JP3206068B2 - 硬化性樹脂組成物 - Google Patents
硬化性樹脂組成物Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は硬化性樹脂組成物に関
し、さらに詳しくは、レジスト、特にカラーフィルター
用途における保護膜、平坦化膜または反射防止膜に使用
される硬化性樹脂組成物に関する。
し、さらに詳しくは、レジスト、特にカラーフィルター
用途における保護膜、平坦化膜または反射防止膜に使用
される硬化性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、２次元画像を電気信号に変換する
ために、固体撮像素子が用いられ、カラービデオカメラ
の軽量化および高解像度化が進んでいる。例えば、ＣＣ
Ｄ（チャージカップルドデバイス）と呼ばれる固体撮像
素子では、チップ上に微細に分割された多数の受光部の
上に直接カラーフィルターを設ける方向で、高解像度化
が進んでいる。カラーフィルターの被染色膜形成材料と
しては、６価クロム化合物を光架橋剤とするゼラチンな
どの天然高分子からなるネガ型の感光性組成物が広く用
いられている。このような感光性組成物を、ＣＣＤ基板
上にスピンコートで塗布した後、マスク露光により所定
の受光面上の染色部のみを露光し、現像を行う。こうし
て得られた透明パターンを染色液に浸漬して染色を行
う。次に、染色パターン上にアクリル系の樹脂等で保護
膜を形成する。以上の操作を繰り返すことにより、混染
することなく多色のカラーフィルターが作成されてい
る。
ために、固体撮像素子が用いられ、カラービデオカメラ
の軽量化および高解像度化が進んでいる。例えば、ＣＣ
Ｄ（チャージカップルドデバイス）と呼ばれる固体撮像
素子では、チップ上に微細に分割された多数の受光部の
上に直接カラーフィルターを設ける方向で、高解像度化
が進んでいる。カラーフィルターの被染色膜形成材料と
しては、６価クロム化合物を光架橋剤とするゼラチンな
どの天然高分子からなるネガ型の感光性組成物が広く用
いられている。このような感光性組成物を、ＣＣＤ基板
上にスピンコートで塗布した後、マスク露光により所定
の受光面上の染色部のみを露光し、現像を行う。こうし
て得られた透明パターンを染色液に浸漬して染色を行
う。次に、染色パターン上にアクリル系の樹脂等で保護
膜を形成する。以上の操作を繰り返すことにより、混染
することなく多色のカラーフィルターが作成されてい
る。
【０００３】ところで、上記の保護膜には、一般に次の
ような性能が要求される。 （１）保護機能を有する、すなわち、被染色層（ゼラチ
ン等）を保護し、水溶性の染料の浸透を防いで、各層間
の混色を防止すること、 （２）染色、モールデイング等の熱処理時に、膨張・収
縮を起こさないこと、 （３）基板および染色層との密着性がよいこと、 （４）保護膜の一部を分解し、配線を取る工程があるた
め、リソグラフィーが可能であること、そして （５）可視光を透過すること。
ような性能が要求される。 （１）保護機能を有する、すなわち、被染色層（ゼラチ
ン等）を保護し、水溶性の染料の浸透を防いで、各層間
の混色を防止すること、 （２）染色、モールデイング等の熱処理時に、膨張・収
縮を起こさないこと、 （３）基板および染色層との密着性がよいこと、 （４）保護膜の一部を分解し、配線を取る工程があるた
め、リソグラフィーが可能であること、そして （５）可視光を透過すること。
【０００４】このような保護膜の条件を満たすものとし
て、従来は、例えば特公昭 49-7495号公報に記載される
ような、電子線レジストとして知られるポリグリシジル
メタクリレートが用いられていた。
て、従来は、例えば特公昭 49-7495号公報に記載される
ような、電子線レジストとして知られるポリグリシジル
メタクリレートが用いられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記ポリグリシジルメ
タクリレートは、未硬化の状態で使われており、高分子
量化により耐熱性と硬度を付与している。しかしなが
ら、いずれも未だ不十分であり、例えば、２００℃以上
で熱分解が起こり、さらに熱処理時に収縮が起きて保護
膜層の間にある被染色層のパターンにズレを引き起こす
等の問題があった。
タクリレートは、未硬化の状態で使われており、高分子
量化により耐熱性と硬度を付与している。しかしなが
ら、いずれも未だ不十分であり、例えば、２００℃以上
で熱分解が起こり、さらに熱処理時に収縮が起きて保護
膜層の間にある被染色層のパターンにズレを引き起こす
等の問題があった。
【０００６】また、ＣＣＤのようなアルミニウム配線が
縦横に走る基板上に直接カラーフィルターを設ける方法
においては、被染色層をフォトリソグラフィーで形成す
るときに、基板からの反射光が悪影響を及ぼすことが指
摘されている。すなわち、所定の受光面上の染色部のみ
を露光したいにもかかわらず、基板のアルミニウムから
の反射光により所定外の部分も露光されてしまい、寸法
精度よくカラーフィルターを形成することができなくな
るのである。ところが、上記ポリグリシジルメタクリレ
ートは、紫外部から可視域にかけて非常に透明なため、
反射光を防止することができなかった。
縦横に走る基板上に直接カラーフィルターを設ける方法
においては、被染色層をフォトリソグラフィーで形成す
るときに、基板からの反射光が悪影響を及ぼすことが指
摘されている。すなわち、所定の受光面上の染色部のみ
を露光したいにもかかわらず、基板のアルミニウムから
の反射光により所定外の部分も露光されてしまい、寸法
精度よくカラーフィルターを形成することができなくな
るのである。ところが、上記ポリグリシジルメタクリレ
ートは、紫外部から可視域にかけて非常に透明なため、
反射光を防止することができなかった。
【０００７】本発明者らは、ポリグリシジルメタクリレ
ート類と特定の化合物とを併用することにより前記問題
点を解決して、耐熱性に優れ、かつ反射防止能をも有す
る硬化性樹脂組成物を見出した。
ート類と特定の化合物とを併用することにより前記問題
点を解決して、耐熱性に優れ、かつ反射防止能をも有す
る硬化性樹脂組成物を見出した。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、下記
一般式（Ｉ）
一般式（Ｉ）
【０００９】
【化６】
【００１０】〔式中、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 およびＲ
5 はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換さ
れていてもよいアルキルもしくはアルコキシ基、ヒドロ
キシル基、ニトロ基または−ＣＯＯＲ7 を表わし、ここ
にＲ7 は水素原子または置換されていてもよいアルキル
基を表わし、Ｒ6 は下記式（Ia）
5 はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換さ
れていてもよいアルキルもしくはアルコキシ基、ヒドロ
キシル基、ニトロ基または−ＣＯＯＲ7 を表わし、ここ
にＲ7 は水素原子または置換されていてもよいアルキル
基を表わし、Ｒ6 は下記式（Ia）
【００１１】
【化７】
【００１２】（式中、Ｒ8 はアルキル基を表わす）で示
される置換ピラゾリル基、または下記式（Ib）
される置換ピラゾリル基、または下記式（Ib）
【００１３】
【化８】
【００１４】（式中、Ｒ9 およびＲ10はそれぞれ独立
に、水素原子または置換されていてもよいアルキルもし
くはアリール基を表わす）で示されるアミノフェニル基
を表わす〕で示されるアゾ系化合物または下記一般式
（II）
に、水素原子または置換されていてもよいアルキルもし
くはアリール基を表わす）で示されるアミノフェニル基
を表わす〕で示されるアゾ系化合物または下記一般式
（II）
【００１５】
【化９】
【００１６】〔式中、Ｒ11およびＲ12はそれぞれ独立
に、水素原子、置換されていてもよいアルキルもしくは
アリール基または−ＣＯＲ13を表わし、ここにＲ13は置
換されていてもよいアルキルもしくはアリール基を表わ
す〕で示されるジスチリルピリジン系化合物の少なくと
も１つを含む熱硬化剤、およびポリグリシジルメタクリ
レート類を含有する硬化性樹脂組成物を提供するもので
ある。
に、水素原子、置換されていてもよいアルキルもしくは
アリール基または−ＣＯＲ13を表わし、ここにＲ13は置
換されていてもよいアルキルもしくはアリール基を表わ
す〕で示されるジスチリルピリジン系化合物の少なくと
も１つを含む熱硬化剤、およびポリグリシジルメタクリ
レート類を含有する硬化性樹脂組成物を提供するもので
ある。
【００１７】以下、本発明について詳細に説明する。ポ
リグリシジルメタクリレート類としては、グリシジルメ
タクリレートの単独重合体または、グリシジルメタクリ
レートとメタクリル酸アルキルエステルやアクリロニト
リル等との共重合体が挙げられる。これらの重合体は、
いずれも通常のラジカル重合反応により容易に製造でき
る。また、ポリグリシジルメタクリレート類の重量平均
分子量は、通常 5,000〜1,000,000の範囲、好ましくは
10,000〜600,000、さらに好ましくは 50,000〜500,000
の範囲である。共重合体を用いる場合、グリシジルメタ
クリレートと、例えばメタクリル酸アルキルエステルや
アクリロニトリル等、共重合させる他のモノマーとのモ
ル比は、塗布性や硬化時間等を考慮して適切な範囲が定
められるが、通常１：９〜９：１、好ましくは４：６〜
６：４の範囲である。
リグリシジルメタクリレート類としては、グリシジルメ
タクリレートの単独重合体または、グリシジルメタクリ
レートとメタクリル酸アルキルエステルやアクリロニト
リル等との共重合体が挙げられる。これらの重合体は、
いずれも通常のラジカル重合反応により容易に製造でき
る。また、ポリグリシジルメタクリレート類の重量平均
分子量は、通常 5,000〜1,000,000の範囲、好ましくは
10,000〜600,000、さらに好ましくは 50,000〜500,000
の範囲である。共重合体を用いる場合、グリシジルメタ
クリレートと、例えばメタクリル酸アルキルエステルや
アクリロニトリル等、共重合させる他のモノマーとのモ
ル比は、塗布性や硬化時間等を考慮して適切な範囲が定
められるが、通常１：９〜９：１、好ましくは４：６〜
６：４の範囲である。
【００１８】本発明では、このようなポリグリシジルメ
タクリレート類に、一般式（Ｉ）で示されるアゾ系化合
物および一般式（II）で示されるジスチリルピリジン系
化合物のうち少なくとも１種を含む熱硬化剤を配合し
て、硬化性樹脂組成物とする。熱硬化剤となりうるアゾ
系化合物を表わす一般式（Ｉ）において、Ｒ1 〜Ｒ5 で
表わされる置換されていてもよいアルキル基は、炭素数
３以上の場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数
１〜５のものが、さらに好ましくはメチルまたはエチル
が挙げられる。置換されていてもよいアルコキシ基とし
て、好ましくはメトキシまたはエトキシが挙げられる。
アルキル基およびアルコキシ基の置換基としては、ハロ
ゲン原子、ヒドロキシル基などが例示される。Ｒ7 で表
わされる置換されていてもよいアルキル基も、炭素数３
以上の場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数１
〜５のものが、さらに好ましくはメチルまたはエチルが
挙げられる。好ましいＲ1 〜Ｒ5 としては、それぞれ独
立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜５のアルキ
ル基、ニトロ基またはＣＯＯＲ7 が挙げられ、ここにＲ
7 は前記の意味を表わす。
タクリレート類に、一般式（Ｉ）で示されるアゾ系化合
物および一般式（II）で示されるジスチリルピリジン系
化合物のうち少なくとも１種を含む熱硬化剤を配合し
て、硬化性樹脂組成物とする。熱硬化剤となりうるアゾ
系化合物を表わす一般式（Ｉ）において、Ｒ1 〜Ｒ5 で
表わされる置換されていてもよいアルキル基は、炭素数
３以上の場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数
１〜５のものが、さらに好ましくはメチルまたはエチル
が挙げられる。置換されていてもよいアルコキシ基とし
て、好ましくはメトキシまたはエトキシが挙げられる。
アルキル基およびアルコキシ基の置換基としては、ハロ
ゲン原子、ヒドロキシル基などが例示される。Ｒ7 で表
わされる置換されていてもよいアルキル基も、炭素数３
以上の場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数１
〜５のものが、さらに好ましくはメチルまたはエチルが
挙げられる。好ましいＲ1 〜Ｒ5 としては、それぞれ独
立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜５のアルキ
ル基、ニトロ基またはＣＯＯＲ7 が挙げられ、ここにＲ
7 は前記の意味を表わす。
【００１９】一般式（Ｉ）中のＲ6 が、前記式（Ia）で
示される置換ピラゾリル基の場合、Ｒ8 で表わされるア
ルキル基として、好ましくは炭素数１〜５のものが、さ
らに好ましくはメチルまたはエチルが挙げられる。
示される置換ピラゾリル基の場合、Ｒ8 で表わされるア
ルキル基として、好ましくは炭素数１〜５のものが、さ
らに好ましくはメチルまたはエチルが挙げられる。
【００２０】一般式（Ｉ）で示されるアゾ系化合物とし
ては、例えば、次のようなものを挙げることができる。
ては、例えば、次のようなものを挙げることができる。
【００２１】
【化１０】
【００２２】一般式（Ｉ）で示されるアゾ系化合物は、
「染料化学」（安部田、今田著、色染社、１９８９年）
等に記載されている方法に準じて、容易に製造可能であ
り、例えば、アニリン類をジアゾ化し、次いで所定の複
素環系、アニリン系またはナフタレン系の中間体とカッ
プリング反応を行うことにより得られる。
「染料化学」（安部田、今田著、色染社、１９８９年）
等に記載されている方法に準じて、容易に製造可能であ
り、例えば、アニリン類をジアゾ化し、次いで所定の複
素環系、アニリン系またはナフタレン系の中間体とカッ
プリング反応を行うことにより得られる。
【００２３】本発明で別の熱硬化剤となりうるジスチリ
ルピリジン系化合物を表わす一般式（II）において、Ｒ
11および／またはＲ12で表わされる置換されていてもよ
いアルキル基は、炭素数３以上の場合は分岐していても
よく、好ましくは炭素数１〜５のものが、さらに好まし
くはメチルまたはエチルが挙げられる。Ｒ13で表わされ
る置換されていてもよいアルキル基も、炭素数３以上の
場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数１〜５の
ものが挙げられる。Ｒ11〜Ｒ13で表わされるアルキル基
が置換基を有する場合、その置換基としては、ハロゲン
原子、ヒドロキシル基などが例示される。Ｒ11〜Ｒ13で
表わされるアリール基が置換基を有する場合、その置換
基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アルキル
基などが例示される。好ましいＲ11およびＲ12として
は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキ
ル基または−ＣＯＲ13が挙げられ、ここにＲ13は前記の
意味を表わす。
ルピリジン系化合物を表わす一般式（II）において、Ｒ
11および／またはＲ12で表わされる置換されていてもよ
いアルキル基は、炭素数３以上の場合は分岐していても
よく、好ましくは炭素数１〜５のものが、さらに好まし
くはメチルまたはエチルが挙げられる。Ｒ13で表わされ
る置換されていてもよいアルキル基も、炭素数３以上の
場合は分岐していてもよく、好ましくは炭素数１〜５の
ものが挙げられる。Ｒ11〜Ｒ13で表わされるアルキル基
が置換基を有する場合、その置換基としては、ハロゲン
原子、ヒドロキシル基などが例示される。Ｒ11〜Ｒ13で
表わされるアリール基が置換基を有する場合、その置換
基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アルキル
基などが例示される。好ましいＲ11およびＲ12として
は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキ
ル基または−ＣＯＲ13が挙げられ、ここにＲ13は前記の
意味を表わす。
【００２４】一般式（II）で示されるジスチリルピリジ
ン系化合物としては、例えば、次のようなものを挙げる
ことができる。
ン系化合物としては、例えば、次のようなものを挙げる
ことができる。
【００２５】
【化１１】
【００２６】一般式（II）で示されるジスチリルピリジ
ン系化合物は、例えば、２，６−ジメチルピリジンとヒ
ドロキシベンズアルデヒドとを氷酢酸の存在下に反応さ
せ、必要に応じて、上記反応により得られた化合物をさ
らにその誘導体とすることにより製造することができ
る。
ン系化合物は、例えば、２，６−ジメチルピリジンとヒ
ドロキシベンズアルデヒドとを氷酢酸の存在下に反応さ
せ、必要に応じて、上記反応により得られた化合物をさ
らにその誘導体とすることにより製造することができ
る。
【００２７】本発明の硬化性樹脂組成物において、一般
式（Ｉ）のアゾ系化合物を用いる場合、そのアゾ系化合
物の量は、ポリグリシジルメタクリレート類１００重量
部に対して、通常０.０１〜２０重量部、好ましくは０.
１〜１０重量部である。一般式（II）のジスチリルピリ
ジン系化合物を用いる場合、そのジスチリルピリジン系
化合物の量は、ポリグリシジルメタクリレート類１００
重量部に対して、通常０.００１〜２０重量部、好まし
くは０.０１〜５重量部である。さらには、必要に応じ
て、前記アゾ系化合物およびジスチリルピリジン系化合
物以外の硬化剤を併用することもできる。この場合の硬
化剤としては、熱硬化剤が好ましく用いられ、具体的に
は、トリフェニルホスフィン、低級アルキルアミン（例
えば、ヘキサメチレンジアミンやトリエチレンテトラミ
ン等）、芳香族アミン（例えば、ジフェニルアミンやア
ミノフェノール等）およびそのビス体、フェノール類
（例えば、クレゾール類やビスフェノールＡ等）および
そのビス体などが挙げられる。
式（Ｉ）のアゾ系化合物を用いる場合、そのアゾ系化合
物の量は、ポリグリシジルメタクリレート類１００重量
部に対して、通常０.０１〜２０重量部、好ましくは０.
１〜１０重量部である。一般式（II）のジスチリルピリ
ジン系化合物を用いる場合、そのジスチリルピリジン系
化合物の量は、ポリグリシジルメタクリレート類１００
重量部に対して、通常０.００１〜２０重量部、好まし
くは０.０１〜５重量部である。さらには、必要に応じ
て、前記アゾ系化合物およびジスチリルピリジン系化合
物以外の硬化剤を併用することもできる。この場合の硬
化剤としては、熱硬化剤が好ましく用いられ、具体的に
は、トリフェニルホスフィン、低級アルキルアミン（例
えば、ヘキサメチレンジアミンやトリエチレンテトラミ
ン等）、芳香族アミン（例えば、ジフェニルアミンやア
ミノフェノール等）およびそのビス体、フェノール類
（例えば、クレゾール類やビスフェノールＡ等）および
そのビス体などが挙げられる。
【００２８】本発明の硬化剤樹脂組成物をレジスト等に
用いる場合、通常は溶剤に溶解した形で用いられ、その
際に使用する溶剤は、適当な乾燥速度を有し、均一で平
滑な塗膜を与えるものがよい。このような溶剤として
は、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブア
セテート等のセロソルブエステル類、酢酸ブチル、酢酸
イソアミル等の酢酸エステル類、キシレン等の芳香族炭
化水素類、メチルイソブチルケトン、ヘプタノン等のケ
トン類などが挙げられる。溶剤量は、ウェハー上に均質
でピンホールおよび塗りむらのない塗膜が形成できる程
度であれば特に制限はないが、例えば、エチルセロソル
ブアセテートを用いる場合、好ましくは、レジスト組成
物の全重量に対して５０〜９５重量％の範囲である。
用いる場合、通常は溶剤に溶解した形で用いられ、その
際に使用する溶剤は、適当な乾燥速度を有し、均一で平
滑な塗膜を与えるものがよい。このような溶剤として
は、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブア
セテート等のセロソルブエステル類、酢酸ブチル、酢酸
イソアミル等の酢酸エステル類、キシレン等の芳香族炭
化水素類、メチルイソブチルケトン、ヘプタノン等のケ
トン類などが挙げられる。溶剤量は、ウェハー上に均質
でピンホールおよび塗りむらのない塗膜が形成できる程
度であれば特に制限はないが、例えば、エチルセロソル
ブアセテートを用いる場合、好ましくは、レジスト組成
物の全重量に対して５０〜９５重量％の範囲である。
【００２９】
【実施例】次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限
定されるものではない。例中、部は重量部を意味する。
に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限
定されるものではない。例中、部は重量部を意味する。
【００３０】実施例および比較例 ポリグリシジルメタクリレート（ポリスチレン換算重量
平均分子量 156,000）と熱硬化剤とを、表１に示す組成
でエチルセロソルブアセテート９００部に溶解し、この
溶液を透明ガラス基板およびシリコン基板上に回転塗布
して厚さ１.０μm の樹脂膜を得た。シリコン基板上に
樹脂膜を形成した試料については次に、コンベクション
オーブン中、１７０℃で１時間の熱処理を行って硬化さ
せ、次いで５００Ｗのキセノン水銀ランプによりマスク
露光を行い、メチルイソブチルケトンで現像して線状パ
ターンを形成した。
平均分子量 156,000）と熱硬化剤とを、表１に示す組成
でエチルセロソルブアセテート９００部に溶解し、この
溶液を透明ガラス基板およびシリコン基板上に回転塗布
して厚さ１.０μm の樹脂膜を得た。シリコン基板上に
樹脂膜を形成した試料については次に、コンベクション
オーブン中、１７０℃で１時間の熱処理を行って硬化さ
せ、次いで５００Ｗのキセノン水銀ランプによりマスク
露光を行い、メチルイソブチルケトンで現像して線状パ
ターンを形成した。
【００３１】一方、透明ガラス基板上に樹脂膜を形成し
た試料については、１７０℃または２００℃で１時間の
熱処理を行い、その前後の吸収スペクトルを紫外−可視
吸光光度計 UV-365 〔（株）島津製作所製〕で測定し
て、熱硬化剤の耐熱性を評価した。熱処理の前後でスペ
クトルがほとんど変化しなければ、熱硬化剤の熱分解や
昇華が起こっていないと判断し、次の基準で評価した。 ２００℃でもスペクトルが変化しないもの ：◎ ２００℃で変化するが、１７０℃で変化しないもの：○ １７０℃でもスペクトルが変化するもの ：×
た試料については、１７０℃または２００℃で１時間の
熱処理を行い、その前後の吸収スペクトルを紫外−可視
吸光光度計 UV-365 〔（株）島津製作所製〕で測定し
て、熱硬化剤の耐熱性を評価した。熱処理の前後でスペ
クトルがほとんど変化しなければ、熱硬化剤の熱分解や
昇華が起こっていないと判断し、次の基準で評価した。 ２００℃でもスペクトルが変化しないもの ：◎ ２００℃で変化するが、１７０℃で変化しないもの：○ １７０℃でもスペクトルが変化するもの ：×
【００３２】前記のシリコン基板上に樹脂膜を形成した
試料につき、メチルイソブチルケトンに１８０秒浸漬現
像する前と後の膜厚を測定して、熱硬化性を評価した。
膜べりが３％未満であったものを○、３％以上であった
ものを×とし、熱硬化せず、メチルイソブチルケトンに
溶解して２０％以上の著しい膜べりを起こしたものを×
×とした。さらに、３０μm の線状パターンを光学顕微
鏡で観察してパターン形状を評価し、図１の（１）に示
すようなほぼ矩形であったものを「矩形」、同（２）に
示すような上部が丸みを帯びていたものを「丸み」、そ
して同（３）に示すような膜べりして全体が小山状にな
っていたものを「山状」とそれぞれ表示した。以上の結
果を表１に示す。
試料につき、メチルイソブチルケトンに１８０秒浸漬現
像する前と後の膜厚を測定して、熱硬化性を評価した。
膜べりが３％未満であったものを○、３％以上であった
ものを×とし、熱硬化せず、メチルイソブチルケトンに
溶解して２０％以上の著しい膜べりを起こしたものを×
×とした。さらに、３０μm の線状パターンを光学顕微
鏡で観察してパターン形状を評価し、図１の（１）に示
すようなほぼ矩形であったものを「矩形」、同（２）に
示すような上部が丸みを帯びていたものを「丸み」、そ
して同（３）に示すような膜べりして全体が小山状にな
っていたものを「山状」とそれぞれ表示した。以上の結
果を表１に示す。
【００３３】
【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 組 成 性 能 樹脂 熱硬化剤 耐熱性 熱硬化性 パターン形状 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 実施例１ 100部 Ａ 5.0部 ○ ○ 矩形 〃 ２ 100部 Ｂ 3.0部 ○ ○ 矩形 〃 ３ 100部 Ｃ 8.0部 ○ ○ 矩形 〃 ４ 100部 Ｄ 2.0部 ○ ○ 矩形 〃 ５ 100部 Ｅ 1.5部 ◎ ○ 矩形 〃 ６ 100部 Ｆ 1.0部 ○ ○ 矩形 〃 ７ 100部 Ｇ 2.0部 ○ ○ 矩形 〃 ８ 100部 Ｈ 0.5部 ◎ ○ 矩形 〃 ９ 100部 Ｉ 2.0部 ○ ○ 矩形 〃 10 100部 Ｅ 1.0部＋Ｇ 1.0部 ◎ ○ 矩形 〃 11 100部 Ｅ 0.5部＋Ｈ 0.1部 ◎ ○ 矩形 〃 12 100部 Ｅ 1.0部＋Ｉ 1.0部 ◎ ○ 矩形 ────────────────────────────────── 比較例１ 100部 Ｊ 1.0部 × × 丸み 〃 ２ 100部 なし − ×× 山状 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【００３４】表１中、熱硬化剤Ａ〜Ｊは、それぞれ次の
化合物を表わす。
化合物を表わす。
【００３５】
【化１２】
【００３６】
【化１３】
【００３７】また、本発明の硬化性樹脂組成物から形成
された保護膜の保護機能が良好であることは、ｐＨ３.
０で６０℃の染料水溶液からなる染色液中で確認され
た。さらに、本発明により熱硬化剤を配合した硬化性樹
脂溶液と、熱硬化剤を配合せずにポリグリシジルメタク
リレートだけを含む樹脂溶液をそれぞれ、アルミニウム
を蒸着したシリコンウェハー上に塗布し、熱処理後、そ
の上にゼラチン−重クロム酸系のネガ型感光性樹脂を塗
布し、ｇ線またはｉ線のステッパーを用いてマスク露光
を行った。反射防止能のないポリグリシジルメタクリレ
ートを下地にした場合には、未露光部にも反射光が当た
るので、３.０μmのライアンドスペースパターンを形成
することができなかったが、本発明の硬化性樹脂組成物
を下地にすると、３.０μmの良好なラインアンドスペー
スパターンが形成できた。
された保護膜の保護機能が良好であることは、ｐＨ３.
０で６０℃の染料水溶液からなる染色液中で確認され
た。さらに、本発明により熱硬化剤を配合した硬化性樹
脂溶液と、熱硬化剤を配合せずにポリグリシジルメタク
リレートだけを含む樹脂溶液をそれぞれ、アルミニウム
を蒸着したシリコンウェハー上に塗布し、熱処理後、そ
の上にゼラチン−重クロム酸系のネガ型感光性樹脂を塗
布し、ｇ線またはｉ線のステッパーを用いてマスク露光
を行った。反射防止能のないポリグリシジルメタクリレ
ートを下地にした場合には、未露光部にも反射光が当た
るので、３.０μmのライアンドスペースパターンを形成
することができなかったが、本発明の硬化性樹脂組成物
を下地にすると、３.０μmの良好なラインアンドスペー
スパターンが形成できた。
【００３８】
【発明の効果】本発明の硬化性樹脂組成物は、耐熱性、
熱硬化性、パターン形状等の諸性能に優れており、レジ
スト用、特にカラーフィルターの平坦化膜、保護膜、反
射防止膜用などとして有用である。
熱硬化性、パターン形状等の諸性能に優れており、レジ
スト用、特にカラーフィルターの平坦化膜、保護膜、反
射防止膜用などとして有用である。
【図１】実施例および比較例で得られたパターンの断面
形状を類型化して示す模式図である。
形状を類型化して示す模式図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−973（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−28142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−132925（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−193318（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−74216（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−3171（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−185708（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−7495（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08G 59/40 C08G 59/20 G02B 5/20 G03F 7/027 G03F 7/038
Claims (7)
- 【請求項１】下記一般式（Ｉ） 【化１】 〔式中、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 およびＲ5 はそれぞれ
独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換されていてもよ
いアルキルもしくはアルコキシ基、ヒドロキシル基、ニ
トロ基または−ＣＯＯＲ7 を表わし、ここにＲ7 は水素
原子または置換されていてもよいアルキル基を表わし；
Ｒ6 は下記式 【化２】 （式中、Ｒ8 はアルキル基を表わす）で示される基、ま
たは下記式 【化３】 （式中、Ｒ9 およびＲ10はそれぞれ独立に、水素原子ま
たは置換されていてもよいアルキルもしくはアリール基
を表わす）で示される基を表わす〕で示されるアゾ系化
合物または下記一般式（II） 【化４】 〔式中、Ｒ11およびＲ12はそれぞれ独立に、水素原子、
置換されていてもよいアルキルもしくはアリール基また
は−ＣＯＲ13を表わし、ここにＲ13は置換されていても
よいアルキルもしくはアリール基を表わす〕で示される
ジスチリルピリジン系化合物の少なくとも１つを含む熱
硬化剤、およびポリグリシジルメタクリレート類を含有
することを特徴とする硬化性樹脂組成物。 - 【請求項２】該熱硬化剤が、一般式（Ｉ）で示されるア
ゾ系化合物を含む請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。 - 【請求項３】該アゾ系化合物が、式 【化５】 で示される請求項２に記載の硬化性樹脂組成物。
- 【請求項４】該熱硬化剤が、一般式（II）で示されるジ
スチリルピリジン系化合物を含む請求項１に記載の硬化
性樹脂組成物。 - 【請求項５】該熱硬化剤が、一般式（Ｉ）で示されるア
ゾ系化合物および一般式（II）で示されるジスチリルピ
リジン系化合物を含む請求項１に記載の硬化性樹脂組成
物。 - 【請求項６】該ポリグリシジルメタクリレート類が、グ
リシジルメタクリレートとメタクリル酸アルキルエステ
ルとの共重合体である請求項１〜５のいずれかに記載の
硬化性樹脂組成物。 - 【請求項７】カラーフィルターの保護膜用である請求項
１〜６のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP743292A JP3206068B2 (ja) | 1991-08-02 | 1992-01-20 | 硬化性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19395791 | 1991-08-02 | ||
| JP3-193957 | 1991-08-02 | ||
| JP743292A JP3206068B2 (ja) | 1991-08-02 | 1992-01-20 | 硬化性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593044A JPH0593044A (ja) | 1993-04-16 |
| JP3206068B2 true JP3206068B2 (ja) | 2001-09-04 |
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ID=26341721
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP743292A Expired - Fee Related JP3206068B2 (ja) | 1991-08-02 | 1992-01-20 | 硬化性樹脂組成物 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3206068B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| CN103232730B (zh) * | 2013-01-10 | 2015-01-14 | 浙江山峪染料化工有限公司 | 一种混拼型分散黄染料 |
| CN103232728B (zh) * | 2013-01-10 | 2014-08-20 | 浙江山峪染料化工有限公司 | 混拼型分散黄染料 |
| CN103059602A (zh) * | 2013-01-10 | 2013-04-24 | 浙江山峪染料化工有限公司 | 多组份拼混型分散黄染料 |
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| CN103232727B (zh) * | 2013-01-10 | 2014-09-03 | 浙江山峪染料化工有限公司 | 一种多组份拼混型分散黄染料 |
| CN103044968B (zh) * | 2013-01-11 | 2014-10-22 | 浙江山峪染料化工有限公司 | 一种分散黄染料 |
-
1992
- 1992-01-20 JP JP743292A patent/JP3206068B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH0593044A (ja) | 1993-04-16 |
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