JP3043794B2 - ディスク検査装置 - Google Patents
ディスク検査装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光ディスク等の製造時における情報トラッ
ク上の欠陥を検査するディスク検査装置に関する。
ク上の欠陥を検査するディスク検査装置に関する。
従来の技術 従来、製造される光ディスクの欠陥率（エラー率）を
求めるディスク検査装置としては種々のものが発案され
ている。その第一の従来例として、光ディスクからの反
射光がある判定レベル以下になった時の時間を長さに換
算して情報ピットの欠陥長を測定し、その長さから欠陥
率を求める方法がある。この場合、反射光が低下した状
態で記憶（書込）しても有効な再生用微分信号が得られ
ないので、比較的欠陥長が長い場合に有効である。
求めるディスク検査装置としては種々のものが発案され
ている。その第一の従来例として、光ディスクからの反
射光がある判定レベル以下になった時の時間を長さに換
算して情報ピットの欠陥長を測定し、その長さから欠陥
率を求める方法がある。この場合、反射光が低下した状
態で記憶（書込）しても有効な再生用微分信号が得られ
ないので、比較的欠陥長が長い場合に有効である。
また、その第二の従来例として、例えば、特開昭62−
291550号、特開昭60−261044号、特開昭60−261045号の
各公報に開示されているように、微分回路を用いて情報
トラック上の欠陥長を測定し、これにより欠陥ピットの
検出を行う方法がある。
291550号、特開昭60−261044号、特開昭60−261045号の
各公報に開示されているように、微分回路を用いて情報
トラック上の欠陥長を測定し、これにより欠陥ピットの
検出を行う方法がある。
発明が解決しようとする課題 上述したような光ディスクの欠陥率を求める方法の場
合、実際に記憶（書込）を行ってエラー率を比較してみ
ると、相関関係のない場合が多々ある。すなわち、第一
の従来例の場合、反射光が低下した状態で書込をしても
有効な再生用微分信号が得られないため、比較的欠陥長
が長い場合に有効であるが、しかし、１つの欠陥長が短
い場合は欠陥率が低下して相関関係が得られにくくな
る。また、第二の従来例のような微分回路を用いたもの
では、１つの欠陥長が短い場合は比較的相関が得られる
が、逆にその欠陥長が長い場合は微分回路によって得ら
れる欠陥数が少なくなるのでやはり欠陥率も低下して相
関が得られにくくなる。
合、実際に記憶（書込）を行ってエラー率を比較してみ
ると、相関関係のない場合が多々ある。すなわち、第一
の従来例の場合、反射光が低下した状態で書込をしても
有効な再生用微分信号が得られないため、比較的欠陥長
が長い場合に有効であるが、しかし、１つの欠陥長が短
い場合は欠陥率が低下して相関関係が得られにくくな
る。また、第二の従来例のような微分回路を用いたもの
では、１つの欠陥長が短い場合は比較的相関が得られる
が、逆にその欠陥長が長い場合は微分回路によって得ら
れる欠陥数が少なくなるのでやはり欠陥率も低下して相
関が得られにくくなる。
このように従来の方法では、情報トラック上の欠陥長
は、製造過程によって生ずる種々の原因によって異な
り、例えば、スタンパの表面状態とか材料の不純物で生
じるものは比較的欠陥長の短いものが多く、作業者の衣
服やスタンパの傷等は逆に欠陥長の長いものが多く、必
ずしも欠陥発生が一定になっていないため、前述したよ
うな第一の従来例、第二の従来例を単独に実行したので
は検査誤差を生じることになる。
は、製造過程によって生ずる種々の原因によって異な
り、例えば、スタンパの表面状態とか材料の不純物で生
じるものは比較的欠陥長の短いものが多く、作業者の衣
服やスタンパの傷等は逆に欠陥長の長いものが多く、必
ずしも欠陥発生が一定になっていないため、前述したよ
うな第一の従来例、第二の従来例を単独に実行したので
は検査誤差を生じることになる。
課題を解決するための手段 そこで、このような問題点を解決するために、請求項
１記載の発明では、光情報記録媒体上に記録される情報
トラックに光を照射し、その反射光を受光し情報トラッ
ク上の欠陥を検出するディスク検査装置において、情報
ピット長以上の欠陥を検出する第一情報ピット欠陥判定
手段を設け、前記情報ピット長以下の欠陥を検出する第
二情報ピット欠陥判定手段を設けた。
１記載の発明では、光情報記録媒体上に記録される情報
トラックに光を照射し、その反射光を受光し情報トラッ
ク上の欠陥を検出するディスク検査装置において、情報
ピット長以上の欠陥を検出する第一情報ピット欠陥判定
手段を設け、前記情報ピット長以下の欠陥を検出する第
二情報ピット欠陥判定手段を設けた。
請求項２記載の発明では、請求項１記載の発明におい
て、情報トラック上から得られる反射光の信号を微分し
その再生時に信号帯域を強調するように増幅する第三情
報ピット欠陥判定手段を設けた。
て、情報トラック上から得られる反射光の信号を微分し
その再生時に信号帯域を強調するように増幅する第三情
報ピット欠陥判定手段を設けた。
作用 請求項１記載の発明においては、情報ピット長以上を
検出する第一情報ピット欠陥判定手段と情報ピット長以
下を検出する第二情報ピット欠陥判定手段とを設けたの
で、それぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤
差発生の原因を除いて補完することにより、一段と正確
な欠陥検査を行うことができる。
検出する第一情報ピット欠陥判定手段と情報ピット長以
下を検出する第二情報ピット欠陥判定手段とを設けたの
で、それぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤
差発生の原因を除いて補完することにより、一段と正確
な欠陥検査を行うことができる。
請求項２記載の発明においては、第三情報ピット欠陥
判定手段を設けたので、情報トラック上の情報が記憶さ
れた時若しくは消去された時に微分波形上に生じたり生
じなかったりする微妙な欠陥を検出することが可能とな
る。
判定手段を設けたので、情報トラック上の情報が記憶さ
れた時若しくは消去された時に微分波形上に生じたり生
じなかったりする微妙な欠陥を検出することが可能とな
る。
実施例 本発明の第一の実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。第１図は本装置の全体構成を示すものであ
り、光ピックアップ装置１と、第一情報ピット欠陥判定
手段２と、第二情報ピット欠陥判定手段３と、出力手段
４とに大きく分類することができる。前記光ピックアッ
プ装置１は、光ディスク５と光ピックアップ部６とによ
り構成され、その出力側には増幅回路７が接続されてい
る。この増幅回路７には、前記第一情報ピット欠陥判定
手段２と前記第二情報ピット欠陥判定手段３とが接続さ
れている。
説明する。第１図は本装置の全体構成を示すものであ
り、光ピックアップ装置１と、第一情報ピット欠陥判定
手段２と、第二情報ピット欠陥判定手段３と、出力手段
４とに大きく分類することができる。前記光ピックアッ
プ装置１は、光ディスク５と光ピックアップ部６とによ
り構成され、その出力側には増幅回路７が接続されてい
る。この増幅回路７には、前記第一情報ピット欠陥判定
手段２と前記第二情報ピット欠陥判定手段３とが接続さ
れている。
前記第一情報ピット欠陥判定手段２は、比較回路８と
判定レベル発生回路９と遅延回路10とAND回路11とによ
り構成されており、ここでは前記光ディスク５に形成さ
れた情報ピット長（１つの情報ピットの長さ）以上の欠
陥を検出する働きがある。
判定レベル発生回路９と遅延回路10とAND回路11とによ
り構成されており、ここでは前記光ディスク５に形成さ
れた情報ピット長（１つの情報ピットの長さ）以上の欠
陥を検出する働きがある。
前記第二情報ピット欠陥判定手段３は、比較回路12と
判定レベル発生回路13とパルス発生回路14と遅延回路15
とにより構成されており、ここでは情報ピット長以下の
欠陥を検出する働きがある。
判定レベル発生回路13とパルス発生回路14と遅延回路15
とにより構成されており、ここでは情報ピット長以下の
欠陥を検出する働きがある。
また、前記増幅回路７には、IDアドレスパス回路16が
接続されている。このIDアドレスパス回路16と前記第一
情報ピット欠陥判定手段２と前記第二情報ピット欠陥判
定手段３との出力側は、出力手段４と接続されている。
この出力手段４は、欠陥パルス発生回路17と、反転回路
18と、２個のAND回路19,20と、OR回路21と、カウンタ回
路22とにより構成されている。
接続されている。このIDアドレスパス回路16と前記第一
情報ピット欠陥判定手段２と前記第二情報ピット欠陥判
定手段３との出力側は、出力手段４と接続されている。
この出力手段４は、欠陥パルス発生回路17と、反転回路
18と、２個のAND回路19,20と、OR回路21と、カウンタ回
路22とにより構成されている。
このような構成において、本装置を用いて光情報記録
媒体としての光ディスク５の欠陥ピットの検査方法につ
いて述べる。まず、光ピックアップ装置１において、光
ディスク５は光ピックアップ部６によってフォーカス制
御、トラッキング制御されて常に安定的に情報トラック
上を走行している。そして、その光ディスク５に形成さ
れた情報ピットからの反射光は、受光素子6aにより検出
され電気信号に変換されることにより、増幅回路７にて
検査に必要な信号出力Vrに変換される。
媒体としての光ディスク５の欠陥ピットの検査方法につ
いて述べる。まず、光ピックアップ装置１において、光
ディスク５は光ピックアップ部６によってフォーカス制
御、トラッキング制御されて常に安定的に情報トラック
上を走行している。そして、その光ディスク５に形成さ
れた情報ピットからの反射光は、受光素子6aにより検出
され電気信号に変換されることにより、増幅回路７にて
検査に必要な信号出力Vrに変換される。
この信号出力Vrは、第一情報ピット欠陥判定手段２内
の比較回路８に入力される。この比較回路８には、反射
光量の低下を検出するのに必要な判定レベルＶthａを発
生する判定レベル発生回路９が接続されている。これに
より、VrがＶthａよりも低下した時の情報ピットの幅
（長さ）を求めることができる。そして、その比較回路
８により得られた幅信号の一方を遅延回路10を介してAN
D回路11に入力することにより、その遅延されない幅信
号V1と遅延された幅信号V2とのANDをとり幅信号V3を得
る。
の比較回路８に入力される。この比較回路８には、反射
光量の低下を検出するのに必要な判定レベルＶthａを発
生する判定レベル発生回路９が接続されている。これに
より、VrがＶthａよりも低下した時の情報ピットの幅
（長さ）を求めることができる。そして、その比較回路
８により得られた幅信号の一方を遅延回路10を介してAN
D回路11に入力することにより、その遅延されない幅信
号V1と遅延された幅信号V2とのANDをとり幅信号V3を得
る。
また、前記信号出力Vrは、第二情報ピット欠陥判定手
段３内の比較回路12に入力される。この比較回路12に
は、前記判定レベルＶthａよりも高いレベルの判定レベ
ルＶthｂを発生する判定レベル発生回路13が接続されて
いる。これにより、VrがＶthｂよりも低下した時の情報
ピットの幅（長さ）を求めることができる。そして、そ
の比較回路12により得られた幅信号V6はパルス発生回路
14に送られることにより、判定レベルＶthｂを越えて低
下し再び反射光が正常に戻る際に単発パルスの幅信号V7
を発生する。このようにして得られた幅信号V7は遅延回
路15に送られることにより、第一情報ピット欠陥判定手
段２の幅信号V8と重複しないようになっている。
段３内の比較回路12に入力される。この比較回路12に
は、前記判定レベルＶthａよりも高いレベルの判定レベ
ルＶthｂを発生する判定レベル発生回路13が接続されて
いる。これにより、VrがＶthｂよりも低下した時の情報
ピットの幅（長さ）を求めることができる。そして、そ
の比較回路12により得られた幅信号V6はパルス発生回路
14に送られることにより、判定レベルＶthｂを越えて低
下し再び反射光が正常に戻る際に単発パルスの幅信号V7
を発生する。このようにして得られた幅信号V7は遅延回
路15に送られることにより、第一情報ピット欠陥判定手
段２の幅信号V8と重複しないようになっている。
次に、出力手段４において、第一情報ピット欠陥判定
手段２からの幅信号V3と、増幅回路７からのIDアドレス
パス回路16を介した信号V5と、欠陥パルス発生回路17か
らの信号V4とは、AND回路19に入力される。なお、IDア
ドレスパス回路16は、IDアドレス部分の誤動作を除くた
めにデータ部分のみゲートを開ける働きがある。また、
第一情報ピット欠陥判定手段２からの反転回路18を介し
て得られた幅信号V3と、第二情報ピット欠陥判定手段３
の幅信号V8と、IDアドレスパス回路16からの信号V5と
は、AND回路20に入力される。なお、反転回路18はAND回
路11の反転ゲート信号を得るためのものである。
手段２からの幅信号V3と、増幅回路７からのIDアドレス
パス回路16を介した信号V5と、欠陥パルス発生回路17か
らの信号V4とは、AND回路19に入力される。なお、IDア
ドレスパス回路16は、IDアドレス部分の誤動作を除くた
めにデータ部分のみゲートを開ける働きがある。また、
第一情報ピット欠陥判定手段２からの反転回路18を介し
て得られた幅信号V3と、第二情報ピット欠陥判定手段３
の幅信号V8と、IDアドレスパス回路16からの信号V5と
は、AND回路20に入力される。なお、反転回路18はAND回
路11の反転ゲート信号を得るためのものである。
そして、これら２つのAND回路19,20からの出力信号
は、OR回路21を介して、カウンタ回路22に送られる。こ
れにより、欠陥パルス発生回路17から発生するパルスを
カウントすることによって、１情報ピット長に相当する
ピットの幅を検出することができる。
は、OR回路21を介して、カウンタ回路22に送られる。こ
れにより、欠陥パルス発生回路17から発生するパルスを
カウントすることによって、１情報ピット長に相当する
ピットの幅を検出することができる。
上述したように、情報ピット長以上を検出する第一情
報ピット欠陥判定手段２と情報ピット長以下を検出する
第二情報ピット欠陥判定手段３とを設けたことによっ
て、それぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤
差発生の原因を除いて補完することにより一段と正確な
情報ピットの欠陥検査を行うことができる。
報ピット欠陥判定手段２と情報ピット長以下を検出する
第二情報ピット欠陥判定手段３とを設けたことによっ
て、それぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤
差発生の原因を除いて補完することにより一段と正確な
情報ピットの欠陥検査を行うことができる。
次に、本発明の第二の実施例を第３図に基づいて説明
する。ここでは、前述した第１図の回路における第二情
報ピット欠陥判定手段３の前段に、第三情報ピット欠陥
判定手段23を新たに設けたものである。なお、その他の
第一の実施例の構成（第１図参照）と同一部分について
の説明は省略する。
する。ここでは、前述した第１図の回路における第二情
報ピット欠陥判定手段３の前段に、第三情報ピット欠陥
判定手段23を新たに設けたものである。なお、その他の
第一の実施例の構成（第１図参照）と同一部分について
の説明は省略する。
この第三情報ピット欠陥判定手段23は、微分回路24と
バンドパスフィルタ（B.P.F）回路25と増幅回路26とに
より構成されており、ここでは情報ピットから得られる
反射光の信号を微分しその再生時に信号帯域を強調する
ように増幅する働きがある。この第三情報ピット欠陥判
定手段23を設けた理由としては、情報ピットが記憶され
た時に、記憶（書込）される前の微分波形では微分波形
の出力として欠陥ピットにカウントされないが、記憶さ
れた時に微分波形が乱れてエラーとなる微妙な欠陥（特
に、スタンパー表面の汚れ等）を取込むことを目的とす
るからである。
バンドパスフィルタ（B.P.F）回路25と増幅回路26とに
より構成されており、ここでは情報ピットから得られる
反射光の信号を微分しその再生時に信号帯域を強調する
ように増幅する働きがある。この第三情報ピット欠陥判
定手段23を設けた理由としては、情報ピットが記憶され
た時に、記憶（書込）される前の微分波形では微分波形
の出力として欠陥ピットにカウントされないが、記憶さ
れた時に微分波形が乱れてエラーとなる微妙な欠陥（特
に、スタンパー表面の汚れ等）を取込むことを目的とす
るからである。
このような構成において、増幅回路７の出力を微分回
路24に加えてその微分波形の出力を実際に再生するドラ
イブと同等若しくはそれ以上の波形等価回路若しくは強
調回路となるように、バンドパスフィルタ回路25、増幅
回路26を通過させて、その出力を判定レベル発生回路13
の出力である判定レベルＶthｂと比較し、あるレベルを
越えた時にパルス発生回路14で１情報ピットに相当する
クロックの幅信号V60を発生させる。そして、第一情報
ピット欠陥判定手段２が動作していることを示す反転回
路18のゲート時間のみ、AND回路20、OR回路21を通じて
カウンタ回路22に加える。
路24に加えてその微分波形の出力を実際に再生するドラ
イブと同等若しくはそれ以上の波形等価回路若しくは強
調回路となるように、バンドパスフィルタ回路25、増幅
回路26を通過させて、その出力を判定レベル発生回路13
の出力である判定レベルＶthｂと比較し、あるレベルを
越えた時にパルス発生回路14で１情報ピットに相当する
クロックの幅信号V60を発生させる。そして、第一情報
ピット欠陥判定手段２が動作していることを示す反転回
路18のゲート時間のみ、AND回路20、OR回路21を通じて
カウンタ回路22に加える。
このように第三情報ピット欠陥判定手段４を設け、微
分された波形をバンドパスフィルタ回路25、増幅回路26
によって再生時の高域帯域を強調することによって、記
憶された時、若しくは、消去された時に微分波形上に生
じたり生じなかったりする微妙な欠陥（特に、スタンパ
表面上の汚れやプラスチック基板上の汚れ等において生
じる高周波的ノイズ）を検出することができる。
分された波形をバンドパスフィルタ回路25、増幅回路26
によって再生時の高域帯域を強調することによって、記
憶された時、若しくは、消去された時に微分波形上に生
じたり生じなかったりする微妙な欠陥（特に、スタンパ
表面上の汚れやプラスチック基板上の汚れ等において生
じる高周波的ノイズ）を検出することができる。
なお、第一及び第二情報ピット欠陥判定手段2,3を区
別するために、情報ピット長を境目としたが、より細か
い部分とする時はその境目を１情報ピット以下例えば1/
2とかに設定してもよい。また、遅延回路10と遅延回路1
5との微妙な遅延時間の違いにより誤差を生じる場合が
多い時は、第一情報ピット欠陥判定手段２の情報ピット
に相当する欠陥パルス発生クロック数を倍にして１欠陥
長ごとにマイコンによって計測し、奇数クロックを除く
方法を用いることもできる。
別するために、情報ピット長を境目としたが、より細か
い部分とする時はその境目を１情報ピット以下例えば1/
2とかに設定してもよい。また、遅延回路10と遅延回路1
5との微妙な遅延時間の違いにより誤差を生じる場合が
多い時は、第一情報ピット欠陥判定手段２の情報ピット
に相当する欠陥パルス発生クロック数を倍にして１欠陥
長ごとにマイコンによって計測し、奇数クロックを除く
方法を用いることもできる。
発明の効果 請求項１記載の発明は、光情報記録媒体上に記録され
る情報トラックに光を照射し、その反射光を受光し情報
トラック上の欠陥を検出するディスク検査装置におい
て、情報ピット長以上の欠陥を検出する第一情報ピット
欠陥判定手段を設け、前記情報ピット長以下の欠陥を検
出する第二情報ピット欠陥判定手段を設けたので、それ
ぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤差発生の
原因を除いて補完することにより、一段と正確な欠陥検
査を行うことができるものである。
る情報トラックに光を照射し、その反射光を受光し情報
トラック上の欠陥を検出するディスク検査装置におい
て、情報ピット長以上の欠陥を検出する第一情報ピット
欠陥判定手段を設け、前記情報ピット長以下の欠陥を検
出する第二情報ピット欠陥判定手段を設けたので、それ
ぞれの欠陥に対応して欠陥率とエラー率との誤差発生の
原因を除いて補完することにより、一段と正確な欠陥検
査を行うことができるものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明におい
て、情報トラック上から得られる反射光の信号を微分し
その再生時に信号帯域を強調するように増幅する第三情
報ピット欠陥判定手段を設けたので、情報ピットの情報
が記憶された時若しくは消去された時に微分波形上に生
じたり生じなかったりする微妙な欠陥を検出することが
可能となるものである。
て、情報トラック上から得られる反射光の信号を微分し
その再生時に信号帯域を強調するように増幅する第三情
報ピット欠陥判定手段を設けたので、情報ピットの情報
が記憶された時若しくは消去された時に微分波形上に生
じたり生じなかったりする微妙な欠陥を検出することが
可能となるものである。
第１図は本発明の第一の実施例を示す回路図、第２図は
その各部の信号波形を示す波形図、第３図は本発明の第
二の実施例を示す回路図、第４図はその各部の信号波形
を示す波形図である。 ２……第一情報ピット欠陥判定手段、３……第二情報ピ
ット欠陥判定手段、４……第三情報ピット欠陥判定手
段、５……光情報記録媒体
その各部の信号波形を示す波形図、第３図は本発明の第
二の実施例を示す回路図、第４図はその各部の信号波形
を示す波形図である。 ２……第一情報ピット欠陥判定手段、３……第二情報ピ
ット欠陥判定手段、４……第三情報ピット欠陥判定手
段、５……光情報記録媒体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｇ１１Ｂ 7/26 Ｇ１１Ｂ 7/26 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/00 - 7/013 G11B 7/26 G11B 20/18 G01B 11/30
Claims (2)
- 【請求項１】光情報記録媒体上に記録される情報トラッ
クに光を照射し、その反射光を受光し情報トラック上の
欠陥を検出するディスク検査装置において、情報ピット
長以上の欠陥を検出する第一情報ピット欠陥判定手段を
設け、前記情報ピット長以下の欠陥を検出する第二情報
ピット欠陥判定手段を設けたことを特徴とするディスク
検査装置。 - 【請求項２】情報トラック上から得られる反射光の信号
を微分しその再生時に信号帯域を強調するように増幅す
る第三情報ピット欠陥判定手段を設けたことを特徴とす
る請求項１記載のディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2275921A JP3043794B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2275921A JP3043794B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ディスク検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149867A JPH04149867A (ja) | 1992-05-22 |
| JP3043794B2 true JP3043794B2 (ja) | 2000-05-22 |
Family
ID=17562283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2275921A Expired - Fee Related JP3043794B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3043794B2 (ja) |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP2275921A patent/JP3043794B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH04149867A (ja) | 1992-05-22 |
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