JPH02239166A - セラミック窓の製作方法 - Google Patents
セラミック窓の製作方法Info
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- JPH02239166A JPH02239166A JP1054938A JP5493889A JPH02239166A JP H02239166 A JPH02239166 A JP H02239166A JP 1054938 A JP1054938 A JP 1054938A JP 5493889 A JP5493889 A JP 5493889A JP H02239166 A JPH02239166 A JP H02239166A
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- JP
- Japan
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- ceramics
- ceramic
- brazing
- support sleeve
- brazing filler
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 10
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Waveguide Connection Structure (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マイクロ波管の出力部などのセラミック窓の
製作方法に関する。
製作方法に関する。
セラミック窓は、セラミックを支持スリーブにろう付け
して製作する。
して製作する。
マイクロ波管の出力部などのセラミック窓は、高耐電力
性とともに、高度の真空気密性が要求される。
性とともに、高度の真空気密性が要求される。
第３図は従来のセラミック窓の製作方法を示す説明図で
ちる。
ちる。
図において１はセラミック、２は支持スリーブ、３はろ
う付け時のろう材の配置位置、４はろう付け後のろう材
層である。
う付け時のろう材の配置位置、４はろう付け後のろう材
層である。
従来、セラミック１を支持スリーブ２にろう付けするの
に、ろう材をセラミック１表面の支持スリーブ２との接
合部分に近い位置３に配置し、真空雰囲気あるいは還元
性ガス雰凹気中で加熱し、ろう材を溶融してセラミック
１と支持スリーブ２間の隙間に流れこませる方法を採っ
てきた。
に、ろう材をセラミック１表面の支持スリーブ２との接
合部分に近い位置３に配置し、真空雰囲気あるいは還元
性ガス雰凹気中で加熱し、ろう材を溶融してセラミック
１と支持スリーブ２間の隙間に流れこませる方法を採っ
てきた。
従来の方法では、セラミック１を一体構造の支持スリー
ブ２にろう付けするので、セラミック１が厚く、セラミ
ック１と支持スリーブ２の接合面の幅が広い場合には、
ろう材が接合面全面に行き渡りＫ＜＜、中央部にデイド
ができ、機械的強度が弱くなったり、真空気密が保たれ
なくなったりするという問題があった。
ブ２にろう付けするので、セラミック１が厚く、セラミ
ック１と支持スリーブ２の接合面の幅が広い場合には、
ろう材が接合面全面に行き渡りＫ＜＜、中央部にデイド
ができ、機械的強度が弱くなったり、真空気密が保たれ
なくなったりするという問題があった。
本発明は上記の問題を解消するためになされたもので、
ろう材がセラミックと支持スリーブの接合面全面に行き
渡る方法を提供することを目的とする。
ろう材がセラミックと支持スリーブの接合面全面に行き
渡る方法を提供することを目的とする。
本発明の方法は、支持スリーブをセラミックとの接合部
分での切断によって分割し、ろう材を分割した支持スリ
ーブ間の端面のセラミックとの接合部分に近い位置とセ
ラミノク表面の支持スリーブとの接合部分に近い位置に
配置してセラミックを支持スリーブにろう付けするもの
である。
分での切断によって分割し、ろう材を分割した支持スリ
ーブ間の端面のセラミックとの接合部分に近い位置とセ
ラミノク表面の支持スリーブとの接合部分に近い位置に
配置してセラミックを支持スリーブにろう付けするもの
である。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図である。
図において１，３は第３図の同一符号が示すセラミック
、位置と同一または相当するものを示し、２ａはセラミ
ック１との接合部分での切断によって分割した支持スリ
ーブ、３ａは分割した支持スリーブ２ａの一方の上部端
面上のろう付け時のろう材配置位置、４ａはろう付け後
のろう材層である。
、位置と同一または相当するものを示し、２ａはセラミ
ック１との接合部分での切断によって分割した支持スリ
ーブ、３ａは分割した支持スリーブ２ａの一方の上部端
面上のろう付け時のろう材配置位置、４ａはろう付け後
のろう材層である。
支持スリーブをセラミック１との接合部分での切断によ
りて分割し、ろう材をセラミック１表面の位置３と分割
した支持スリーブ２ａの下の部分の上部端面の位置３ａ
に醒置し、真空雰囲気あるいは還元性ガス雰囲気中で加
熱し、ろう材を溶融１．−７：セラミック１と支持スリ
ーブ２ａ間の隙間に流れこませる。
りて分割し、ろう材をセラミック１表面の位置３と分割
した支持スリーブ２ａの下の部分の上部端面の位置３ａ
に醒置し、真空雰囲気あるいは還元性ガス雰囲気中で加
熱し、ろう材を溶融１．−７：セラミック１と支持スリ
ーブ２ａ間の隙間に流れこませる。
この方法によると、セラミック１が厚い場合でも、ろう
材をセラミック１と支持スリーブ２ａの接合面全面に均
一に行き渡らせることができる。
材をセラミック１と支持スリーブ２ａの接合面全面に均
一に行き渡らせることができる。
そのうえ、分割部分においてろう材の流れ状況の確認が
でき、それによってより適切なろう付け中の温度コント
ロールができる。
でき、それによってより適切なろう付け中の温度コント
ロールができる。
したがって、十分な機械的強度と真空気密性を確保する
ことができる。
ことができる。
支持スリーブの切断部の形状、分割数は、セラミック１
の形状などに応じて、任意に選択することができる。
の形状などに応じて、任意に選択することができる。
第２図（ａ） ，（ｂ） ， （ｃ）は支持スリーブの
分割構造の他の例を示す。
分割構造の他の例を示す。
以上説明したように、本発明によれば、ろう材がセラミ
ックと支持スリーブの接合面全面に均一に行き渡シ、十
分な機械的強度と真空気密性をもつセラミック窓が得ら
れる。
ックと支持スリーブの接合面全面に均一に行き渡シ、十
分な機械的強度と真空気密性をもつセラミック窓が得ら
れる。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図（ａ）
ｊ （ｂ） ， （ｃ）は支持スリーブの分割構造の
他の例を示す説明図、第３図は従来のセラミック窓の製
作方法を示す説明図である。 １・・・セラミック、２ａ・・・支持スリーブ、３．３
＆・・・ろう材の配置位置、４ａ・・・ろう材層なお図
中同一符号は同一または相当するものを示す。 第１図 （ｂ） 特許出願人 新日本無線株式会社 第３図
ｊ （ｂ） ， （ｃ）は支持スリーブの分割構造の
他の例を示す説明図、第３図は従来のセラミック窓の製
作方法を示す説明図である。 １・・・セラミック、２ａ・・・支持スリーブ、３．３
＆・・・ろう材の配置位置、４ａ・・・ろう材層なお図
中同一符号は同一または相当するものを示す。 第１図 （ｂ） 特許出願人 新日本無線株式会社 第３図
Claims (1)
- セラミックを支持スリーブにろう付けして製作するセラ
ミック窓の製作方法において、支持スリーブをセラミッ
クとの接合部分での切断によって分割し、ろう材を分割
した支持スリーブ間の端面のセラミックとの接合部分に
近い位置とセラミック表面の支持スリーブとの接合部分
に近い位置に配置してセラミックを支持スリーブにろう
付けすることを特徴とするセラミック窓の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5493889A JP2784536B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | セラミック窓の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5493889A JP2784536B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | セラミック窓の製作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02239166A true JPH02239166A (ja) | 1990-09-21 |
| JP2784536B2 JP2784536B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=12984581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5493889A Expired - Lifetime JP2784536B2 (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | セラミック窓の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2784536B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016081648A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社東芝 | 高周波透過窓構体 |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP5493889A patent/JP2784536B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016081648A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社東芝 | 高周波透過窓構体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2784536B2 (ja) | 1998-08-06 |
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