JP2817173B2 - 硬化性樹脂組成物 - Google Patents
硬化性樹脂組成物Info
- Publication number
- JP2817173B2 JP2817173B2 JP6297289A JP6297289A JP2817173B2 JP 2817173 B2 JP2817173 B2 JP 2817173B2 JP 6297289 A JP6297289 A JP 6297289A JP 6297289 A JP6297289 A JP 6297289A JP 2817173 B2 JP2817173 B2 JP 2817173B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- curable resin
- curing agent
- composition according
- methacrylate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は硬化性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、
カラーフィルターの保護膜として用いられる硬化性樹脂
組成物に関するものである。
カラーフィルターの保護膜として用いられる硬化性樹脂
組成物に関するものである。
〈従来の技術〉 近年、２次元画像を電気信号に変換するために固体撮
像素子が用いられ、カラービデオカメラの軽量化、高解
像度化が進んでいる。例えば、CCD（チャージカップル
ドデバイス）と呼ばれる固体撮像素子は、チップ状に微
細に分割された多数の受光部上に直接カラーフィルター
を設ける方向で、カラー画像用CCDの高解像度化が進ん
でいる。カラーフィルターの被染色膜形成材料として
は、６価クロム化合物を光架橋剤とし、ゼラチンなどの
天然高分子を素材とするネガ型の感光性組成物が広く用
いられている。
像素子が用いられ、カラービデオカメラの軽量化、高解
像度化が進んでいる。例えば、CCD（チャージカップル
ドデバイス）と呼ばれる固体撮像素子は、チップ状に微
細に分割された多数の受光部上に直接カラーフィルター
を設ける方向で、カラー画像用CCDの高解像度化が進ん
でいる。カラーフィルターの被染色膜形成材料として
は、６価クロム化合物を光架橋剤とし、ゼラチンなどの
天然高分子を素材とするネガ型の感光性組成物が広く用
いられている。
このような感光性組成物をCCD基板上にスピンコート
法で塗布した後、マスク露光により所定の受光面上の染
色部のみを露光し、現像を行う。こうにして得られた透
明パターンを染色液に浸漬して染色を行う。次に染色パ
ターン上にアクリル系の樹脂等で保護膜を形成する。以
上の操作を色毎に繰り返すことにより、混染することな
く多色のカラーフィルターが作成されている。また、上
記アクリル系の保護膜は、感光性組成物が塗布されてい
るCCD基板を平坦化するための保護膜、いわゆる平坦化
膜として用いられることがある。
法で塗布した後、マスク露光により所定の受光面上の染
色部のみを露光し、現像を行う。こうにして得られた透
明パターンを染色液に浸漬して染色を行う。次に染色パ
ターン上にアクリル系の樹脂等で保護膜を形成する。以
上の操作を色毎に繰り返すことにより、混染することな
く多色のカラーフィルターが作成されている。また、上
記アクリル系の保護膜は、感光性組成物が塗布されてい
るCCD基板を平坦化するための保護膜、いわゆる平坦化
膜として用いられることがある。
ところで、上記の保護膜には、一般に次のような性能
が要求される。
が要求される。
保護機能を有する、すなわち、被染色層（ゼラチン
等）を保護し、水溶性染料の浸透を防いで、各層間の混
色を防止すること、 染色モールディング等の熱処理時に、膨張・収縮を
起こさないこと、 基板及び染色層との密着性がよいこと、 保護膜の一部を分解し、配線を取る工程があるた
め、リソグラフィー可能であること、そして 可視光領域であること。
等）を保護し、水溶性染料の浸透を防いで、各層間の混
色を防止すること、 染色モールディング等の熱処理時に、膨張・収縮を
起こさないこと、 基板及び染色層との密着性がよいこと、 保護膜の一部を分解し、配線を取る工程があるた
め、リソグラフィー可能であること、そして 可視光領域であること。
このような保護膜の条件を満たすものとして、従来は
例えば、特公昭49−7495号公報に記載されるような、電
子線レジストとして知られるポリグリシジルメタクリレ
ート類が用いられている。
例えば、特公昭49−7495号公報に記載されるような、電
子線レジストとして知られるポリグリシジルメタクリレ
ート類が用いられている。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来からのポリグリシジルメタクリレ
ート類は、未硬化の状態で使われており、高分子量化に
より耐熱性と硬度を付与しているものの、いずれも未だ
不十分であった。例えば、200℃付近で熱分解が起こ
り、また熱処理時間に収縮が起きて、保護膜層の間にあ
る被染色層のパターンにズレを引き起こす等の問題があ
った。
ート類は、未硬化の状態で使われており、高分子量化に
より耐熱性と硬度を付与しているものの、いずれも未だ
不十分であった。例えば、200℃付近で熱分解が起こ
り、また熱処理時間に収縮が起きて、保護膜層の間にあ
る被染色層のパターンにズレを引き起こす等の問題があ
った。
本発明者らは、このような欠点を改良すべく鋭意検討
を行った結果、ポリグリシジルメタクリレート類にある
種の硬化剤を併用することにより、上記の問題点が解決
されることを見出し、本発明を完成した。
を行った結果、ポリグリシジルメタクリレート類にある
種の硬化剤を併用することにより、上記の問題点が解決
されることを見出し、本発明を完成した。
〈課題を解決するための手段〉 すなわち本発明は、ポリグリシジルメタクリレート類
及び、硬化剤として下記一般式（Ｉ） （式中、R1は低級アルキル基を表し、R2は水素原子又は
−CH2N（R3）２を表し、ここでR3は低級アルキル基を表
す） で示される化合物を含有するカラーフィルターの保護膜
用硬化性樹脂組成物を提供するものである。
及び、硬化剤として下記一般式（Ｉ） （式中、R1は低級アルキル基を表し、R2は水素原子又は
−CH2N（R3）２を表し、ここでR3は低級アルキル基を表
す） で示される化合物を含有するカラーフィルターの保護膜
用硬化性樹脂組成物を提供するものである。
本発明に用いるポリグリシジルメタクリレート類とし
ては、グリシジルメタクリレートの単独重合体、グリシ
ジルメタクリレートとメタクリル酸アルキルエステルや
アクリロニトリル等との共重合体なとが挙げられ、いず
れも、通常のラジカル重合反応により合成されたものを
用いることができる。かかるポリグリシジルメタクリレ
ート類の重量平均分子量は、通常5,000〜1,000,000の範
囲、好ましくは10,000〜600,000の範囲、さらに好まし
くは50,000〜500,000の範囲である。また、グリシジル
メタクリレートと共重合させる他のモノマーとのモル比
は、通常1:9〜9:1の範囲、好ましくは4:6〜6:4の範囲で
ある。これらは、塗布性及び硬化時間等を考慮して、よ
り適切な範囲が定められる。
ては、グリシジルメタクリレートの単独重合体、グリシ
ジルメタクリレートとメタクリル酸アルキルエステルや
アクリロニトリル等との共重合体なとが挙げられ、いず
れも、通常のラジカル重合反応により合成されたものを
用いることができる。かかるポリグリシジルメタクリレ
ート類の重量平均分子量は、通常5,000〜1,000,000の範
囲、好ましくは10,000〜600,000の範囲、さらに好まし
くは50,000〜500,000の範囲である。また、グリシジル
メタクリレートと共重合させる他のモノマーとのモル比
は、通常1:9〜9:1の範囲、好ましくは4:6〜6:4の範囲で
ある。これらは、塗布性及び硬化時間等を考慮して、よ
り適切な範囲が定められる。
硬化剤としては、前記一般式（Ｉ）で示される化合物
を用いる。この化合物は熱硬化剤として使用する。熱硬
化剤としてはこの他、トリフェニホスフィン、ヘキサメ
チレンジアミンやトリエチレンテトラミン等の低級アル
キレンポリアミン、ジフェニルアミンやアミノフェノー
ル等の芳香族アミン及びそのビス体、クレーゾルやビス
フェノールＡ等のフェノール類及びそのビス体などがあ
りうるが、本発明で特に、感光性組成物としての保存安
定性の面から、前記一般式（Ｉ）で示される化合物を用
いる。
を用いる。この化合物は熱硬化剤として使用する。熱硬
化剤としてはこの他、トリフェニホスフィン、ヘキサメ
チレンジアミンやトリエチレンテトラミン等の低級アル
キレンポリアミン、ジフェニルアミンやアミノフェノー
ル等の芳香族アミン及びそのビス体、クレーゾルやビス
フェノールＡ等のフェノール類及びそのビス体などがあ
りうるが、本発明で特に、感光性組成物としての保存安
定性の面から、前記一般式（Ｉ）で示される化合物を用
いる。
前記一般式（Ｉ）の化合物は、エポキシ樹脂のいわゆ
る硬化促進剤として知られているものであるが、ポリグ
リシジルメタクリレート類の硬化剤それ自体となること
は、本発明における特異な点である。一般式（Ｉ）の化
合物の中でも、具体的には、式 で示される2,4,6−トリス（N,N−ジメチルアミノメチ
ル）フェノール又は、式 で示される2,6−ビス（N,N−ジメチルアミノメチル）フ
ェノールが好ましく用いられる。
る硬化促進剤として知られているものであるが、ポリグ
リシジルメタクリレート類の硬化剤それ自体となること
は、本発明における特異な点である。一般式（Ｉ）の化
合物の中でも、具体的には、式 で示される2,4,6−トリス（N,N−ジメチルアミノメチ
ル）フェノール又は、式 で示される2,6−ビス（N,N−ジメチルアミノメチル）フ
ェノールが好ましく用いられる。
本発明の硬化性樹脂組成物において、一般式（Ｉ）で
示される化合物の量は、ポリグリシジルメタクリレート
類100重量部に対して、好ましくは0.001〜10重量部、よ
り好ましくは0.05〜１重量部の範囲である。
示される化合物の量は、ポリグリシジルメタクリレート
類100重量部に対して、好ましくは0.001〜10重量部、よ
り好ましくは0.05〜１重量部の範囲である。
前記一般式（Ｉ）で示される化合物を硬化剤として含
有する本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じ
て、これ以外の硬化剤を含有することができ、また、硬
化促進剤等の他の添加剤を含有することもできる。とり
わけ、前記一般式（Ｉ）の化合物に加えて、下記一般式
（II） （式中、Ｒはフェノール性水酸基を有する基を表す） の化合物を配合した樹脂組成物が有利である。一般式
（II）で示される化合物を配合する場合、その量は通
常、一般式（Ｉ）で示される熱硬化剤の量より多めにす
るのが好ましい。
有する本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じ
て、これ以外の硬化剤を含有することができ、また、硬
化促進剤等の他の添加剤を含有することもできる。とり
わけ、前記一般式（Ｉ）の化合物に加えて、下記一般式
（II） （式中、Ｒはフェノール性水酸基を有する基を表す） の化合物を配合した樹脂組成物が有利である。一般式
（II）で示される化合物を配合する場合、その量は通
常、一般式（Ｉ）で示される熱硬化剤の量より多めにす
るのが好ましい。
一般式（II）において、Ｒで表されるフェノール性水
酸基を有する基としては、式 で示される、いわゆるヒンダードフェノール骨格を有す
る基が有利である。ここで、R7は炭素数１〜６のアルキ
レン又は、水酸基、エステル結合及びエーテル結合のう
ち少なくとも一つを有するアルキレンを表し、R8及びR9
は互いに独立に、炭素数１〜６のアルキル基を表す。R8
及びR9の少なくとも一方は、tert−ブチル基のような４
級炭素でベンゼン環に結合する置換基であるのが有利で
ある。
酸基を有する基としては、式 で示される、いわゆるヒンダードフェノール骨格を有す
る基が有利である。ここで、R7は炭素数１〜６のアルキ
レン又は、水酸基、エステル結合及びエーテル結合のう
ち少なくとも一つを有するアルキレンを表し、R8及びR9
は互いに独立に、炭素数１〜６のアルキル基を表す。R8
及びR9の少なくとも一方は、tert−ブチル基のような４
級炭素でベンゼン環に結合する置換基であるのが有利で
ある。
特に、一般式（II）において、Ｒが式 である化合物が、好ましく用いられる。この化合物は特
に2,4,6−トリス（N,N−ジメチルアミノメチル）フェノ
ールと組み合わせた場合に高い効果を発揮する。
に2,4,6−トリス（N,N−ジメチルアミノメチル）フェノ
ールと組み合わせた場合に高い効果を発揮する。
本発明に係るカラーフィルターの保護膜用硬化性樹脂
組成物は、カラーフィルターの各画素を構成する染色パ
ターン上に、他の画素との混色を防止するために設けら
れる保護膜として用いられる他、染色パターンが形成さ
れる前のCCD基板を平坦化するための保護膜、いわゆる
平坦化膜として用いることもできる。
組成物は、カラーフィルターの各画素を構成する染色パ
ターン上に、他の画素との混色を防止するために設けら
れる保護膜として用いられる他、染色パターンが形成さ
れる前のCCD基板を平坦化するための保護膜、いわゆる
平坦化膜として用いることもできる。
〈発明の効果〉 本発明の硬化性樹脂組成物は、熱処理により有機溶剤
に対して不溶化し、しかも深紫外線（Deep UV）でのレ
ジストワーク時に、硬化剤無添加の場合とほとんど変わ
らない膜抜け感度を示すなどの、優れた効果を発揮し、
また、保存安定性が良好である。特に、前記一般式
（Ｉ）の化合物と前記一般式（II）の化合物を硬化剤と
して併用した場合には、熱処理の時間を大幅に短縮する
ことができる。さらに、本発明の硬化性樹脂組成物から
形成された保護膜は、可視光領域で97％以上の透過率を
有し、その保護機能は、例えば、pH3.0で60℃の染料水
溶液からなる染色液中で確かめられた。このような本発
明の硬化性樹脂組成物を用いることにより、カラーフィ
ルターの保護膜として、耐熱性に優れ、収縮や膨脹がほ
とんどない透明な硬化膜が得られる。
に対して不溶化し、しかも深紫外線（Deep UV）でのレ
ジストワーク時に、硬化剤無添加の場合とほとんど変わ
らない膜抜け感度を示すなどの、優れた効果を発揮し、
また、保存安定性が良好である。特に、前記一般式
（Ｉ）の化合物と前記一般式（II）の化合物を硬化剤と
して併用した場合には、熱処理の時間を大幅に短縮する
ことができる。さらに、本発明の硬化性樹脂組成物から
形成された保護膜は、可視光領域で97％以上の透過率を
有し、その保護機能は、例えば、pH3.0で60℃の染料水
溶液からなる染色液中で確かめられた。このような本発
明の硬化性樹脂組成物を用いることにより、カラーフィ
ルターの保護膜として、耐熱性に優れ、収縮や膨脹がほ
とんどない透明な硬化膜が得られる。
〈実施例〉 以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説明する。
例中にある部は、重量部を表す。
例中にある部は、重量部を表す。
実施例１及び比較例１ ポリグリシジルメタクリレート（重量平均分子量139,
000）と表−１の硬化剤をエチルセロソルブアセテート
に溶解し、この溶液をシリコン基板上に回転塗布して、
厚さ1.0〜20μｍの樹脂膜を得た。次に、コンベクショ
ンオーブン中、160℃で１時間の熱処理を行い硬化させ
た。この後、500Wのキセノン水銀ランプによりマスク露
光を行った。次に実施例１では、メチルエチルケトンで
現像して線状パターンを形成した。一方、比較例１は硬
化剤を配合しなかったものであるが、ここではメチルエ
チルケトン：エタノール＝5:2の混合物を用いて現像し
た。これは、比較例１の組成をメチルエチルケトンだけ
で現像すると樹脂膜が溶解してしまい、パターンが形成
されないからである。それぞれのパターンにつき、以下
の基準で評価し、その結果を表−１に示した。
000）と表−１の硬化剤をエチルセロソルブアセテート
に溶解し、この溶液をシリコン基板上に回転塗布して、
厚さ1.0〜20μｍの樹脂膜を得た。次に、コンベクショ
ンオーブン中、160℃で１時間の熱処理を行い硬化させ
た。この後、500Wのキセノン水銀ランプによりマスク露
光を行った。次に実施例１では、メチルエチルケトンで
現像して線状パターンを形成した。一方、比較例１は硬
化剤を配合しなかったものであるが、ここではメチルエ
チルケトン：エタノール＝5:2の混合物を用いて現像し
た。これは、比較例１の組成をメチルエチルケトンだけ
で現像すると樹脂膜が溶解してしまい、パターンが形成
されないからである。それぞれのパターンにつき、以下
の基準で評価し、その結果を表−１に示した。
（判定基準） リソグラフィー性 10μｍの線状パターンを形成すべく露光及び現像を行
ったあとの断面を走査型電子顕微鏡で観察し、このパタ
ーンが形成されているものを○、形成されていないもの
を×として、ソリグラフィーの可否を評価した。
ったあとの断面を走査型電子顕微鏡で観察し、このパタ
ーンが形成されているものを○、形成されていないもの
を×として、ソリグラフィーの可否を評価した。
熱処理時の縮少・膨張 幅2.0μｍのスリットパターンを形成し、160℃で１時
間放置後のスリット幅のシフト量を光学顕微鏡で測定し
て、熱処理時の収縮・膨張を評価した。
間放置後のスリット幅のシフト量を光学顕微鏡で測定し
て、熱処理時の収縮・膨張を評価した。
耐熱性 熱分解による膜減り量を測定するとともに、亀裂・変
色の有無を光学顕微鏡で観察して、耐熱性を評価した。
具体的には、膜厚を測定していき、熱分解とともに膜減
りが始まる温度を耐熱性の目途とした。
色の有無を光学顕微鏡で観察して、耐熱性を評価した。
具体的には、膜厚を測定していき、熱分解とともに膜減
りが始まる温度を耐熱性の目途とした。
実施例２及び３ 表−２記載の硬化剤をそこに記載の量用い、またコン
ベクションオーブン中での熱処理時間を20分に変更した
以外は、実施例１と同様にして線状パターンを形成し、
同様の基準で評価した。その結果を併せて表−２に示
す。
ベクションオーブン中での熱処理時間を20分に変更した
以外は、実施例１と同様にして線状パターンを形成し、
同様の基準で評価した。その結果を併せて表−２に示
す。
以上の実施例１〜３で得られた硬化膜は、いずれも硬
化剤の添加により、パターンの収縮・膨潤が認められな
くなった。また比較例１のものに比べ、耐熱性も向上し
ていた。さらに実施例２及び３では、熱処理時間の短縮
も達成された。
化剤の添加により、パターンの収縮・膨潤が認められな
くなった。また比較例１のものに比べ、耐熱性も向上し
ていた。さらに実施例２及び３では、熱処理時間の短縮
も達成された。
実施例４〜８及び比較例２ ポリグシジルメタクリレートの重量平均分子量を表−
３記載のように変化させ、硬化剤の種類を実施例１で使
用したものに固定して、実施例１と同様の評価を行っ
た。ただし、比較例２（硬化剤なし）については、比較
例１と同じ現像液を用いた。結果を表−３に示す。
３記載のように変化させ、硬化剤の種類を実施例１で使
用したものに固定して、実施例１と同様の評価を行っ
た。ただし、比較例２（硬化剤なし）については、比較
例１と同じ現像液を用いた。結果を表−３に示す。
表−３からわかるように、ポリグリシジルメタクリレ
ートの重量平均分子量が40万以上になると、熱硬化剤が
なくてもある程度収縮・膨潤を抑えられるが、まだ歪み
が起こり、耐熱性もあまり改善されない。これに対し、
硬化剤を添加した場合には、分子量の広い範囲にわたっ
て、収縮・膨潤が一層抑制できるとともに、耐熱性も改
良される。さらに、硬化剤を実施例２又は３のものに変
えた場合には、収縮・膨潤の抑制及び耐熱性の向上とと
もに熱処理時間の短縮が気体される。
ートの重量平均分子量が40万以上になると、熱硬化剤が
なくてもある程度収縮・膨潤を抑えられるが、まだ歪み
が起こり、耐熱性もあまり改善されない。これに対し、
硬化剤を添加した場合には、分子量の広い範囲にわたっ
て、収縮・膨潤が一層抑制できるとともに、耐熱性も改
良される。さらに、硬化剤を実施例２又は３のものに変
えた場合には、収縮・膨潤の抑制及び耐熱性の向上とと
もに熱処理時間の短縮が気体される。
実施例９〜14 ポリグリシジルメタクリレートに代え、表−４に示す
グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの
共重合体を用いて、実施例１と同様の評価を行った。た
だし、硬化剤の種類は実施例１のものとし、その添加量
は樹脂100部に対して1.0部に固定した。結果を表−４に
示す。
グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの
共重合体を用いて、実施例１と同様の評価を行った。た
だし、硬化剤の種類は実施例１のものとし、その添加量
は樹脂100部に対して1.0部に固定した。結果を表−４に
示す。
表−４からわかるように、グリシジルメタクリレート
とメチルメタクリレートとの共重合体を用いた場合に
も、本発明に従って硬化剤を添加することにより、収縮
・膨潤がなく、耐熱性に優れた硬化膜が得られる。さら
に、硬化剤を実施例２又は３のものに変えた場合には、
収縮・膨潤の抑制及び耐熱性の向上とともに熱処理時間
の短縮が期待される。
とメチルメタクリレートとの共重合体を用いた場合に
も、本発明に従って硬化剤を添加することにより、収縮
・膨潤がなく、耐熱性に優れた硬化膜が得られる。さら
に、硬化剤を実施例２又は３のものに変えた場合には、
収縮・膨潤の抑制及び耐熱性の向上とともに熱処理時間
の短縮が期待される。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−206943（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−151025（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−1534（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−43999（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−61487（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−42742（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−55469（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−273967（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−40823（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−87120（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−115626（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−121045（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−103342（ＪＰ，Ａ) 特公 昭53−28438（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03F 7/038 G03F 7/004 C08G 59/32 C08G 59/50
Claims (7)
- 【請求項１】ポリグリシジルメタクリレート類及び硬化
剤を含有し、該硬化剤が、下記一般式（Ｉ） （式中、R1は低級アルキル基を示し、R2は水素原子又は
−CH2N（R3）２を表し、ここでR3は低級アルキル基を示
す） で示される化合物を含有することを特徴とするカラーフ
ィルターの保護膜用硬化性樹脂組成物。 - 【請求項２】ポリグリシジルメタクリレート類が、グリ
シジルメタクリレートの単独重合体である請求項１に記
載の硬化性樹脂組成物。 - 【請求項３】ポリグリシジルメタクリレート類が、グリ
シジルメタクリレートとメタクリル酸アルキルエステル
との共重合体である請求項１に記載の硬化性樹脂組成
物。 - 【請求項４】一般式（Ｉ）の化合物が、2,4,6−トリス
（N,N−ジメチルアミノメチル）フェノール又は2,6ビス
（N,N−ジメチルアミノメチル）フェノールである請求
項１〜３のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物。 - 【請求項５】硬化剤が、さらに下記一般式（II） （式中、Ｒはフェノール性水酸基を有する基を表す） で示される化合物を含有する請求項１〜４のいずれかに
記載の硬化性樹脂組成物。 - 【請求項６】Ｒが、式 （式中、R7は炭素数１〜６のアレキレン又は、水酸基、
エステル結合及びエーテル結合のうち少なくとも一つを
有するアルキレンを表し、R8及びR9は互いに独立に、炭
素数１〜６のアルキル基を表す） で示される請求項５に記載の硬化性樹脂組成物。 - 【請求項７】Ｒが、式 で示される請求項５に記載の硬化性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6297289A JP2817173B2 (ja) | 1988-03-15 | 1989-03-14 | 硬化性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63-62951 | 1988-03-15 | ||
| JP6295188 | 1988-03-15 | ||
| JP6297289A JP2817173B2 (ja) | 1988-03-15 | 1989-03-14 | 硬化性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02973A JPH02973A (ja) | 1990-01-05 |
| JP2817173B2 true JP2817173B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=26404012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6297289A Expired - Fee Related JP2817173B2 (ja) | 1988-03-15 | 1989-03-14 | 硬化性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817173B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2540104Y2 (ja) | 1992-09-01 | 1997-07-02 | ダイワ精工株式会社 | リール固定部を有する釣竿 |
| JP5771944B2 (ja) * | 2010-10-18 | 2015-09-02 | Jsr株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL42266A0 (en) * | 1972-10-16 | 1973-07-30 | American Can Co | Copolymer of glycidyl methacrylate and allyl glycidyl ether |
| JPS6053867B2 (ja) * | 1979-09-12 | 1985-11-27 | 沖電気工業株式会社 | ネガ型フオトレジストパタ−ンの形成方法 |
| JPS5786832A (en) * | 1980-11-20 | 1982-05-31 | Fujitsu Ltd | Pattern forming material |
| JPS5887120A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Yamatoya Shokai:Kk | 感光性樹脂組成物 |
| US4439517A (en) * | 1982-01-21 | 1984-03-27 | Ciba-Geigy Corporation | Process for the formation of images with epoxide resin |
| JPS59121045A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-12 | Hitachi Ltd | 有機樹脂膜の加工方法 |
| JPS60103342A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ用レジスト組成物 |
| JPS60115626A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | Sekisui Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP6297289A patent/JP2817173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02973A (ja) | 1990-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101976268B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 그리고 그것을 사용한 컬러 필터 및 표시 장치 | |
| KR101887241B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 그리고 그것을 사용한 컬러 필터 및 표시 장치 | |
| KR101895909B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 컬러필터 및 컬러필터 제조방법 | |
| JP4510672B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ | |
| KR102392964B1 (ko) | 차광막용 감광성 수지 조성물, 이것을 경화시킨 차광막을 구비한 디스플레이용 기판, 및 디스플레이용 기판의 제조 방법 | |
| KR20030044860A (ko) | 광중합성 불포화 수지, 이의 제조방법 및 이를 포함하는알칼리 가용형 감방사선성 수지 조성물 | |
| CA2115333A1 (en) | Polyfunctional vinyl ether compounds and photoresist resin composition containing the same | |
| JP2817173B2 (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
| US5641594A (en) | Colored, photosensitive resin composition | |
| KR102654596B1 (ko) | 네가티브형 감광성 수지 조성물 | |
| JP3206068B2 (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
| CN108445712B (zh) | 感光性树脂组合物、使用其的黑色像素界定层及显示装置 | |
| JP5280043B2 (ja) | 液晶配向制御用突起、及びカラーフィルタ | |
| JP2006259461A (ja) | 感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ | |
| KR100367472B1 (ko) | 수지 블랙매트릭스용 레지스트 조성물 | |
| JPH05216231A (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
| JPH09316346A (ja) | 感放射線性樹脂組成物、カラーフィルター用感放射線性樹脂組成物及びその硬化物 | |
| JPH07133338A (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
| KR102671237B1 (ko) | 네가티브형 감광성 수지 조성물 | |
| KR19990047373A (ko) | 칼러 레지스트 수지 조성물 | |
| KR100367471B1 (ko) | 오버코트용 레지스트 조성물 | |
| JPS5940641A (ja) | 高解像度用ネガ型フオトレジスト組成物 | |
| KR20120072971A (ko) | 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 감광성 수지막 | |
| KR100343754B1 (ko) | 내열성, 내화성 및 접착성이 우수한 감광성 수지 조성물 | |
| KR20000008133A (ko) | 칼러 레지스트 수지 조성물 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |