JP2754111B2 - ボンダー及びこれを装備した自動ボンディング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ＩＣチップ、
すなわち半導体部品を保持した状態にて順次供給される
リードフレームを受け入れて該ＩＣチップのパッド（電
極）と該リードフレーム上に設けられたリードとをワイ
ヤを用いてボンディングするボンダーに関する。また、
本発明は、該ボンダーを複数台と、該各ボンダーを経る
ことによりボンディング加工が施された多数のリードフ
レームを次々と受け入れてこれらを配列して収容するア
ンローダとを、ラインとして装備した自動ボンディング
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる自動ボンディング装置の従来例を
図９乃至図２３に示す。なお、当該自動ボンディング装
置は、例えば特開平３−１５５１４０号公報において開
示されている。

【０００３】図９に示すように、当該従来装置において
は、ダイボンダー装置Ａ₂ 、キュア装置Ｂ₂ 、３台のボ
ンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ 及びマガジンストッカー装置Ｄ₂ が、
一列にラインとして装備されている。ダイボンダー装置
Ａ₂ は、ウェハー（図示せず）をカッティングすること
により得られた多数のＩＣチップ（図示せず）を、例え
ば熱硬化型の接着剤等を用いてリードフレーム（後述）
上の所定位置に順次装着し、後段のキュア装置Ｂ₂ に向
けて送り出すものである。また、キュア装置Ｂ₂ は、ダ
イボンダー装置Ａ₂ より送り出されたリードフレームを
受け入れて、該接着剤を固化せしめるべく加熱した後、
後段のボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ に向けて送り出すものであ
る。

【０００４】各ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ は、キュア装置Ｂ₂
を経たリードフレームを受け入れて、該リードフレーム
に形成されているリードと該リードフレーム上に配設さ
れたＩＣチップ上のパッド（電極）とを、金、アルミニ
ウムなどから成るワイヤを用いてボンディングするもの
で、その構成について以下に詳述する。なお、各ボンダ
ーＣ₅ 〜Ｃ₇ は、夫々ほぼ同様に構成されている故、１
台目のボンダーＣ₅ の構成について詳しく説明し、残る
２台のボンダーＣ₆ 及びＣ₇ についての説明は省略す
る。

【０００５】図１０は、ボンダーＣ₅ が具備するリード
フレーム搬送用の搬送機構の構成の概略を示す図であ
る。図１０において、ボンダーＣ₅ の本体２０１（二点
鎖線で図示）上に載置されているボンディングヘッド２
０２はカメラヘッド，レンズ及び照明灯を有するカメラ
を含み、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なＸＹテーブル駆
動機構（図示せず）に搭載されている。このボンディン
グヘッド２０２によりボンディングステージ（このボン
ディングステージは、ボンディング接続を行うボンディ
ング作業部及びそのチップの前後の複数のチップが載置
され搬送されるステージ部分を指称する。）上の被ボン
ディング部品であるＩＣチップを撮像してリードフレー
ムのリードと該ＩＣチップ上のパッドとをボンディング
接続する。このボンディングヘッド２０２により撮像さ
れるＩＣチップが配設されるリードフレームは、第１の
ガイドレール２０３ａ及び第２のガイドレール２０３ｂ
により最適間隔位置に位置決め調整される。これら第１
及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂとリード
フレーム両端との間隔は約０．１ｍｍに設定されてい
る。この第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０
３ｂと平行に第３の搬送機構２０４が設けられている。
この第３の搬送機構２０４は１つの軸で軸支された一対
のローラ２０４ａ，２０４ｂが２つ配設され、該ローラ
２０４ａ及び２０４ｂ間に掛け渡された二本のベルト２
０４ｃ，２０４ｄとで構成され、前記ローラ２０４ｂは
二重ローラで形成され、このローラ２０４ｂと前記以外
の他のローラ２０４ｅとをベルト２０４ｆで掛け渡し、
このローラ軸と駆動モータ２０４ｇの軸とが連結駆動さ
れるように構成されている。この駆動モータ２０４ｇの
回転駆動力により第３の搬送機構２０４のベルト２０４
ｃ及び２０４ｄは正逆回転可能に構成されている。この
二本のベルト２０４ｃ及び２０４ｄ間の中心でアンロー
ダ側（リードフレーム送り出し方向側）近傍にはリード
フレームの到来を検出する検出センサー２０５が配置さ
れている。この検出センサー２０５は反射型の光センサ
ー等で構成されている。

【０００６】次に、ローダ側（リードフレーム受け入れ
側）の搬送手段について説明する。ローダ側の搬送手段
は第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７で構成され
ている。この第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７
は１つのモータ２０８で駆動されている。

【０００７】まず、第１及び第２の搬送機構２０６及び
２０７はローダユニット２０９上に第１及び第２のガイ
ドレール２０３ａ及び２０３ｂの長手方向と平行な方向
に並列して設けられている。このローダーユニット２０
９の端部は前後スライド用シリンダー２１０の軸２１０
ａの先端に連結されており、第１及び第２のガイドレー
ル２０３ａ及び２０３ｂの長手方向と直行する方向にボ
ンダーＣ₅ の本体２０１の上面を移動可能に構成されて
いる。このシリンダー（切換手段）２１０の前後への移
動におけるタイミング制御は図示せぬマイクロプロセッ
サ等よりなる制御回路により制御されており、シリンダ
ーの前後の位置は第１及び第２の搬送機構２０６，２０
７の中心と第１及び第２のガイドレール２０３ａ，２０
３ｂの中心及び第３の搬送機構２０４の中心（一点鎖線
で示す部分）とが一致するように制御されている。この
中心位置の制御は調整可能に構成されていることは勿論
である。この第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７
は上述した第３の搬送機構２０４と略同じ構成よりな
り、１つの軸で軸支された一対のローラ２０６ａ，２０
６ｂが２つ配設され、該ローラ２０６ａ及び２０６ｂ間
に掛け渡された二本のベルト２０６ｃ，２０６ｄとで構
成された搬送機構が並列に配設されてなるが、前記他方
のローラ軸２０６ｂで第１及び第２の搬送機構２０６及
び２０７が連結されており、第１の搬送機構２０６の前
記ローラ２０６ｂは二重ローラで形成され、該ローラ２
０６ｂと前記以外の他のローラ２０６ｅとがベルト２０
６ｆで掛け渡され、このローラ２０６ｅの軸と駆動モー
タ２０８の軸とが連結されて第１及び第２の搬送機構２
０６及び２０７は同軸で回転駆動されるように構成され
ている。また、第１及び第２の搬送機構２０６及び２０
７には第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３
ｂへのリードフレーム供給側近傍にリードフレーム検出
センサー２１１、２１２が配設されている。

【０００８】次に、第４及び第５の搬送機構２１３及び
２１４は上述の第１及び第２の搬送機構２０６及び２０
７と同一の構成よりなり、アンローダー側に設けられて
いる。この第３及び第４の搬送機構２１３及び２１４も
第１及び第２の搬送機構２０６及び２０７と同様に１つ
のモータで駆動されているが、第４及び第５の搬送機構
２１３及び２１４を駆動する駆動モータで駆動するよう
にしてもよい。また、リードフレーム検出センサー２１
５ａ，２１５ｂはリードフレーム排出側、すなわち、図
１０のベルト先端近傍に配設されている。

【０００９】次に、図１１及び図１２は図１０の第１及
び第２の搬送機構等が搭載されているローダーユニット
の詳細な構成をリードフレーム搬送方向と直交する方向
から示した断面図である。

【００１０】図１１において、第１のベース２１７はボ
ンダーＣ₅ の本体２０１上に固定されている。この第１
のベース２１７上にはカム２１８が配設されている。こ
のカム２１８のカム面の中央には連続的な傾斜面が形成
されてリニアーな移動ができるように構成されている。
また、第１のベース２１７の左側には前後スライド用シ
リンダー２１０（２１６）を支持する支持フレーム２２
０が垂直に設けられている。このシリンダー２１０の軸
先端には断面略コ字型の第２のベース２２１が連結され
ている。この第２のベース２２１内には第１及び第２の
搬送機構２０６及び２０７を連結する連結軸２２２が設
けられており、該連結軸２２２の他端は第２のベース２
２１に固定されているベルト駆動用モータ２０８のモー
タ軸とカップリング２２３を介して連結されている。第
１の搬送機構２０６は既に図１０で説明したように二本
のベルトが掛け渡されたローラ軸を支持する支持台２２
４ａ及び２２４ｂが第２のベース２２１上に垂直に形成
されている。また、第２の搬送機構２０７も第１の搬送
機構２０６と同様にローラ軸を支持する支持台２２５ａ
及び２２５ｂが第２のベース２２１上に垂直に形成され
ている。この第２の搬送機構２０７の支持台２２５ａ及
び２２５ｂの両側には断面略コ字型の保持台２２６が設
けられており、この保持台２２６の側面には上下用ガイ
ド２２７ａ設けられている。この上下用ガイド２２７ａ
は前記軸受２２７ｂに形成された溝と嵌合して上下に摺
動可能に構成されている。保持台２２６の下面２２６ａ
には支柱２２８が設けられ、この支柱２２８の先端には
ボールベアリング２２９が回転可能に設けられている。
この支柱２２８は第２のベース２２１に開けられた穴２
３０を通して前記ボールベアリング２２９の先端が前記
カム２１８のカム面に当接されている。また、保持台２
２６の上端には断面略Ｌ字型のガイドレール２３１ａ及
び２３１ｂが設けられている。このガイドレール２３１
ａ及び２３１ｂはリードフレームの幅により調節可能に
構成されている。このガイドレール２３１ａ及び２３１
ｂのガイド面の高さは第１及び第２のガイドレール２０
３ａ及び２０３ｂのリードフレームの搬送面の高さと少
なくとも一致若しくははぼ同じ面の高さとなるように設
定されている。

【００１１】上記構成はローダ側及びアンローダ側も同
じ構成よりなる。

【００１２】このローダユニット２０９を含む上下等に
動作について図１１及び図１２の図面を用いて以下に説
明する。

【００１３】図１１はシリンダー２１０の軸２１０ａが
吸引されている状態であり、軸先端に連結されている第
２のベース２２１は引っ張られている状態で位置制御さ
れている。このとき、第１及び第２の搬送機構２０６及
び２０７は、第１及び第２のガイドレール２０３ａ，２
０３ｂと第３の搬送機構２０４の搬送路に対して一致し
た状態、すなわち図１０に示す状態となる、この時、保
持台２２６の下面に設けられたベアリング２２９はカム
面の最上部２１８Ｈに位置している。したがって、図１
２で示すカム面の最下部２１８Ｌに位置する時はリード
フレームが第２の搬送機構２０７のベルト２０７ｃ，２
０７ｄ上に載置されていたものが、シリンダーの吸引作
用によって保持台２２６のガイドレール２３１ａ及び２
３１ｂによりリードフレーム両端が保持されて上昇し、
ベルト２０７ｃ，２０７ｄ上から静かに離間される。こ
れは、カム２１８により連続的な動きが可能であること
による。この図１１の状態の時は第１の搬送機構２０６
のベルト上にもリードフレームがキュア装置Ｂ₂ （図９
に図示）より搬送される。したがって、この状態で第３
の搬送機構２０４の搬送路上にリードフレームの連続的
な搬送を行なうことができる。

【００１４】次に、上記のようにして第２の搬送機構２
０７のガイドレール２３１ａ及び２３１ｂのガイド面に
載置されたリードフレームがリードフレームプッシャー
シリンダー２１９（図１０参照）で第１及び第２のガイ
ドレール２０３ａ及び２０３ｂの搬送路上に押し出され
ると、前後スライド用シリンダー２１０の軸２１０ａが
突出して図１２の状態に移行する。すなわち、第２のベ
ース２２１をカム面に沿って２１８Ｈから２１８Ｌに移
動させる。この時、保持台２２６のガイドレール２３１
ａ及び２３１ｂのガイド面はベルト上面の位置よりも低
い位置まで降下（図１２参照）しているので、新たなリ
ードフレームが図９に示すキュア装置Ｂ₂ より搬送され
る。この時、第１の搬送機構２０６は搬送路よりも外れ
た位置にあるのでベルト上にはリードフレームは載置さ
れていない。

【００１５】以上が、ローダユニット２０９の動作であ
るが、かかる動作はアンローダ側においても同様の動作
が行なわれる。

【００１６】次に、本装置を用いてリードフレームが搬
送される経路について図１３乃至図１５を用いて詳細に
説明する。

【００１７】まず、図１０の状態よりローダ側の前後ス
ライド用シリンダー２１０の軸２１０ａが突出してロー
ダユニット２０９を図１３の状態まで移動させる。第２
の搬送機構２０７の搬送路上にリードフレーム（Ｌ／
Ｆ）が矢印方向より供給される。このリードフレームを
検出センサー２１２が検出すると、ベルトを駆動してい
る搬送用の駆動モータ２０８の回転が制御回路からの指
令により停止する。その後、前後用シリンダー２１０が
吸引方向に作動してローダユニット２０９を図１４に示
す状態まで移動させる。この時、第１及び第２の搬送機
構２０６及び２０７の搬送路はボンディングステージの
ある第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂ
の搬送路並びに第３の搬送機構２０４の搬送路と一致し
て停止する。図１１に図示の第２の搬送機構２０７のガ
イドレール２３１ａ及び２３１ｂ上に載置されたリード
フレームは、リードフレームプッシャーシリンダー２１
９により第１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０
３ｂ上のガイド面に押し出される。このガイドレール２
０３ａ及び２０３ｂ上に送られたリードフレームは図示
せぬ搬送機構によりクランプされながら１ピッチずつ間
欠送りされた後、ボンディングステージ上で所定温度に
過熱されてボンディングされる。この間、第１の搬送機
構２０６の搬送路は第３の搬送機構２０４の搬送路と一
致しているので、本ボンダーＣ₅ 以外の他のボンダーＣ
₆ 若しくはＣ₇ に第５の搬送機構２１４を介してリード
フレームを供給することができる。次に、ボンディング
ステージ上でボンディング接続されたリードフレームは
アンローダ側に設けられた第４の搬送機構２１３の搬送
路上に排出され、リードフレーム検出センサー２１５ａ
で検出されてモータの回転が停止した後、アンローダ側
の前後用シリンダー２１６が突出方向に作用してアンロ
ーダユニットを図１５の状態まで移動させる。そして、
ボンディング接続が終了したリードフレームを次のボン
ダーＣ₆ 、Ｃ₇ （図９参照）のバイパス搬送路を経てマ
ガジンストッカー装置Ｄ₂ （図９参照）側に搬送する。

【００１８】以上がリードフレームのボンディング等が
なされる一連の動作である。

【００１９】次いで、図９に示したアンローダとしての
マガジンストッカー装置Ｄ₂ の構成について説明する。

【００２０】図１６は、マガジンストッカー装置Ｄ₂ が
具備するマガジン自動供給装置の側面図である。

【００２１】図１６において、このマガジン自動供給装
置はマガジンストッカー装置Ｄ₂ の本体に固定されたベ
ース３００に搭載されており、第１のマガジン排出側収
納スペース２５０と第２のマガジン供給側収納スペース
２６０とを上下に配置したマガジン収納スペースと、エ
レベータ２７０と、排出機構２９０等で構成されてい
る。

【００２２】上記構成の詳細について以下に説明する。

【００２３】図１６に示すようにマガジンストッカー装
置Ｄ₂ の本体に固定されているベース３００上にはスラ
イドベース３０１が摺動可能に取り付けられている。こ
のスライドベース３０１の端部にはナット３０２が設け
られており、このナット３０２にはねじ３０３が螺合結
合されている。更に、このねじ３０３はベース３００に
固定されたナット３０２ａに螺合結合されており、該ね
じ３０３の端部に設けられた調節つまみ３０４を回動さ
せることによってスライドベース３０１を前後に移動調
整できるように構成されている。このスライドベース３
０１を移動させることによって、マガジンの中心を搬送
機構の搬送路の中心に位置調整することができる。な
お、搬送機構の搬送路の中心はボンディングステージの
中心と一致若しくは平行な位置に調整されている。ま
た、前記調整つまみ３０４は手動で回動させるように構
成されているが、パルスモータ等により駆動する構成と
してもよい。

【００２４】次に、エレベータ２７０の構成について説
明すると、スライドベース３０１上にはねじが形成され
た昇降軸２７１が、この昇降軸２７１と平行な昇降軸支
承フレーム２７２により垂直に支持されている。昇降軸
２７１にはナット２７３が螺合結合されており、昇降軸
２７１が回動させられることにより、前記ナット２７３
と結合されているエレベータ背板２７８に取り付けられ
ているエレベータステージ２７９が上下に移動可能に構
成されている。上記昇降軸２７１の下方はカップリング
２７４及びタイミングプーリ２７５等と連結されてお
り、該タイミングプーリ２７５はベルトを介してモータ
２７７の軸に取り付けられたプーリー２７６と連結され
ている。モータ２７７の駆動力によって前記昇降軸２７
１は回転させられる。前記モータ２７７はベース３００
上に垂直に支持されたシリンダー取付フレーム２８１に
固定されたモータ取付板２８２に固定されている。この
シリンダー取付フレーム２８１の上方にはマガジン載置
用シリンダー２８３及びマガジン押出用シリンダー２８
４が上下に並べて取付固定されている。マガジン載置用
シリンダー２８３の軸端部には載置板２８３ａが取り付
けられている。この載置板２８３ａは該シリンダーがオ
ンされることにより、前方に突出してエレベータステー
ジ２７９上のマガジンを一時的に載せるものである。ま
た、マガジン押出用シリンダー２８４の軸端部には押出
片２８４ａが取付けられており、該シリンダーがオンさ
れると前方に押し出されて前記載置板２８３ａ上に載置
されているマガジンを第１のマガジン排出側収納スペー
ス２５０上に押し出す。

【００２５】この第１のマガジン排出側収納スペース２
５０は、ベース板２５１がスライドベース３０１に取り
付けられた支柱（図示せず）に固定されており、このベ
ース板２５１の両端にはマガジンをガイドするガイド板
２５２が両端に設けられている。このガイド板２５２上
にはリードフレーム収納方向（長手方向）と水平に交叉
する方向、すなわちリードフレームの幅方向に配列され
たマガジンを複数連続的に配列することができる。

【００２６】この第１のマガジン排出側収納スペース２
５０の下段には第２のマガジン供給側収納スペース２６
０が設けられている。この第２のマガジン供給側収納ス
ペース２６０にも第１のマガジン排出側収納スペース２
５０と同方向（リードフレーム幅方向）にマガジンを複
数配列することができ、該マガジンをガイド板２６１が
両端に設けられている。このガイド板２６１の間にはマ
ガジンを移送する移送機構２６２が設けられている。こ
の移送機構２６２は図１７に詳しく示されている。

【００２７】図１７に示すように、この移送機構２６２
は、ローラ２６２ｂ及び２６２ｃ間に掛け渡されたベル
ト２６２ｅと、前記ローラ２６２ｃとベルト２６２ｆで
連結された駆動ローラ２６２ａと、前記ベルト２６２ｅ
の垂れを防ぐベルト支え板２６２ｄとで構成されてい
る。駆動ローラ２６２ａの回転駆動力によって、ベルト
２６２ｅ上に配列されたマガジンはエレベータステージ
２７９側に移送される。この移送されたマガジンはエレ
ベータ背板２７８に取付固定されたストッカーガイド２
８５に当接して停止するように構成されている。また、
マガジンを保持するチャック機構２８０がエレベータス
テージ２７９上に設けられている。該チャック機構２８
０の構成は後述する。

【００２８】次に、移送機構２６２により移送されたマ
ガジンは、ストッカーガイド２８５により規制され、図
示せぬマイクロプロセッサ等で構成される制御回路の指
令により停止されている。この状態でエレベータステー
ジ２７９が上昇して１つのマガジンのみを前記移送機構
２６２のベルト２６２ｅのベルト上より上方に離間させ
る。この作動機構の構成について図１８及び図１９を用
いて説明する。この図１８は側面からみた断面図であ
り、図１９はその正面図である。

【００２９】図１８において、当該作動機構はスライド
べース３０１上に取り付けられており、この作動機構は
上端に作動片２８７ａが固定されている作動部材２８７
と、この作動部材２８７の側面に取り付けられ、ガイド
受部材２８８ｂに矢印方向に摺動可能に設けられた摺動
部材２８８ａと、一端が作動部材２８７に固定され他端
がガイド受部材２８８ｂに固定されてこの作動部材２８
７を常時上方に付勢する引張コイルばね２８６とで構成
されている。また、この作動部材２８７の側面には、ベ
アリング２８９が設けられている。

【００３０】上記構成よりなるこの作動機構は通常、引
張ばね２８６の付勢力によって上方に付勢されているの
で、図１９において一点鎖線で示す位置に作動片２８７
ａがある。この時には、作動片２８７ａの先端の高さは
図１７で示す移送機構２６２のベルト２６２ｅよりも高
い位置になるように設定されているので、作動片２８７
ａの先端がマガジンの下面に当接して持ち上げることが
できるように構成されている。この引張ばね２８６の付
勢力は調整可能に構成されている。

【００３１】また、作動部材２８７は図１８において二
点鎖線で示すエレベータステージ２７９がベアリング２
８９に当接して押し下げられることによって、上記移送
機構２６２のベルト２６２ｅの面よりも低い位置まで逃
げるように構成されている。

【００３２】これを図２０を用いて更に説明すると、作
動片２８７ａはリードフレームのマガジン内収納方向に
沿って２つ配置されている。この作動片２８７ａは、ベ
アリング２８９にエレベータステージ２７９の下面が当
接することにより引張コイルばね２８６の付勢力に抗し
て押し下げられるように構成されている。

【００３３】ここで、先に示したエレベータステージ２
７９に設けられたチャック機構２８０について図２１に
基づいて詳述する。

【００３４】図２１に示すように、このチャック機構２
８０においては、可動部材３２０の先端にチャック３２
１が固定されており、この可動部材３２０の下端とナッ
ト２７３に対してエレベータ背板２７８を介して固定さ
れているエレベータステージ２７９の下端とがばね３２
２で連結され、可動部材３２０は常に図の右側に付勢さ
れている。このエレベータステージ３２０の下部には起
動部材３２４が設けられ、可動部材３２０に固定されて
いる摺動部材３２５が該起動部材３２４により案内され
て摺動可能に構成されている。また、可動部材３２０の
他端にはローラ３２６が設けられており、このローラ３
２６はカム３２７のカム面に沿って転動するように構成
されている。かかる構成においては、エレベータステー
ジ２７９上に載置されたマガジン、すなわち、マガジン
供給時にはローラ３２６がカム３２７の凸部によりばね
３２２の付勢力に抗して前方にチャック３２１を押出し
ているのでマガジンとチャック３２１との間には間隔が
空いている。エレベータステージ２７９が下降してカム
３２７のカム面の凹部にローラ３２６が位置する時、す
なわちマガジン固定時にはばね３２２の作用によりチャ
ック３２１はマガジンを保持する。更に下降すると、再
びカム面の凸部によりチャック３２１は前方に突出して
マガジンを保持している状態を解除して排出可能な状態
となる。

【００３５】次に、上記構成よりなるマガジン自動供給
装置の作用について以下に説明する。

【００３６】図１６及び図１７に示す第２のマガジン供
給側収納スペース２６０にリードフレームが収納されて
いないマガジンがリードフレーム収納方向と水平に交叉
する方向に複数配列される。これらのマガジンは移送機
構２６２のベルト２６２ｅ上に載置されており、制御回
路からの指令によってエレベータステージ２７９側に送
られる。エレベータステージ２７９はこの時最下部まで
降下して待機しており、作動部材２８７（図１８及び図
１９参照）もエレベータステージ２７９の下面がベアリ
ング２８９に当接することにより押し下げてられてい
る。この時、チャック機構２８０も昇降軸２７１に沿っ
て配された図２１に示すようなカム３２７の作用によっ
て押拡げられている。この状態で移送されたマガジンは
ストッカーガイド２８５に衝突して規制される。この
後、制御回路は移送機構を停止させエレベータステージ
２７９を作動部材２８７の引張コイルばね２８６のばね
力が開放、すなわち図１９において一点鎖線で示す高さ
に相当する量だけ移動させる。すると、作動片２８７ａ
によって、ストッカーガイド２８５により規制されてい
るマガジンが持ち上げられるので、制御回路は移送機構
に逆転指令を出して持ち上げられているマガジン以外の
マガジンをエレベータステージ２７９から離間（第２の
マガジン供給側収納スペース２６０方向）させる位置ま
で移送して停止する。その後エレベータステージ２７９
を上昇させると、作動部材２８７により持ち上げられて
いるマガジンはチャック機構２８０の作用によって確実
に保持される。この状態でエレベータステージ２７９は
間欠的に上昇しながらボンディングされたリードフレー
ムを収納する。このエレベータステージ２７９が第１の
マガジン排出側収納スペース２５０のマガジン収納面よ
り高い位置まで上昇したことがセンサー（図示せず）に
よって検出されると、マガジン載置用シリンダー２８３
が制御指令によりオンされて載置板２８３ａをエレベー
タステージ２７９の下面に押し出す。その後、エレベー
タステージ２７９は最下部まで下降するが、チャック機
構２８０は再び開放されているのでマガジンは載置板２
８３ａ上に容易に載せられる。そしてマガジン押出用シ
リンダー２８４は制御指令によってオンされて押出片２
８４ａを押出してマガジンを第１のマガジン排出側収納
スペース２５０側に押し出す。

【００３７】以上のような工程を繰り返してボンディン
グが完了したリードフレームが自動的にマガジン内に順
次収納される。

【００３８】なお、第１及び第２の搬送機構２０６及び
２０７等は２つのレールを具備すると説明しているが、
それ以上設けてもよく、また切換手段としてシリンダー
を用いているが、他の構成を用いて適宜組み合わせるこ
とは勿論可能である。

【００３９】なお、上記ではワイヤボンディングを例と
して説明しているが、テープボンディング等に用いても
よい。

【００４０】ここで、図９に示したキュア装置Ｂ₂ の構
成と、その前段の装置であるダイボンダー装置Ａ₂ との
関係について説明する。

【００４１】先述したように、キュア装置Ｂ₂ は、ダイ
ボンダー装置Ａ₂ から送り出されたリードフレームを受
け入れて、該リードフレームとこれに接着剤等により付
着されているＩＣチップとを互いに固着するものであ
る。

【００４２】図２２に示すように、キュア装置Ｂ₂ は、
炉３４０を有している。この炉３４０内には、ノズル３
４１を通じて高温の窒素ガスが供給される。また該窒素
ガスを排出するための排出パイプ３４２が炉３４０の底
部に接続されている。

【００４３】そして、図２３から明らかなように炉３４
０の内部には多数のヒートブロック３４２が一列に並べ
て設けられている。図２３に示すように、リードフレー
ム（Ｌ＼Ｆ）は、この各ヒートブロック３４２の上面に
載置されながら所定のピッチずつ搬送され、加熱され
る。

【００４４】なお、図２３に示すように、リードフレー
ムがダイボンダー装置Ａ₂ からこのキュア装置Ｂ₂ に持
ち来される際、リードフレームはまず、当該自動ボンデ
ィング装置のラインの流れる方向Ｌに平行な経路３４４
と、該経路３４４の下流端に連続して当該自動ボンディ
ング装置の背面側に向う経路３４５と、該経路３４５の
下流端に連続してラインの流れる方向Ｌに平行な経路３
４６とを、順次経てキュア装置Ｂ₂ の背面側近傍に搬送
される。この後、上記のようにしてヒートブロック３４
２により熱せられつつキュア装置Ｂ₂ の前面側に搬送さ
れ、続いて、ラインの流れる方向Ｌに平行な経路３４７
を経てボンダーＣ₅ 乃至Ｃ₇ へと供給される。

【００４５】

【発明が解決しようとする課題】上記した自動ボンディ
ング装置においては、キュア装置Ｂ₂ により搬送される
リードフレームが、各ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ のボンディン
グステージに供給されてボンディング加工が行われる。
そして、これらボンディング後の多数のリードフレーム
が、アンローダとしてのマガジンストッカー装置Ｄ₂ が
装備するマガジン内に順次収納されることになる。とこ
ろが、ボンディング接続されたリードフレームのワイヤ
の張り具合や、ボールのパッド面内への押しつぶされた
状態等を観察する必要がある。これは、ワイヤのループ
形状によってショート等を招くことや、電極面に確実に
接続されているかどうかを確認する必要があるからであ
る。よって、上記マガジン内に収納されたリードフレー
ムを抜き出して検査する工程が設けられる。しかしなが
ら、従来の装置では、１つのマガジン内にＣ₅ 〜Ｃ₇の
各ボンダーによりボンディング加工が行なわれたリード
フレームが混在するので、リードフレームのボンディン
グ不良を発見してもそのボンディング不良がどのボンダ
ーにおいて生じたものかが容易に確認できず、例えば２
台目のボンダーＣ₆ に故障等の問題があるという特定を
してその修理調整を行うまでにかなりの時間を要してし
まうという欠点がある。

【００４６】そこで、本発明は、上記従来技術の欠点に
鑑みてなされたものであって、リードフレームがどのボ
ンダーにてボンディング加工されたかの判別を迅速化す
ることを目的とする。

【００４７】また、本発明は、ボンダーについて、これ
をラインとして複数台並べる場合に、それらの前後位置
を入れ替えようとも何等支障の生じないものを提供する
ことを目的とする。

【００４８】

【課題を解決するための手段】本発明によるボンダー
は、半導体部品を保持して順次供給されるフレームを受
け入れて該フレームに対してボンディング加工を施すボ
ンダーであって、前段より供給される前記フレームを受
け入れて後段に向けて送り出すためのバイパス搬送路を
有する第１搬送手段と、前記第１搬送手段と交差する方
向に移動可能であって前記第１搬送手段のバイパス搬送
路の一部を形成し得ると共に前記第１搬送手段により搬
送されたフレームを前記バイパス搬送路と交差する方向
に移動して取り出して前記第１搬送手段と平行に配設さ
れたボンディング位置に向けて前記フレーム搬送方向と
は逆方向に搬送するための第２搬送手段とを有し、前記
第２搬送手段で前記ボンディング位置に搬送されボンデ
ィング加工を完了した前記フレームを収容するアンロー
ダは前記第１搬送手段と平行な位置に配設したものであ
る。また、本発明による自動ボンディング装置は、半導
体部品を保持して順次供給されるフレームを受け入れて
該フレームに対してボンディング加工を施す複数台のボ
ンダーと、前記ボンダー各々を経た前記フレームを受け
入れて収容するアンローダとを含む自動ボンディング装
置であって、前記ボンダーは、前段より供給される前記
フレームを受け入れて後段に向けて送り出すためのバイ
パス搬送路を有する第１搬送手段と、前記第１搬送手段
と交差する方向に移動可能であって前記第１搬送手段の
バイパス搬送路の一部を形成し得ると共に前記第１搬送
手段により搬送されたフレームを前記バイパス搬送路と
交差する方向に移動して取り出して前記第１搬送手段と
平行に配設されたボンディング位置に向けて前記フレー
ム搬送方向とは逆方向に搬送するための第２搬送手段と
を有し、前記第２搬送手段で搬送されボンディング加工
を完了した前記フレームを収容するアンローダが、前記
第１搬送手段と平行な位置に配設してなるものである。

【００４９】

【実施例】次に、本発明に係る自動ボンディング装置を
添付図面を参照しつつ説明する。なお、当該自動ボンデ
ィング装置は、以下に説明する要部以外は図９乃至図２
３にて示した従来の自動ボンディング装置と同様に構成
されている故、該要部以外についての詳細な説明は省略
する。また、以下の説明において、該従来装置の構成部
材と同一又は対応する部分については同じ参照符号を付
している。

【００５０】図１及び図２に示すように、本発明に係る
自動ボンディング装置においては、ダイボンダー装置Ａ
₂ 及びキュア装置Ｂ₂ に続いて３台一列に並べて設けら
れたボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ の各々が、該各ボンダー自体に
てボンディング加工を施したリードフレームを収容する
アンローダとしてのマガジンストッカー装置１乃至３を
夫々具備している。よって、ラインとしての上記自動ボ
ンディング装置は、図９に示す従来の自動ボンディング
装置が装備しているマガジンストッカー装置Ｄ₂ は有し
ていない。なお、各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ は、これらマガ
ジンストッカー装置１〜３を取り付けた構成の他は、前
述した従来の自動ボンディング装置に装備された３台の
ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ の各々と同様に構成されている。故
に、該各マガジンストッカー装置１〜３とその周辺の構
造以外については説明を省略する。また、前述したよう
に、以下の説明において、従来のボンダーの構成部材と
同一又は対応する部分については同じ参照符号を付して
いる。また、各ボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ は、夫々ほぼ同様に
構成されている故、１台目のボンダーＣ₁ の構成につい
て詳しく説明し、残る２台のボンダーＣ₂ 及びＣ₃ につ
いての説明は省略する。

【００５１】図３に示すように、ボンダーＣ₁ において
は、マガジンストッカー装置１が、リードフレーム受け
入れ側、すなわち、図１０等にて示した従来のボンダー
Ｃ₅における第２の搬送機構２０７を取り外した位置に
設けられている。また、図３に示すように、リードフレ
ームが順次収容されたマガジンは、シリンダー５によっ
て第１の搬送機構２０６の下方を通じて前方へ押し出さ
れるようになっている。

【００５２】上記のように、各ボンダーにおいては、ア
ンローダとしてのマガジンストッカー装置１（２、３）
が、フレームを受け入れる位置の近傍に配設されている
ことから、該ボンダーをラインとして複数台並べて使用
する場合に、これらの前後位置を何等支障なく入れ替え
ることが出来る。

【００５３】何んとなれば、かかる構成とは逆に、上記
アンローダをフレームを送り出す位置の近傍に配置する
ことを考えれば明らかである。すなわち、このようにア
ンローダをフレーム送り出し側に設ける場合、図１０等
に示す第４の搬送機構２１３を取り外して代わりに該ア
ンローダをこの位置に装着することとなる。つまり、図
１０において、第１及び第２の搬送機構２０６、２０７
を通じてフレームをボンディングステージ上に取り込
み、該フレームにボンディング加工を施した後、アンロ
ーダ内に収容する訳である。ところが、このように構成
すると、複数台並べられたボンダーのうち最後部のもの
については、ボンダー同士の間でフレームをバイパス送
りするための第３及び第５の搬送機構２０４及び２１４
が無用なものとなる。但し、この最後部のボンダーにつ
いて、これら第３及び第５の搬送機構２０４、２１４を
通常は使用せずとも設けておけば、このボンダーを前段
の各ボンダーのいずれかと配置替えすることは可能であ
る。しかしながら、このように配置替えを考慮するなら
ば、この第３及び第５の搬送機構２０４及び２１４につ
いて、常に作動可能なように、錆及び塵埃等の除去、オ
イルの供給並びに細部の調整など、保守点検しておく必
要がある。この保守点検作業は作業者にとって煩わし
く、しかも配置替えがいつ行われるのかも明確ではな
く、長期に亘ってこれらの作業をなすこととなる可能性
を考えれば、やはりこの最後部に配置されるべきボンダ
ーについては他のボンダーとの互換性を前提としないも
のを特別に用意しておくこととなる。また、そうする
と、この最後部のボンダーについては、上記第３及び第
５の搬送機構２０４、２１４を設けておくことは元来無
意味であるから、これらを製造当初から設けない機種を
用意しておく必要がある。よって、ライン用として多数
のボンダーを用意するときに、このような特別仕様のボ
ンダーをも製造しておく必要があり、コスト等の観点か
ら支障が生ずることが懸念される。

【００５４】本発明に係るボンダーにおいては、アンロ
ーダがフレーム受け入れ側、すなわち、図１０等におけ
る第２の搬送機構２０７を取り外した位置に設けられて
いる故に、他の第１及び第３の搬送機構２０６、２０４
並びに第４及び第５の搬送機構２１３、２１４は全て設
けられ、しかもこれら各搬送機構は常に作動せしめられ
る。よってラインの最後部に並べられるボンダーについ
てもその前段のボンダーと全く同じ構成でよく、各ボン
ダーの前後位置を何等支障なく入れ替えることが出来る
訳である。

【００５５】また、本発明に係るボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ に
関しては、下記の効果も奏される。

【００５６】即ち、３台並べられたボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃
のいずれか、例えば２台目及び３台目のボンダーＣ₂ 及
びＣ₃ が故障等を招いた場合であっても、残りのボンダ
ーＣ ₁ のみは停止させることなくそのまま続行して稼働
させることが出来る。従って、処理効率が大幅に低下す
ることはない。これに対し、図９以後に示した従来の装
置においては、各ボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ のいずれかに故障
等の問題が発生したときにはライン全体を停止させなけ
ればならない。すなわち、アンローダとしてのマガジン
ストッカー装置Ｄ₂ が、該各ボンダーの下流側に位置す
るので、例えば２台目のボンダーＣ₆ に問題があるとき
はこのボンダーＣ₆ をラインから外し、その修理調整が
終了するまで、ボンダーＣ₅ 及びＣ₇ 並びにマガジンス
トッカー装置Ｄ₂ の順のラインに組み換えて稼働させる
ことになる。これでは、ラインの組み換えに多大の時間
がかかり、高速処理を図ろうとするライン作業の効果が
得られない。

【００５７】一方、本発明に係るボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ を
使用すれば、従来のような専用機としてのマガジンスト
ッカー装置Ｄ₂ が不要であるので、ライン全体としての
占有スペースが少なくて済み、組み換えも容易であると
いう効果が得られる。

【００５８】ところで、図３から明らかなように、ボン
ダーＣ₁ （Ｃ₂ 、Ｃ₃ についても同様）においては、リ
ードフレームを第４及び第５の搬送機構２１３、２１４
に導入するための搬送機構が、第１の搬送機構２０６と
第３の搬送機構２０４の２つ設けられているが、これら
第１及び第３の搬送機構２０６及び２０４を互いに合体
させる形態にして１つの搬送機構に代えてもよい。但
し、上記のように互いに別体の２つの搬送機構２０６、
２０４を設ければ、これらと同様の搬送機構２０６及び
２０４を具備する従来のボンダーＣ₅ 〜Ｃ₇ （図１０参
照）と、本発明に係るボンダーＣ₁ 〜Ｃ₃ との２機種の
ボンダーを製造する際、該両機種間において各搬送機構
２０６、２０４については同じものを使用することが出
来、製造コストの低減が達成される。

【００５９】なお、上記した第１の搬送機構２０６と第
３の搬送機構２０４とを、第１搬送手段と総称する。す
なわち、この第１搬送手段は、前段より供給されるリー
ドフレームＬ＼Ｆを受け入れて後段に向けて送り出すた
めのパイパス搬送路を有する。

【００６０】一方、第４の搬送機構２１３と第５の搬送
機構２１４については、これらを第２搬送手段と総称す
る。該第２搬送手段は、上記のパイパス搬送路の一部を
形成し得ると共に、リードフレームＬ＼Ｆを該パイパス
搬送路から逸脱した側方に取り出してボンディング位置
に向けて逆向きに搬送するためのものであり、上述した
アンローダたるマガジンストッカー装置１（２、３）と
共に該ボンディング位置を挾む位置に配置されている。

【００６１】次に、ボンダーＣ₁ においてリードフレー
ムが搬送される経路について図４及び図５をも用いて説
明する。

【００６２】まず、図３の状態から、右側の前後用シリ
ンダー２１６の軸が突出して、第４及び第５の搬送機構
２１３及び２１４を図４の状態まで移動させる。この状
態で、第１及び第３の搬送機構２０６及び２０４を経
て、リードフレームが第４の搬送機構２１３上に供給さ
れる。このリードフレームを検出センサー２１５ａが検
出すると、各ベルトを駆動している搬送用の駆動モータ
の回転が制御回路からの指令により停止する。その後、
前後用シリンダー２１６が吸引方向に作動して、第４及
び第５の搬送機構２１３及び２１４が図５に示す状態ま
で引き戻される。この時、第４及び第５の搬送機構２１
３及び２１４の搬送路はボンディングステージのある第
１及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂの搬送
路並びに第３の搬送機構２０４の搬送路の中心と一致し
て停止する。次いで、第４の搬送機構２１３上のリード
フレームは、該第４の搬送機構２１３の右側に設けられ
たリードフレームプッシャーシリンダー６により、第１
及び第２のガイドレール２０３ａ及び２０３ｂ上のガイ
ド面上に押し出される。

【００６３】このガイドレール２０３ａ及び２０３ｂ上
に送られたリードフレームは、図示せぬ搬送機構により
クランプされながら１ピッチづつ間欠送りされた後ボン
ディングステージ上で所定温度に過熱されてボンディン
グされる。この間、第１の搬送機構２０６、第３の搬送
機構２０４及び第５の搬送機構２１４の各搬送路は第３
の搬送機構２０４の搬送路と一致しているので、本ボン
ダーＣ₁ 以外の他のボンダーＣ₂ 若しくはＣ₃ にこの第
５の搬送機構２１４を介してリードフレームを供給する
ことができる。次に、ボンディングステージ上でボンデ
ィング接続されたリードフレームは、図示せぬプッシャ
ーによりマガジンストッカー装置１内に収納せられる。
そして、このフレームの収納が図示せぬ検出センサーで
検出され、この検出出力によって上記の各モータの回転
が停止する。以上がリードフレームのボンディング等が
なされる一連の動作である。

【００６４】次に、マガジンストッカー装置１の構成に
ついて詳述する。図６に示すように、このマガジンスト
ッカー装置１は、昇降機構ベース８と、この昇降機構ベ
ース８を図６の矢印Ｃ方向に移動調整する調整手段９及
び昇降機構１０とで構成されている。

【００６５】上記昇降機構ベース８は、調整手段９によ
り矢印Ｃ方向に移動可能に構成されており、この調整手
段９には図７に示すように昇降機構ベース８の端部に雌
ねじが形成されたナット１１が固定されており、このナ
ット１１と雌ねじが形成されたねじ棒１２とが螺合結合
されている。このねじ棒１２はボンダー本体１４に固定
された軸受１３と螺合結合されており、また、端部には
つまみ１５が取り付けられている。このつまみ１５を回
すことにより昇降機構ベース８を図６の矢印Ｃ方向に移
動させることができる。このつまみ１５に代えてパルス
モータよりなる制御モータを用いるようにすれば昇降機
構ベース８の移動量を自動的にデジタル制御することも
できる。この昇降機構ベース８は、ボンダー本体１４に
支持されている図６図示の固定ガイド１６ａ、１６ｂ及
びガイドベアリング１７、偏心ガイド１８により両端を
規制されて摺動可能に構成されている。このガイドベア
リング１７及び偏心ガイド１８により昇降機構ベース８
をガイドレール２０３ａ及び２０３ｂの長手方向と直交
する方向への合わせ調整を行い、昇降機構ベース８上に
固定されている昇降機構１０の取付誤差を補正すること
ができる。

【００６６】次に、この昇降機構１０は、図７に示すよ
うに雄ねじが形成された昇降軸１９の下端部が昇降機構
ベース８の軸受部８ａに軸支され、その上端部はパルス
モータよりなる制御モータ２０と結合（ギヤ、プーリ等
により間接的に駆動してもよい）されている。この昇降
軸１９には雌ねじが形成された昇降部材２１が螺合結合
されており、前記制御モータ２０を正逆回転させること
により昇降部材２１が上下に昇降可能に構成されてい
る。

【００６７】なお、昇降部材２１は昇降軸１９と平行な
２本のガイドシャフト（図示せず）により案内される。
この昇降部材２１の移動量は図示せぬマイクロコンピュ
ータ等よりなる制御手段により制御される。この昇降部
材２１の上方位置及び下方位置のリミット位置を検出す
る上方センサ２２及び下方センサ２３が昇降機構１０の
所定位置に取り付けられている。これらのセンサ２２及
び２３には光学的センサが用いられている。昇降部材２
１には、断面略Ｌ字形状に形成されマガジン２４の下端
部を受けるマガジン受部２５が取り付けられている。こ
のマガジン受部２５の自由端部にはマガジン２４の端部
を押え保持するチャック２６が摺動可能に取り付けられ
ており、このチャック２６の端部は昇降軸１９に沿って
配設されているカム１９ａのカム面に当接可能に構成さ
れている。このカム１９ａは図８に示すように昇降軸１
９の上方及び下方位置に凸部が形成されており、マガジ
ン受部２５が上昇してマガジン２４を受けて保持する時
若しくは下降してマガジン２４を排出する時、カム１９
ａのカム面に形成された凸部により前方に押し出されて
突出するように構成されている。

【００６８】このマガジン受部２５の構成の詳細を図８
を用いて説明すると、固定部材２５ａの先端にはチャッ
ク２６が固定されており、この固定部材２５ａの下端と
保持台２５ｅの下端とがバネ２５ｂで連結され、固定部
材２５ａは常に保持台２５ｅ側に付勢されている。この
保持台２５ｅの下部には起動部材２５ｃが設けられ、固
定部材２５ａに固定されている摺動部材２５ｄが起動部
材２５ｃに案内されて摺動可能に構成されている。ま
た、固定部材２５ａの他端にはローラ２５ｆが設けられ
ており、このローラ２５ｆはカム１９ａのカム面に沿っ
て移動する。

【００６９】今、図８に示すように保持台２５ｅに載置
されたマガジン２４、すなわちマガジン供給時には、ロ
ーラ２５ｆがカム１９ａの凸部によりバネ２５ｂの付勢
力に抗して前方にチャック２６を押出しているのでマガ
ジン２４とチャック２６との間には間隔があいている。
昇降部材２１が下降してカム１９ａのカム面の凹部に位
置する時、すなわちマガジン固定時にはバネ２５ｂの作
用によりチャック２６はマガジン２４を保持する。更に
下降すると、再びカム面の凸部によりチャック２６は前
方に突出してマガジン２４を保持している状態を解除し
て排出できる状態とする。

【００７０】上記マガジン２４はチャック２６により保
持されており、ボンディングステージ上にてボンディン
グ加工されたリードフレームは、このマガジン２４内
に、図示しないプッシャーにより昇降機構１０の昇降部
材２１の下降に伴って順次収納される。このプッシャー
は、ボンディングステージ面とはぼ平行に配設されてお
り、エアーシリンダ（図示せず）により駆動される構成
となっている。

【００７１】一方、マガジン２４の側面は図６及び図７
に示すような略Ｌ字形状に形成されたストッカーガイド
２７により規制され、このストッカーガイド２７には、
第１のガイド板３１ａ，３１ｂ及び第２のガイド板３２
ａ，３２ｂが移動可能に固定されている。この第１及び
第２のガイド板３１ａ，３１ｂ及び３２ａ，３２ｂはス
トッカーガイド２７の規制面に固定されているので、ス
トッカーガイド２７を図６に示す矢印Ｅ，Ｅ´方向に移
動させることによって拡張させることができ、また、第
２のガイド板３２ａ及び３２ｂのガイドレール２０３
ａ，２０３ｂと垂直な方向ヘストッカーガイド２７の規
制面に沿って移動させることによって矢印Ｄ及びＤ´方
向にも移動させることができる。これによって、大きさ
の異なるマガジン２４の交換時にも対応することができ
る。これら第１及び第２のガイド板３１ａ，３１ｂ及び
３２ａ，３２ｂとの間に図７に図示の如く上方より挿入
された複数のマガジン２４は、マガジン受部２５が所定
の位置まで上昇して保持するまでマガジンプッシャー３
０により係止されるので、このマガジンプッシャー３０
により基準面となるストッカーガイド２７（第１のガイ
ド板３１ａ，３１ｂ）側に押圧されて係止される。した
がって、この構成によりマガジン２４が図７に図示のよ
うにストッカーガイド２７に固定されている第１のガイ
ド板３１ａ及び３１ｂの規制面に確実に規制される。こ
のマガジンプッシャー３０のオン、オフのタイミングは
図示せぬ制御手段により制御されるが、図７に図示のよ
うに昇降部材２１が上昇してマガジン２４を保持するま
でオン状態とし、マガジン受部２５により保持された時
オフとなる。そして、昇降部材２１が下降してマガジン
２４が排出される時には、次のマガジン２４（図中破線
で示す部分）を係止するべく再びオンとなり、昇降部材
２１が上昇するまで待機するように制御されている。ま
た、このマガジンプシャー３０は図示せぬエアーシリン
ダにより駆動される。

【００７２】以上が、アンローダとしてのマガジンスト
ッカー装置１の構成である。このようなアンローダを有
するボンダーを複数台連結することにより、自動ボンデ
ィング装置が構成される。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ボンディング加工を施されたフレームが、これをボンデ
ィング加工したボンダー自体に装備されたアンローダ内
に収容される。よって、複数台のボンダーがラインとし
て組み込まれた場合であっても、フレームがどのボンダ
ーにてボンディング加工されたのであるかを迅速に判別
することができ、ループ形状等の不具合が発生した際に
も該フレームの検査結果に基づき修理調整すべきボンダ
ーを直ちに知って適切な処置を施せるという効果があ
る。また、本発明に係るボンダーにおいては、上記アン
ローダは前記第１搬送手段と平行な位置に配設されてな
り、また前段から供給されるリードフレームを後段に向
けて送り出すためのバイパス経路の一部を形成する第２
搬送手段が、ボンディング位置を挟んで第１搬送手段と
平行に配設されていることから、該ボンダーをラインと
して複数台並べて使用する場合、これらの前後位置を何
等支障なく入れ替えることができ、装置が処理中あるい
は故障中でボンディング処理ができないときであって
も、前記バイパス経路を用いて他の装置に搬送すること
ができるとともに、前記バイパス経路そのものに故障が
発生しても、故障が発生したボンダーより上流に位置す
るボンダーは支障なく処理を続けることができ、ライン
の作業効率が大幅に低下しないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る自動ボンディング装置の
正面図である。

【図２】図２は、図１に示した自動ボンディング装置が
具備する３台のボンダーの斜視図である。

【図３】図３は、図２に示した３台のボンダーのうち第
１台目に並べられたボンダーの斜視図である。

【図４】図４は、図３に示したボンダーの動作説明図で
ある。

【図５】図５は、図３に示したボンダーの動作説明図で
ある。

【図６】図６は、図３に示したボンダーが具備するアン
ローダとしてのマガジンストッカー装置の平面図であ
る。

【図７】図７は、図６に示したマガジンストッカー装置
の縦断面図である。

【図８】図８は、図６及び図７に示したマガジンストッ
カー装置の一部の拡大図である。

【図９】図９は、従来の自動ボンディング装置の正面図
である。

【図１０】図１０は、図９に示した自動ボンディング装
置が具備するボンダーの斜視図である。

【図１１】図１１は、図１０に示したボンダーの一部分
の、一部断面を含む側面図である。

【図１２】図１２は、図１１に示した部分の動作説明図
である。

【図１３】図１３は、図１０に示したボンダーの動作説
明図である。

【図１４】図１４は、図１０に示したボンダーの動作説
明図である。

【図１５】図１５は、図１０に示したボンダーの動作説
明図である。

【図１６】図１６は、図９に示した自動ボンディング装
置が具備するマガジンストッカー装置の要部の縦断面図
である。

【図１７】図１７は、図１６に示した要部の一部の拡大
図である。

【図１８】図１８は、図１６に示した要部の一部の拡大
図である。

【図１９】図１９は、図１８に関するＷ−Ｗ矢視図であ
る。

【図２０】図２０は、図１６に関するＸ−Ｘ矢視図であ
る。

【図２１】図２１は、図９に示した自動ボンディング装
置が具備するマガジンストッカー装置の一部の拡大図で
ある。

【図２２】図２２は、図９に示した自動ボンディング装
置が具備するキュア装置の要部の縦断面図である。

【図２３】図２３は、図２２に示したキュア装置と、そ
の前後のダイボンダー装置及びボンダーの、概略斜視図
である。

【符合の説明】

Ｃ₁ 、Ｃ₂ 、Ｃ₃ ボンダー １、２、３、 マガジンストッカー装置（アンロ
ーダ） ５ シリンダー ６ リードフレームプッシャーシリン
ダー ２０４ 第３の搬送機構 ２０６ 第１の搬送機構 ２０７ 第２の搬送機構 ２１３ 第４の搬送機構 ２１４ 第５の搬送機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−32148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−94427（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−245651（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−31173（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−52973（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−74581（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−55964（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−287027（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−62440（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/60

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体部品を保持して順次供給されるフ
   レームを受け入れて該フレームに対してボンディング加
   工を施すボンダーであって、前段より供給される前記フレームを受け入れて後段に向
   けて送り出すためのバイパス搬送路を有する第１搬送手
   段と、 前記第１搬送手段と交差する方向に移動可能であって前
   記第１搬送手段のバイパス搬送路の一部を形成し得ると
   共に前記第１搬送手段により搬送されたフレームを前記
   バイパス搬送路と交差する方向に移動して取り出して前
   記第１搬送手段と平行に配設されたボンディング位置に
   向けて前記フレーム搬送方向とは逆方向に搬送するため
   の第２搬送手段とを有し、 前記第２搬送手段で前記ボンディング位置に搬送されボ
   ンディング加工を完了した前記フレームを収容するアン
   ローダは前記第１搬送手段と平行な位置に配設されてい
   ること を特徴とするボンダー。
2. 【請求項２】 半導体部品を保持して順次供給されるフ
   レームを受け入れて該フレームに対してボンディング加
   工を施す複数台のボンダーと、 前記ボンダー各々を経た前記フレームを受け入れて収容
   するアンローダとを含む自動ボンディング装置であっ
   て、 前記ボンダーは、 前段より供給される前記フレームを受け入れて後段に向
   けて送り出すためのバイパス搬送路を有する第１搬送手
   段と、 前記第１搬送手段と交差する方向に移動可能であって前
   記第１搬送手段のバイパス搬送路の一部を形成し得ると
   共に前記第１搬送手段により搬送されたフレームを前記
   バイパス搬送路と交差する方向に移動して取り出して前
   記第１搬送手段と平行に配設されたボンディング位置に
   向けて前記フレーム搬送方向とは逆方向に搬送するため
   の第２搬送手段とを有し、 前記第２搬送手段で搬送されボンディング加工を完了し
   た前記フレームを収容するアンローダが、前記第１搬送
   手段と平行な位置に配設されていること を特徴とする自
   動ボンディング装置。