JP2818571B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に関
し、特にフラッシュメモリやEEPROM等の電気的消
去書込可能な不揮発性の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】フラッシュメモリは、システムに組込ん
だまま外部パネルや遠隔操作で記憶情報の変更が可能で
あること、大容量化が容易であることなどの特長から、
広い分野に使用されるようになってきている。
【0003】一般的なフラッシュメモリのメモリセル構
成と書込み方法を示す図2を参照してデータ書込み動作
について説明すると、フラッシュメモリのメモリセルM
は、制御ゲートGCと浮遊ゲートGFをもつMOSトラ
ンジスタ1個で構成される。このメモリセルMへのデー
タ書込み時には、制御ゲートGCとドレインDにそれぞ
れ電圧を印加することによりチャネル電流が生じ、この
チャネル電流による衝突電離でホットキャリアが発生す
る。このホットキャリアのうちの電子が浮遊ゲートGF
に侵入し、その酸化膜に捕獲されることにより書込みが
行われる。データの書込済メモリセルのしきい値は、浮
遊ゲートGFの酸化膜に蓄積された負電荷のため、デー
タの未書込のメモリセルより高くなる。
【0004】従来の半導体記憶装置をブロックで示す図
3を参照すると、この従来の半導体記憶装置は、フラッ
シュメモリセルへのデータ書込みを行うデータ書込み部
100と、CPU2と、電源電圧VDDが基準電圧以下
に低下した場合に電圧低下信号POCを出力する電源電
圧検出回路3とを備える。
【0005】データ書込み部100は、CPU2から供
給されたメモリセルのX,Yアドレスをそれぞれデコー
ドするXデコーダ11,Yデコーダ12と、フラッシュ
メモリセルを行,列の各方向に配列したメモリセルアレ
イ114と、Yデコード信号の供給に応答してメモリセ
ルアレイ114のデータの読出し/書込みを行う読出し
/書込み回路116と、書込み用の電圧を供給するシス
テム電源117とを備える。
【0006】次に、図3を参照して、従来の半導体記憶
装置の動作について説明すると、まず、CPU2は、書
込み信号WRTをYデコーダ12と読出し/書込み回路
116とに供給する。また、CPU2は、アドレス信号
ADDRESSをXデコーダ11とYデコーダ12とに
供給する。Yデコーダ12は、Yデコード信号を読出し
/書込み回路116に供給し、読出し/書込み回路11
6はこのYデコード信号に対応するメモリセルアレイ1
14のビット線を選択する。選択されたビット線には、
システム電源117が読出し/書込み回路116を介し
て書込み電圧VPWを印加する。一方、Xデコーダ11
が供給するXデコード信号により選択されたメモリセル
アレイ114のワード線には、システム電源117がX
デコーダ11を介して高電圧VPPを印加する。これに
より、メモリセルアレイ114内の選択されたメモリセ
ル(以下選択メモリセル)のゲートGCにはVPP,ド
レインDにはVPWと各々異なる高電圧が印加され、上
述したホットキャリア効果によりデータの書込みが実行
される。
【0007】このように、データの書込みはMOSトラ
ンジスタの物理現象を利用して行なうため、メモリセル
アレイ114内の選択メモリセルの各端子への印加電圧
の低下は、データ書込みに直接悪影響を及ぼす。この対
策として、電源電圧の低下を検出する電源電圧検出回路
3を別個に設ける。電源電圧検出回路3は電源電圧VD
Dが基準値以下になった場合に、電圧低下検出信号PO
C’1’をCPU2に供給する。CPU2はこの信号P
OCの供給に応答してメモリセルアレイ114へのアク
セスを禁止する。しかし、電源電圧検出回路3はメモリ
セルアレイ114からは離れた位置にあるため、データ
書込み時にメモリセルアレイ114関連の配線電流と配
線寄生抵抗による電圧降下や電源内の内部抵抗による電
圧降下によって、電圧VPW,VPP等の印加電圧が基
準値を下回ってしまう場合は電圧低下検出信号POCを
出力しない。その結果、CPU2はメモリセルアレイ1
14に対して書込みを禁止することなく実行してしま
う。一般に、フラッシュメモリの書込み対応の印加電圧
の電圧降下幅の許容値は狭く、実際の製品の仕様例では
−0.3Vと規定されている。したがって、書込み実行
時に上記印加電圧の電圧降下幅がこの許容値以上となる
と、データ書込みエラーを発生してしまう。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
記憶装置は、データ書込みをMOSトランジスタのホッ
トキャリア効果を利用して行なうので、書込不良の原因
となる電源電圧の低下検出する電源電圧検出回路を備え
ているが、メモリセルアレイより離れた位置にあるた
め、データ書込み時の配線寄生抵抗に起因する電圧降下
等による電圧低下が検出できないため、この電圧低下が
書込み不良やデータの破壊を生じるという欠点があっ
た。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、コントロールゲートと浮遊ゲートとの二重構造を有
し電気的消去書込み可能な不揮発性のメモリセルを行お
よび列方向にそれぞれ配列して成るメモリセルアレイ
と、CPUから供給される前記メモリセルアレイのX,
YアドレスをそれぞれデコードしてX,Yデコード信号
をそれぞれ出力するXデコーダおよびYデコーダと、前
記Yデコード信号の供給に応答して前記メモリセルアレ
イのビット線を選択しこのメモリセルアレイのデータの
読出し/書込みを行う読出し/書込み回路と、前記メモ
リセルアレイに前記書込み用の書込み電圧を供給するシ
ステム電源とを備える半導体記憶装置において、前記メ
モリセルアレイが、書込みテスト用のテストメモリセル
から成るテストメモリ領域を備え、前記書込みテスト用
の書込みテスト信号を発生する書込みテスト信号発生回
路と、前記書込みテストの実行時に前記テストメモリセ
ルに供給される前記書込み電圧が予め定めた基準値以下
のとき電圧検出信号を発生する書込み電圧検出回路と、
前記書込みテスト信号の供給に応答して前記書込みテス
ト結果を前記CPUに出力するテスト出力モードに切替
え前記電圧検出信号の供給に応答して書込み禁止情報を
前記テスト結果として出力する出力バッファ回路とを備
えて構成されている。
【0010】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図3
と共通の構成要素は共通の文字ブロックで示す図1を参
照すると、この図に示す本実施の形態の半導体記憶装置
のデータ書込部1は、従来と共通のXデコーダ11,Y
デコーダ12に加えて、書込みテスト信号を発生する書
込みテスト信号発生回路13と、メイン領域141に加
えて書込みテスト用のメモリセル領域142を有するフ
ラッシュメモリセルアレイ14と、出力バッファ15
と、書込み/読出し回路16と、システム電源17と、
書込み電圧低下を検出する書込み電圧検出回路18とを
備える。
【0011】次に、図1を参照して本実施の形態の動作
について説明すると、まず、メモリセルアレイ14のメ
イン領域141のメモリセルへのデータ書込みの実施前
に、書込み電圧検出回路18は、システム電源17が供
給する書込み電圧VPWの値の正常か否かをテストす
る。このテスト結果、書込み電圧VPWが正常ならばC
PU2は書込を実行し、低下している場合にはこれを検
出し、書込み電圧低下検出信号をCPUに対して出力し
てこの書込みを中止する。
【0012】CPU2は、読出し信号READと、書込
みテスト用メモリセルに割り当てられたアドレス信号と
を出力する。このアドレス信号はXデコーダ11,Yデ
コーダ12に供給される。Yデコーダ12は、Yデコー
ド信号を書込みテスト信号発生回路13に供給する。書
込みテスト信号発生回路13は、CPU2からのREA
D信号とYデコーダ12からの出力信号との論理積演算
を行い、論理が正ならば書込みテスト信号WTEST’
1’を出力し、読出し/書込み回路16,出力バッファ
15,およびシステム電源17にそれぞれ供給する。信
号WTESTの供給に応答してシステム電源17の出力
電圧は、読出し電圧VPMから書込み電圧VPWに切り
替わる。この電圧VPWは読出し/書込み回路16を介
して選択されたテスト領域142のテスト用メモリセル
のドレインDTに印加される。一方、Xデコーダ11の
Xデコード信号によって選択された、テスト用メモリセ
ルのゲートGTには高電圧VPPを印加する。選択テス
ト用メモリセルのドレインDTにかかる電圧は、書込み
電圧検出回路18にも供給される。
【0013】ここで、ドレインDTの電圧が書込み電圧
検出回路18で設定した基準電圧値以上であれば、書込
み電圧検出回路18はライトイネーブル信号WREN’
1’を出力バッファ15に対して出力する。書込みテス
トでは書込みテスト信号WTESTが’1’となるの
で、出力バッファ15の出力端子は1〜(N−1)ビッ
ト目までは出力’1’に固定状態となる。書込み可能な
場合はNビット目の出力も’1’になるので、出力バッ
ファ15は、CPU2に対して全ビットのレベルを’
1’として出力を返す。CPU2は読出し信号READ
を’1’から’0’に切り替え、書込み信号WRT’
1’を出力し、書込みを実行する。
【0014】次に、ドレインDTの電圧が、上記設定電
圧値を下回る場合、ライトイネーブル信号WREN’
0’を出力バッファ15に対して出力する。出力バッフ
ァ15の1〜(N−1)ビット目までの出力は’1’
で、Nビット目の出力のみ’0’となる。これよりCP
U2はデータ書込み時の書込み電圧低下を検知し読出し
信号READ’1’を保持するので、書込み動作は行な
わない。
【0015】以上の動作により、本実施の形態の回路で
は電源電圧自体の低下が原因でメモリセルのドレイン電
圧が基準値以下となった場合ばかりでなく、配線電流と
配線抵抗による電圧降下によって、メモリセルのドレイ
ン電圧が基準値を下回った場合も、CPU2が書込みを
中止するので、データの書込み不良によるデータ破壊を
防止することができる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置は、メモリセルアレイが書込みテスト用のテスト
メモリ領域を備え、書込みテスト信号発生回路と、書込
み電圧検出回路と、電圧検出信号の供給に応答して書込
み禁止情報をテスト結果として出力する出力バッファ回
路とを備えることにより、データ書込みを行なう前に書
込み電圧の良否を判定できので書込み電圧不良によるデ
ータ破壊を未然に防止することができるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体記憶装置の一実施の形態を示す
ブロック図である。
【図2】フラッシュメモリのメモリセル構成と書込み方
法を示す説明図である。
【図3】従来の半導体記憶装置の一例を示すブロック図
である。
【符号の説明】
1,100 データ書込み部 2 CPU 3 電源電圧検出回路 11 Xデコーダ 12 Yデコーダ 13 書込みテスト回路 14,114 メモリセルアレイ 15 出力バッファ 16,116 読出し/書込み回路 17,117 システム電源 18 書込み電圧検出回路 141 メイン領域 142 テスト領域

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コントロールゲートと浮遊ゲートとの二
    重構造を有し電気的消去書込み可能な不揮発性のメモリ
    セルを行および列方向にそれぞれ配列して成るメモリセ
    ルアレイと、CPUから供給される前記メモリセルアレ
    イのX,YアドレスをそれぞれデコードしてX,Yデコ
    ード信号をそれぞれ出力するXデコーダおよびYデコー
    ダと、前記Yデコード信号の供給に応答して前記メモリ
    セルアレイのビット線を選択しこのメモリセルアレイの
    データの読出し/書込みを行う読出し/書込み回路と、
    前記メモリセルアレイに前記書込み用の書込み電圧を供
    給するシステム電源とを備える半導体記憶装置におい
    て、 前記メモリセルアレイが、書込みテスト用のテストメモ
    リセルから成るテストメモリ領域を備え、 前記書込みテスト用の書込みテスト信号を発生する書込
    みテスト信号発生回路と、 前記書込みテストの実行時に前記テストメモリセルに供
    給される前記書込み電圧が予め定めた基準値以下のとき
    電圧検出信号を発生する書込み電圧検出回路と、 前記書込みテスト信号の供給に応答して前記書込みテス
    ト結果を前記CPUに出力するテスト出力モードに切替
    え前記電圧検出信号の供給に応答して書込み禁止情報を
    前記テスト結果として出力する出力バッファ回路とを備
    えることを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記テストメモリ領域がNビットの前記
    ビット線の各々に対応するN個の前記メモリセルを有
    し、 前記出力バッファ回路が、前記書込みテスト信号の供給
    に応答して第1ビットから第N−1ビットまでの対応の
    全部の前記ビット線を第1の論理値に設定し、前記電圧
    検出信号の第1または第2の論理値のいずれか一方に対
    応して前記書込み禁止情報を生成する論理回路を備える
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
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