JP2815586B2 - 光デイスク欠陥検査方法 - Google Patents

光デイスク欠陥検査方法

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JP2815586B2
JP2815586B2 JP63195758A JP19575888A JP2815586B2 JP 2815586 B2 JP2815586 B2 JP 2815586B2 JP 63195758 A JP63195758 A JP 63195758A JP 19575888 A JP19575888 A JP 19575888A JP 2815586 B2 JP2815586 B2 JP 2815586B2
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賢太 渡瀬
治 野々山
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506Optical discs

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、微分法による光ディスク欠陥検査方法に関
する。
従来の技術 従来、光ディスクにおけるビットエラーを検出するた
めの欠陥検査法として、特開昭62−291550号公報等に示
される微分検査法がある。これは、光ディスクからの反
射光量を光ピックアップの受光素子で受け、この光量に
応じたRF信号を微分し、微分信号を更に2値化して実際
に書込まれた情報を再現するように回路にて、この微分
信号波形を一定なる所定の基準電圧と比較し、基準電圧
以上のものを微分欠陥とし、この欠陥数を計数してビッ
トエラー数を推定するものである。
また、RF信号がある定まった基準電圧を越える欠陥長
を検査した総長で割った欠陥率で表現するようにしたも
のもある。
発明が解決しようとする問題点 前者の方式の場合、微分の時定数が情報ビット以下の
欠陥を検出するように設定されるので、それ以上の欠陥
が存在すると推定されるビットエラー数が少なくなって
しまう誤差を生じ、微分欠陥法を実用化する上でネック
となっている。特に、実際の光ディスクでは情報ピット
長自体も1〜3Tまで存在するので、これらの長さも区別
できず、更に検査誤差が大きくなってしまう。
また、後者の方式の場合、基準電圧を越えないものの
パルス状に立った小さな欠陥をカウントできず、誤差を
生ずる。
問題点を解決するための手段 光ディスクからの反射光による再生信号を微分し、こ
の微分信号における欠陥数から光ディスクのビットエラ
ー数を推定する光ディスク欠陥検査方法において、再生
信号を微分して欠陥数を検出し、ローパスフィルタを通
した再生信号に基づいて欠陥長を検出し、この欠陥長に
基づいて欠陥数を増加させて合否を決定するようにし
た。
作用 欠陥長によって合否を判定する基準となる欠陥数を増
減させるように演算処理を変化させるので、単なる微分
欠陥法では誤差を生ずるような長い欠陥を正しく認識で
きる。
実施例 本発明の一実施例を図面を参照して説明する。まず、
第1図に示すように光ディスク1(ここでは、エアーサ
ンドイッチ型のものを示す)からの反射光量は、光ピッ
クアップ2中の検出光学系により受光検知され、その信
号である再生信号(RF信号)が光ピックアップ制御回路
3から取出される。取出されたRF信号は、微分回路4、
バッフア回路5、ローパスフィルタ6及びアドレス判定
回路7に入力される。
ここに、微分回路4によってRF信号を微分した微分信
号は基準電圧発生回路8からの基準電圧VREF1とともに
比較回路9に入力されて比較され、欠陥の有無が検出さ
れる。即ち、第2図(a)に示すようなRF信号(電圧信
号)を微分回路4により微分すると同図(c)に示すよ
うな微分信号波形となる。そして、基準電圧発生回路8
による基準電圧VREF1と比較され、基準電圧VREF1を越え
た時を微分欠陥としてパルスにすると第2図(d)に示
すようになる。これを検査する部分のみを選択できるア
ドレス判定回路7のゲート信号とをANDゲートによるゲ
ート回路10を通してカウンタ11に入力し、欠陥パルス数
を計数蓄積する。
しかし、単に欠陥パルス数を計数するだけであると、
微分の時定数がビットエラーに換算するために得られる
情報ピットに合せて設定されているので、大きな長い欠
陥があると、微分信号中の微分欠陥パルスとしては1個
又は2個しか発生しないので誤差を生じてしまう。
そこで、本実施例では欠陥数を長さに変換する処理を
伴う。まず、第2図(a)に示すようなRF信号を微分回
路4で微分し、同図(c)に示すように微分信号波形を
得る。このような微分信号を比較回路9により基準電圧
VREF1と比較し、RF信号の電圧値がこの基準電圧VREF1
越えた時に同図(d)に示すように長さの波形とさせ
る。この時、単にこの波形の数をカウンタ11により計数
するだけでは、前述したように情報ビットの長さ(1T〜
3T)による誤差を生ずるので、この波形を長さに変換す
るために欠陥長基準発生回路16からの基準パルスをもゲ
ート回路10に入力させてANDをとりつつカウンタ11に蓄
積させる。よって、Dのような多少長めの欠陥について
は、第2図(e)中に対応させて示すように数個の基準
長さによる計数値としてカウンタ11に蓄積される。
もっとも、このような微分方法のみでは、欠陥長の長
いものと、全体のレベルが低下するような欠陥(例え
ば、欠陥C)が存在するような場合には検査できないの
で、これを補正する方法として、欠陥情報を加える。
このため、バッファ回路5の出力とローパスフィルタ
6の出力により緩やかに変化する基準電圧VREF2とを比
較回路13により比較し、RF信号が基準電圧VREF2を越え
る間だけ、欠陥長基準発生回路16からの基準パルスとの
ANDをゲート回路17により取ることにより、カウンタ18
に蓄積するものである。この結果、欠陥Cのような欠陥
については第2図(b)中に示すような長さに換算され
たパルス数による計数値が蓄積されることになる。
このようにして、本実施例によれば、第2図(b)
(e)に示すように全ての欠陥情報を基準長さのビット
単位の情報としてカウンタ11,18に蓄積でき、これらの
総和をビットエラーが発生する欠陥と推定できる。この
演算及び欠陥の合否の判定はマイコン演算部19により行
われる。
なお、より正確な変換を行うのであれば、補正として
用いた第2図(b)に示すような情報中から、第2図
(e)に示すような情報ピット(1T〜3T)の範囲を除く
工夫をすればよい。このためには、比較回路13の出力
を、ゲート回路14を通した後、割込み発生回路21を通す
ことによりマイコン演算部19を割込み動作させカウンタ
18の状況を確認し、1つの欠陥が入力された時、その変
化の値が1〜3の場合にはカウンタ18の計数値を戻し、
又はその数をマイコン演算部19側に蓄積しておき、後で
カウンタ18からの計数値から引くようにすればよい。
このように、本実施例方式によれば、欠陥長が長い場
合に生ずる誤差は第2図(b)に示すような処理により
補正して誤差をなくし、かつ、再生信号のみでは検出で
きないような小さな欠陥についての誤差は第2図(e)
に示すような処理により補正して誤差をなくすことがで
きるので、容易かつ正確に欠陥からビットエラーを推定
でき、推定されるエラービット数にて光ディスクの合否
の判断を適正に行うことができる。
発明の効果 本発明は上述のように、光ディスクからの反射光によ
る再生信号を微分し、この微分信号における欠陥数から
光ディスクのビットエラー数を推定する光ディスク欠陥
検査方法において、再生信号を微分して欠陥数を検出
し、ローパスフィルタを通した再生信号に基づいて欠陥
長を検出し、この欠陥長に基づいて欠陥数を増加させて
合否を決定するようにしたので、単なる微分欠陥法では
誤差を生ずるような長い欠陥であっても誤差の少ない状
態で認識し、合否の検査に供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
波形図、第3図はビットエラー数−欠陥数の特性図であ
る。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光ディスクからの反射光による再生信号を
    微分し、この微分信号における欠陥数から光ディスクの
    ビットエラー数を推定する光ディスク欠陥検査方法にお
    いて、再生信号を微分して欠陥数を検出し、ローパスフ
    ィルタを通した再生信号に基づいて欠陥長を検出し、こ
    の欠陥長に基づいて欠陥数を増加させて合否を決定する
    ようにしたことを特徴とする光ディスク欠陥検査方法。
JP63195758A 1988-08-05 1988-08-05 光デイスク欠陥検査方法 Expired - Lifetime JP2815586B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS62291550A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Canon Inc 光デイスク検査装置
JPS63153455A (ja) * 1986-12-18 1988-06-25 Yokogawa Electric Corp 光デイスクテストシステム

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