガラス板やフォトポリマーのついたアクリル板やポリ
カーボネイト樹脂板等が用いられ、通常案内溝が設けら
れている。記録前の相変化膜33は結晶状態にされてい
る。情報を記録再生するときには光学記録媒体を回転さ
せ記録したい情報に対応させて高パワーの光照射を行な
うことにより相変化膜33に光エネルギーを吸収させ、
それを熱エネルギーに変換させ昇温させ融解し、高パワ
ーの光照射停止後の相変化膜33の冷却速度を相変化膜
材料固有の臨界冷却速度よりも速くすることにより相変
化膜の状態を非晶状態にし、照射部分の反射率を増大さ
せることにより記録し、低パワーの光照射を行なうこと
により反射率の違いから相変化膜の状態の違いを読出し
て情報を再生する。
【0005】ここで記録再生用の光ビームが記録膜上で
およそφ1.4μmに集光されるためには光ヘッドの集
光レンズの位置がフィードバック制御されることによる
フォーカシング・サーボが行なわれている。このフォー
カシング・サーボは再生用の低パワーの光ビームを記録
膜に照射し、そこからの反射光をナイフエッジ法やプッ
シュプル法等により検出して行なわれる。このことを図
2に示す従来の光学記録媒体の概略平面図を用いて説明
する。
【0006】図において、1は中心穴、22は情報記録
領域、23はサーボ引込領域である。情報記録領域22
およびサーボ引込領域23には相変化膜33を少なくと
も備えている記録膜が形成されており、その相変化膜は
結晶状態であるため、比較的反射率の低い状態になって
いる。
【0007】このような光学記録媒体に記録再生しよう
とするときには、中心穴1で媒体を回転スピンドルに固
定し、媒体を回転させた後再生用光ビームを媒体のサー
ボ引込領域23に照射して、媒体からの反射光をナイフ
エッジ法等で検出してフォーカス・サーボ可能範囲内に
入るように光ヘッドの集光レンズの位置を移動させ、集
光レンズと媒体との間隔を適切な間隔にしている。
【0008】情報記録領域22およびサーボ引込領域2
3の相変化膜が結晶状態である従来の光学記録媒体を製
造するには、相変化膜を高温状態で成膜するか、あるい
は相変化膜を低速度で成膜するか、あるいは上方の透明
干渉膜あるいは反射膜を高温状態で成膜するか、あるい
はすべての膜を成膜した後に全領域を一括してアニール
する方法によっている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな上述した従来の光学記録媒体は、ときとしてフォー
カス・サーボを引込むときに誤動作をおこし、集光レン
ズが光学記録媒体と接触してしまうという事故が発生
し、光ヘッドや光学記録媒体を破損してしまうという欠
点があった。
【0010】本発明はこのような問題のない光学記録媒
体を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の光学記録媒体
は、少なくとも相変化膜を備えた記録膜に光を照射し、
その部分の相変化膜を結晶状態から非晶状態へ相変化さ
せ反射率が増大することにより情報を記録する光学記録
媒体であって、前記情報記録領域はあらかじめ結晶状態
にしておき、それ以外のサーボ引込領域は非晶状態にし
ておくことにより構成される。
【0012】また、本発明の光学記録媒体の製造方法
は、少なくとも相変化膜を備えた記録膜に光を照射し、
その部分の相変化膜を結晶状態から非晶状態へ相変化さ
せ反射率が増大することにより情報を記録する光学記録
媒体の製造方法であって、前記相変化膜は高温状態にな
らないようにして前記記録膜を成膜して相変化膜を非晶
状態にし、その後情報記録領域のみをアニールすること
により情報記録領域の相変化膜は結晶状態にするように
構成される。
【0013】
【作用】本発明について、図1に示す光学記録媒体の概
略平面図を用いて説明する。
【0014】1は媒体固定用の中心穴であり、2は情報
記録領域、3はサーボ引込領域であり、2,3には記録
膜が成膜されている。
【0015】媒体の断面構造は図3に示す従来の媒体と
同様であるが、記録膜の情報記録領域2およびサーボ引
込領域3に形成する相変化膜はその成膜時に温度があが
らないように高速度で成膜し、かつ上方の透明干渉膜や
反射膜の成膜時にも高温状態にならないようにすること
により非晶状態で形成する。
【0016】その後情報記録領域2のみをアニールする
ことにより、相変化膜を結晶状態にできる。
【0017】図1に示すような光学記録媒体はサーボ引
込領域の反射率が高いのでサーボ信号を大きくとること
でき、フォーカス・サーボ引込み時の誤動作がなくな
る。
【0018】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。
【0019】図1は本発明の一実施例を示す概略平面
図、図3は図1に示す情報記録領域の部分断面図であ
る。
【0020】フォトポリマーにより案内溝が形成されて
いる直径200mm,厚さ1.2mmのガラス製のディ
スク状の基板31をスパッタ装置内に載置し、1×10
-6Torr以下に真空排気した状態で基板31を約10
0℃に加熱した。
【0021】しかる後3×10-7Torr以下の真空度
でかつ、基板温度が40℃以下の状態でZnSとSiO
2 との混合物の焼結スパッタターゲットを用いてZnS
とSiO2 との混合物で830mmの波長での屈折率が
およそ2.2で厚さが65nmの透明干渉膜32を形成
した。
【0022】次に、Ge2 Sb2 Te5 の化合物組成の
スパッタターゲットを用いて10nm厚の相変化膜33
をおよそ0.12nm/secの成膜速度で成膜し、非
晶状態で形成した。
【0023】次に、透明干渉膜22のときと同様にして
厚さが90nmの透明干渉膜34を形成し、次にAlC
rスパッタターゲット(Crの含有率は5原子%)を用
いて40nm厚の反射膜35を形成した。
【0024】相変化膜33,透明干渉膜34,反射膜3
5の成膜時の基板温度は40℃以下に保って成膜した。
【0025】以上の成膜が終了した後、スパッタ装置か
ら大気中に取出し、反射膜35の上にUV硬化樹脂をス
ピンコートし、UV照射することによりUV硬化樹脂を
硬化させ厚さおよそ9.5μmの保護膜を形成した。
【0026】このようにして作製した2枚のディスクを
記録膜が内側になるようにホットメルトで貼合せた。
【0027】これを、中心穴1を中心にして線速度5.
65m/sec一定で波長830nmの楕円形状の光ビ
ームをφ100mm〜φ185mmの範囲に照射するこ
とにより、相変化膜33が結晶状態の情報記録領域2を
形成した。この情報記録領域2の波長830nmでの反
射率はおよそ19%であった。
【0028】一方、相変化膜33が結晶状態のφ85m
m〜φ100mmのサーボ引込領域3の反射率は48%
であった。
【0029】このようにして作製した光ディスクを18
00rpmで回転させ、波長830nm,パワー0.5
mWの再生用光ビームを媒体のサーボ引込領域3に照射
してフォーカス・サーボを引込んでも誤動作をおこすこ
とはなく、集光レンズと光学記録媒体とが接触してしま
うという事故がなくなった。
【0030】
【発明の効果】本発明の光学記録媒体およびその製造方
法はサーボ引込領域の反射率を情報記録領域よりも高く
することにより、フォーカス・サーボを引込むときの誤
動作をなくし、光ヘッドや光学記録媒体の破損を防げる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す概略平面図
【図2】従来の一例を示す概略平面図
【図3】図1,図2に示す情報記録領域の部分断面図
【符号の説明】
1 中心穴 2,22 情報記録領域 3,23 サーボ引込領域 31 基板 32,34 透明干渉膜 33 相変化膜 35 反射膜

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも相変化膜を備えた記録膜に光
    を照射し、その部分の相変化膜を結晶状態から非晶状態
    へ相変化させ反射率が増大することにより情報を記録す
    る光学記録媒体において、前記情報記録領域はあらかじ
    め結晶状態にしておき、それ以外のサーボ引込領域は非
    晶状態にしておくことを特徴とする光学記録媒体。
  2. 【請求項2】 少なくとも相変化膜を備えた記録膜に光
    を照射し、その部分の相変化膜を結晶状態から非晶状態
    へ相変化させ反射率が増大することにより情報を記録す
    る光学記録媒体の製造方法において、前記相変化膜は高
    温状態にならないようにして前記記録膜を成膜して相変
    化膜を非晶状態にし、その後情報記録領域のみをアニー
    ルすることにより情報記録領域の相変化膜は結晶状態に
    することを特徴とする光学記録媒体の製造方法。
JP3023632A 1991-02-19 1991-02-19 光学記録媒体およびその製造方法 Expired - Lifetime JP2847977B2 (ja)

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