JP2784536B2 - セラミック窓の製作方法 - Google Patents

セラミック窓の製作方法

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JP2784536B2
JP2784536B2 JP5493889A JP5493889A JP2784536B2 JP 2784536 B2 JP2784536 B2 JP 2784536B2 JP 5493889 A JP5493889 A JP 5493889A JP 5493889 A JP5493889 A JP 5493889A JP 2784536 B2 JP2784536 B2 JP 2784536B2
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和裕 関
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロ波管の出力部などのセラミック窓
の製作方法に関する。
〔従来の技術〕
セラミック窓は、セラミックを支持スリーブにろう付
けして製作する。
マイクロ波管の出力部などのセラミック窓は、高耐電
力性とともに、高度の真空気密性が要求される。
第3図は従来のセラミック窓の製作方法を示す説明図
である。
図において1はセラミック、2は支持スリーブ、3は
ろう付け時のろう材の配置位置、4はろう付け後のろう
材層である。
従来、セラミック1を支持スリーブ2にろう付けする
のに、ろう材をセラミック1表面の支持スリーブ2との
接合部分に近い位置3に配置し、真空雰囲気あるいは還
元性ガス雰囲気中で加熱し、ろう材を溶融してセラミッ
ク1と支持スリーブ2間の隙間に流れこませる方法を採
ってきた。
〔発明が解決しようとする課題〕 従来の方法では、セラミック1を一体構造の支持スリ
ーブ2にろう付けするので、セラミック1が厚く、セラ
ミック1と支持スリーブ2の接合面の幅が広い場合に
は、ろう材が接合面全面に行き渡りにくく、中央部にボ
イドができ、機械的強度が弱くなったり、真空気密が保
たれなくなったりするという問題があった。
本発明は上記の問題を解消するためになされたもの
で、ろう材がセラミックと支持スリーブの接合面全面に
行き渡る方法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の方法は、支持スリーブをセラミックとの接合
部分での切断によって分割し、ろう材を分割した支持ス
リーブ間の端面のセラミックとの接合部分に近い位置と
セラミック表面の支持スリーブとの接合部分に近い位置
に配置してセラミックを支持スリーブにろう付けするも
のである。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例を示す説明図である。
図において1,3は第3図の同一符号が示すセラミッ
ク、位置と同一または相当するものを示し、2aはセラミ
ック1との接合部分での切断によって分割した支持スリ
ーブ、3aは分割した支持スリーブ2aの一方の上部端面上
のろう付け時のろう材配置位置、4aはろう付け後のろう
材層である。
支持スリーブをセラミック1との接合部分での切断に
よって分割し、ろう材をセラミック1表面の位置3と分
割した支持スリーブ2aの下の部分の上部端面の位置3aに
配置し、真空雰囲気あるいは還元性ガス雰囲気中で加熱
し、ろう材を溶融してセラミック1と支持スリーブ2a間
の隙間に流れこませる。
この方法によると、セラミック1が厚い場合でも、ろ
う材をセラミック1と支持スリーブ2aの接合面全面に均
一に行き渡らせることができる。そのうえ、分割部分に
おいてろう材の流れ状況の確認ができ、それによってよ
り適切なろう付け中の温度コントロールができる。
したがって、十分な機械的強度と真空気密性を確保す
ることができる。
支持スリーブの切断部の形状、分割数は、セラミック
1の形状などに応じて、任意に選択することができる。
第2図(a),(b),(c)は支持スリーブの分割
構造の他の例を示す。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、ろう材がセラ
ミックと支持スリーブの接合面全面に均一に行き渡り、
十分な機械的強度と真空気密性をもつセラミック窓が得
られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す説明図、第2図
(a),(b),(c)は支持スリーブの分割構造の他
の例を示す説明図、第3図は従来のセラミック窓の製作
方法を示す説明図である。 1……セラミック、2a……支持スリーブ、3,3a……ろう
材の配置位置、4a……ろう材層 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミックを支持スリーブにろう付けして
    製作するセラミック窓の製作方法において、支持スリー
    ブをセラミックとの接合部分での切断によって分割し、
    ろう材を分割した支持スリーブ間の端面のセラミックと
    の接合部分に近い位置とセラミック表面の支持スリーブ
    との接合部分に近い位置に配置してセラミックを支持ス
    リーブにろう付けすることを特徴とするセラミック窓の
    製作方法。
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