JP2807080B2 - 光学式走査装置 - Google Patents

光学式走査装置

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ドイチェ トムソン―ブラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、記録装置および/または再生装置のため
の、対物レンズを備えた光学式走査装置に関する。この
場合、1ビーム法により光ビームが記録担体上に集束さ
れ、該光ビームは前記記録担体から、4つのフォトダイ
オードから成る4象限フォト検出器へ反射され、該フォ
ト検出器の1つの軸線はトラック方向と並行に延在して
おり、前記4象限フォト検出器の各フォトダイオードの
出力信号から、和と差の形成によりトラッキングエラー
信号が形成され、前記光ビームは、粗調整駆動部および
該粗調整駆動部と機械的に結合された微調整駆動部から
成るトラッキング調整回路により、前記記録担体のデー
タトラックを案内され、前記微調整駆動部により対物レ
ンズが、トラック方向の法線に対して角度αをなす方向
へ運動可能または傾斜可能である。
CDプレーヤ、ビデオディスクプレーヤ、DRAWディスク
プレーヤ、あるいは光磁気式の記録/再生装置は、例え
ば上記の形式の光学式走査装置を備えている。
光学式走査装置いわゆる光学式ピックアップの構造お
よび機能は、1984年刊行のElectronic Components & A
pplications、第6巻、第4号、第209頁〜215頁に記載
されている。
レーザダイオードから放射される光ビームは、レンズ
を用いてCDディスク上へ集束され、このディスクからフ
ォト検出器へ反射される。フォト検出器の出力信号か
ら、CDディスクに記憶されたデータと、フォーカス調整
回路とトラッキング調整回路のための実際値とが得られ
る。上記の文献では、フォーカス調整回路のための目標
値と実際値との偏差をフォーカシングエラーと称してお
り、他方、トラッキング調整回路の目標値と実際値との
偏差に対しては、半径方向トラッキングエラーという表
現が採用されている。
フォーカス調整回路のための調整素子としてコイルが
用いられており、このコイルの磁界によって、対物レン
ズは光学軸に沿って可動である。つまりフォーカス調整
回路は対物レンズをずらすことにより、レーザダイオー
ドから放射された光ビームが常にCDディスク上へ集束さ
れるようになる。しばしば半径方向調整駆動部とも称さ
れるトラッキング調整回路により、CDディスクに関して
半径方向に光学式走査装置をずらすことができる。これ
により光ビームはCDディスクの螺施形のデータトラック
を追従することができる。
いくつかの装置の場合、半径方向調整駆動部は、いわ
ゆる粗調整駆動部と微調整駆動部とから構成されてい
る。粗調整駆動部は例えばスピンドルとして構成されて
おり、この粗調整駆動部により、レーザダイオード、レ
ンズ、プリズムビームスプリッタおよびフォト検出器か
ら成る光学式走査装置全体を半径方向へ変位させること
ができる。微調整駆動部により、光ビームを付加的に半
径方向に変位させることができ、あるいは例えば所定の
小さな角度だけ施回させることができる。したがって微
調整駆動部により、ほんの少し−約1mm程度−CDディス
クの半径に沿って光ビームを動かすことができる。
データを申し分なく再生する目的で、例えばビデオデ
ィスクプレーヤの場合には画像および音声を、CDプレー
ヤの場合には音声のみを、あるいは光磁気ディスクのデ
ータを、申し分なく再生する目的で、ディスク上への光
ビームの精確な集束のほかに、ディスクのデータトラッ
クに沿った精確な追従も必要である。
第1図には、CDプレーヤの光学式走査装置のフォト検
出器PDが示されている。この場合、3つのレーザビーム
L1、L2、L3がCDディスク上へ集束される。レーザビーム
L2、L3は回折ビーム+1次、−1次である。このような
形式の走査装置は、3つの光ビームにより作動すること
から、冒頭で述べた文献では3ビーム−ピックアップと
称されている。
このフォト検出器の場合、4つの正方形のフォトダイ
オードA、B、C、Dは、それらが合わさってさらに1
つの正方形を形成するように組み合わせられている。こ
れら4つのフォトダイオードA、B、C、Dにより形成
された正方形に関連づけて、さらに2つの別の長方形の
フォトダイオードE、Fが対角線上に対向して配置され
ている。4つのフォトダイオードA、B、C、D上へ集
束される中央のレーザビームL1により、データ信号HF=
AS+BS+CS+DSおよびフォーカスエラー信号FE=(AS+
CS)−(BS+DS)が形成される。外側の両方の光ビーム
L2およびL3−これらのうち前方のL2はフォトダイオード
E上に投射され後方の光ビームL3はフォトダイオードF
上へ投射される−により、トラッキングエラー信号T=
ES−FSが形成される。AS、BS、CS、DS、ESおよびFSによ
って、それぞれダイオードA、B、C、D、EおよびF
のフォト電圧が表わされている。
第1図の場合、中央のレーザビームL1はトラックSの
中央を正確に追従している。この場合、トラッキングエ
ラー信号TEは値0である。
TE=ES−FS=0 第2図には、レーザビームL1、L2、L3がトラックSの
右側にずれている場合が示されている。この場合、トラ
ッキングエラー信号は負の値をとる。つまり、 TE=ES−FS<0 したがってトラッキング調整回路の調整素子は、トラ
ッキングエラー信号TEが0になるまで光学式走査装置を
左へ移動させる。
これとは反対の場合、つまりレーザビームがトラック
の左側にずれている場合、トラッキングエラー信号は正
である。つまり、 TE=ES−FS>0 したがってトラッキング調整回路の調整素子は、トラ
ッキングエラー信号TEが0になるまで光学式走査装置を
右へ移動させる。この事例は第3図に示されている。
しかしながら3ビーム法は、第4図に基づき以下で説
明するように、1度だけ書き込み可能な記録担体いわゆ
る追記形ディスク(Write−Once−Discs)に適用するこ
とができない。
この場合、データは中央のレーザビームL1により記録
されるので、データを記録している間、前方のレーザビ
ームL2は常に既に書き込まれた個所へ投射され、他方、
後方のレーザビームL3は常にまだ書き込まれていない個
所へ照射される。Pによってディスクのピットが示され
ており、ディスクの回転方向は矢印Tにより示されてい
る。ディスク上の既に書き込まれた個所はディスクの形
式に従って、書き込まれていない個所よりも光を多く反
射するかあるいは少ししか反射しないので、前方の光ビ
ームL2が投射されるフォトダイオードEは、後方の光ビ
ームL3が投射されるフォトダイオードFよりも多くの光
を受光するか、あるいはそれよりも少ししか光を受光し
ない。中央の光ビームL1は1本のデータトラックSの中
央に正確に位置しているにもかかわらずトラッキングエ
ラー信号TEは0ではないので、トラッキング調整回路
は、トラッキングエラー信号TEが0になるまで追従制御
を行なう。しかしこれは中央の光ビームL1がデータトラ
ックSの周縁部を走査している場合に該当する。
たしかに補償電圧を加算することによりトラック中央
からの偏差を補償することができるが、この手段による
と調整器の捕捉範囲が制限される。捕捉範囲が著しく僅
かであるために、外側からの振動および衝撃に対する記
録/再生装置の応動が著しく増大する。
1986年12月18日、日本で行なわれた“Offical Memory
Symposium"においてソニーにより提示された別の解決
手段−これは第5図に示されている−では、中央の光ビ
ームL1だけがデータトラック中央へ入射するようにし、
他方、前方の光ビームL2および後方の光ビームL3は螺施
形のデータトラックSの間に正確に入射するように構成
されている。フォトダイオードEおよびFの代わりに、
また4つの正方形のフォトダイオードA、B、C、Dを
備えたフォト検出器の代わりに、各光ビームL1、L2およ
びL3のために、それぞれ2つの長方形のフォトダイオー
ドGおよびHから成るフォト検出器P1、P2およびP3が設
けられている。
3つのフォト検出器P1、P2およびP3の各々においてそ
れらの両方のフォトダイオードGおよびHの出力電圧の
差が差動増幅器において形成される。このようにして前
方のフォト検出器P2の出力電圧と後方のフォト検出器P3
の出力電圧から形成された差電圧が重み付けされ加算さ
れ、これが中央のフォト検出器P1の出力電圧により形成
された差電圧から減算されて、トラッキング信号TEが得
られる。
第5図に示されているように、メインビームL1がトラ
ック中央に照射され、ビームが+1次および−1次であ
って、光ビームL2およびL3が記録担体のトラックSの間
に正確にあたっている場合、各フォト検出器の両方のフ
ォトダイオードGおよびH上には同じ光エネルギーが照
射される。データを記録する際、前方のフォト検出器P2
は確かに後方のフォト検出器P3よりも多くの光を受光す
るが、この差は、前方のフォト検出器P2の出力信号と後
方のフォト検出器P3の出力信号とから形成された差電圧
の重み付けにより補償される。
このように修正された3ビーム法の第1の欠点は、多
くのコストがかかる点である。第2の欠点は以下の点に
ある。即ち、光ビームが+1次、−1次で、前方の光ビ
ームL2および後方の光ビームL3が2つのトラックS間の
中央に精確にあたるようにする目的で、ビーム経路中に
おいて光学的な格子を非常に精確に調整する必要があ
る、という点にある。
3ビーム法において考慮されるべき問題点は、ただ1
つの光ビームにより作動するいわゆるプッシュプル法の
場合には発生しない。ディスクから反射した光ビームに
は、データもトラッキング調整回路のためのトラッキン
グエラー信号も含まれる。
この場合、トラッキングエラー信号を発生させるため
に、ディスク上のピットないし前もってマーキングされ
たトラックの回折特性が利用される。光ビームがトラッ
クの中央からそれると、2つのフォトダイオードにより
構成されたフォト検出器上の環状のビームスポットの光
の強度は非対称になる。光ビームがトラックからいずれ
の方向へ−半径方向に内側へまたは外側へ−動いている
のかに応じて、ビームスポットの一方の半部は明るくな
るのに対し、他方の半部は暗くなる。フォト検出器によ
り検出されるこの輝度の差からトラッキングエラー信号
を得ることができる。半径方向におけるディスクの偏心
性のために揺動する走査すべきデータトラックを、光ビ
ームが追従するできるようにする目的で、微調整駆動に
より対物レンズが半径方向に動かされ、その結果、対物
レンズはディスクの偏心的な動きに従う。この運動によ
り対物レンズはその光学軸から偏位し、さらにビームス
ポットはこの対物レンズの運動を追従するので、ビーム
スポットは同様にフォト検出器上でも偏位する。このこ
とが原因で、ディスクのピットPないし予め形成された
トラックにおける回折を利用することにより得られるト
ラッキングエラー信号に障害信号が重畳される。この障
害信号により精確なトラック追従はもはや保証されなく
なる。ディスクはそれぞれ多少の大きさの偏心性を有す
るので、回転するごとに微調整駆動により対物レンズが
動かされ、それにより光ビームはトラック上に維持され
る。したがってオフセットとも称される上記の障害信号
は、ディスクが回転するごとに何度も、多少の差こそあ
れ大きな値で発生する。
これに対する対策は、比較的軽い対物レンズだけでな
く光学式走査装置全体を追従させる微調整駆動により得
られる。しかし光ビームを常にトラック上に維持するた
めに、微調整駆動により制御される運動を迅速にかつ精
確に行なう必要があるので、できるだけ僅かな部分しか
動かさないようにし、しかもその質量をできるだけ小さ
くすべきである。
したがって本発明の課題は、微調整駆動によって装置
全体が動かされるのではなく対物レンズだけが動かされ
るようにした、1ビーム法により作動する光学式走査装
置を、それにもかかわらず精確なトラック追従を達成で
きるように構成することにある。
この課題は、4象限フォト検出器の4つのフォトダイ
オードの出力信号から式 TE=k・{(AS+BS)−(CS+DS)−f・[(AS+DS)−(BS+CS)]} に従ってトラッキングエラー信号TEが算出され、ここで
kおよびfは比例係数であることによりにより解決され
る。
第6図は、公知の1ビーム法における記録担体および
フォト検出器上の光ビームの動きを示す図である。
第7図は、本発明により記録担体およびフォト検出器
上の動きを示す図である。
第8図は、非点収差法による記録担体およびフォト検
出器上の光ビームの動きを示す図である。
第9図は、ピットの書き込まれた記録担体におけるビ
ームスポットの強度分布を示す図である。
第10図は、第1の実施例における走査装置と対物レン
ズの運動方向を示す図である。
第11図は、第2の実施例における走査装置と対物レン
ズの運動方向を示す図である。
第12図は、本発明による光学式走査装置の実施例を示
す図である。
次に第6図および第7図に基づき本発明を説明する。
第6図には3つのデータトラックSが示されており、
それらのトラックのうちの1つには既にピットPが書き
込まれており、さらに1つのトラックには、光ビームL
によってピットが書き込まれているところであり、さら
に1のトラックにはまだ何も書き込まれていない。ディ
スクの回転方向は、Tで示された矢印により示されてお
り、他方、Rで示された両方向の矢印によって、ディス
ク上の光ビームLの半径方向での動きが示されている。
この光ビームLの動きは、2つの矩形のフォトダイオー
ドEおよびFにより構成されているフォト検出器上に結
像される。対物レンズが半径方向に動かされると、フォ
ト検出器上においてビームスポットLも両方向の矢印R
の方向へ移動する。
第7図には、本発明における状態が示されている。本
発明の場合、微調整駆動によって対物レンズは半径方向
だけでなく、半径方向に対して角度αをなす方向へも移
動するので、微調整駆動により対物レンズが動かされる
と、ディスク上の光ビームLもこの角度αだけ変位す
る。
フォト検出器として、4つのフォトダイオードA、
B、C、Dから成る4象限フォト検出器が設けられてお
り、このフォト検出器の一方の軸−これ以降y軸と称す
る−は、接線方向に延在している。このy軸に対して垂
直にかつ半径方向に対して平行に延在する、4象限フォ
ト検出器の他方の軸は、これ以降x軸と称する。
光ビームがトラックを追従できるようにする目的で、
微調整駆動によって対物レンズが半径方向に対して角度
αをなす所定の方向へ動かされると、4象限フォト検出
器上のビームスポットLは、x軸に対して同様に角度α
をなす直線上を変位する。
次に、フォトダイオードA、B、C、Dの出力電圧A
S、BS、CS、DSからいかにしてトラッキングエラー信号T
Eを形成することができるかを説明する。
信号YS=(AS+DS)−(BS+CS)および XS=(AS+BS)−(CS+DS)から、 トラッキングエラー信号TEが導出される。角度αは既知
であるので、信号XSおよびYSに対して以下の式が当ては
まる。即ち、 XS=cosα・(TE+LX) YS=LX・sinα LXにより、ビームスポットLの、検出器中心部からの
x方向における偏差が表わされている。トラッキングエ
ラー信号TEは、 TE=XS/cosα−YS/sinα =[(AS+BS)−(CS+DS)]/cosα −[(AS+DS)−(BS+CS)]sinα TE=k・{(AS+BS)−(CS+DS) −cotα・[(AS+DS)−(BS+CS)]} により得られる。
左側のフォトダイオードA、Bと右側のフォトダイオ
ードC、Dとを分割する境界線即ちy軸がトラックと平
行に延在するように、4象限フォト検出器が構成されて
いる場合、例えば追記形ディスク(Write−Once−Dis
c)または光磁気ディスクにおいて該当するように、デ
ィスクがトラックに沿って均質であれば、ビームスポッ
トにおける強度分布はy方向に関して対称である。
しかしCDディスクの場合、y方向における強度分布
は、ピットの始めの走査と終わりの走査で非対称であ
る。信号YSの時間経過が第9図に示されている。信号YS
は直流成分を有していないので、低域通過フィルタを用
いることによりこの信号を簡単に除去することができ
る。それ故本発明は、追記形ディスクだけでなくCDディ
スクにも適している。
いくつかの光学式走査装置には、非点収差を生ぜさせ
る部材、例えばシリンダレンズがビーム経路中に設けら
れている。非点収差を生ぜさせる部材により引き起こさ
れる非点収差は、いわゆる非点収差法において記録担体
上への光ビームの集束のために利用される。
光学式走査装置が非点収差を生ぜさせる部材を備えて
いる場合、4象限フォト検出器を第8図に示されている
ように90゜だけ施回させる必要がある。
半径方向に対して角度αをなす方向での対物レンズの
動きを得るために、2つの解決手段が実現可能である。
第1の解決手段の場合、光学式走査装置は粗調整駆動に
より半径方向に動かされる。これに対して対物レンズ
は、微調整駆動によって、半径方向に対して角度αをな
す方向に動かされる。この第1の解決手段は第10図に示
されている。
しかし、光学式走査装置と対物レンズに対して同じ運
動方向を設定することも可能である。しかしこの場合、
第11図に示されているように、運動軸は半径方向に対し
て平行に変位される。
もちろんこの第2の解決手段は、走査装置とディスク
中央との距離とともに角度αが変化するという欠点を有
する。そしてこの解決手段によってトラッキングエラー
信号の増加度も変化する。つまりこの増加度は走査装置
の位置に依存する。さらに走査装置の運動の接線成分に
より、データを読み出す際に位相ジッタが引き起こされ
る。
x方向におけるビームスポットの運動にy方向におけ
る運動を加えることにより、x方向におけるビームスポ
ットの偏差を算出することができる。この目的でまず、
ビームスポットにおける強度分布に依存しないy方向に
おける偏差を求める。この場合には角度αは既知である
ので、x方向におけるビームスポットの偏差を算出する
ことができる。トラッキングエラー信号TEを求めるため
の式に示されている和と差は、例えば差動増幅器および
加算増幅器により形成される。これらの和と差の重み付
けは増幅器により行なわれる。データ信号、およびフォ
ーカス調整回路のためのフォーカスエラー信号は、3ビ
ーム法の場合と同じように、4象限フォト検出器の出力
信号AS、BS、CS、DSから得られる。
1ビーム法によって作動する光学式走査装置の場合、
レーザの光ビームは、例えば半透過性のミラーによっ
て、ディスクいわゆるコンパクトディスクの方向へ直角
に偏向され、対物レンズによりディスク上へ集束され
る。さらに光ビームは、対物レンズを通過してディスク
から半透過性のミラーへ戻るように反射され、さらに光
ビームは、凸レンズ、例えば平凸レンズを透過して4象
限フォト検出器PDに投射する目的で、この半透過性のミ
ラーを通過して照射される。4象限フォト検出器PDは焦
点に設けられている。
データ信号とフォーカスエラー信号を発生させる目的
で、4象限フォト検出器上には環状のビームスポットが
必要であるので、半透過性のミラーHSと4象限フォト検
出器PDとの間に、光ビームの幅を広げる凸レンズKが設
けられている。したがって焦点において、光点ではなく
環状のビームスポットが4象限フォト検出器PD上に結像
される。
このような光学式走査装置の基本的な欠点は凸レンズ
に起因する。何故ならば対物レンズには高価な光学的な
構成部材が用いられるからであり、その精確な調整は必
ず必要とされ、かつそれは著しく困難である。
さらに別の欠点は、半透過性のミラーHSによりビーム
のずれが引き起こされる点にある。
第12図に示された光学式走査装置の実施例の場合、レ
ーザLAから発生された光ビームが半透過性のミラーHSへ
照射され、このミラーHSにより光ビームはコンパクトデ
ィスクCDの方向へ直角に偏向される。半透過性のミラー
HSとディスクCDとの間に設けられた対物レンズOによ
り、光ビームがディスク上へ集束され、そこから半透過
性のミラーHSへ戻るように反射される。半透過性のミラ
ーHSに対して直角になるように、この半透過性のミラー
の端面にガラスプレートPが、例えば接着剤により固定
されている。ディスクCDから反射した光ビームは、対物
レンズO、半透過性のミラーHS、さらにガラスプレート
Pを通って4象限フォト検出器PDへ照射される。
半透過性のミラーHSと直角に配置されたガラスプレー
トPは、凸レンズのように光ビームの幅を広げるように
作用する。しかし簡単なガラスプレートは凸レンズより
も著しく安価である。
ガラスプレートPを半透過性のミラーHSの端面に取り
付けるか、あるいは半透過性のミラーHSをガラスプレー
トPの端面に取り付けた場合、さらに別の利点が得られ
る。つまりこの実施例の場合、一部分−半透過性のミラ
ーHSとガラスプレートPから成る構成体−を調整するだ
けでよい。したがって凸レンズの調整は不要である。
半透過性のミラーHSとガラスプレートPとが光学的に
同じ特性を有する場合にはさらに、厄介なビームのずれ
も回避される。プレートPをガラスではなくプラスチッ
クによって形成することもできる。
第12図に示された光学式走査装置の実施例の場合、半
透過性のミラーHSがガラスプレートPの端面に接着され
るか、あるいはガラスプレートPが半透過性のミラーHS
の端面に接着される。
フロントページの続き (72)発明者 ツッカー,フリートヘルム ドイツ連邦共和国 D―7733 メンヒヴ ァイラー アルベルト―シュヴァイツァ ー―シュトラーセ 8 (72)発明者 シュレーダー,ハインツ―イェルク ドイツ連邦共和国 D―7730 ファウエ ス―マールバッハ テラーヴォーンパル ク 9 (72)発明者 ビュヒラー,クリスチアン ドイツ連邦共和国 D―7730 ファウエ ス―マールバッハ ケルテンヴェーク 3 (72)発明者 ヴァイスマン,ゲルハルト ドイツ連邦共和国 D―7730 フィリン ゲン―シュヴェニンゲン トーマスガッ セ 2 (56)参考文献 特開 昭62−236145(JP,A) 特開 昭62−159351(JP,A) 特開 昭60−160033(JP,A) 特開 昭58−146034(JP,A) 特開 昭62−205533(JP,A) 実開 昭62−147129(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/09

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】1ビーム法により光ビーム(L)が記録担
    体上に集束され、該光ビーム(L)は前記記録担体か
    ら、4つのフォトダイオード(A,B,C,D)から成る4象
    限フォト検出器へ反射され、該フォト検出器の1つの軸
    線はトラック方向と平行に延在しており、 前記4象限フォト検出器の各フォトダイオード(A,B,C,
    D)の出力信号(AS,BS,CS,DS)から、和と差の形成によ
    りトラッキングエラー信号(TE)が形成され、 前記光ビーム(L)は、粗調整駆動部および該粗調整駆
    動部と機械的に結合された微調整駆動部から成るトラッ
    キング調整回路により、前記記録担体のデータトラック
    (S)を案内され、 前記微調整駆動部により対物レンズが、トラック方向の
    法線(R)に対して角度αをなす方向(W)へ運動可能
    または傾斜可能である、 記録装置および/または再生装置のための、対物レンズ
    を備えた光学式走査装置において、 前記4象限フォト検出器の4つのフォトダイオード(A,
    B,C,D)の出力信号(AS,BS,CS,DS)から式 TE=k・{(AS+BS)−(CS+DS)−f・[(AS+DS)−(BS+CS)]} に従ってトラッキングエラー信号TEが算出され、ここで
    kおよびfは比例係数であることを特徴とする、光学式
    走査装置。
  2. 【請求項2】前記比例係数kは1/cosαに等しく、前記
    比例係数fはcotαに等しい、請求項1記載の光学式走
    査装置。
  3. 【請求項3】角度αが45゜よりも小さく選定されてい
    る、請求項1または2記載の光学式走査装置。
  4. 【請求項4】光源(LA)から発生した光ビームは、半透
    過性のミラー(HS)により記録担体(CD)へ偏向され、
    前記光ビームは、記録担体(CD)から半透過性のミラー
    (HS)を通過して照射されフォト検出器(PD)上へ反射
    され、記録担体(CD)から反射した光ビームのビーム経
    路において、半透過性のミラー(HS)とフォト検出器
    (PD)との間に、前記半透過性のミラー(HS)と直角に
    透光性のプレート(P)が配置されている、請求項1〜
    3のいずれか1項記載の光学式走査装置。
  5. 【請求項5】半透過性のミラー(HS)とプレート(P)
    とが同一の材料から形成されている、請求項5記載の光
    学式走査装置。
  6. 【請求項6】半透過性のミラー(HS)とプレート(P)
    が1つの部材として構成されている、請求項5記載の光
    学式走査装置。
  7. 【請求項7】半透過性のミラー(HS)とプレート(P)
    とが互いに固定されている、請求項4または5記載の光
    学式走査装置。
  8. 【請求項8】半透過性のミラー(HS)がプレート(P)
    の端面に取り付けられているか、またはプレート(P)
    が半透過性のミラー(HS)の端面に取り付けられてい
    る、請求項7記載の光学式走査装置。
  9. 【請求項9】半透過性のミラー(HS)とプレート(P)
    とが互いに接着されている、請求項7または8記載の光
    学式走査装置。
  10. 【請求項10】プレート(P)がガラスまたはプラスチ
    ックにより形成されている、請求項4〜9のいずれか1
    項記載の記載の光学式走査装置。
  11. 【請求項11】半透過性のミラー(HS)とプレート
    (P)とが等しい厚さである、請求項4〜10のいずれか
    1項記載の光学式走査装置。
  12. 【請求項12】半透過性のミラー(HS)およびプレート
    (P)が同一の光学的特性の材料により形成されてい
    る、請求項4〜11のいずれか1項記載の光学式走査装
    置。
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